WO2017090143A1 - 基板収納容器 - Google Patents

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substrate storage
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侑矢 成田
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ミライアル株式会社
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Definitions

  • the present invention relates to a substrate storage container used when storing, storing, transporting, transporting, and the like, a substrate made of a semiconductor wafer or the like.
  • a substrate storage container for storing and transporting a substrate made of a semiconductor wafer
  • a structure including a container main body and a lid is known.
  • the one end part of the container body has an opening peripheral part in which the container body opening is formed.
  • the other end of the container body has a closed cylindrical wall.
  • a substrate storage space is formed in the container body.
  • the substrate storage space is formed by being surrounded by a wall portion, and can store a plurality of substrates.
  • the lid can be attached to and detached from the peripheral edge of the opening, has a seal member attaching portion, and can close the container main body opening.
  • the seal member is attached to the seal member mounting portion of the lid, can contact the peripheral edge of the opening, is interposed between the peripheral edge of the opening and the lid, and is in close contact with the peripheral edge of the opening,
  • a container main body opening part is obstruct
  • a front retainer is provided in a portion of the lid that faces the substrate storage space when the container main body opening is closed.
  • the front retainer can support the edges of the plurality of substrates when the container main body opening is closed by the lid.
  • the back substrate support portion is provided on the wall portion so as to be paired with the front retainer.
  • the back side substrate support part can support the edges of a plurality of substrates.
  • the gas permeation amount in the sealing member is small when the substrate is stored in the container body of the substrate storage container and the container body opening of the container body is closed by the lid.
  • dry gas hereinafter referred to as purge gas
  • purge gas dry gas
  • inert gas such as nitrogen or moisture has been removed (1% or less)
  • purge gas dry gas
  • Such a pressurized state in the substrate storage container is preferably maintained for as long a time as possible, and it is preferable that an increase in humidity in the substrate storage container is suppressed as long as possible. For this reason, it is requested
  • the present invention has a cylindrical wall portion having an opening peripheral portion formed with a container body opening portion at one end portion and closed at the other end portion, and a plurality of substrates can be accommodated by the inner surface of the wall portion.
  • a container main body in which a substrate storage space communicating with the container main body opening is formed, and is detachable from the container main body opening has a seal member attaching portion, and can close the container main body opening
  • a lid, and is attached to the seal member mounting portion of the lid, can contact the peripheral edge of the opening, and is in close contact with the peripheral edge of the opening by being interposed between the peripheral edge of the opening and the lid
  • a sealing member that closes the container main body opening in an airtight state together with the lid, and the sealing member includes a base fixed to the sealing member mounting portion, and the opening peripheral portion.
  • a container contact tip having a body contact part that contacts the container And connecting the base and the container abutting tip, and being connected to the base-side deformable portion and the base-side deformable portion capable of elastically deforming the container abutting tip with respect to the base. And a protrusion protruding from an outer surface of the container contact tip.
  • the container contact tip in the swinging direction of the container contact tip The thickness of the part relates to a substrate storage container configured to be thicker than the thickness of the base side deformation part.
  • the container contact tip In the swinging direction of the container contact tip, it is preferable that the container contact tip be thicker than at least a part of the base side deformed portion. Further, the container contact tip has a bent portion that is bent toward a portion of the peripheral edge of the opening with which the main body contact portion abuts at a predetermined portion from the protrusion to the main body contact portion. It is preferable.
  • the seal member is preferably made of fluororubber.
  • a substrate storage container that can maintain a pressurized state for a longer time in the substrate storage container and can suppress an increase in humidity in the substrate storage container.
  • FIG. 1 is an exploded perspective view showing a state in which a substrate W is stored in a substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view showing the sealing member 4, the lid 3, and the opening peripheral edge 28 before the container main body opening 21 of the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention is closed. is there.
  • FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view showing the seal member 4, the lid 3, and the opening peripheral edge 28 when the container main body opening 21 of the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention is closed. is there.
  • a direction from the container body 2 described later to the lid 3 is defined as the front direction D11, and the opposite direction is defined as the rear direction D12. These are collectively defined as the front-rear direction D1.
  • a direction (upward direction in FIG. 1) from the lower wall 24 described later to the upper wall 23 is defined as an upward direction D21, and the opposite direction is defined as a downward direction D22.
  • a direction from the second side wall 26 to be described later to the first side wall 25 (a direction from the lower right to the upper left in FIG. 1) is defined as the left direction D31, and the opposite direction is defined as the right direction D32.
  • arrows indicating these directions are shown.
  • the substrate W (see FIG. 1) stored in the substrate storage container 1 is a disk-shaped silicon wafer, glass wafer, sapphire wafer, etc., and is a thin one used in the industry.
  • the substrate W in the present embodiment is a silicon wafer having a diameter of 300 mm.
  • the substrate storage container 1 is used as an in-process container for storing a substrate W made of a silicon wafer as described above and transporting it in a process in a factory.
  • the container body 2 includes a substrate support plate-like portion 5 and a back substrate support portion (not shown), and the lid body 3 includes a front retainer (not shown).
  • the container body 2 has a cylindrical wall portion 20 in which a container body opening 21 is formed at one end and the other end is closed.
  • a substrate storage space 27 is formed in the container body 2.
  • the substrate storage space 27 is formed so as to be surrounded by the wall portion 20.
  • the substrate support plate-shaped portion 5 is disposed in a portion of the wall portion 20 that forms the substrate storage space 27. As shown in FIG. 1, a plurality of substrates W can be stored in the substrate storage space 27.
  • the substrate support plate-like portion 5 is provided on the wall portion 20 so as to form a pair in the substrate storage space 27.
  • the substrate support plate-like portion 5 abuts the edges of the plurality of substrates W to separate the adjacent substrates W at a predetermined interval.
  • the edges of the plurality of substrates W can be supported in a state where they are aligned in parallel.
  • a back side substrate support part (not shown) is provided on the back side of the substrate support plate-like part 5.
  • the back substrate support (not shown) is provided on the wall 20 so as to form a pair with a front retainer (not shown) described later in the substrate storage space 27.
  • the back substrate support (not shown) abuts the edges of the plurality of substrates W, thereby The rear part can be supported.
  • the lid 3 can be attached to and detached from the opening peripheral edge 28 (FIG. 1 and the like) forming the container body opening 21 and can close the container body opening 21.
  • the front retainer (not shown) is provided in a portion of the lid 3 that faces the substrate storage space 27 when the container main body opening 21 is closed by the lid 3.
  • the front retainer (not shown) is disposed inside the substrate storage space 27 so as to be paired with the back side substrate support portion (not shown).
  • the front retainer (not shown) supports the front part of the edges of the plurality of substrates W by contacting the edges of the plurality of substrates W when the container body opening 21 is closed by the lid 3. Is possible.
  • the front retainer (not shown) supports the plurality of substrates W in cooperation with the back side substrate support portion (not shown) when the container body opening 21 is closed by the lid 3.
  • a plurality of substrates W are held in a state in which adjacent substrates W are separated from each other at a predetermined interval and arranged in parallel.
  • the substrate storage container 1 is made of a resin such as a plastic material.
  • the resin of the material include polycarbonate, cycloolefin polymer, polyetherimide, polyetherketone, and polybutyl.
