JP2005127437A - シール部材 - Google Patents
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Abstract
【課題】 シール性の向上及び安定を図る。
【解決手段】 容器本体23と蓋体24との間に設けられた環状の支持片35と、支持片35に一体的に設けられ蓋体24側へ延出して蓋体24側の壁面に当接して蓋体24側をシールする蓋体側シール用リップ部36と、支持片35に一体的に設けられ容器本体23側へ延出して容器本体23側の壁面に当接して容器本体23側をシールする容器本体側シール用リップ部37と、支持片35の容器本体23側又は蓋体24側に一体的に設けられ容器本体23側又は蓋体24側の壁面に当接して支持片35を支持する支持用リップ部38とを備えて構成した。蓋体側シール用リップ部36の中間位置には、蓋体側シール用リップ部36の先端の壁面への密着を増加させる加勢部36Aを設けた。
【選択図】 図1
【解決手段】 容器本体23と蓋体24との間に設けられた環状の支持片35と、支持片35に一体的に設けられ蓋体24側へ延出して蓋体24側の壁面に当接して蓋体24側をシールする蓋体側シール用リップ部36と、支持片35に一体的に設けられ容器本体23側へ延出して容器本体23側の壁面に当接して容器本体23側をシールする容器本体側シール用リップ部37と、支持片35の容器本体23側又は蓋体24側に一体的に設けられ容器本体23側又は蓋体24側の壁面に当接して支持片35を支持する支持用リップ部38とを備えて構成した。蓋体側シール用リップ部36の中間位置には、蓋体側シール用リップ部36の先端の壁面への密着を増加させる加勢部36Aを設けた。
【選択図】 図1
Description
この発明は、内部をクリーンな状態に保つために容器本体と蓋体との間をシールするシール部材に関し、特に、半導体ウエハ、マスクガラス等の、塵埃等の侵入を嫌う薄板を輸送、保管等する薄板収納容器に用いて好適なシール部材に関する。
半導体ウエハ等の薄板を輸送、保管する際に使用する薄板収納容器は、例えば特許文献1のように、キャリヤ、容器本体、蓋体、押え部材、シール部材などを備えて構成されたものである。そして、シール部材は、図2に示すように構成されている。
このシール部材1は、エンドレス部2と、突片3と、嵌合リブ4と位置決め用突起5とから構成されている。シール部材1のエンドレス部2は、蓋体6の嵌合保持溝7に嵌合されて支持されている。このエンドレス部2で突片3が容器本体8側へ延出して支持され、突片3の先端が容器本体8に当接して支持されている。
また、特許文献2に示すようなシール部材もある。このシール部材11は、図3に示すように、突部12と、膨出部13と、上端部14と、下端部15とから構成されている。
シール部材11は、ボトムケース体16の挿入溝17に挿入されている。挿入溝17に挿入されたシール部材11は、その突部12と膨出部13とが、挿入溝17の内壁に当接して支持されている。シール部材11の下端部15は、挿入溝17の底面に、外側へ撓んだ状態で当接して、この部分をシールしている。シール部材11の上端部14は、蓋体18の挿入溝19に挿入された状態で、挿入溝19の底面に、外側へ撓んだ状態で当接して、この部分をシールしている。
特開2002−68364号公報
特開平10−184924号公報
しかしながら、上記特許文献1のシール部材1の場合は、エンドレス部2に支持された突片3が、突片3自身の持つ弾力性で容器本体8に当接している。このため、熱等によって突片3の弾力性が弱くなると、突片3の先端を容器本体8に押さえつける力が弱くなり、シール性が低下してしまうという問題点がある。
また、上記特許文献2のシール部材11の場合も同様に、熱等によって上端部14及び下端部15の弾力性が弱くなると、上端部14の先端を蓋体18の挿入溝19に、下端部15の先端をボトムケース体16の挿入溝17に押さえつける力が弱くなり、シール性が低下してしまうという問題点がある。
