JP6134056B2 - 基板収納容器 - Google Patents

Description

本発明は、半導体ウェーハ等の基板を収納する基板収納容器に関する。

半導体ウェーハ等の基板を収納する容器としては、容器本体と蓋体とを備える構成のものが、従来より知られている。

容器本体は、一端部に容器本体開口部が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部を有する。容器本体内には基板収納空間が形成されている。基板収納空間は、壁部により取り囲まれて形成されており、複数の基板を収納可能である。蓋体は、容器本体開口部に対して着脱可能であり、容器本体開口部を閉塞可能である。

蓋体の部分であって容器本体開口部を閉塞しているときに基板収納空間に対向する部分には、フロントリテーナが設けられている。フロントリテーナは、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、複数の基板の縁部を支持可能である。また、フロントリテーナと対をなすようにして、奥側基板支持部が壁部に設けられている。奥側基板支持部は、複数の基板の縁部を支持可能である。奥側基板支持部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、フロントリテーナと協働して複数の基板を支持することにより、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板を保持する。

また、蓋体には、シール部材が設けられている。シール部材は、蓋体のシール部材取付部に形成された保持溝に挿入されており、蓋体の外周縁部を一周するように配置されている。蓋体が開口周縁部に装着されたときに、シール部材は、容器本体のシール面と蓋体の内面とにより挟まれて弾性変形し、蓋体は、容器本体開口部を密閉した状態で閉塞する。開口周縁部から蓋体が取り外されることにより、容器本体内の基板収納空間に対して、基板が出し入れ可能となる（特許文献１〜３参照）。

特開２０１３−１０５９３１号公報 特開２００９−１７０５９１号公報 特開２００７−３０８１６１号公報

保持溝に挿入されるシール部材の基部の部分には、基部を保持溝から外れにくくするための突起が設けられている。このため、前述の従来の基板収納容器では、シール部材をシール部材取付部に取り付けたまま蓋体を洗浄液で洗浄した場合に、保持溝を形成するシール取付部の側壁の部分に当該突起が当接することにより形成される空間に、洗浄液が流入しやすい。そして、保持溝内のこの空間等に残留した洗浄液を乾燥させて除去することは、困難である。

本発明は、シール部材をシール部材取付部に取り付けたまま蓋体を洗浄液で洗浄した場合に、保持溝に洗浄液が残留しにくい基板収納容器を提供することを目的とする。

本発明は、複数の基板を収納可能な基板収納空間が内部に形成され、一端部に前記基板収納空間に連通する容器本体開口部が形成された開口周縁部を有する容器本体と、前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、周縁部対向部と前記開口周縁部に対向する周縁部対向部とを有し、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、前記蓋体の前記シール部材取付部に取り付けられ、前記開口周縁部及び前記周縁部対向部に当接可能であり、前記開口周縁部と前記周縁部対向部との間に介在して前記開口周縁部及び前記周縁部対向部に密着して当接することにより、前記蓋体と共に前記容器本体開口部を気密状態で閉塞するシール部材と、を備え、前記シール部材取付部は、溝底面及び一対の溝側面を有する保持溝を有し、前記シール部材は、先端面と前記先端面から延びる一対の側面とを有して前記先端面と前記一対の側面とが前記保持溝に挿入される基部と、前記基部から延びて前記開口周縁部及び前記周縁部対向部に当接するリップ部とを有し、前記保持溝に挿入された前記基部の先端面と前記溝底面とは、対向する位置関係を有し、前記保持溝に挿入された前記基部と前記溝底面と間には、底部空間が形成され、前記保持溝に挿入された前記基部の一対の側面と前記一対の溝側面とは、対向する位置関係を有し、前記保持溝に挿入された前記基部の一対の側面と前記一対の溝側面との間には、それぞれ前記保持溝の開口に連通する側面空間が形成され、前記底部空間と前記側面空間とは、連通している基板収納容器に関する。

また、前記側面空間は、前記シール部材取付部の前記保持溝において前記一対の溝側面の間の幅を広げるように前記一対の溝側面からそれぞれ窪んだ側面幅拡張凹部を有し、前記シール部材取付部は、前記側面幅拡張凹部を形成する側面凹部形成部と、前記側面幅拡張凹部が形成されていることにより前記側面幅拡張凹部の底部を形成する前記側面凹部形成部の部分から相対的に突出する一対の側面相対突出部とを有し、前記底部空間は、前記基部において前記基部の外郭から窪んだ基部凹部を有し、前記基部は、前記基部凹部を形成する基部凹部形成部と、前記基部凹部が形成されていることにより前記基部凹部の底部を形成する前記基部凹部形成部の部分から相対的に突出する基部相対突出部とを有し、前記基部は、前記保持溝において前記基部凹部形成部の一部分が前記一対の側面凹部形成部の間に配置される位置関係を有すると共に、前記基部凹部形成部の前記一部分以外の他の部分が一対の前記側面相対突出部の間に配置される位置関係を有して、前記保持溝に挿入されるか、又は、前記保持溝において前記一対の側面凹部形成部の一部分の間に前記基部凹部形成部が配置される位置関係を有すると共に、前記一対の側面凹部形成部の前記一部分以外の他の部分の間に前記基部相対突出部が配置される位置関係を有して、前記保持溝に挿入されることが好ましい。

また、前記側面幅拡張凹部が形成されている前記保持溝の部分の溝開口部は、前記溝開口部における前記保持溝の開口を広げるように前記溝底面に向かって窪んだ開口凹部を有することが好ましい。