  • examples thereof include thermoplastic resins such as terephthalate, polyether ether ketone, and liquid crystal polymer, and alloys thereof.
  • conductive substances such as carbon fibers, carbon powder, carbon nanotubes, and conductive polymers are selectively added. It is also possible to add glass fiber, carbon fiber or the like in order to increase the rigidity.
  • the wall portion 20 of the container body 2 includes a back wall 22, an upper wall 23, a lower wall 24, a first side wall 25, and a second side wall 26.
  • the back wall 22, the upper wall 23, the lower wall 24, the first side wall 25, and the second side wall 26 are made of the above-described materials and are integrally formed.
  • the first side wall 25 and the second side wall 26 face each other, and the upper wall 23 and the lower wall 24 face each other.
  • the rear end of the upper wall 23, the rear end of the lower wall 24, the rear end of the first side wall 25, and the rear end of the second side wall 26 are all connected to the back wall 22.
  • the front end of the upper wall 23, the front end of the lower wall 24, the front end of the first side wall 25, and the front end of the second side wall 26 have a positional relationship facing the back wall 22 and have a substantially rectangular shape. Opening peripheral edge portion 28 is formed.
  • the opening peripheral edge 28 is provided at one end of the container main body 2, and the back wall 22 is located at the other end of the container main body 2.
  • the outer shape of the container body 2 formed by the outer surface of the wall portion 20 is box-shaped.
  • the inner surface of the wall portion 20, that is, the inner surface of the back wall 22, the inner surface of the upper wall 23, the inner surface of the lower wall 24, the inner surface of the first side wall 25, and the inner surface of the second side wall 26 are surrounded by these. 27 is formed.
  • the container main body opening 21 formed in the opening peripheral edge portion 28 is surrounded by the wall portion 20 and communicates with the substrate storage space 27 formed in the container main body 2. A maximum of 25 substrates W can be stored in the substrate storage space 27.
  • latch engaging recesses 40 ⁇ / b> A and 40 ⁇ / b> B that are recessed toward the outside of the substrate storage space 27 in the upper wall 23 and the lower wall 24 and in the vicinity of the opening peripheral edge 28.
  • 41A, 41B are formed.
  • a total of four latch engagement recesses 40A, 40B, 41A, 41B are formed in the vicinity of the left and right ends of the upper wall 23 and the lower wall 24, one each.
  • ribs 235 are integrally formed with the upper wall 23 on the outer surface of the upper wall 23.
  • the rib 235 increases the rigidity of the container body 2.
  • a top flange 236 is fixed to the central portion of the upper wall 23.
  • the top flange 236 is a member that is a portion that is hung and suspended in the substrate storage container 1 when the substrate storage container 1 is suspended in an AMHS (automatic wafer conveyance system), a PGV (wafer substrate conveyance cart), or the like.
  • the two through holes at the end of the lower wall 24 in the front direction D11 that is, the two through holes near the container main body opening 21 in the lower wall 24 discharge the gas inside the container main body 2.
  • the two through holes at the end in the rear direction D12 that is, the two through holes near the back wall 22 in the lower wall 24, are used for supplying gas into the container. It is a pore (not shown).
  • An air supply filter part (not shown) and an exhaust filter part 81 are arranged in the through holes of the air supply hole (not shown) and the exhaust hole 46, respectively.
  • the gas flow path inside the air supply filter unit (not shown) and the exhaust filter unit 81 constitutes a part of a ventilation path that allows the substrate storage space 27 and the space outside the container body 2 to communicate with each other.
  • the air supply filter part (not shown) and the exhaust filter part 81 are arranged on the wall part 20 having the lower wall 24, and the air supply filter part (not shown) and the exhaust filter part In 81, gas can pass between the space outside the container body 2 and the substrate storage space 27 through a filter (not shown).
  • An air supply filter unit (not shown) removes inert gas such as nitrogen or moisture (less than 1%) from the space outside the container body 2 to the substrate storage space 27 at a rate of 20 L (liter) or more per minute. Can pass through the dry air (hereinafter referred to as purge gas).
  • the exhaust filter unit 81 can pass air and purge gas from the substrate storage space 27 to a space outside the container body 2.
  • the lid 3 has a substantially rectangular shape that substantially matches the shape of the opening peripheral edge 28 of the container body 2 as shown in FIG.
  • the lid 3 can be attached to and detached from the opening peripheral edge 28 of the container main body 2, and the lid 3 can close the container main body opening 21 by attaching the lid 3 to the opening peripheral edge 28.
  • An inner surface 301 of the lid body 3 (a surface on the back side of the lid body 3 shown in FIG. 1; see FIG. 2 and the like), immediately after the opening peripheral edge portion 28 when the lid body 3 closes the container main body opening 21.
  • annular groove 304 formed around the periphery of the lid body 3 on the inner surface 301 of the lid body 3.
  • the portion of the lid 3 that forms the annular groove 304 constitutes a seal member attachment portion 303.
  • An annular seal member 4 is attached to the seal member attachment portion 303.
  • the seal member 4 is preferably made of various thermoplastic elastomers such as elastically deformable polyester-based and polyolefin-based materials, fluororubber, silicon rubber, etc. In this embodiment, the seal member 4 is made of fluororubber. is there.
  • the seal member 4 is arranged so as to go around the outer peripheral edge of the lid 3.
  • the seal member 4 can contact the opening peripheral portion 28, and is in close contact with the opening peripheral portion 28, so that the seal surface 281 and the lid 3 are in contact with each other.
  • the lid 3 is sandwiched between the inner surface 301 and elastically deformed, and the lid 3 together with the seal member 4 closes the container body opening 21 in a sealed state (airtight state).
  • the substrate W can be taken into and out of the substrate storage space 27 in the container body 2.
  • the seal member 4 has a base 41, a base-side deformed portion 42, a container contact tip 43, and a protrusion 44.
  • the base part 41, the base part side deformation part 42, the container contact tip part 43, and the projection part 44 are integrally formed of fluoro rubber.
  • the base portion 41 has a substantially rectangular shape in a cross section orthogonal to the circumferential direction of the lid body 3, and an end portion in the rear direction D ⁇ b> 12 is directed from the center of the lid body 3 to the peripheral edge 302. It has a shape cut out in the direction (left direction in FIG. 2), and has a thin portion in which the thickness of the base portion 41 in the left-right direction D3 is thin. The portion of the base 41 above the thin portion is fitted and fixed in the annular groove 304 of the seal member mounting portion 303.
  • the base-side deformable portion 42 has a base 41 that extends in the direction from the center of the lid 3 toward the periphery 302 along the inner surface 301 of the lid 3 in a cross section orthogonal to the circumferential direction of the lid 3. It extends from the lower end of the.
  • the extending end portion of the base side deforming portion 42 is connected to the container contact tip portion 43. That is, the base side deformation portion 42 connects the base portion 41 and the container abutting tip portion 43 and elastically deforms, so that in a cross section orthogonal to the circumferential direction of the lid body 3 as shown in FIGS.
  • the container contact tip 43 can be swung with respect to the base 41 using the tip of the protrusion 44 as a fulcrum.
  • the container in the direction orthogonal to the extending direction of the base side deformable portion 42 and in the direction orthogonal to the inner surface 301 of the lid 3, that is, in the swinging direction of the container contact tip 43 described later.