本発明は、上述の点に鑑みてなされたもので、熱等によるシール性の低下を効率的に抑えることができるシール部材を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために第1の発明に係るシール部材は、容器本体と蓋体との間に設けられた環状の支持片と、当該支持片に一体的に設けられ上記蓋体側へ延出して当該蓋体側の壁面に当接して当該蓋体側をシールする蓋体側シール用リップ部と、上記支持片に一体的に設けられ上記容器本体側へ延出して当該容器本体側の壁面に当接して当該容器本体側をシールする容器本体側シール用リップ部と、上記支持片の上記容器本体側又は蓋体側に一体的に設けられ上記容器本体側又は蓋体側の壁面に当接して上記支持片を支持する支持用リップ部とを備えて構成された。
上記構成により、支持片が容器本体と蓋体との間に設けられた状態で、蓋体側シール用リップ部が蓋体側に、容器本体側シール用リップ部が容器本体側に延出して蓋体側及び容器本体側を各リップ部でそれぞれシールする。そして、支持用リップ部が容器本体側又は蓋体側の壁面に当接して直接的に支持片を支持して、全体を支持する。これにより、容器本体と蓋体との間を確実にシールする。
第2の発明に係るシール部材は、第1の発明に係るシール部材において、上記容器本体側に環状溝が設けられ、上記支持片が、当該環状溝の内側壁と外側壁との間に架け渡して設けられたことを特徴とする。
上記構成により、支持片が環状溝の内側壁と外側壁との間に架け渡して設けられた状態で、環状溝内に容器本体側シール用リップ部が挿入される。これにより、容器本体側シール用リップ部は環状溝の内壁に当接してシールする。
第3の発明に係るシール部材は、第1又は第2の発明に係るシール部材において、上記蓋体側シール用リップ部が、上記支持片から上側へかつ外側へ湾曲させて形成されたことを特徴とする。
上記構成により、支持片から上側へかつ外側へ湾曲させて形成された蓋体側シール用リップ部の先端が巻き込むようにして蓋体の壁面に当接し、この部分でシールする。
第4の発明に係るシール部材は、第1ないし第3の発明のいずれかに係るシール部材において、湾曲して形成された上記蓋体側シール用リップ部の中間位置に、上記容器本体に嵌合された状態の上記蓋体側に当接して上記蓋体側シール用リップ部の先端の壁面への密着を増加させる加勢部を設けたことを特徴とする。
上記構成により、湾曲して形成された蓋体側シール用リップ部の先端が巻き込むようにして蓋体の壁面に当接した状態で、蓋体側シール用リップ部の中間位置の加勢部が蓋体側に当接して、この加勢部が蓋体によって押される。これにより、蓋体側シール用リップ部の先端が壁面側へ押されて、この先端の壁面への密着を増加させ、シール性を安定させて向上させる。
第5の発明に係るシール部材は、第1ないし第4の発明のいずれかに係るシール部材において、上記容器本体側シール用リップ部が、上記支持片から下側へかつ外側へ湾曲させて形成されたことを特徴とする。
上記構成により、湾曲して形成された容器本体側シール用リップ部の先端が巻き込むようにして容器本体側の環状溝の壁面に当接した状態でシールする。これにより、シール性が安定して向上する。
第6の発明に係るシール部材は、第5の発明に係るシール部材において、上記容器本体側シール用リップ部の背面位置に、上記容器本体側の壁面に支持されて上記容器本体側シール用リップ部を押してその先端の壁面への密着を増加させる加勢用肉厚部を設けたことを特徴とする。
上記構成により、加勢用肉厚部が容器本体側シール用リップ部をその背面から押してその先端を壁面側へ押し出す。これにより、容器本体側シール用リップ部の先端の壁面への密着が増して、シール性が安定して向上する。
第7の発明に係るシール部材は、第1ないし第6の発明のいずれかに係るシール部材において、上記支持用リップ部が、上記支持片に一体的に設けられた状態で上記容器本体側の環状溝内へ延出して設けられ、当該環状溝の内側壁の壁面に当接して上記支持片を支持することを特徴とする。
上記構成により、支持用リップ部が環状溝内へ延出して内側壁の壁面に当接することで、シール部材を支持する。