また、前記リップ部は、前記蓋体が前記容器本体開口部を閉塞しているときに、前記開口周縁部に当接する周縁部当接リップ部と、前記周縁部対向部に当接する対向部当接リップ部とを有し、前記周縁部当接リップ部の前記開口周縁部への当接と、前記対向部当接リップ部の前記周縁部対向部への当接とにより、前記シール部材は、前記蓋体と共に前記容器本体開口部を気密状態で閉塞することが好ましい。

また、前記保持溝は、前記蓋体の周縁部分を一周するように形成され、前記底部空間及び前記側面空間は、前記蓋体の周縁部分に沿って前記保持溝を一周するように形成されていることが好ましい。

本発明によれば、シール部材をシール部材取付部に取り付けたまま蓋体を洗浄液で洗浄した場合に、保持溝に洗浄液が残留しにくい基板収納容器を提供することができる。

本発明の実施形態に係る基板収納容器１を示す分解斜視図である。 本発明の実施形態に係る基板収納容器１に基板Ｗが収納された様子を示す分解斜視図である。 本発明の実施形態に係る基板収納容器１においてフロントリテーナが取り外された状態の蓋体３を示す斜視図である。 本発明の実施形態に係る基板収納容器１においてフロントリテーナが取り外された状態の蓋体３を示す背面図である。 図４のＡ−Ａ線に沿った断面図である。 図４のＢ−Ｂ線に沿った断面図である。 図４のＣ−Ｃ線に沿った断面図である。 本発明の実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３の蓋体本体３０を示す斜視図である。 図８に示す二点鎖線で囲まれた部分を示す拡大斜視図である。 本発明の実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３のシール部材４を示す斜視図である。 本発明の実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３のシール部材４を示す拡大斜視図である。

以下、本発明の実施形態による基板収納容器１について、図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の実施形態に係る基板収納容器１を示す分解斜視図である。図２は、本発明の実施形態に係る基板収納容器１に基板Ｗが収納された様子を示す分解斜視図である。図３は、本発明の実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３を示す斜視図である。図４は、本発明の実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３を示す背面図である。

図５は、図４のＡ−Ａ線に沿った断面図である。図６は、図４のＢ−Ｂ線に沿った断面図である。図７は、図４のＣ−Ｃ線に沿った断面図である。図８は、本発明の実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３の蓋体本体３０を示す斜視図である。図９は、図８に示す二点鎖線で囲まれた部分近傍を示す拡大斜視図である。図１０は、本発明の実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３のシール部材４を示す斜視図である。図１１は、本発明の実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３のシール部材４を示す拡大斜視図である。

ここで、説明の便宜上、後述の容器本体２から蓋体３へ向かう方向（図１における右上から左下へ向かう方向）を前方向Ｄ１１と定義し、その反対の方向を後方向Ｄ１２と定義し、これらを前後方向Ｄ１と定義する。また、後述の下壁２４から上壁２３へと向かう方向（図１における上方向）を上方向Ｄ２１と定義し、その反対の方向を下方向Ｄ２２と定義し、これらを上下方向Ｄ２と定義する。また、後述する第２側壁２６から第１側壁２５へと向かう方向（図１における右下から左上へ向かう方向）を左方向Ｄ３１と定義し、その反対の方向を右方向Ｄ３２と定義し、これらを左右方向Ｄ３と定義する。

また、基板収納容器１に収納される基板Ｗ（図２参照）は、円盤状のシリコンウェーハ、ガラスウェーハ、サファイアウェーハ等であり、産業に用いられる薄いものである。本実施形態における基板Ｗは、直径３００ｍｍ〜４５０ｍｍのシリコンウェーハである。

図１〜図２に示すように、基板収納容器１は、上述のようなシリコンウェーハからなる基板Ｗを収納するためのものであり、容器本体２と、蓋体３と、側方基板支持部としての基板支持板状部５と、奥側基板支持部（図示せず）と、蓋体側基板支持部としてのフロントリテーナ（図示せず）とを有している。

図１に示すように、容器本体２は、一端部に容器本体開口部２１が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部２０を有する。容器本体２内には基板収納空間２７が形成されている。基板収納空間２７は、壁部２０により取り囲まれて形成されている。壁部２０の部分であって基板収納空間２７を形成している部分には、基板支持板状部５が配置されている。基板収納空間２７には、図２に示すように、複数の基板Ｗを収納可能である。

基板支持板状部５は、基板収納空間２７内において対をなすように壁部２０に設けられている。基板支持板状部５は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。基板支持板状部５の奥側には、奥側基板支持部（図示せず）が設けられている。

奥側基板支持部（図示せず）は、基板収納空間２７内においてフロントリテーナ（図示せず）と対をなすように壁部２０に設けられている。奥側基板支持部（図示せず）は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより、複数の基板Ｗの縁部の後部を支持可能である。

蓋体３は、容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８（図１等）に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能である。フロントリテーナ（図示せず）は、蓋体３の部分であって蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに基板収納空間２７に対向する部分に設けられている。フロントリテーナ（図示せず）は、基板収納空間２７の内部において奥側基板支持部（図示せず）と対をなすように配置されている。

フロントリテーナ（図示せず）は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより複数の基板Ｗの縁部の前部を支持可能である。フロントリテーナ（図示せず）は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、奥側基板支持部（図示せず）と協働して複数の基板Ｗを支持することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗを保持する。以下、各部について、詳細に説明する。

