JP4037946B2 - 薄板収納容器 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、内外側間で圧力差を解消して蓋体の取り外しを容易にした薄板収納容器に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
内圧調整機構を備えた従来の薄板収納容器としては、本出願人が先に提案した特願平9−251724号明細書記載の「簡易着脱型蓋付き容器」がある。
【0003】
係る簡易着脱型蓋付き容器1を図2に基づいて説明する。図中の2は容器本体である。この容器本体2内には、多数の半導体ウエハ3がウエハキャリア4に支持された状態で収納されている。図中の5は容器本体2を塞ぐ蓋体である。
【0004】
6は簡易着脱機構である。この簡易着脱機構6の凹部7内には、内圧調整機構としてのフィルタ8が設けられている。このフィルタ8は、図3に示すように、容器本体2の壁面から外部に突出して設けられた接続管9に着脱自在に取り付けられている。フィルタ8は、接続管9に嵌合される嵌合穴8Aを有する基端管部8Bと、基端管部8Bの先端側に形成された基端側フランジ部8Cと、この基端側フランジ部8Cに重なり合って内部に濾材収納空間8Dを形成する先端側フランジ部8Eと、前記濾材収納空間8Dに装着され、気体の通過を許容すると共に塵埃等の通過を制限する濾材8Fと、先端側フランジ部8Eから先端側に突出して形成され、濾材8F及び接続管9を介して内外側を連通すると共に接続管9への着脱作業の際に摘んで持つ先端管部8Gとから構成されている。
【0005】
接続管9は、その基端側から先端側まで同一外径の管によって構成されている。この接続管9に嵌合する基端管部8Bの嵌合穴8Aは、接続管9の形状に合わせて、その基端側から先端側まで同一内径の穴によって構成されている。基端管部8Bは弾力性を有し、基端管部8Bの嵌合穴8Aの内径は接続管9の外径よりも僅かに小さく形成されている。これにより、接続管9に嵌合穴8Aがはめ込まれることで、フィルタ8が接続管9に気密に取り付けられるようになっている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、前記フィルタ8の接続管9への取り付け構造では、接続管9の外径及び嵌合穴8Aの内径が、その基端側から先端側まで同一寸法に設定されているため、フィルタ8の接続管9への着脱にある程度の力を要し、着脱作業が容易ではなかった。
【0007】
本発明は以上の不具合に鑑みなされたもので、十分な気密性を確保した状態で内圧調整部の着脱作業を容易にした薄板収納容器を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために本発明に係る薄板収納容器は、複数の薄板を内部に収納支持する容器本体と、この容器本体内に薄板を収納した状態で施蓋して内部を清浄な状態に保つ蓋体と、前記容器本体又は蓋体に取り付けられ内外側間での圧力差を調整する内圧調整機構とを備えた薄板収納容器において、前記内圧調整機構が、前記容器本体又は蓋体にその壁面から外部に突出して設けられ、内外側間を連通すると共にその外径が先端側に向けて縮径したテーパ状に形成された連通管と、この連通管に着脱自在に取り付けられ、内外側間で気体の通過を許容して内部気圧を外部気圧と一致させると共に塵埃の通過を制限して内部を清浄な状態に保つ内圧調整部と、前記連通管に併設され、この連通管に装着された内圧調整部に係止してその抜け落ちを防止する抜け落ち防止爪とからなり、前記内圧調整部が、前記テーパ状の連通管に整合して気密に嵌合するテーパ状の嵌合穴を有する基端管部と、この基端管部の先端側に前記嵌合穴を塞いで設けられ、気体の通過を許容すると共に塵埃の通過を制限する濾材とを備えて構成されたことを特徴とする。
【0009】