以上詳述したように、本発明の薄板収納容器によれば、次のような効果を奏する。
(1) 支持用リップ部で支持片が支持された状態で、この支持片に支持された蓋体側シール用リップ部及び容器本体側シール用リップ部が蓋体側及び容器本体側をそれぞれシールするため、容器本体と蓋体との間を確実にシールすることができ、薄板収納容器のシール性が大幅に向上する。
(2) 支持片が環状溝の内側壁と外側壁との間に架け渡して設けられた状態で、この支持片に支持された容器本体側シール用リップ部が、環状溝内に挿入されて内壁に当接するため、容器本体側を確実にシールすることができる。
(3) 支持片から上側へかつ外側へ湾曲させて形成された蓋体側シール用リップ部の先端が巻き込むようにして蓋体の壁面に当接するため、この部分のシール性を向上させることができる。
(4) 加勢部が蓋体によって押されるため、蓋体側シール用リップ部の先端が壁面側へ押して、蓋体側シール用リップ部の先端の壁面への密着を増加させることができる。これにより、シール性を向上させることができると共に、安定させることができる。
(5) 湾曲して形成された容器本体側シール用リップ部の先端が巻き込むようにして容器本体側の環状溝の壁面に当接するため、この部分のシール性を向上させることができると共に安定させることができる。
(6) 加勢用肉厚部が容器本体側シール用リップ部をその背面から押してその先端を壁面側へ押し出すことで、容器本体側シール用リップ部の先端の壁面への密着を増加させるので、この部分のシール性を向上させることができると共に安定させることができる。
(7) 支持用リップ部が環状溝内へ延出して壁面に当接するため、直接的には支持片を支持して、シール部材を確実に支持することができる。
以下、本発明の実施形態を添付図面に基づいて説明する。本発明のシール部材は、内部をクリーンな状態に保つ必要のある薄板収納容器等に用いて好適な部材である。また、薄板収納容器は、半導体ウエハ、記憶ディスク、液晶ガラス基板、マスクガラス等の、塵埃等の侵入を嫌う薄板を収納して、保管、輸送等における使用に供するための容器である。ここでは、半導体ウエハを収納する薄板収納容器に、本発明のシール部材を用いた例を説明する。
まず、本発明のシール部材を使用した薄板収納容器について、図4に基づいて説明する。
本実施形態の薄板収納容器21は、キャリヤ22、容器本体23、蓋体24、押え部材25、シール部材26を備えて構成されている。
キャリヤ22は、半導体ウエハSを支持するための部材である。キャリヤ22に平行に多数の半導体ウエハSが収納された状態で、キャリヤ22が容器本体23内に収納される。
容器本体23は、キャリヤ22を収納するための容器である。この容器本体23内にキャリヤ22が収納された状態で、内部が密封されて外部からの塵埃等の侵入を防止する。容器本体23の上部の外側には、後述するフック24Aに係止する係止部23Aが設けられている。
蓋体24は、容器本体23を塞ぐための部材である。容器本体23内にキャリヤ22が収納された状態で塞いで容器本体23内を密封する。蓋体24の周縁には、上記容器本体23の係止部23Aに対向する位置にフック24Aが設けられている。このフック24Aが係止部23Aに係止することで、蓋体24が容器本体23に固定される。
押え部材25は、キャリヤ22内に収納された半導体ウエハSを支持するための部材である。押え部材25は、蓋体24に取り付けられて、容器本体23内に収納されたキャリヤ22内の半導体ウエハSをその上側から当接して支持する。
シール部材26は、容器本体23内を密封するための部材である。シール部材26は、容器本体23と蓋体24との間に設置されて容器本体23内を密閉する。このシール部材26は具体的には図1及び図4に示すように、容器本体23側の環状溝28と、蓋体24側の環状溝29とに嵌合した状態で設けられている。