図１等に示すように、容器本体２の壁部２０は、奥壁２２と上壁２３と下壁２４と第１側壁２５と第２側壁２６とを有する。奥壁２２、上壁２３、下壁２４、第１側壁２５、及び第２側壁２６は、プラスチック材等により構成されており、本実施形態では、ポリカーボネートにより一体成形されて構成されている。

第１側壁２５と第２側壁２６とは対向しており、上壁２３と下壁２４とは対向している。上壁２３の後端、下壁２４の後端、第１側壁２５の後端、及び第２側壁２６の後端は、全て奥壁２２に接続されている。上壁２３の前端、下壁２４の前端、第１側壁２５の前端、及び第２側壁２６の前端は、奥壁２２に対向する位置関係を有し、略長方形状をした容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８を構成する。

開口周縁部２８は、容器本体２の一端部に設けられており、奥壁２２は、容器本体２の他端部に位置している。壁部２０の外面により形成される容器本体２の外形は箱状である。壁部２０の内面、即ち、奥壁２２の内面、上壁２３の内面、下壁２４の内面、第１側壁２５の内面、及び第２側壁２６の内面は、これらによって取り囲まれた基板収納空間２７を形成している。開口周縁部２８に形成された容器本体開口部２１は、壁部２０により取り囲まれて容器本体２の内部に形成された基板収納空間２７に連通している。基板収納空間２７には、最大で２５枚の基板Ｗを収納可能である。

図１、図２に示すように、上壁２３及び下壁２４の部分であって、開口周縁部２８の近傍の部分には、基板収納空間２７の外方へ向かって窪んだラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂが形成されている。ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂは、上壁２３及び下壁２４の左右両端部近傍に１つずつ、計４つ形成されている。

図１〜図２に示すように、上壁２３の外面においては、フランジ固定部（図示せず）及びリブ２３５Ａ、２３５Ｂが、上壁２３と一体成形されて設けられている。フランジ固定部（図示せず）は、上壁２３の中央部に配置されている。フランジ固定部（図示せず）には、トップフランジ２３６が固定される。トップフランジ２３６は、上壁２３の中央部に配置されている。トップフランジ２３６は、ＡＭＨＳ（自動ウェーハ搬送システム）、ＰＧＶ（ウェーハ基板搬送台車）等において基板収納容器１を吊り下げる際に、基板収納容器１において掛けられて吊り下げられる部分となる部材である。

リブ２３５Ａは、トップフランジ２３６から左前方向、右前方向にそれぞれ複数本延びている。また、リブ２３５Ｂは、トップフランジ２３６から前方向Ｄ１１に複数本延びており、また、トップフランジ２３６から後方向Ｄ１２に複数本延びている。

図１等に示すように、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８の形状と略一致する略長方形状を有している。蓋体３は容器本体２の開口周縁部２８に対して着脱可能であり、開口周縁部２８に蓋体３が装着されることにより、蓋体３は、容器本体開口部２１を閉塞可能である。蓋体３の内面（図１に示す蓋体３の裏側の面）であって、蓋体３が容器本体開口部２１を閉塞しているときの開口周縁部２８の開口縁のすぐ後方向Ｄ１２の位置に形成された段差の部分の面（シール面２８１）に対向する面には、環状のシール部材４が取り付けられている。

蓋体３が開口周縁部２８に装着されたときに、シール部材４の後述するリップ部４２は、シール面２８１と蓋体３の内面を構成する周縁部対向部３３１とにより挟まれて弾性変形し、蓋体３は、容器本体開口部２１を密閉した状態で閉塞する。開口周縁部２８から蓋体３が取り外されることにより、容器本体２内の基板収納空間２７に対して、基板Ｗを出し入れ可能となる。

より詳細には、蓋体３は、蓋体本体３０を有している。蓋体本体３０は、略長方形をした蓋体３の外郭を形成している。このため、蓋体本体３０は略長方形状を有する。蓋体本体３０は、内面３０１（図３等参照）と、外面３０２とを有している。内面３０１は、後述のように、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに基板収納空間２７に対向する。外面３０２は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、基板収納容器１の外部に露出する。蓋体本体３０は、プラスチック材等により構成されており、本実施形態では、ポリカーボネートにより成形されて構成されている。

蓋体本体３０の周縁の部分であって容器本体２の開口周縁部２８を構成するシール面２８１に対向する部分は、図５等に示すように、シール部材取付部３１１と周縁部対向部３３１とを有している。シール部材取付部３１１には、保持溝３２１が形成されている。シール部材取付部３１１は、蓋体本体３０の周縁の部分を一周するように存在して形成されており、保持溝３２１もシール部材取付部３１１に沿って、蓋体本体３０の周縁の部分を一周するように存在している。開口周縁部２８を構成するシール面２８１に対向する蓋体本体３０の周縁の部分であって、保持溝３２１よりも蓋体３の外方の部分により、周縁部対向部３３１は構成されている。周縁部対向部３３１は、蓋体本体３０の周縁の部分であって、左右方向Ｄ３及び上下方向Ｄ２に平行な板状の部分により構成されている。

保持溝３２１は、溝底面３２２及び一対の溝側面３２３を有している。図７に示すように、保持溝３２１の延びる方向に直交する方向で切った保持溝３２１の断面の形状は、矩形である。当該断面において、保持溝３２１の開口から保持溝３２１の深さ方向に延びる面は、一対の溝側面３２３を構成する。溝底面３２２は、保持溝３２１の底を構成する。保持溝３２１には、シール部材４の後述する基部４１が挿入される。これにより、シール部材４は、蓋体３のシール部材取付部３１１に取り付けられており、シール部材４のリップ部４２は、開口周縁部２８及び周縁部対向部３３１に当接可能である。

