JPH10154747A

JPH10154747A - ウェーハ収納容器のウェーハ押え部材

Info

Publication number: JPH10154747A
Application number: JP31104696A
Authority: JP
Inventors: Yoshihiro Kiyono; 良浩清野
Original assignee: Mitsubishi Materials Corp
Current assignee: Mitsubishi Materials Corp
Priority date: 1996-11-21
Filing date: 1996-11-21
Publication date: 1998-06-09
Anticipated expiration: 2016-11-21
Also published as: JP3180693B2

Abstract

(57)【要約】【課題】ウェーハの上縁部を押えて確実に保持できる
ととともに、構成が簡単で製造コストが安い、ウェーハ
収納容器のウェーハ押えを提供する。【解決手段】ウェーハ収納容器のウェーハ押え部材に
おいて、弾性片３６の先端部の幅方向の両端部に、ウェ
ーハＷの前記上縁をガイドするための一対のガイド片１
１ａ，１１ｂが設けられている。弾性片３６のガイド片
１１ａ，１１ｂよりも根元側に、ウェーハＷの前記上縁
を押えるための内側に傾斜する傾斜面をそれぞれ有する
一対の係止片１２ａ，１２ｂが設けられている。上蓋を
下降させて容器本体に装着する際には、先ず、各弾性片
３６の一対のガイド片１１ａ，１１ｂの間にウェーハＷ
の上縁部が入り込んでそれらの傾斜面によりウェーハＷ
は一対のガイド片１１ａ，１１ｂ間の中間に移動するよ
うに案内されるので、ウェーハＷは係止片１２ａ，１２
ｂ間の係止溝に円滑に入って確実に保持される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、複数のウェーハを
収容するウェーハ収納容器の上蓋に取り付けられて、ウ
ェーハの上縁部を保持するウェーハ押え部材に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウェーハ（以下、単にウェーハと
いう）はシリコン等の単結晶インゴットを軸直角方向に
薄くスライスして得られるが、これは薄くて脆く、しか
も汚染を極端に嫌うため、その搬送には充分な配慮が必
要である。すなわち、ウェーハをクリーンな状態で輸送
するために、ウェーハをウェーハ収納インラインバスケ
ット（内箱）に入れた状態でウェーハ収納容器（輸送用
ウェーハ出荷ボックス）に収納し、これに、上蓋を被せ
て気密状態に封じ込め、さらに、ウェーハ収納容器の外
部を包装し衝撃を緩和する緩衝材とともに段ボール梱包
して、輸送する。そして、前記輸送中や保管中等におい
て、振動等によりウェーハがウェーハ収納容器に対して
移動しないようにするために、前記上蓋には、ウェーハ
収納容器内に収容された複数のウェーハの各上縁を短冊
状の弾性片でそれぞれ押えるウェーハ押え部材（上部緩
衝部材）が設けられている。

【０００３】以下、この種のウェーハ収納容器の従来例
について、２つの例（１）および（２）を挙げて説明す
る。なお、（１）は特公平６−２２７２号公報参照、
（２）は特開平５−６３０６５号公報参照。

【０００４】（１）図１１に示すように、ウェーハ容器
は上蓋５１と容体５２と内箱５３とから構成され、上蓋
５１と容体５２とのそれぞれの開口周縁には帯状段部５
４，５５があって、パッキン５６を介して互いに係合閉
止できるようになっている。内箱５３はその断面形状が
椀状をしていて、その椀側部に相当する上部側壁５７，
５７の内側にはウェーハＷの配列方向に多数にひだ５８
・・・が互いに対称に設けられていて、それぞれの隣接
するひだ５８，５８間にウェーハＷ・・・を、その左右
両側縁で個別に収容し得るようになっている。一方、上
蓋５１の下面には上部緩衝板６０が着脱自在に装着され
ていて、各ウェーハＷ・・・の上縁を弾性的に保持し輸
送中の振動に備えている。