  • the thickness a of the contact tip 43 is configured to be thicker than the thickness b of the base side deformable portion 42 in the same direction. Specifically, the thickness b of the base side deformation portion 42 in the same direction is 0.8 mm, whereas the thickness a of the container contact tip portion 43 in the same direction is 0.95 mm.
  • the thickness b of the base-side deformable portion 42 is constant from the base end portion of the base-side deformable portion 42 connected to the base portion 41 to the tip-side end portion connected to the container contact tip portion 43. It is. Further, the thickness a of the container abutting distal end portion 43 is a distal end portion that is a free end portion of the container abutting distal end portion 43 from the proximal end portion of the container abutting distal end portion 43 connected to the base side deformable portion 42. It is constant until it reaches.
  • the thickness a of the main body contact portion 431 of the container contact tip 43 that contacts the opening peripheral edge portion 28 is larger than the thickness of the base side deformation portion 42b in the same direction. It is also made thick.
  • the container abutting distal end portion 43 is connected to the base side deformable portion 42 from the base end side where the protruding portion 44 exists, along the inner surface 301 of the lid body 3 in a direction from the center of the lid body 3 toward the peripheral edge 302. It extends to a position and bends by bending at that position, and extends linearly in the direction of the opening peripheral edge 28, more specifically, in the direction from the center of the lid 3 toward the peripheral edge 302 and in the oblique rearward direction D12. ing.
  • the bent portion constitutes a bent portion 432
  • the extended end portion of the container abutting tip portion 43 constitutes a main body abutting portion 431 that abuts on the opening peripheral edge portion 28 as shown in FIG.
  • the protrusion 44 is present at the portion of the container contact tip 43 that is connected to the base deforming portion 42.
  • the protrusion 44 protrudes in the front direction D11 from the outer surface of the container contact tip 43 facing the inner surface 301 of the lid 3 toward the inner surface 301 of the lid 3.
  • the height of the protrusion 44 from the outer surface of the container contact tip 43 in the protruding direction of the protrusion 44 is 0.6 mm.
  • the thickness of the protrusion 44 in the direction orthogonal to the protruding direction of the protrusion 44 is 0.6 mm.
  • the tip of the protrusion 44 has a hemispherical shape, and the radius of the tip is 0.3 mm.
  • the lid 3 is provided with a latch mechanism.
  • the latch mechanism is provided in the vicinity of both left and right ends of the lid 3, and as shown in FIG. 1, two upper latch portions 32A and 32B that can project in the upward direction D21 from the upper side of the lid 3, and the lid 3, two lower latch portions (not shown) that can project in the downward direction D22 from the lower side of 3.
  • the two upper latch portions 32 ⁇ / b> A and 32 ⁇ / b> B are disposed in the vicinity of the left and right ends of the upper side of the lid 3, and the two lower latch portions are disposed in the vicinity of the left and right ends of the lower side of the lid 3.
  • An operation unit 33 is provided on the outer surface of the lid 3.
  • the upper latch portions 32A and 32B and the lower latch portion (not shown) can be protruded from the upper side and the lower side of the lid body 3, It can be set as the state which does not protrude from a lower side.
  • the upper latch portions 32A and 32B protrude from the upper side of the lid 3 in the upward direction D21, engage with the latch engagement recesses 40A and 40B of the container body 2, and the lower latch portion (not shown) is the lid.
  • the lid body 3 is fixed to the opening peripheral edge portion 28 of the container body 2 by projecting in the downward direction D22 from the lower side of the container 3 and engaging with the latch engagement recesses 41A and 41B of the container body 2.
  • a recess (not shown) recessed outward from the substrate storage space 27 is formed.
  • a front retainer (not shown) is fixedly provided on the concave portion (not shown) and the lid 3 outside the concave portion.
  • the front retainer (not shown) has a front retainer substrate receiving portion (not shown).
  • Two front retainer substrate receiving portions (not shown) are arranged in pairs so as to form a pair with a predetermined interval in the left-right direction D3.
  • the front retainer substrate receiving portions arranged in pairs so as to form a pair in this way are provided in a state where 25 pairs are juxtaposed in the vertical direction D2.
  • the front retainer substrate receiving portion sandwiches and supports the edge of the edge of the substrate W.
  • the closing of the container main body opening 21 by the lid 3 and the seal member 4 will be described.
  • the inner surface 301 of the lid 3 is made to face the substrate storage space 27, and the lid 3 is positioned so as to coincide with the container body opening 21 when viewed in the front-rear direction D ⁇ b> 1.
  • the lid body 3 is moved in the rear direction D12 so as to approach the container main body opening 21, and the main body abutting portion 431 of the container abutting tip 43 of the seal member 4 is opened. 28.
  • the container contact tip portion 43 is configured to be thicker than the base-side deformable portion 42, so that it is difficult to elastically deform and the base-side deformable portion 42 is elastically deformed.
  • the container contact tip 43 swings substantially in the front-rear direction D ⁇ b> 1 (swing direction) with the protrusion 44 serving as a fulcrum (center) as a result of this elastic deformation. In this state, the container main body opening 21 is closed by the lid 3.
  • the thickness of the seal member 4 that blocks communication between the substrate storage space 27 and the outside of the substrate storage container 1 is indicated by an arrow A in FIG. It is the thickness of the container abutting tip 43 itself, or the sum of the thickness of the protrusion 44 and the thickness of the base side deformed portion 42 along the arrow B in FIG.
  • the substrate storage container 1 includes the cylindrical wall portion 20 having the opening peripheral edge portion 28 in which the container main body opening portion 21 is formed at one end portion and the other end portion being closed.
  • the inner surface can accommodate a plurality of substrates W and can be attached to and detached from the container main body 2 in which a substrate storage space 27 communicating with the container main body opening 21 is formed.
  • a lid 3 that can close the container main body opening 21, and a seal member mounting portion 303 of the lid 3 that can be brought into contact with the peripheral edge 28 of the opening.
  • the seal member 4 includes a base portion 41 fixed to the seal member mounting portion 303, a container contact tip portion 43 having a main body contact portion 431 that contacts the opening peripheral edge portion 28, a base portion 41, and a container contact tip portion 43.
  • a protrusion 44 that protrudes from the outer surface of the container contact tip 43.
  • the thickness of the container contact tip 43 is configured to be thicker than the thickness of the base side deformable portion 42.
  • the container contact tip 43 of the seal member 4 can be made difficult to deform, the base-side deformed portion 42 can be easily deformed, and the elastic force of the seal member 4 can be reduced. .
  • the contact (surface pressure) of the sealing member 4 with respect to the opening peripheral edge portion 28 can be set within a predetermined range.
  • the container contact tip 43 of the seal member 4 that blocks communication between the substrate storage space 27 and the outside of the substrate storage container 1 is sufficiently thick. Can be secured. And since the base side deformation
  • the amount of gas permeation through the seal member 4 when the substrate W is stored in the container body 2 of the substrate storage container 1 and the container body opening 21 of the container body 2 is closed by the lid 3 is reduced. be able to.
  • the pressurized state in the substrate storage container 1 when the inside of the substrate storage container 1 is pressurized and the gas purge is performed can be maintained for a long time, and the increase in humidity in the substrate storage container 1 is long. Time can be held down.