保持溝３２１に挿入された基部４１の一対の側面４１２と一対の溝側面３２３との間には、それぞれ保持溝３２１の開口に連通する空間である側面幅拡張凹部３２４により構成される側面空間が形成される。シール部材取付部３１１は、側面幅拡張凹部３２４を形成する側面凹部形成部３１２を有している。側面幅拡張凹部３２４は、シール部材取付部３１１の保持溝３２１において一対の溝側面３２３の間の幅を広げるように一対の溝側面３２３からそれぞれ窪んで形成されている。従って、側面幅拡張凹部３２４が形成されているため、保持溝３２１の一対の溝側面３２３の一部は、図９に示すように、互いに対向する位置関係で、略直方体形状で削り取られたような形状を有している。

図３、図８、図９に示すように、左右方向Ｄ３におけるシール部材取付部３１１の中央部分であって、側面幅拡張凹部３２４が形成されている保持溝３２１の部分の溝開口部は、空間である開口凹部３１３を有している。開口凹部３１３は、容器本体２の中央寄りの側面幅拡張凹部３２４を形成する側面凹部形成部３１２の部分に形成されている。開口凹部３１３は、溝開口部における保持溝３２１の開口を略Ｕ字状に広げるように溝底面３２２に向かって窪んだ凹部により構成されている。

シール部材取付部３１１は、一対の側面相対突出部３１４を有している。前述のように、図９に示すように、側面幅拡張凹部３２４が形成されていることにより、側面幅拡張凹部３２４が形成されていない部分は、側面幅拡張凹部３２４の底部を形成する側面凹部形成部３１２の部分から相対的に突出している。この突出している部分により、保持溝３２１内において対向する一対の側面相対突出部３１４が構成されている。側面相対突出部３１４は、略直方体形状を有して突出している。側面相対突出部３１４、及び、側面幅拡張凹部３２４により構成される側面空間は、蓋体３の周縁部分に沿って保持溝３２１を一周するように交互に複数形成されている。側面幅拡張凹部３２４が形成されている部分の保持溝３２１の幅は、６ｍｍ〜８ｍｍ程度であり、側面相対突出部３１４の部分の保持溝３２１の幅は、２ｍｍ程度である。保持溝３２１の延びる方向における側面相対突出部３１４の長さは、３ｍｍ程度である。また、溝底面３２２に向かう開口凹部３１３の窪み量は、３ｍｍ程度である。隣接する側面相対突出部３１４同士は、４０ｍｍの間隔で配置されている。

シール部材４は、弾性変形可能なポリエステル系、ポリオレフィン系など各種熱可塑性エラストマー、フッ素ゴム製、シリコンゴム製等により構成されている。図１０に示すように、シール部材４は、長方形状の環状を有しており、蓋体３の外周縁部を一周するように配置されている。

シール部材４は、基部４１とリップ部４２とを有している。図５等に示すように、シール部材４の環状の周方向に直交する基部４１の断面形状は、矩形である。基部４１は、先端面４１１と、先端面４１１から延びる一対の側面４１２と、側面４１２の延びた先に位置する基端４１０とを有している。基部４１において、先端面４１１と一対の側面４１２とが保持溝３２１に挿入される。保持溝３２１に挿入された基部４１の一対の側面４１２と一対の溝側面３２３とは、対向する位置関係を有している。

基部４１の先端面４１１から側面４１２の延びた先に位置する基端４１０には、リップ部４２が一体成形されて設けられている。リップ部４２は、基部４１の先端面４１１から側面４１２の延びる方向に直交する方向へ、即ち、図５の左方向へ、基部４１の基端４１０から延びている。リップ部４２は、図５等に示すように、途中から２枚に分岐して周縁部当接リップ部４２１と対向部当接リップ部４２２とを構成する。蓋体３が容器本体開口部２１を閉塞しているときに、周縁部当接リップ部４２１は、開口周縁部２８に当接し、対向部当接リップ部４２２は、周縁部対向部３３１に当接する。周縁部当接リップ部４２１の開口周縁部２８への当接と、対向部当接リップ部４２２の周縁部対向部３３１への当接とにより、シール部材４のリップ部４２は、開口周縁部２８と周縁部対向部３３１との間に介在して開口周縁部２８及び周縁部対向部３３１に密着して、蓋体３と共に容器本体開口部２１を気密状態で閉塞する。

基部４１には、底部空間を構成する基部凹部４１３が形成されている。空間である基部凹部４１３は、図５に示すように、基部４１の先端面４１１の一部が略直方体形状に削り取られたような形状を有しており、保持溝３２１に挿入された基部４１と溝底面３２２と間に存在している。

即ち、底部空間は、基部４１において基部４１の外郭から窪んだ空間である基部凹部４１３を有している。基部凹部４１３を形成している基部４１の部分は、基部凹部形成部４１４を構成する。また、基部４１は、基部相対突出部４１５を有する。基部相対突出部４１５は、基部４１に基部凹部４１３が形成されていることにより基部凹部形成部４１４の部分から相対的に突出する部分により構成されている。基部相対突出部４１５、及び、底部空間構成する基部凹部４１３は、蓋体３の周縁部分に沿って保持溝３２１を一周するように交互に複数形成されている。

