JP6705090B2 - 基板収納容器 - Google Patents
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Description
図1に示される基板収納容器1は、図示されない複数の基板、例えば、直径450mmのウェハなどを収納可能なものであり、容器本体2と、蓋体3とを備える。ただし、基板収納容器1は、基板を直接収納するのではなく、基板を収納したキャリアを収納するものであってもよい。
図2(a)に示される蓋体3は、容器本体2の開口をシール可能な外形形状及び寸法で形成されるもので、開口(図示なし)を有する筐体3aと、筐体3aの開口を覆うカバープレート3bと、ラッチ機構3cとを有する。
貫通穴30及び保持部4を説明する前に、挿入部材5について説明する。
図3に示される貫通穴30は、第1の貫通穴31と、第2の貫通穴32とで形成されている。
まず、弾性片41の被操作部41cを、カバープレート3bの第2の貫通穴32の外側に押圧することで、弾性片41をフィルタ部材5の挿入(取外)方向と略直交する方向に変位させる。すると、係止爪部41bもフィルタ部材5の挿入(取外)方向と略直交する方向に変位し、係止が解除される。このとき、フィルタ収納部53が取外し可能な位置になるまで、係止爪部41bを変位させるとよい。
まず、弾性片41の被操作部41cを、カバープレート3bの第2の貫通穴32の外側に押圧することで、弾性片41をフィルタ部材5の挿入方向と略直交する方向に変位させる。このとき、フィルタ収納部53を取付け可能な位置になるまで、係止爪部41bを変位させる。
(b),(c)を示す断面図である。
図6(a)に示される弾性片41は、弾性部141aが略N字状に形成されているものである。この弾性部141aは、挿入部材5の挿入方向と直交する方向以外に延びており、挿入部材5の挿入方向と平行な方向に2度屈曲されている。これにより、変位量を大きくすることができる。
2 容器本体、2a 天井面、2c 側面
20 貫通穴
3 蓋体、3a 筐体、3b カバープレート、3c ラッチ機構、3d ガスケット
30 貫通穴、31 第1の貫通穴、32 第2の貫通穴、33 円筒
4 保持部
41 弾性片、41a 弾性部、41b 係止爪部、41c 被操作部
42 周壁
5,5’ フィルタ部材(挿入部材)
51 第1の接続部、52 第2の接続部、53 フィルタ収納部、54 フィルタ
141a,241a 弾性部
Claims (5)
- 開口を有し基板を収納する容器本体と、前記開口をシール可能に覆う蓋体とを備える基板収納容器であって、
前記容器本体又は前記蓋体は、
前記基板収納容器の内部空間と外部空間とを連通し、かつ、挿入部材を挿入可能な貫通穴と、
前記挿入部材を保持する保持部と、が形成され、
前記保持部は、前記挿入部材の挿入方向と直交する方向に変位可能な弾性片を有し、
前記弾性片の自由端は、前記挿入部材の挿入方向と直交する方向以外に延びた後に、前記挿入部材の挿入方向と平行な方向に屈曲されて、再び、フィルタ部材の挿入方向と直交する方向以外に延びる略U字状の弾性部を有する
ことを特徴とする基板収納容器。 - 前記弾性部は、前記略U字状の部分に連続して、もう一度、前記挿入部材の挿入方向と平行な方向に屈曲され、フィルタ部材の挿入方向と直交する方向以外に延びることにより、略N字状に形成されている
ことを特徴とする請求項1に記載の基板収納容器。 - 前記保持部は、前記弾性片と対向する前記貫通穴の周壁の一部と、前記弾性片とで構成されている
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の基板収納容器。 - 前記弾性片の自由端は、
前記挿入部材を係止固定する係止爪部と、
前記弾性片自身を前記挿入部材の挿入方向と直交する方向に変位させる被操作部と、を有する
ことを特徴とする請求項1から3までのいずれか1項に記載の基板収納容器。 - 前記挿入部材は、フィルタ部材である
ことを特徴とする請求項1から4までのいずれか1項に記載の基板収納容器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2016117431A JP6705090B2 (ja) | 2016-06-13 | 2016-06-13 | 基板収納容器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2016117431A JP6705090B2 (ja) | 2016-06-13 | 2016-06-13 | 基板収納容器 |
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JP2017224659A JP2017224659A (ja) | 2017-12-21 |
JP6705090B2 true JP6705090B2 (ja) | 2020-06-03 |
Family
ID=60687050
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2016117431A Active JP6705090B2 (ja) | 2016-06-13 | 2016-06-13 | 基板収納容器 |
Country Status (1)
Country | Link |
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Families Citing this family (2)
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Family Cites Families (4)
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2016
- 2016-06-13 JP JP2016117431A patent/JP6705090B2/ja active Active
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Publication number | Publication date |
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JP2017224659A (ja) | 2017-12-21 |
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