容器本体23側の環状溝28は、容器本体23の上端縁部に全周に亘って設けられている。この環状溝28は、容器本体23の上端縁部に全周に亘って設けられた内側壁30と外側壁31とで構成されている。さらに環状溝28は、内側壁30と外側壁31とで囲まれた深底の溝状に構成されている。内側壁30と外側壁31の互いに対向する内側壁面は、テーパ状に僅かに傾斜させて形成され、内部空間はくさび状になっている。内側壁30と外側壁31の上端位置は、ほぼ同じ高さになっている。
蓋体24側の環状溝29は、蓋体24の下端縁部に全周に亘って設けられている。この環状溝29は、蓋体24の下端縁部に全周に亘って設けられた内側壁32と外側壁33とで構成されている。内側壁32の下端部は、後述するシール部材26の加勢部36Aを押さえる加勢部押え32Aとなっている。外側壁33は、内側壁32に対向して設けられているが、その一部がフック24Aを構成している。内側壁32と外側壁33の互いに対向する壁面は、テーパ状に僅かに傾斜させて形成され、内部空間はくさび状になっている。
シール部材26は、環状に形成され、支持片35と、蓋体側シール用リップ部36と、容器本体側シール用リップ部37と、支持用リップ部38とから構成されている。
支持片35は、蓋体側シール用リップ部36等を支持するための部材である。この支持片35は、容器本体23側の環状溝28と蓋体24側の環状溝29との間に設けられた環状の帯状部材である。支持片35は、容器本体23側の環状溝28の内側壁30の上端と外側壁31の上端との間に架け渡して設けられている。支持片35は、十分な剛体を持たせるために肉厚に構成されている。この支持片35は、内側壁30の上端と外側壁31の上端とに当接することで、環状溝28内に挿入された支持用リップ部38がそれ以上内部に入り込まないように防止するストッパとして機能するようになっている。
蓋体側シール用リップ部36は、蓋体24側をシールするための部材である。この蓋体側シール用リップ部36は、支持片35の上側に一体的に設けられている。即ち、蓋体側シール用リップ部36は、支持片35から上側へかつ外側へ延出することで、全体として湾曲したさせて形成されている。これにより、蓋体側シール用リップ部36の先端は、巻き込むように湾曲して環状溝29の外側の壁面に当接して、この部分をシールするようになっている。
湾曲して形成された蓋体側シール用リップ部36の外側の中間位置には加勢部36Aが設けられている。この加勢部36Aは、蓋体側シール用リップ部36の先端部を蓋体24の環状溝29の外側の壁面側へ押して、そのシール性を増加させると共に安定させるための部分である。加勢部36Aは、蓋体24が容器本体23に嵌合した状態で、内側壁32の加勢部押え32Aに当接して押され、蓋体側シール用リップ部36の先端を環状溝29の外側の壁面に押し付けてその密着を増加させ、シール性を向上させるようになっている。さらに、加勢部36Aで蓋体側シール用リップ部36の先端を押すことでこの先端部の壁面への接触状態を安定させて、蓋体側シール用リップ部36によるシール性を安定させるようになっている。
容器本体側シール用リップ部37は、容器本体23側をシールするための部材である。この容器本体側シール用リップ部37は、支持片35の下側に一体的に設けられている。即ち、容器本体側シール用リップ部37は、支持片35から下側へかつ外側へ延出することで、全体として湾曲させて形成されている。具体的には、容器本体側シール用リップ部37は、支持用リップ部38の途中から延出して設けられ、支持用リップ部38と相まって全体として湾曲させて形成されている。これにより、容器本体側シール用リップ部37の先端は、巻き込むように湾曲して環状溝28の外側の壁面に当接して、この部分をシールするようになっている。
支持用リップ部38は、支持片35を支持するための部材である。支持用リップ部38は、支持片35の容器本体23側に一体的に設けられ、支持片35と相まって断面T字型に形成されている。このT字型の支持片35及び支持用リップ部38は、肉厚に形成されて十分な剛性を持たせてある。支持用リップ部38の先端には、断面形状がほぼ円形になるように膨らませて形成された膨張部38Aが設けられている。この膨張部38Aは、容器本体側シール用リップ部37よりも下側に設けられている。膨張部38Aは、支持用リップ部38が環状溝28の内側壁30にはめ込まれたときに、内側壁30を締め付けて強く密着することで、この部分をシールすると共に、支持用リップ部38を環状溝28の内側壁30に確実に支持するようになっている。これにより、直接的に支持片35を支持し、間接的に蓋体側シール用リップ部36及び容器本体側シール用リップ部37を、全体としてシール部材26を支持するようになっている。