シール部材４の基部４１の一対の側面４１２を結ぶ方向における厚さは、２ｍｍ程度である。基部相対突出部４１５の突出量は、１．５ｍｍ程度である。シール部材４の延びる方向に直交する方向から見た側方視では、図１１に示すように、基部相対突出部４１５は略台形状を有しており、シール部材４の延びる方向における基部相対突出部４１５の長さは、基部相対突出部４１５の先端部において３ｍｍ程度であり、基部相対突出部４１５の基端部において５ｍｍ程度である。隣接する基部相対突出部４１５同士は、４０ｍｍの間隔で配置されている。

基部４１は、以下のような位置関係で、保持溝３２１に挿入される。図５に示すように、基部４１は、保持溝３２１において、環状のシール部材４の周方向に延びる基部凹部形成部４１４の一部分が、一対の側面凹部形成部３１２の間に配置される位置関係を有して、保持溝３２１に挿入される。これにより、図５に示す基部凹部４１３の部分を有する底部空間と、図５に示す側面幅拡張凹部３２４の部分を有する側面空間とは、連通している。

また、図７に示すように、基部４１は、保持溝３２１において、環状のシール部材４の周方向に延びる基部凹部形成部４１４の一部分以外の他の部分が、一対の側面相対突出部３１４の間に配置される位置関係を有して、保持溝３２１に挿入される。これにより、図７に示す基部凹部４１３の部分を有する底部空間と、図５に示す側面幅拡張凹部３２４を有する側面空間とは、連通している。

また、図５に示すように、基部４１は、保持溝３２１において、環状のシール部材４の周方向に延びる一対の側面凹部形成部３１２の一部分の間に、基部凹部形成部４１４が配置される位置関係を有して、保持溝３２１に挿入される。これにより、前述のように、図５に示す基部凹部４１３の部分を有する底部空間と、図５に示す側面幅拡張凹部３２４の部分を有する側面空間とは、連通している。

また、図６に示すように、基部４１は、保持溝３２１において、環状のシール部材４の周方向に延びる一対の側面凹部形成部３１２の一部分以外の他の部分の間に、基部相対突出部４１５が配置される位置関係を有して、保持溝３２１に挿入される、これにより、前述のように、図５に示す基部凹部４１３の部分を有する底部空間と、図６に示す側面幅拡張凹部３２４の部分を有する側面空間とは、連通している。保持溝３２１が延びる方向において、図５に示す断面の部分、図６に示す断面の部分、図５に示す断面の部分、図７に示す断面の部分、図５に示す断面の部分、図６に示す断面の部分、・・・、と繰り返す位置関係で、基部４１は、保持溝３２１に挿入されている。

蓋体３においては、ラッチ機構が設けられている。ラッチ機構は、蓋体３の左右両端部近傍に設けられており、図１に示すように、蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出可能な２つの上側ラッチ部３２Ａと、蓋体３の下辺から下方向Ｄ２２へ突出可能な２つの下側ラッチ部（図示せず）と、を備えている。２つの上側ラッチ部３２Ａは、蓋体３の上辺の左右両端近傍に配置されており、２つの下側ラッチ部は、蓋体３の下辺の左右両端近傍に配置されている。

蓋体３の外面においては操作部３３が設けられている。操作部３３を蓋体３の前側から操作することにより、上側ラッチ部３２Ａ、下側ラッチ部（図示せず）を蓋体３の上辺、下辺から突出させることができ、また、上辺、下辺から突出させない状態とすることができる。上側ラッチ部３２Ａが蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂに係合し、且つ、下側ラッチ部（図示せず）が蓋体３の下辺から下方向Ｄ２２へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２４１Ａ、２４１Ｂに係合することにより、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８に固定される。

蓋体３の蓋体本体３０の内側には、フロントリテーナ（図示せず）が固定されて設けられている。フロントリテーナ（図示せず）は、フロントリテーナ基板受け部（図示せず）を有している。フロントリテーナ基板受け部（図示せず）は、左右方向Ｄ３に所定の間隔で離間して対をなすようにして２つずつ配置されている。このように対をなすようにして２つずつ配置されたフロントリテーナ基板受け部（図示せず）は、上下方向Ｄ２に２５対並列した状態で設けられている。基板収納空間２７内に基板Ｗが収納され、蓋体３が閉じられることにより、フロントリテーナ基板受け部（図示せず）は、基板Ｗの縁部の端縁を挟持して支持する。

上述のような基板収納容器１において、洗浄液により蓋体３の洗浄を行う際の洗浄液及び空気の流れは、以下のとおりである。先ず、洗浄液により蓋体３の洗浄が行われる。この際、洗浄液は、保持溝３２１の開口から保持溝３２１内へ流入する。特に略Ｕ字形状の開口凹部３１３が形成されているため、この部分から多くの洗浄液が側面幅拡張凹部３２４により構成される側面空間に流入する。側面幅拡張凹部３２４に流入した洗浄液は、側面幅拡張凹部３２４に連通する基部凹部４１３により構成される底部空間に流入する。このように、洗浄液は、連通する側面幅拡張凹部３２４と基部凹部４１３とを流れて、保持溝３２１を洗浄し、側面幅拡張凹部３２４を通して保持溝３２１から排出される。