  • the thickness of the container contact tip portion 43 is configured to be thicker than at least a part of the base side deformable portion.
  • the container contact tip 43 has a bent portion 432 that bends toward a portion of the opening peripheral portion 28 with which the main body contact portion 431 contacts in a predetermined portion from the protrusion 44 toward the main body contact portion 431.
  • the container abutting tip portion 43 that is harder to deform than the base side deformable portion 42 can have a bent portion 432, and the main body abutting portion 431 of the container abutting tip portion 43 can be configured to have an opening periphery. It can be set as the structure which is easy to contact
  • the seal member 4 is made of fluororubber. With this configuration, the amount of moisture permeation through the seal member 4 can be suppressed.
  • FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view showing a sealing member 4A of the substrate storage container according to the second embodiment of the present invention.
  • the configuration of the seal member 4A is different from the configuration of the seal member 4 in the substrate storage container 1 according to the first embodiment. Since the configuration other than this is the same as the configuration of the substrate storage container 1 according to the first embodiment, the same configuration as each configuration in the first embodiment is denoted by the same reference numeral and description thereof is omitted.
  • the container contact tip portion 43A has a main body contact portion 431A that can contact the opening peripheral edge portion 28 (see FIG. 3 and the like).
  • a portion closer to the tip of the container abutting tip 43A than the main body abutting portion 431A is curved in a direction away from the surface of the opening peripheral edge 28 with which the main body abutting portion 431A abuts, and the container abutting tip 43A.
  • the tip 433A is directed in the direction of the base 41, and the tip portion 432A of the container contact tip 43A has a semicircular shape in a cross section orthogonal to the circumferential direction of the lid 3. Even in this configuration, the same effect as the seal member 4 in the first embodiment can be obtained.
  • the substrate storage container 1 according to the first embodiment is the product of the present invention. Further, a substrate storage container having a seal member having the same shape as the seal member of the embodiment of Patent Document 1 and having a seal member made of fluororubber was used as a comparative product 1. Further, a comparative container 2 is a substrate storage container having a sealing member having the same shape as the sealing member 4 of the embodiment of the conventional patent document 1 and having a sealing member made of polyester elastomer (PEE).
  • PEE polyester elastomer
  • the container main body opening 21 was closed with the lid 3, and inert N 2 gas was supplied at a rate of about 10 L (liter) / min to 30 L / min through an air supply filter section (not shown). After injecting at a predetermined amount within a range for a predetermined time and setting the relative humidity to 0%, the N 2 gas injection is stopped. Then, to determine the value of the relative humidity of 4 hours after stopping the injection of N 2 gas.
  • Table 1 The test results are as shown in Table 1 below.
  • the value of relative humidity is low, and it can be seen that the gas permeation amount (water permeation amount) in the seal member 4 is low.
  • the relative humidity value of the comparative product 1 having a different shape of the seal member is at least twice as high as that of the product of the present invention. It can be seen that the gas permeation amount (water permeation amount) in the seal member is high.
  • the relative humidity value is 30% or more higher than the value of the comparative product 1, and The value is 2.7 times higher than that of the product of the present invention.