前記構成により、内圧調整部を取り付けるときには、その基端管部を、容器本体又は蓋体に設けられた連通管にはめ込む。これにより、基端管部のテーパ状の嵌合穴とテーパ状の連通管とが気密に整合する。この場合、双方ともテーパ状に形成されているため、あまり強く押し込まなくても正確に整合して気密に嵌合する。この状態で、抜け落ち防止爪が内圧調整部に係止して、この内圧調整部の抜け落ちを防止する。これにより、容易に取り付けることができると共に抜け落ちが確実に防止される。
【0010】
この状態で、容器本体内に薄板を収納して蓋体を取り付け、搬送等の用に供される。搬送途中で気圧が変化して薄板収納容器の内外で圧力差が生じると、連通管及び濾材を介して空気が容器内外で出入りして内圧が外圧と一致する。これにより、容器の内圧が外圧よりも低くなって蓋体が外れなくなるのを確実に防止することができる。
【0011】
薄板収納容器や内圧調整部の洗浄等の保守、整備を行うときは、内圧調整部から抜け落ち防止爪を外して内圧調整部を連通管から抜き取る。このとき、内圧調整部の嵌合穴と連通管の双方ともテーパ状に形成されているため、軽い力で容易に抜き取ることができる。次いで、薄板収納容器を洗浄する。内圧調整部は、必要に応じて、洗浄したり交換したりする。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を添付図面に基づいて説明する。なお、本発明の薄板収納容器は、半導体ウエハ、記憶ディスク、液晶ガラス基板等の薄板を収納、保管、輸送に用いて好適な容器である。ここで薄板とは、上述のように、半導体ウエハ、記憶ディスク、液晶ガラス基板等の板状の部材を言う。本実施形態では、半導体ウエハを収納する容器を例に説明する。
【0013】
本実施形態に係る薄板収納容器11は、図4から図6に示すように構成されている。図中の12は容器本体である。この容器本体12内には、多数の半導体ウエハ13がウエハキャリア14に支持された状態で収納されている。図中の16は容器本体12を塞ぐ蓋体である。この蓋体16は、容器本体12内に収納された半導体ウエハ13の上半分を覆った状態で、容器本体12に取り付けられる。蓋体16内の上側板にはウエハ支持具17が取り付けられている。このウエハ支持具17は、ウエハキャリア14に収納された半導体ウエハ13を上側から支持して、薄板収納容器11の移動等による振動で半導体ウエハ13が互いに接触するのを防止するためのものである。
【0014】
容器本体12の上端部には、図7に示すように、ガスケット収納溝20が設けられている。このガスケット収納溝20は、容器本体12の上端部全周に亘って設けられている。ガスケット収納溝20は上方に開口して形成されており、その内部に容器内外を気密にシールするガスケット21が収納されている。蓋体16の下端部には、前記ガスケット収納溝20に嵌合する嵌合溝22が設けられている。この嵌合溝22は、下方に開口して形成され、蓋体16の下端部の全周に亘って設けられている。嵌合溝22の内側壁22Aは、ガスケット収納溝20内に挿入され、ガスケット21に圧着して容器内外をシールする。嵌合溝22の外側壁22Bは、ガスケット収納溝20の外側を覆うカバーとなっている。
【0015】
容器本体12と蓋体16との間には、蓋体16を容器本体12に対して確実に固定すると共に容易に取り外すための簡易着脱機構23が設けられている。この簡易着脱機構23は、図4から図7に示すように主に、嵌合板25と、被嵌合部26と、分離手段27とから構成されている。
【0016】
嵌合板25は、蓋体16の嵌合溝22の外側壁22Bから、容器本体12側へ延出して形成されている。この嵌合板25は蓋体16の側壁の4カ所に設けられている。嵌合板25の中央には、後述する嵌合突起29に嵌合する嵌合孔25Aが設けられている。この嵌合板25は、弾力性を有しており、外方向(図7中の右方向)に撓むことができるようになっている。
【0017】
被嵌合部26は、容器本体12の上部のうち、前記嵌合板25に対応する位置に設けられている。この被嵌合部26は主に、凹部28と、この凹部28内に設けられた嵌合突起29とから構成されている。
【0018】