洗浄後、蓋体３に吹き付けられたエアは、洗浄液と同様に、保持溝３２１の開口から保持溝３２１内へ流入する。特に略Ｕ字形状の開口凹部３１３が形成されているため、この部分からより多くのエアが、側面幅拡張凹部３２４により構成される側面空間に流入する。側面幅拡張凹部３２４に流入したエアは、側面幅拡張凹部３２４に連通する基部凹部４１３により構成される底部空間に流入する。このように、エアは、連通する側面幅拡張凹部３２４と基部凹部４１３とを流れて、保持溝３２１に残留している洗浄液を吹き飛ばし、側面幅拡張凹部３２４を通して保持溝３２１から排出する。この際、対向部当接リップ部４２２が周縁部対向部３３１に当接していても、基部４１に関してリップ部４２とは反対の側に位置している側面幅拡張凹部３２４に流入したエアは、図５において矢印で示すように、基部凹部４１３を通り、基部４１に関してリップ部４２の側に位置している側面幅拡張凹部３２４に流れる。そして、エアは、対向部当接リップ部４２２を周縁部対向部３３１から離間させ、残留していた洗浄液と共に、保持溝３２１から流出する。

次に、本実施形態による基板収納容器１の効果を試す試験を行った。試験では、本実施形態による基板収納容器１を本発明品１〜３として用意した。また、開口凹部３１３が形成されておらず、これ以外の構成は本発明品と同一である蓋体を、本発明品４〜６として用意した。また、側面幅拡張凹部３２４が一対形成されておらず、一方の側面幅拡張凹部３２４のみ、具体的には、保持溝３２１の中央寄りの内側の側面幅拡張凹部３２４のみ形成されている蓋体を、比較品１とし、保持溝３２１の中央寄りの外側の側面幅拡張凹部３２４のみ形成されている蓋体を、比較品２〜４として用意した。また、一対の側面幅拡張凹部３２４が形成されていない蓋体を、比較品５として用意した。また、一対の側面幅拡張凹部３２４が形成されておらず、保持溝３２１の中央寄りの内側の側面幅拡張凹部３２４のみ形成され、且つ、シール部材４に基部凹部４１３が形成されていない蓋体を比較品６として用意した。比較品１〜６は、上述した構成の違い以外は、本発明品１と同一の構成を有している。また、一対の側面幅拡張凹部３２４及び基部凹部４１３が形成されていない、従来の蓋体を比較品７として用意した。

そして、試験では、蓋体本体にシール部材４を取り付けた状態で、洗浄液として超純水を用いて超純水洗浄を行った。その後、熱風を吹き付けることにより乾燥させた。この工程を本発明品、比較品全てについて、３回を１セットとして複数セット行い、保持溝における洗浄液の残留状況についての結果を得た。熱風の温度は、７５℃〜８０℃程度であり、熱風を吹き付けて乾燥を行った時間は、２０分程度である。熱風の吹きつけは、長方形状を有する蓋体本体の長辺の中央に向けて行った。結果は表１、表２に示すとおりである。○は、試験を行った全ての回数において、保持溝に洗浄液が残留することは無かったことを意味する。○ｏｒ△は、複数セット試験を行った内の少数セットのみにおいて、１セット中の３回中１回のみ保持溝に洗浄液がわずかに残留していたことを意味し、他のセットにおいては、保持溝に洗浄液が残留することは無かったことを意味する。△は、全てのセットにおいて、試験を行った３回のうちの、１回において保持溝に洗浄液が少量残留し、他の２回においては、洗浄液が残留していないことを意味する。×は、試験を行った全ての回数において、保持溝に洗浄液が多量に残留していたことを意味する。

表１に示すように、本発明品１〜６のいずれにおいても、結果は良好であった。即ち、本発明品１〜５については、保持溝３２１内に洗浄液が残留することは無かった。本発明品６については、複数セット繰り返して上記洗浄及び乾燥を行ったもののほとんどは、保持溝３２１内に洗浄液が残留することは無かった。少数セットのうちのそれぞれ１回のみ、保持溝３２１内に洗浄液がわずかに残留していた。これに対して、表２に示すように、結果が最もよいと考えられる比較品２、比較品５であっても、部分的に洗浄液が保持溝に少量残留していた。他の比較品１、３、４、６、７においては、洗浄液が多量に残留していた。

この結果から、本発明品では、いずれも良好な結果を得られることが分かる。特に、一対の側面幅拡張凹部３２４や、基部凹部４１３が形成され，更に、開口凹部３１３が形成されていることにより、良好な結果を、より確実に得られることが分かる。これに対して、一対の側面幅拡張凹部３２４や、基部凹部４１３が形成されていない蓋体の場合には、良好な結果を得られることできないことが分かる。例えば、側面幅拡張凹部３２４については、一対形成されていることにより結果が良好になることが分り、一方の側面幅拡張凹部３２４だけでは、良好な結果を得ることができないことが分かった。同様に、一対の側面幅拡張凹部３２４を形成せずに、基部凹部４１３のみ形成した場合も、良好な結果を得ることができないことが分かった。

上記構成の実施形態に係る基板収納容器１によれば、以下のような効果を得ることができる。
基板収納容器１は、複数の基板Ｗを収納可能な基板収納空間２７が内部に形成され、一端部に基板収納空間２７に連通する容器本体開口部２１が形成された開口周縁部２８を有する容器本体２と、容器本体開口部２１に対して着脱可能であり、シール部材取付部３１１と開口周縁部２８に対向する周縁部対向部３３１とを有し、容器本体開口部２１を閉塞可能な蓋体３と、蓋体３のシール部材取付部３１１に取り付けられ、開口周縁部２８及び周縁部対向部３３１に当接可能であり、開口周縁部２８と周縁部対向部３３１との間に介在して開口周縁部２８及び周縁部対向部３３１に密着して当接することにより、蓋体３と共に容器本体開口部２１を気密状態で閉塞するシール部材４と、を備えている。