  • the thickness of the base side deformable portion 42 is constant from the base end portion of the base side deformable portion 42 connected to the base portion 41 to the tip end side end connected to the container contact tip portion 43.
  • the thickness of the container abutting tip may be configured to be thicker than at least a part of the base-side deformed portion. Therefore, for example, the base-side deformable portion may have a partially thick portion or a thin portion in a cross section orthogonal to the circumferential direction of the lid.
  • the base, the container contact tip, the base-side deformed portion, the projection, and the like constituting the seal member are the same as the base 41 and the container contact tips 43, 43A constituting the seal member 4, 4A of the present embodiment.
  • the configuration is not limited to the base side deformable portion 42, the protruding portion 44, and the like.
  • the shape of the container main body and the lid, the number and dimensions of the substrates W that can be stored in the container main body are the shape of the container main body 2 and the lid 3 in this embodiment, It is not limited to dimensions.
  • the substrate storage container 1 is an in-process container that stores the substrate W and transports it in the process in the factory, but is not limited thereto.
  • the substrate storage container may be a shipping container for storing the substrate W and transporting the substrate W by transportation means such as land transportation means, air transportation means, and sea transportation means.

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Abstract

基板収納容器のシール部材４は、シール部材取付部３０３に固定される基部４１と、開口周縁部に当接する本体当接部４３１を有する容器当接先端部４３と、基部４１と容器当接先端部４３とを連結し、基部４１に対して容器当接先端部４３を揺動可能に弾性変形可能な基部側変形部４２と、基部側変形部４２に接続されている容器当接先端部４３の部分に存在し、容器当接先端部４３の外面から突出する突起部４４と、を有する。容器当接先端部４３の揺動方向において、容器当接先端部４３の厚さは、基部側変形部４２の厚さよりも厚く構成されている。

Description

基板収納容器
　本発明は、半導体ウェーハ等からなる基板を収納、保管、搬送、輸送等する際に使用される基板収納容器に関する。
　半導体ウェーハからなる基板を収納して搬送するための基板収納容器としては、容器本体と蓋体とを備える構成のものが、従来より知られている。
　容器本体の一端部は、容器本体開口部が形成された開口周縁部を有する。容器本体の他端部は、閉塞された筒状の壁部を有する。容器本体内には基板収納空間が形成されている。基板収納空間は、壁部により取り囲まれて形成されており、複数の基板を収納可能である。蓋体は、開口周縁部に対して着脱可能であり、シール部材取付部を有し、容器本体開口部を閉塞可能である。シール部材は、蓋体のシール部材取付部に取り付けられ、開口周縁部に当接可能であり、開口周縁部と蓋体との間に介在して開口周縁部に密着して当接することにより、蓋体と共に容器本体開口部を気密状態で閉塞する（例えば、特許文献１参照）。
　蓋体の部分であって容器本体開口部を閉塞しているときに基板収納空間に対向する部分には、フロントリテーナが設けられている。フロントリテーナは、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、複数の基板の縁部を支持可能である。また、フロントリテーナと対をなすようにして、奥側基板支持部が壁部に設けられている。奥側基板支持部は、複数の基板の縁部を支持可能である。奥側基板支持部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、フロントリテーナと協働して複数の基板を支持することにより、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板を保持する。
特開２００５－２５６９５８号公報
　基板収納容器においては、基板収納容器の容器本体に基板が収納され、容器本体の容器本体開口部が蓋体によって閉塞されているときに、シール部材におけるガス透過量が少ないことが好ましい。例えば、容器本体の外部から基板収納空間へ、窒素等の不活性ガスあるいは水分を除去（１％以下）したドライエア（以下、パージガスという）が流入され、基板収納容器内が加圧されて、ガスパージが行われる。基板収納容器内におけるこのような加圧状態は、極力長い時間維持されることが好ましく、また、基板収納容器内における湿度の上昇が極力長い時間抑えられることが好ましい。このため、より長い時間、加圧状態を維持できることや、より長い時間、基板収納容器内における湿度の上昇を抑えることができることが要求されている。
　本発明は、基板収納容器内において、より長い時間、加圧状態を維持でき、基板収納容器内における湿度の上昇を抑えることができる基板収納容器を提供することを目的とする。
　本発明は、一端部に容器本体開口部が形成された開口周縁部を有し、他端部が閉塞された筒状の壁部を備え、前記壁部の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、シール部材取付部を有し、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、前記蓋体の前記シール部材取付部に取り付けられ、前記開口周縁部に当接可能であり、前記開口周縁部と前記蓋体との間に介在して前記開口周縁部に密着して当接することにより、前記蓋体と共に前記容器本体開口部を気密状態で閉塞するシール部材と、を備え、前記シール部材は、前記シール部材取付部に固定される基部と、前記開口周縁部に当接する本体当接部を有する容器当接先端部と、前記基部と前記容器当接先端部とを連結し、前記基部に対して前記容器当接先端部を揺動可能に弾性変形可能な基部側変形部と、前記基部側変形部に接続されている前記容器当接先端部の部分に存在し、前記容器当接先端部の外面から突出する突起部と、を有し、前記容器当接先端部の揺動方向において、前記容器当接先端部の厚さは、前記基部側変形部の厚さよりも厚く構成されている基板収納容器に関する。
　また、前記容器当接先端部の揺動方向において、前記容器当接先端部の厚さは、少なくとも前記基部側変形部の一部の厚さよりも厚く構成されていることが好ましい。また、前記容器当接先端部は、前記突起部から前記本体当接部へ向った所定の部分において、前記本体当接部が当接する前記開口周縁部の部分へ向って屈曲する屈曲部を有することが好ましい。また、前記シール部材は、フッ素ゴムにより構成されていることが好ましい。
　本発明によれば、基板収納容器内において、より長い時間、加圧状態を維持でき、基板収納容器内における湿度の上昇を抑えることができる基板収納容器を提供することができる。
本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１に基板Ｗが収納された様子を示す分解斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体開口部２１が閉塞される前のシール部材４と、蓋体３と、開口周縁部２８とを示す拡大断面図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体開口部２１が閉塞されたときのシール部材４と、蓋体３と、開口周縁部２８とを示す拡大断面図である。 本発明の第２実施形態に係る基板収納容器１のシール部材４Ａを示す拡大断面図である。