凹部28は、容器本体12の側壁12Aと、底板31と、両側板32とから構成され、横長の長方形状を有している。これにより、一定距離だけ隔てられた2枚の嵌合板25が同時に凹部28内に収納できるようになっている。凹部28内のうち、前記嵌合板25の嵌合孔25Aに対応する位置には、この嵌合孔25Aに嵌合して蓋体16を容器本体12に固定する前記嵌合突起29が設けられている。この嵌合突起29は、その上側に傾斜面29Aを有し、下側に嵌合面29Bを有している。傾斜面29Aは、下方へ向けて外側へせり出すように形成され、蓋体16を容器本体12に被せて上から押圧するときに、嵌合板25が摺接してこの嵌合板25を外方へ押し広げるようになっている。嵌合面29Bは、嵌合孔25Aに直接に当接して蓋体16を容器本体12に固定するようになっている。即ち、傾斜面29Aによって押し広げられた嵌合板25が嵌合突起29を覆い、嵌合突起29が嵌合孔25Aに整合したところで嵌り込んで、嵌合面29Bが嵌合孔25Aに当接した状態で、蓋体16を容器本体12に固定するようになっている。
【0019】
凹部28内の一側には、図1及び図5に示すように、内圧調整機構36が設けられている。この内圧調整機構36は、容器本体12の内外側間で気体の通過を許容して内部気圧を外部気圧と一致させると共に塵埃等の通過を制限するためのものである。
【0020】
内圧調整機構36は主に、連通管41と、内圧調整部42と、抜け落ち防止爪43とから構成されている。
【0021】
連通管41は薄板収納容器11の内外側間を連通するためのものである。この連通管41は、凹部28内において、容器本体12の側壁12Aから外部に突出して設けられ、その外径が先端側に向けて縮径したテーパ状に形成されている。
【0022】
内圧調整部42は、連通管41に着脱自在に取り付けられ、薄板収納容器11の内外側間で気体の通過を許容して内部気圧を外部気圧と一致させると共に塵埃等の通過を制限して内部を清浄な状態に保つためのものである。この内圧調整部42は、テーパ状の連通管41に整合して気密に嵌合するテーパ状の嵌合穴45を有する基端管部46と、この基端管部46の先端側に形成された基端側フランジ部47と、この基端側フランジ部47に重なり合って内部に濾材収納空間48を形成する先端側フランジ部49と、濾材収納空間48に装着され、薄板収納容器11の内外側間で気体の通過を許容すると共に塵埃等の通過を制限する濾材50と、先端側フランジ部49から先端側に延ばして設けられ、濾材50及び連通管41を介して内外側を連通する先端管部51とから構成されている。
【0023】
抜け落ち防止爪43は、連通管41に装着された内圧調整部42に係止してその抜け落ちを防止するためのものである。この抜け落ち防止爪43は、凹部28内において、連通管41と平行して設けられている。具体的には、容器本体12の側壁12Aから連通管41と平行に立ち上げた支持柱部43Aと、この支持柱部43Aの先端部に設けられた爪片43Bとから構成されている。支持柱部43Aは、その先端の爪片43Bが内圧調整部42の先端側フランジ部49に係止できる長さに設定されている。さらに、支持柱部43Aは弾性を有して撓むことができるようになっている。これにより、連通管41に内圧調整部42の基端管部46をはめ込んでそのまま押し込むことで、基端側フランジ部47及び先端側フランジ部49で支持柱部43Aが押し曲げられて、爪片43Bが先端側フランジ部49の先端側面に係止し、内圧調整部42が連通管41から抜け落ちるのを防止するようになっている。
【0024】
分離手段27は、図7に示すように、容器本体12側(下方)へ押圧されることで嵌合板25を被嵌合部26の嵌合突起29から分離するためのものである。この分離手段27は、傾斜面29Aに沿って嵌合板25を外側へ押し出す分離板27Aと、この分離板27Aを支持する足部27Bとから構成されている。
【0025】
[動作]
以上のように構成された薄板収納容器11では、次のようにして蓋体16が容器本体12に対して、取り付け及び取り外しがなされる。
【0026】