シール部材取付部３１１は、溝底面３２２及び一対の溝側面３２３を有する保持溝３２１を有している。シール部材４は、先端面４１１と先端面４１１から延びる一対の側面４１２とを有して先端面４１１と一対の側面４１２とが保持溝３２１に挿入される基部４１と、基部４１から延びて開口周縁部２８及び周縁部対向部３３１に当接するリップ部４２とを有している。保持溝３２１に挿入された基部４１の先端面４１１と溝底面３２２とは、対向する位置関係を有し、保持溝３２１に挿入された基部４１と溝底面３２２と間には、底部空間が形成されている。また、保持溝３２１に挿入された基部４１の一対の側面４１２と一対の溝側面３２３とは、対向する位置関係を有し、保持溝３２１に挿入された基部４１の一対の側面４１２と一対の溝側面３２３との間には、それぞれ保持溝３２１の開口に連通する側面空間が形成されている。そして、底部空間と側面空間とは、連通している。

この構成により、シール部材４が蓋体本体３０に取り付けられた状態で洗浄を行い、保持溝３２１内に洗浄液が残留した場合に、側面空間を通してエアを保持溝３２１内に流入させることができる。更に、底部空間と側面空間とは、連通しているため、一の側面空間を通して流入したエアを底部空間に流すことができる。その後、他の側面空間を通して底部空間を流れたエアを保持溝３２１内に残留していた洗浄液と共に、保持溝３２１の外へ，容易に排出することができる。

また、側面空間は、シール部材取付部３１１の保持溝３２１において一対の溝側面３２３の間の幅を広げるように一対の溝側面３２３からそれぞれ窪んだ側面幅拡張凹部３２４を有している。シール部材取付部３１１は、側面幅拡張凹部３２４を形成する側面凹部形成部３１２と、側面幅拡張凹部３２４が形成されていることにより側面幅拡張凹部３２４の底部を形成する側面凹部形成部３１２の部分から相対的に突出する一対の側面相対突出部３１４とを有している。底部空間は、基部４１において基部４１の外郭から窪んだ基部凹部４１３を有している。基部４１は、基部凹部４１３を形成する基部凹部形成部４１４と、基部凹部４１３が形成されていることにより基部凹部４１３の底部を形成する基部凹部形成部４１４の部分から相対的に突出する基部相対突出部４１５とを有している。

そして、基部４１は、保持溝３２１において基部凹部形成部４１４の一部分が一対の側面凹部形成部３１２の間に配置される位置関係を有すると共に、基部凹部形成部４１４の一部分以外の他の部分が一対の側面相対突出部３１４の間に配置される位置関係を有して、保持溝３２１に挿入されるか、又は、保持溝３２１において一対の側面凹部形成部３１２の一部分の間に基部凹部形成部４１４が配置される位置関係を有すると共に、一対の側面凹部形成部３１２の一部分以外の他の部分の間に基部相対突出部４１５が配置される位置関係を有して、保持溝３２１に挿入される。

この構成により、シール部材４に形成され底部空間を構成する基部凹部４１３と、シール部材取付部３１１に形成され側面空間を構成する側面幅拡張凹部３２４とを通して、保持溝３２１に残留した洗浄液を容易に側面幅拡張凹部３２４から排出させることができる。

また、側面幅拡張凹部３２４が形成されている保持溝３２１の部分の溝開口部は、溝開口部における保持溝３２１の開口を広げるように溝底面３２２に向かって窪んだ開口凹部３１３を有する。

この構成により、開口凹部３１３を通して、エアを側面幅拡張凹部３２４に流入しやすくすることができ、より多くのエアで、保持溝３２１に残留している洗浄液を、保持溝３２１から排出させることができる。

また、リップ部４２は、蓋体３が容器本体開口部２１を閉塞しているときに、開口周縁部２８に当接する周縁部当接リップ部４２１と、周縁部対向部３３１に当接する対向部当接リップ部４２２とを有する。周縁部当接リップ部４２１の開口周縁部２８への当接と、対向部当接リップ部４２２の周縁部対向部３３１への当接とにより、シール部材４は、蓋体３と共に容器本体開口部２１を気密状態で閉塞する。

この構成により、底部空間の存在によって基部４１による保持溝３２１におけるシールを確保できない場合であっても、周縁部当接リップ部４２１と対向部当接リップ部４２２とにより、容器本体開口部２１と蓋体３との間をシールすることができる。

また、保持溝３２１は、蓋体３の周縁部分を一周するように形成され、底部空間及び側面空間は、蓋体３の周縁部分に沿って保持溝３２１を一周するように形成されている。この構成により、保持溝３２１においてどの位置に洗浄水が残留した場合であっても、いずれかの側面空間から流入したエアによって、残留した洗浄水を保持溝３２１の外へ排出させることができる。

本発明は、上述した実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲に記載された技術的範囲において変形が可能である。

例えば、底部空間は、基部凹部４１３により構成され、側面空間は、側面幅拡張凹部３２４によって構成されたが、これらの構成に限定されない。例えば、シール部材４の基部４１には、基部凹部４１３が形成されておらず、保持溝３２１の溝底面３２２が窪んで形成された凹部により構成されてもよい。また、例えば、側面空間は、シール部材４の基部４１の一対の側面４１２が窪んで形成された側面凹部により構成されてもよい。