　以下、第１実施形態による基板収納容器１について、図面を参照しながら説明する。
　図１は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１に基板Ｗが収納された様子を示す分解斜視図である。図２は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体開口部２１が閉塞される前のシール部材４と、蓋体３と、開口周縁部２８とを示す拡大断面図である。図３は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体開口部２１が閉塞されたときのシール部材４と、蓋体３と、開口周縁部２８とを示す拡大断面図である。
　ここで、説明の便宜上、後述の容器本体２から蓋体３へ向かう方向（図１における右上から左下へ向かう方向）を前方向Ｄ１１と定義し、その反対の方向を後方向Ｄ１２と定義し、これらをあわせて前後方向Ｄ１と定義する。また、後述の下壁２４から上壁２３へと向かう方向（図１における上方向）を上方向Ｄ２１と定義し、その反対の方向を下方向Ｄ２２と定義し、これらをあわせて上下方向Ｄ２と定義する。また、後述する第２側壁２６から第１側壁２５へと向かう方向（図１における右下から左上へ向かう方向）を左方向Ｄ３１と定義し、その反対の方向を右方向Ｄ３２と定義し、これらをあわせて左右方向Ｄ３と定義する。図面には、これらの方向を示す矢印を図示している。
　また、基板収納容器１に収納される基板Ｗ（図１参照）は、円盤状のシリコンウェーハ、ガラスウェーハ、サファイアウェーハ等であり、産業に用いられる薄いものである。本実施形態における基板Ｗは、直径３００ｍｍのシリコンウェーハである。
　図１に示すように、基板収納容器１は、上述のようなシリコンウェーハからなる基板Ｗを収納して、工場内の工程において搬送する工程内容器として用いられるものであり、容器本体２と、蓋体３とから構成され、容器本体２は基板支持板状部５と奥側基板支持部（図示せず）とを、蓋体３はフロントリテーナ（図示せず）を備えている。
　容器本体２は、一端部に容器本体開口部２１が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部２０を有する。容器本体２内には基板収納空間２７が形成されている。基板収納空間２７は、壁部２０により取り囲まれて形成されている。壁部２０の部分であって基板収納空間２７を形成している部分には、基板支持板状部５が配置されている。基板収納空間２７には、図１に示すように、複数の基板Ｗを収納可能である。
　基板支持板状部５は、基板収納空間２７内において対をなすように壁部２０に設けられている。基板支持板状部５は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。基板支持板状部５の奥側には、奥側基板支持部（図示せず）が設けられている。
　奥側基板支持部（図示せず）は、基板収納空間２７内において後述するフロントリテーナ（図示せず）と対をなすように壁部２０に設けられている。奥側基板支持部（図示せず）は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより、複数の基板Ｗの縁部の後部を支持可能である。
　蓋体３は、容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８（図１等）に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能である。フロントリテーナ（図示せず）は、蓋体３の部分であって蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに基板収納空間２７に対向する部分に設けられている。フロントリテーナ（図示せず）は、基板収納空間２７の内部において奥側基板支持部（図示せず）と対をなすように配置されている。
　フロントリテーナ（図示せず）は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより複数の基板Ｗの縁部の前部を支持可能である。フロントリテーナ（図示せず）は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、奥側基板支持部（図示せず）と協働して複数の基板Ｗを支持することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗを保持する。
　基板収納容器１は、プラスチック材等の樹脂で構成されており、特に説明が無い場合には、その材料の樹脂としては、たとえば、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリブチルテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーといった熱可塑性樹脂やこれらのアロイ等が上げられる。これらの成形材料の樹脂には、導電性を付与する場合には、カーボン繊維、カーボンパウダー、カーボンナノチューブ、導電性ポリマー等の導電性物質が選択的に添加される。また、剛性を上げるためにガラス繊維や炭素繊維等を添加することも可能である。
　以下、各部について、詳細に説明する。
　図１に示すように、容器本体２の壁部２０は、奥壁２２と上壁２３と下壁２４と第１側壁２５と第２側壁２６とを有する。奥壁２２、上壁２３、下壁２４、第１側壁２５、及び第２側壁２６は、上述した材料により構成されており、一体成形されて構成されている。
　第１側壁２５と第２側壁２６とは対向しており、上壁２３と下壁２４とは対向している。上壁２３の後端、下壁２４の後端、第１側壁２５の後端、及び第２側壁２６の後端は、全て奥壁２２に接続されている。上壁２３の前端、下壁２４の前端、第１側壁２５の前端、及び第２側壁２６の前端は、奥壁２２に対向する位置関係を有し、略長方形状をした容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８を構成する。
　開口周縁部２８は、容器本体２の一端部に設けられており、奥壁２２は、容器本体２の他端部に位置している。壁部２０の外面により形成される容器本体２の外形は箱状である。壁部２０の内面、即ち、奥壁２２の内面、上壁２３の内面、下壁２４の内面、第１側壁２５の内面、及び第２側壁２６の内面は、これらによって取り囲まれた基板収納空間２７を形成している。開口周縁部２８に形成された容器本体開口部２１は、壁部２０により取り囲まれて容器本体２の内部に形成された基板収納空間２７に連通している。基板収納空間２７には、最大で２５枚の基板Ｗを収納可能である。
　図１に示すように、上壁２３及び下壁２４の部分であって、開口周縁部２８の近傍の部分には、基板収納空間２７の外方へ向かって窪んだラッチ係合凹部４０Ａ、４０Ｂ、４１Ａ、４１Ｂが形成されている。ラッチ係合凹部４０Ａ、４０Ｂ、４１Ａ、４１Ｂは、上壁２３及び下壁２４の左右両端部近傍に１つずつ、計４つ形成されている。
　図１に示すように、上壁２３の外面においては、リブ２３５が、上壁２３と一体成形されて設けられている。リブ２３５は、容器本体２の剛性を高める。
　また、上壁２３の中央部には、トップフランジ２３６が固定される。トップフランジ２３６は、ＡＭＨＳ（自動ウェーハ搬送システム）、ＰＧＶ（ウェーハ基板搬送台車）等において基板収納容器１を吊り下げる際に、基板収納容器１において掛けられて吊り下げられる部分となる部材である。
　下壁２４の四隅には、通気路として、２種類の貫通孔である給気孔（図示せず）と排気孔４６が形成されている。本実施形態においては、下壁２４の前方向Ｄ１１の端部の２箇所、即ち、下壁２４における容器本体開口部２１寄りの部分の２箇所の貫通孔は、容器本体２内部の気体を排出するための排気孔４６であり、後方向Ｄ１２の端部の２箇所、即ち、下壁２４における奥壁２２寄りの部分の２箇所の貫通孔は、容器内部に気体を給気するための給気孔（図示せず）である。給気孔（図示せず）と排気孔４６との貫通孔には、それぞれ給気用フィルタ部（図示せず）と排気用フィルタ部８１とが配置されている。
　給気用フィルタ部（図示せず）及び排気用フィルタ部８１の内部の気体の流路は、基板収納空間２７と容器本体２の外部の空間とを連通可能な通気路の一部を構成する。また、給気用フィルタ部（図示せず）と排気用フィルタ部８１とは、下壁２４を有する壁部２０に配置されており、給気用フィルタ部（図示せず）と排気用フィルタ部８１とにおいては、フィルタ（図示せず）を通して容器本体２の外部の空間と基板収納空間２７との間で気体が通過可能である。給気用フィルタ部（図示せず）は、容器本体２の外部の空間から基板収納空間２７へ、毎分２０Ｌ（リットル）以上の、窒素等の不活性ガスあるいは水分を除去（１％以下）したドライエア（以下、パージガスという）を通過可能である。同様に、排気用フィルタ部８１は、基板収納空間２７から容器本体２の外部の空間へ、エアやパージガスを通過可能である。