まず、ウエハキャリア14に半導体ウエハ13を多数収納して、ウエハキャリア14を容器本体12内に装着する。この状態で、蓋体16を容器本体12に取り付ける。具体的には、蓋体16を容器本体12に被せた状態で、この蓋体16を容器本体12側である下方に押圧する。これにより、簡易着脱機構23の嵌合板25が被嵌合部26に嵌合する。具体的には、嵌合板25が、被嵌合部26の嵌合突起29の傾斜面29Aに摺接して、この傾斜面29Aに沿って押し広げられながらこの嵌合突起29を覆う。そして、嵌合板25の嵌合孔25Aが、嵌合突起29と整合したところでこの嵌合突起29に嵌合して、蓋体16が容器本体12に対して固定される。
【0027】
蓋体16を容器本体12から取り外すときは、分離手段27を下方に押し下げて、分離板27Aを下方へ移動させる。これにより、嵌合突起29と嵌合板25との間に介在した分離板27Aが嵌合突起29の傾斜面29Aに沿って外方へ押し出される。これにより、嵌合板25が外方へ押され、嵌合突起29から分離される。これにより、ガスケット21及び嵌合板25の弾力性によって蓋体16が多少上方へずれて、この蓋体16の容器本体12への固定が解消される。そして、蓋体16を上方へ持ち上げて取り外す。
【0028】
一方、薄板収納容器11の輸送途中においては、周囲の気圧や気温が変化して薄板収納容器11の内外側間での圧力差が生じることがある。この場合、内圧調整機構36の濾材50が塵埃等の進入を抑えて空気の通過を許容し、内部気圧を外部気圧と一致させる。これにより、薄板収納容器11の内部気圧と外部気圧とを常に一致させることができる。この結果、薄板収納容器11の蓋体16の開放時に、内部気圧が外部気圧よりも低くなって、開放しづらくなる現象が解消する。
【0029】
また、内圧調整部42を取り付けるときには、その基端管部46を連通管41にはめてそのまま押し込む。これにより、基端管部46のテーパ状の嵌合穴45とテーパ状の連通管41とが気密に整合する。この場合、双方ともテーパ状に形成されているため、あまり強く押し込まなくても正確に整合して気密に嵌合する。
【0030】
この内圧調整部42を連通管41にはめて押し込むときに、抜け落ち防止爪43の爪片43Bの傾斜面に基端側フランジ部47が当接して支持柱部43Aを押し曲げられる。この状態で基端管部46が連通管41にはまり込んで、爪片43Bが先端側フランジ部49に係止して、内圧調整部42が固定される。
【0031】
このようにして、内圧調整部42が容易に取り付けられると共に抜け落ちが確実に防止される。
【0032】
薄板収納容器11や内圧調整部42の洗浄等の保守、整備を行うときは、内圧調整部42から抜け落ち防止爪43を外す。即ち、爪片43Bを押して先端側フランジ部49から外す。この状態で、先端管部51を掴んで内圧調整部42を連通管41から抜き取る。このとき、内圧調整部42の嵌合穴45と連通管41は、双方ともテーパ状に形成されているため、軽い力で容易に抜き取ることができる。
【0033】
次いで、薄板収納容器11を洗浄する。内圧調整部42は、必要に応じて、洗浄したり交換したりする。
【0034】
[効果]
以上のように、内圧調整部42の嵌合穴45と連通管41の双方をテーパ状にしたので、内圧調整部42の基端管部46を連通管41に容易にはめ込むことができる。しかも、互いに嵌合した基端管部46と連通管41との間は、双方ともにテーパ状であるために、正確に整合して十分な気密性が確保される。この結果、薄板収納容器11内の清浄状態が確保される。
【0035】
さらに、基端管部46と連通管41がテーパ状であるために、内圧調整部42は抜け落ち防止爪43を外して僅かにずらすだけで、容易に取り外すことができる。
【0036】
また、内圧調整部42を係止する抜け落ち防止爪43を設けたので、内圧調整部42の不用意な脱落を確実に防止することができる。
【0037】
また、内圧調整機構36によって、薄板収納容器11の内部気圧が外部気圧よりも低くなって開放しづらくなる現象が解消するため、蓋体16の取り外しが容易になる。
【0038】
さらに、内圧調整機構36は凹部28内に収納され、はみ出している部分がないので、薄板収納容器11の移動の際に内圧調整機構36が何かに接触して破損するのを確実に防止することができる。