支持用リップ部38のうち容器本体側シール用リップ部37の背面位置には、加勢用肉厚部38Bが設けられている。この加勢用肉厚部38Bは、容器本体側シール用リップ部37をその背面から押してそのシール性を安定させて増加させるための部分である。加勢用肉厚部38Bは、支持用リップ部38のうち容器本体側シール用リップ部37の背面位置を肉厚にして形成されている。これにより、加勢用肉厚部38Bは、環状溝28の内側の壁面に支持された状態で、支持用リップ部38を環状溝28の外側の壁面側へ押してせり出させ、これに伴って容器本体側シール用リップ部37をその背面から押してその先端を壁面側へせり出させ、その先端の壁面への密着を増加させ、シール性を向上させると共に、シール性を安定させるようになっている。
環状の支持用リップ部38の内側は、加勢用肉厚部38Bで小径に、先端側(膨張部38Aの内側)で大径に形成され、嵌合時のガイド性を向上させている。
以上のように構成された薄板収納容器21は、次のようにして使用される。
シール部材26は、薄板収納容器21の使用前に容器本体23に取り付けられる。この場合、支持用リップ部38を環状溝28にはめ込むだけで、容易に取り付けることができる。このとき、支持用リップ部38の先端側(下端側)の内側は大径に形成されているので、支持用リップ部38を環状溝28の内側壁30に容易にはめ込むことができる。次いで、支持用リップ部38を、支持片35が内側壁30の上端と外側壁31の上端とに当接するまで、押し込む。このとき、支持片35はストッパとして機能し、シール部材26を正確に位置決めして支持する。膨張部38Aは、内側壁30にはめ込まれた状態で内側壁30を締め付けて強く密着することで、この部分をシールし、さらに支持用リップ部38及び支持片35を環状溝28の内側壁30に確実に支持する。支持片35が位置決め支持されたところで、シール部材26の取付は完了する。
半導体ウエハSを搬送、保管等する場合は、まずクリーンルーム等で、キャリヤ22に半導体ウエハSを挿入して、このキャリヤ22を容器本体23内に収納する。次いで、蓋体24を、容器本体23にその上側から取り付けて押し下げる。これにより、フック24Aが係止部23Aに係止して、蓋体24が容器本体23に固定される。
このときシール部材26では、図5に示すようにして、容器本体23側及び蓋体24側をシールしている。
蓋体側シール用リップ部36では、その先端が、図中の下側へ巻き込むように湾曲して環状溝29の外側の壁面に当接して、この部分をシールしている。このとき、内側壁32の下端の加勢部押え32Aは、蓋体側シール用リップ部36の加勢部36Aに当接してこの部分を押さえる。これにより、蓋体側シール用リップ部36の先端を環状溝29の外側の壁面に押し付けている。
容器本体側シール用リップ部37では、その先端が、図中の上側へ巻き込むように湾曲して環状溝28の外側の壁面に当接して、この部分をシールしている。このとき、加勢用肉厚部38Bは、環状溝28の内側の壁面に当接して容器本体側シール用リップ部37側へ盛り上がり、この容器本体側シール用リップ部37側をその背面から押さえている。これにより、容器本体側シール用リップ部37の先端を環状溝29の外側の壁面に押し付けている。
以上のように、蓋体側シール用リップ部36及び容器本体側シール用リップ部37が蓋体24側及び容器本体23側をそれぞれ個別にシールするため、容器本体23とシール部材26との間及び蓋体24とシール部材26との間を確実にシールすることができ、薄板収納容器21のシール性が大幅に向上する。