　蓋体３は、図１等に示すように、容器本体２の開口周縁部２８の形状と略一致する略長方形状を有している。蓋体３は容器本体２の開口周縁部２８に対して着脱可能であり、開口周縁部２８に蓋体３が装着されることにより、蓋体３は、容器本体開口部２１を閉塞可能である。蓋体３の内面３０１（図１に示す蓋体３の裏側の面。図２等参照）であって、蓋体３が容器本体開口部２１を閉塞しているときの開口周縁部２８のすぐ後方向Ｄ１２の位置に形成された段差の部分の面（シール面２８１）に対向する面には、蓋体３の内面３０１において蓋体３の周囲を一周するように形成された環状溝３０４（図２等参照）が形成されており、環状溝３０４を形成する蓋体３の部分は、シール部材取付部３０３を構成する。シール部材取付部３０３には、環状のシール部材４が取り付けられている。シール部材４は、弾性変形可能なポリエステル系、ポリオレフィン系など各種熱可塑性エラストマー、フッ素ゴム製、シリコンゴム製等により構成されることが好ましく、本実施形態では、シール部材４は、フッ素ゴム製である。シール部材４は、蓋体３の外周縁部を一周するように配置されている。
　蓋体３が開口周縁部２８に装着されたときに、シール部材４は、開口周縁部２８に当接可能であり、開口周縁部２８に密着して当接し、シール面２８１と蓋体３の内面３０１とにより挟まれて弾性変形し、蓋体３は、シール部材４と共に、容器本体開口部２１を密閉した状態（気密状態）で閉塞する。開口周縁部２８から蓋体３が取り外されることにより、容器本体２内の基板収納空間２７に対して、基板Ｗを出し入れ可能となる。
　シール部材４は、基部４１と、基部側変形部４２と、容器当接先端部４３と、突起部４４と、を有している。基部４１、基部側変形部４２、容器当接先端部４３、及び、突起部４４は、フッ素ゴムにより一体成形されて構成されている。基部４１は、図２に示すように、蓋体３の周方向に直交する断面では、略長方形状を有しており、後方向Ｄ１２における端部は、蓋体３の中心から周縁３０２へ向う方向（図２における左方向）に切り欠いた形状を有しており、左右方向Ｄ３における基部４１の厚さが薄く構成された薄肉部を有している。薄肉部よりも上側の基部４１の部分は、シール部材取付部３０３の環状溝３０４に嵌め込まれて固定されている。
　基部側変形部４２は、図２に示すように、蓋体３の周方向に直交する断面では、蓋体３の内面３０１に沿って蓋体３の中心から周縁３０２へ向う方向へ、基部４１の下端部から延びている。基部側変形部４２の延出端部は、容器当接先端部４３に接続されている。即ち、基部側変形部４２は、基部４１と容器当接先端部４３とを連結し、弾性変形することにより、図２、図３に示すように、蓋体３の周方向に直交する断面において、突起部４４の先端部を支点として、基部４１に対して容器当接先端部４３を揺動可能である。
　図２等に示すように、基部側変形部４２の延出方向に直交する方向且つ蓋体３の内面３０１に直交する方向、即ち、後述する容器当接先端部４３の揺動方向における、容器当接先端部４３の厚さａは、同方向おける基部側変形部４２の厚さｂよりも厚く構成されている。具体的には、同方向おける基部側変形部４２の厚さｂは、０．８ｍｍであるのに対して、同方向おける容器当接先端部４３の厚さａは、０．９５ｍｍである。基部側変形部４２のこの厚さｂは、基部４１に接続されている基部側変形部４２の基端部から容器当接先端部４３に接続されている先端側の端部に至るまで、一定である。また、容器当接先端部４３のこの厚さａは、基部側変形部４２に接続されている容器当接先端部４３の基端部から容器当接先端部４３の自由端部である先端部に至るまで、一定である。従って、容器当接先端部４３の揺動方向における、開口周縁部２８に当接する容器当接先端部４３の本体当接部４３１の厚さａは、同方向おける基部側変形部４２ｂの厚さよりも厚く構成されている。
　容器当接先端部４３は、基部側変形部４２に接続され突起部４４が存在する基端部側から、蓋体３の内面３０１に沿って蓋体３の中心から周縁３０２へ向う方向へ所定位置まで延び、その位置において折れ曲がることにより屈曲し、開口周縁部２８の方向、より具体的には、蓋体３の中心から周縁３０２へ向う方向で且つ斜め後方向Ｄ１２へ向って直線状に延びている。当該屈曲する部分は、屈曲部４３２を構成し、容器当接先端部４３の延出端部は、図３に示すように、開口周縁部２８に当接する本体当接部４３１を構成する。
　突起部４４は、基部側変形部４２に接続されている容器当接先端部４３の部分に存在する。突起部４４は、蓋体３の内面３０１に対向する容器当接先端部４３の外面から、蓋体３の内面３０１へ向って前方向Ｄ１１へ突出している。突起部４４の突出方向における容器当接先端部４３の外面からの突起部４４の高さは、０．６ｍｍである。突起部４４の突出方向に直交する方向における突起部４４の厚さは０．６ｍｍである。突起部４４の先端部は、半球形状を有しており、先端部の半径は、０．３ｍｍである。
　蓋体３においては、ラッチ機構が設けられている。ラッチ機構は、蓋体３の左右両端部近傍に設けられており、図１に示すように、蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出可能な２つの上側ラッチ部３２Ａ、３２Ｂと、蓋体３の下辺から下方向Ｄ２２へ突出可能な２つの下側ラッチ部（図示せず）と、を備えている。２つの上側ラッチ部３２Ａ、３２Ｂは、蓋体３の上辺の左右両端近傍に配置されており、２つの下側ラッチ部は、蓋体３の下辺の左右両端近傍に配置されている。
　蓋体３の外面においては操作部３３が設けられている。操作部３３を蓋体３の前側から操作することにより、上側ラッチ部３２Ａ、３２Ｂ、下側ラッチ部（図示せず）を蓋体３の上辺、下辺から突出させることができ、また、上辺、下辺から突出させない状態とすることができる。上側ラッチ部３２Ａ、３２Ｂが蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部４０Ａ、４０Ｂに係合し、且つ、下側ラッチ部（図示せず）が蓋体３の下辺から下方向Ｄ２２へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部４１Ａ、４１Ｂに係合することにより、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８に固定される。
　蓋体３の内側（図１に表れている蓋体３の外面に対する反対側）においては、基板収納空間２７の外方へ窪んだ凹部（図示せず）が形成されている。凹部（図示せず）及び凹部の外側の蓋体３の部分には、フロントリテーナ（図示せず）が固定されて設けられている。
　フロントリテーナ（図示せず）は、フロントリテーナ基板受け部（図示せず）を有している。フロントリテーナ基板受け部（図示せず）は、左右方向Ｄ３に所定の間隔で離間して対をなすようにして２つずつ配置されている。このように対をなすようにして２つずつ配置されたフロントリテーナ基板受け部は、上下方向Ｄ２に２５対並列した状態で設けられている。基板収納空間２７内に基板Ｗが収納され、蓋体３が閉じられることにより、フロントリテーナ基板受け部は、基板Ｗの縁部の端縁を挟持して支持する。
　次に、蓋体３及びシール部材４による容器本体開口部２１の閉塞について説明する。
　先ず、蓋体３の内面３０１を基板収納空間２７に対向させ、前後方向Ｄ１で見て蓋体３を容器本体開口部２１に一致する位置関係とさせる。そして、図２に示すように、蓋体３を後方向Ｄ１２へ移動させて容器本体開口部２１へ近づけてゆき、シール部材４の容器当接先端部４３の本体当接部４３１を開口周縁部２８に当接させる。
　そして更に、蓋体３を後方向Ｄ１２へ移動させることにより、容器当接先端部４３の本体当接部４３１が開口周縁部２８に押しつけられる。このとき、前述のように容器当接先端部４３は、基部側変形部４２よりも厚く構成されているため、弾性変形しにくく、基部側変形部４２が弾性変形する。この弾性変形により容器当接先端部４３は、図２、図３に示すように、突起部４４を支点（中心）として略前後方向Ｄ１（揺動方向）に揺動する。この状態で、蓋体３によって容器本体開口部２１は閉塞される。
　このように蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときには、基板収納空間２７と基板収納容器１の外部との連通を遮断するシール部材４の厚さは、図３における矢印Ａに沿った、容器当接先端部４３の厚さそのものであるか、又は、図３における矢印Ｂに沿った、突起部４４の厚さと基部側変形部４２の厚さとの和となる。
　上記構成の実施形態に係る基板収納容器１によれば、以下のような効果を得ることができる。
　上述のように基板収納容器１は、一端部に容器本体開口部２１が形成された開口周縁部２８を有し、他端部が閉塞された筒状の壁部２０を備え、壁部２０の内面によって、複数の基板Ｗを収納可能であり容器本体開口部２１に連通する基板収納空間２７が形成された容器本体２と、容器本体開口部２１に対して着脱可能であり、シール部材取付部３０３を有し、容器本体開口部２１を閉塞可能な蓋体３と、蓋体３のシール部材取付部３０３に取り付けられ、開口周縁部２８に当接可能であり、開口周縁部２８と蓋体３との間に介在して開口周縁部２８に密着して当接することにより、蓋体３と共に容器本体開口部２１を気密状態で閉塞するシール部材４と、を備える。
　シール部材４は、シール部材取付部３０３に固定される基部４１と、開口周縁部２８に当接する本体当接部４３１を有する容器当接先端部４３と、基部４１と容器当接先端部４３とを連結し、基部４１に対して容器当接先端部４３を揺動可能に弾性変形可能な基部側変形部４２と、基部側変形部４２に接続されている容器当接先端部４３の部分に存在し、容器当接先端部４３の外面から突出する突起部４４と、を有する。容器当接先端部４３の揺動方向において、容器当接先端部４３の厚さは、基部側変形部４２の厚さよりも厚く構成されている。