【0039】
[変形例]
(1) 前記実施形態では、内圧調整機構36を容器本体12の凹部28に設けたが、容器本体12の他の部分に設けてもよく、また容器本体12以外に蓋体16に設けてもよい。なおこの場合は、搬送の際に邪魔にならない部分に設ける。
【0040】
(2) 前記実施形態では、抜け落ち防止爪43を先端側フランジ部49に係止するように設けたが、基端管部46に被係止部を設けて、抜け落ち防止爪43がその被係止部に係止するように設定してもよい。
【0041】
(3) 濾材50は、空気を通して塵埃等を遮断できる程度の濾過機能を持たせる。その程度は、薄板収納容器11内に要求される清浄度に応じて設定する。
【0042】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明の薄板収納容器によれば次のような効果を奏する。
【0043】
(1) 内圧調整部の嵌合穴と連通管の双方をテーパ状にしたので、内圧調整部の基端管部を連通管に容易にはめ込むことができるようになると共に、内圧調整部を僅かにずらすだけで容易に取り外すことができるようになる。
【0044】
(2) 互いに嵌合する基端管部と連通管との間は、双方ともにテーパ状であるために、正確に整合して十分な気密性を確保することができ、薄板収納容器内を常に清浄な状態に保つことができるようになる。
【0045】
(3) 内圧調整部を係止する抜け落ち防止爪を設けたので、内圧調整部の不用意な脱落を確実に防止することができる。
【0046】
(4) 内圧調整機構によって、薄板収納容器の内部気圧と外部気圧とを常に同じ気圧に維持することができるため、蓋体の取り外しが容易になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る薄板収納容器の内圧調整機構を示す要部断面図である。
【図2】従来の薄板収納容器を示す側面断面図である。
【図3】従来の密閉容器の簡易着脱機構を示す要部断面図である。
【図4】本発明に係る薄板収納容器を示す側面断面図である。
【図5】本発明に係る薄板収納容器を示す側面図である。
【図6】本発明に係る薄板収納容器の蓋体を示す側面図である。
【図7】本発明に係る薄板収納容器の簡易着脱機構を示す要部断面図である。
【符号の説明】
11:薄板収納容器、12:容器本体、13:半導体ウエハ、14:ウエハキャリア、16:蓋体、17:ウエハ支持具、23:簡易着脱機構、25:嵌合板、26:被嵌合部、27:分離手段、28:凹部、29:嵌合突起、36:内圧調整機構、41:連通管、42:内圧調整部、43:抜け落ち防止爪、43A:支持柱部、43B:爪片、45:嵌合穴、46:基端管部、47:基端側フランジ部、48:濾材収納空間、49:先端側フランジ部、50:濾材、51:先端管部。
Claims (1)
- 複数の薄板を内部に収納支持する容器本体と、この容器本体内に薄板を収納した状態で施蓋して内部を清浄な状態に保つ蓋体と、前記容器本体又は蓋体に取り付けられ内外側間での圧力差を調整する内圧調整機構とを備えた薄板収納容器において、
前記内圧調整機構が、
前記容器本体又は蓋体にその壁面から外部に突出して設けられ、内外側間を連通すると共にその外径が先端側に向けて縮径したテーパ状に形成された連通管と、
この連通管に着脱自在に取り付けられ、内外側間で気体の通過を許容して内部気圧を外部気圧と一致させると共に塵埃の通過を制限して内部を清浄な状態に保つ内圧調整部と、
前記連通管に併設され、この連通管に装着された内圧調整部に係止してその抜け落ちを防止する抜け落ち防止爪とからなり、
前記内圧調整部が、
前記テーパ状の連通管に整合して気密に嵌合するテーパ状の嵌合穴を有する基端管部と、
この基端管部の先端側に前記嵌合穴を塞いで設けられ、気体の通過を許容すると共に塵埃の通過を制限する濾材とを備えて構成されたことを特徴とする薄板収納容器。
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