また、ストッパとして機能する支持片35と、支持用リップ部38とを一体的に設けて断面T字型に形成すると共に、支持用リップ部38の先端側の内径寸法を大きくしたので、シール部材26を、容器本体23の環状溝28に対して容易に取り付けることができるようになる。
また、蓋体側シール用リップ部36を湾曲させて設けると共に、内側壁32の下端に加勢部押え32A、蓋体側シール用リップ部36に加勢部36Aを設けたので、シール部材26と蓋体24との間のシール性を向上させることができると共に、シール性を安定させることができるようになる。
さらに、容器本体側シール用リップ部37を湾曲させて設けると共に、支持用リップ部38に加勢用肉厚部38Bを設けたので、シール部材26と容器本体23との間のシール性を向上させることができると共に、シール性を安定させることができるようになる。
なお、上記実施形態では、半導体ウエハを収納する薄板収納容器について説明したが、半導体ウエハ、記憶ディスク、液晶ガラス基板、マスクガラス等の、塵埃等の侵入を嫌う部材を収納して、保管、輸送等における使用に供するための容器であれば、本発明のシール部材を適用することができるのは言うまでもない。また、塵埃等の侵入を嫌う部材であれば、薄板状のものでなくとも、本発明のシール部材を適用することができるのは言うまでもない。
また、上記実施形態では、シール部材26を容器本体23側に設けたが、蓋体24側に設けてもよいことは言うまでもない。この場合、支持用リップ部38は、支持片35の蓋体24側に設けられることになる。
21:薄板収納容器、22:キャリヤ、23:容器本体、23A:係止部、24:蓋体、24A:フック、25:押え部材、26:シール部材、28:環状溝、29:環状溝、30:内側壁、31:外側壁、32:内側壁、32A:加勢部押え、33:外側壁、35:支持片、36:蓋体側シール用リップ部、36A:加勢部、37:容器本体側シール用リップ部、38:支持用リップ部、38A:膨張部、38B:加勢用肉厚部、S:半導体ウエハ。
Claims (7)
- 容器本体と蓋体との間に設けられた環状の支持片と、
当該支持片に一体的に設けられ上記蓋体側へ延出して当該蓋体側の壁面に当接して当該蓋体側をシールする蓋体側シール用リップ部と、
上記支持片に一体的に設けられ上記容器本体側へ延出して当該容器本体側の壁面に当接して当該容器本体側をシールする容器本体側シール用リップ部と、
上記支持片の上記容器本体側又は蓋体側に一体的に設けられ上記容器本体側又は蓋体側の壁面に当接して上記支持片を支持する支持用リップ部と
を備えて構成されたことを特徴とするシール部材。 - 請求項1に記載のシール部材において、
上記容器本体側に環状溝が設けられ、上記支持片が、当該環状溝の内側壁と外側壁との間に架け渡して設けられたことを特徴とするシール部材。 - 請求項1又は2に記載のシール部材において、
上記蓋体側シール用リップ部が、上記支持片から上側へかつ外側へ湾曲させて形成されたことを特徴とするシール部材。 - 請求項1ないし3のいずれか1項に記載のシール部材において、
湾曲して形成された上記蓋体側シール用リップ部の中間位置に、上記容器本体に嵌合された状態の上記蓋体側に当接して上記蓋体側シール用リップ部の先端の壁面への密着を増加させる加勢部を設けたことを特徴とするシール部材。 - 請求項1ないし4のいずれか1項に記載のシール部材において、
上記容器本体側シール用リップ部が、上記支持片から下側へかつ外側へ湾曲させて形成されたことを特徴とするシール部材。 - 請求項5に記載のシール部材において、
上記容器本体側シール用リップ部の背面位置に、上記容器本体側の壁面に支持されて上記容器本体側シール用リップ部を押してその先端の壁面への密着を増加させる加勢用肉厚部を設けたことを特徴とするシール部材。 - 請求項1ないし6のいずれか1項に記載のシール部材において、
上記支持用リップ部が、上記支持片に一体的に設けられた状態で上記容器本体側の環状溝内へ延出して設けられ、当該環状溝の内側壁の壁面に当接して上記支持片を支持することを特徴とするシール部材。
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