　この構成により、シール部材４の容器当接先端部４３を変形しにくくすることができるとともに、基部側変形部４２を変形しやすくすることができ、シール部材４の弾性力を小さくすることができる。この結果、シール部材４の開口周縁部２８への当接の当たり（面圧）を強くすることができ、且つ、蓋体３で容器本体開口部２１を閉塞する際に必要な力を所定の範囲に抑えて、シール部材４の開口周縁部２８への当接の当たり（面圧）を所定の範囲とすることができる。
　更に、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときには、基板収納空間２７と基板収納容器１の外部との連通を遮断するシール部材４の容器当接先端部４３の厚さを十分に確保することができる。そして、基部側変形部４２が容器当接先端部４３よりも薄く構成されるため、十分に厚さが確保された容器当接先端部４３を基部４１に対して揺動可能とすることができる。
　これらの結果、基板収納容器１の容器本体２に基板Ｗが収納され、容器本体２の容器本体開口部２１が蓋体３によって閉塞されているときの、シール部材４におけるガス透過量を少なくすることができる。これにより、基板収納容器１内が加圧されてガスパージが行われる際の、基板収納容器１内における加圧状態を長い時間維持することができ、基板収納容器１内における湿度の上昇を、長い時間抑えられることができる。
　また、容器当接先端部４３の揺動方向において、容器当接先端部４３の厚さは、少なくとも基部側変形部４２の一部の厚さよりも厚く構成されている。この構成により、基部側変形部４２において確実に弾性変形できるようにすることができるため、容器当接先端部４３を基部４１に対して揺動可能とすることができ、容器当接先端部４３の本体当接部４３１を確実に開口周縁部２８に当接した状態とすることができる。
　また、容器当接先端部４３は、突起部４４から本体当接部４３１へ向った所定の部分において、本体当接部４３１が当接する開口周縁部２８の部分へ向って屈曲する屈曲部４３２を有する。この構成により、基部側変形部４２よりも変形しにくい容器当接先端部４３の部分に屈曲部４３２を有する構成とすることができ、容器当接先端部４３の本体当接部４３１を開口周縁部２８に当接しやすい構成とすることができる。
　また、シール部材４は、フッ素ゴムにより構成されている。この構成により、シール部材４における水分の透過量を抑えることができる。
　次に、本発明の第２実施形態による基板収納容器について図４を参照しながら説明する。図４は、本発明の第２実施形態に係る基板収納容器のシール部材４Ａを示す拡大断面図である。
　第２実施形態による基板収納容器においては、シール部材４Ａの構成が第１実施形態による基板収納容器１におけるシール部材４の構成とは異なる。これ以外の構成については、第１実施形態による基板収納容器１の構成と同様であるため、第１実施形態における各構成と同様の構成については、同様の符号を付して説明を省略する。
　容器当接先端部４３Ａは、開口周縁部２８（図３等参照）に当接可能な本体当接部４３１Ａを有している。本体当接部４３１Ａよりも容器当接先端部４３Ａの先端部寄りの部分は、本体当接部４３１Ａが当接する開口周縁部２８の表面から離間する方向へ湾曲して、容器当接先端部４３Ａの先端４３３Ａは、基部４１の方向に指向し、容器当接先端部４３Ａの先端部分４３２Ａは、蓋体３の周方向に直交する断面では半円形状を有している。この構成においても、第１実施形態におけるシール部材４と同様の効果を得ることができる。
　次に、本実施形態による効果を試す試験を行なった。試験では、第１実施形態による基板収納容器１を本発明品とした。また、従来の特許文献１の実施形態のシール部材と同一の形状を有するシール部材であって、フッ素ゴムにより構成されたシール部材を有する基板収納容器を比較品１とした。また、従来の特許文献１の実施形態のシール部材４と同一の形状を有するシール部材であって、ポリエステルエラストマー（ＰＥＥ）により構成されたシール部材を有する基板収納容器を比較品２とした。試験においては、蓋体３によって容器本体開口部２１を閉塞した状態とし、給気用フィルタ部（図示せず）を通して不活性であるＮ２ガスを１０Ｌ（リットル）／ｍｉｎ～３０Ｌ／ｍｉｎ程度の範囲内の所定量で所定時間注入して、相対湿度を０％とした後に、Ｎ２ガスの注入を停止する。そして、Ｎ２ガスの注入を停止してから４時間後の相対湿度の値を求めた。試験結果は以下の表１に示すとおりである。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
  
　表１に示すように、本発明品では、相対湿度の値は低い値になっており、シール部材４におけるガス透過量（水分の透過量）が低いことが分かる。これに対して、本発明品とシール部材を構成する材質は同一であっても、シール部材の形状が異なる比較品１では、相対湿度の値は、本発明品の値の２倍以上の高い値になっており、シール部材におけるガス透過量（水分の透過量）が高いことが分かる。更に、比較品１と形状は同一であってもシール部材を構成する材質が異なる比較品２では、相対湿度の値は、比較品１の値よりも３０％以上高い値になっており、また、本発明品の値の２．７倍以上の高い値になっている。以上より、同一形状を有するシール部材であれば、ポリエステルエラストマー（ＰＥＥ）により構成されるシール部材よりもフッ素ゴムにより構成されるシール部材の方が、ガス透過量（水分の透過量）が低いことが分かる。そして、第１実施形態の形状を有するシール部材４は、極めてガス透過量（水分の透過量）が低いことが分かる。
　本発明は、上述した実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲に記載された技術的範囲において変形が可能である。
　例えば、基部側変形部４２の厚さは、基部４１に接続されている基部側変形部４２の基端部から容器当接先端部４３に接続されている先端側の端部に至るまで、一定であったが、これに限定されない。容器当接先端部の揺動方向において、容器当接先端部の厚さは、少なくとも基部側変形部の一部の厚さよりも厚く構成されていてもよい。従って、例えば、基部側変形部は、蓋体の周方向に直交する断面において、部分的に厚い部分や薄い部分を有していてもよい。
　また、シール部材を構成する基部、容器当接先端部、基部側変形部、突起部等の構成は、本実施形態のシール部材４、４Ａを構成する基部４１、容器当接先端部４３、４３Ａ、基部側変形部４２、突起部４４等の構成に限定されない。
　また、容器本体及び蓋体の形状、容器本体に収納可能な基板Ｗの枚数や寸法は、本実施形態における容器本体２及び蓋体３の形状、容器本体２に収納可能な基板Ｗの枚や寸法に限定されない。また、基板収納容器１は、基板Ｗを収納して、工場内の工程において搬送する工程内容器であったが、これに限定されない。例えば、基板収納容器は、基板Ｗを収納して、陸運手段・空運手段・海運手段等の輸送手段により基板Ｗを輸送するための出荷容器であってもよい。
１　基板収納容器
２　容器本体
３　蓋体
４、４Ａ　シール部材
７　溝部材（当接部）
２０　壁部
２１　容器本体開口部
２７　基板収納空間
２８　開口周縁部
４１　基部
４２　基部側変形部
４３、４３Ａ　容器当接先端部
４４　突起部
３０３　シール部材取付部
４３１、４３１Ａ　本体当接部
４３２　屈曲部
Ｗ　基板
ａ　容器当接先端部の厚さ
ｂ　基部側変形部の厚さ

Claims (4)

  1. 　一端部に容器本体開口部が形成された開口周縁部を有し、他端部が閉塞された筒状の壁部を備え、前記壁部の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、
    　前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、シール部材取付部を有し、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、
    　前記蓋体の前記シール部材取付部に取り付けられ、前記開口周縁部に当接可能であり、前記開口周縁部と前記蓋体との間に介在して前記開口周縁部に密着して当接することにより、前記蓋体と共に前記容器本体開口部を気密状態で閉塞するシール部材と、を備え、
    　前記シール部材は、
    　　前記シール部材取付部に固定される基部と、
    　　前記開口周縁部に当接する本体当接部を有する容器当接先端部と、
    　　前記基部と前記容器当接先端部とを連結し、前記基部に対して前記容器当接先端部を揺動可能に弾性変形可能な基部側変形部と、
    　　前記基部側変形部に接続されている前記容器当接先端部の部分に存在し、前記容器当接先端部の外面から突出する突起部と、を有し、
    　前記容器当接先端部の揺動方向において、前記容器当接先端部の厚さは、前記基部側変形部の厚さよりも厚く構成されている基板収納容器。
  2. 　前記容器当接先端部の揺動方向において、前記容器当接先端部の厚さは、少なくとも前記基部側変形部の一部の厚さよりも厚く構成されている請求項１に記載の基板収納容器。
  3. 　前記容器当接先端部は、前記突起部から前記本体当接部へ向った所定の部分において、前記本体当接部が当接する前記開口周縁部の部分へ向って屈曲する屈曲部を有する、請求項１又は請求項２に記載の基板収納容器。
  4. 　前記シール部材は、フッ素ゴムにより構成されている、請求項１～請求項３のいずれかに記載の基板収納容器。
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