また、本実施形態においては、保持溝３２１が延びる方向において、図５に示す断面の部分、図６に示す断面の部分、図５に示す断面の部分、図７に示す断面の部分、図５に示す断面の部分、図６に示す断面の部分、・・・、と繰り返す位置関係で、基部４１は、保持溝３２１に挿入されていたが、これに限定されない。保持溝３２１が延びる方向において、図５に示す断面の部分と、図６に示す断面の部分又は図７に示す断面の部分とが、交互に位置して、基部４１が保持溝３２１に挿入されていればよい。

また、底部空間及び側面空間は、蓋体３の周縁部分に沿って保持溝３２１を一周するように形成されていたが、この構成に限定されない。また、蓋体３の洗浄液として超純水を用いたが、これに限定されない。また、容器本体２及び蓋体３の形状や、容器本体２に収納可能な基板Ｗの枚数、寸法は、本実施形態における容器本体２及び蓋体３の形状や、容器本体２に収納可能な基板Ｗの枚数、寸法に限定されない。

１ 基板収納容器
２ 容器本体
３ 蓋体
４ シール部材
２０ 壁部
２１ 容器本体開口部
２７ 基板収納空間
２８ 開口周縁部
３０ 蓋体本体
４１ 基部
４２ リップ部
３１１ シール部材取付部
３１２ 側面凹部形成部
３１３ 開口凹部
３１４ 側面相対突出部
３２１ 保持溝
３２２ 溝底面
３２３ 溝側面
３２４ 側面幅拡張凹部
３３１ 周縁部対向部
４１１ 先端面
４１２ 側面
４１３ 基部凹部
４１４ 基部凹部形成部
４１５ 基部相対突出部
４２１ 周縁部当接リップ部
４２２ 対向部当接リップ部
Ｗ 基板

Claims (4)

1. 複数の基板を収納可能な基板収納空間が内部に形成され、一端部に前記基板収納空間に連通する容器本体開口部が形成された開口周縁部を有する容器本体と、
   前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、シール部材取付部と前記開口周縁部に対向する周縁部対向部とを有し、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、
   前記蓋体の前記シール部材取付部に取り付けられ、前記開口周縁部及び前記周縁部対向部に当接可能であり、前記開口周縁部と前記周縁部対向部との間に介在して前記開口周縁部及び前記周縁部対向部に密着して当接することにより、前記蓋体と共に前記容器本体開口部を気密状態で閉塞するシール部材と、を備え、
   前記シール部材取付部は、溝底面及び一対の溝側面を有する保持溝を有し、
   前記シール部材は、先端面と前記先端面から延びる一対の側面とを有して前記先端面と前記一対の側面とが前記保持溝に挿入される基部と、前記基部から延びて前記開口周縁部及び前記周縁部対向部に当接するリップ部とを有し、
   前記保持溝に挿入された前記基部の先端面と前記溝底面とは、対向する位置関係を有し、前記保持溝に挿入された前記基部と前記溝底面と間には、底部空間が形成され、
   前記保持溝に挿入された前記基部の一対の側面と前記一対の溝側面とは、対向する位置関係を有し、前記保持溝に挿入された前記基部の一対の側面と前記一対の溝側面との間には、それぞれ前記保持溝の開口に連通する側面空間が形成され、
   前記底部空間と前記側面空間とは、連通し、
   前記側面空間は、前記シール部材取付部の前記保持溝において前記一対の溝側面の間の幅を広げるように前記一対の溝側面からそれぞれ窪んだ側面幅拡張凹部を有し、
   前記シール部材取付部は、前記側面幅拡張凹部を形成する側面凹部形成部と、前記側面幅拡張凹部が形成されていることにより前記側面幅拡張凹部の底部を形成する前記側面凹部形成部の部分から相対的に突出する一対の側面相対突出部とを有し、
   前記底部空間は、前記基部において前記基部の外郭から窪んだ基部凹部を有し、
   前記基部は、前記基部凹部を形成する基部凹部形成部と、前記基部凹部が形成されていることにより前記基部凹部の底部を形成する前記基部凹部形成部の部分から相対的に突出する基部相対突出部とを有し、
   前記基部は、
   前記保持溝において前記基部凹部形成部の一部分が前記一対の側面凹部形成部の間に配置される位置関係を有すると共に、前記基部凹部形成部の前記一部分以外の他の部分が一対の前記側面相対突出部の間に配置される位置関係を有して、前記保持溝に挿入されるか、
   又は、前記保持溝において前記一対の側面凹部形成部の一部分の間に前記基部凹部形成部が配置される位置関係を有すると共に、前記一対の側面凹部形成部の前記一部分以外の他の部分の間に前記基部相対突出部が配置される位置関係を有して、前記保持溝に挿入される基板収納容器。
2. 前記側面幅拡張凹部が形成されている前記保持溝の部分の溝開口部は、前記溝開口部における前記保持溝の開口を広げるように前記溝底面に向かって窪んだ開口凹部を有する請求項１に記載の基板収納容器。
3. 前記リップ部は、前記蓋体が前記容器本体開口部を閉塞しているときに、前記開口周縁部に当接する周縁部当接リップ部と、前記周縁部対向部に当接する対向部当接リップ部とを有し、前記周縁部当接リップ部の前記開口周縁部への当接と、前記対向部当接リップ部の前記周縁部対向部への当接とにより、前記シール部材は、前記蓋体と共に前記容器本体開口部を気密状態で閉塞する請求項１又は請求項２に記載の基板収納容器。
4. 前記保持溝は、前記蓋体の周縁部分を一周するように形成され、
   前記底部空間及び前記側面空間は、前記蓋体の周縁部分に沿って前記保持溝を一周するように形成されている請求項１〜請求項３のいずれかに記載の基板収納容器。

Images