【０００５】図１２はこの上部緩衝板６０の詳細を示す
もので、これは、例えば、四角形の枠体６１と、内箱５
３の側壁５７，５７に平行して吊設されている一対の下
降壁６２，６２とそれぞれの下縁より内側方に相対して
延出する多数の短冊状の弾性片６３・・・とから構成さ
れていて、それぞれの弾性片６３・・・の先端部下面に
は各ウェーハＷ・・・の上縁Ｗｂを係止するための係止
片６４が設けられている。この係止片６４は互いに断面
が対称の一組の側壁６５，６５からなっていて、同図
（ｃ）に示されるように、その側面には全体としてＭ字
状を呈している。この係止片６４を構成する一組の側壁
６５，６５は各弾性片６３・・・の両側の斜め方向に相
対して設けられ、また弾性片６３ａの一方の側壁６５ａ
が、これに隣接する弾性片６３ｂの他の側壁６６ｂと側
面から見て互いに一部が重なり合う位置に隣接して設け
られていて、各側壁６５，６６が弾性片全体として平面
千鳥状を呈するように配設されている。

【０００６】上記構成において、多数のウェーハＷを内
箱５３のひだ５８・・・に沿って個別に挿入する際に、
図１２（ｃ）に示されるように、その下縁Ｗｃが弾性片
６３ａと６３ｂの隙間Ｐにはまり込む恐れがなく、各係
止片６４の一組の側壁６５，６６の間に間違いなく収め
ることができる。一方、上部緩衝板を備えたウェーハＷ
が、その上縁Ｗｂを上蓋５１の内部下面に設けられた上
部緩衝板６０の係止片５２により、また左右両側縁Ｗ
ａ，Ｗａを内箱５３の左右両側壁５７，５７に設けられ
たひだ５８、５８・・・間により、それぞれ個別に支持
されるため、ウェーハＷの輸送中または取扱い中におけ
る振動に充分に対応し、ウェーハが上部緩衝板の係止片
から外れて他の部品と接触し微粉を発生したり、損傷を
受ける恐れがない。

【０００７】（２）先ず図１９および図２０に示すよ
うに、ウェーハ収納容器は外箱７１と、該外箱７１内に
収容される内箱７２と、ウェーハ押え７３を含んでい
る。外箱７１は、本体７１Ａと上蓋７１Ｂとで構成さ
れ、上蓋７１Ｂは本体７１Ａに被せられて本体７１Ａと
接合一体化されるが、両者の間にはパッキン７４が介在
するため、上蓋７１Ｂを閉じた状態では外箱７１は密閉
状態に保たれる。又、前記内箱７２は複数枚のウェーハ
を整然と収容するものであって、これの上部は開口し、
その相対向する側壁の内側には縦方向に長い複数のリブ
がウェーハの配列方向に適当なピッチで突設されてお
り、これらのリブの間には仕切り溝が形成されている。
而して、ウェーハは側壁にそれぞれ形成された相対向す
る一対の仕切り溝に嵌め込まれて収容される。

【０００８】ここで、ウェーハ押え７３の構成の詳細を
図１３乃至図１８に基づいて説明する。なお、図１３は
ウェーハ押え７２の正断面図、図１４は同側面図（図１
３の矢視Ａ方向の図）、図１５は同底面図（図１３の矢
視Ｂ方向の図）、図１６は図１５のＣ部拡大詳細図、図
１７は図１６のＤ−Ｄ線断面図、図１８は図１６のＥ−
Ｅ線断面図である。ウェーハ押え７３は、摩擦係数の大
きな熱可塑性エラストマー（ポリエステル系）等で一体
成形され、これは矩形の枠体７５を有しており、該枠体
７５の下面には、内側に向かって側面くの字状に折曲さ
れた短冊状の複数の弾性片７６・・・ウェーハの配列方
向（図１３の紙面垂直方向）に左右２列に高密度に配列
され吊設されている。又、枠体７５の左右一対の弾性片
７６・・・の列の中央部には、ウェーハの配列方向に長
いオリフラ押え７が設けられている。

【０００９】弾性片７６・・・の自由端（ウェーハとの
等接部）の下面には、図１６乃至図１８に示すように、
ウェーハの配列方向（図４の左右方向）に相対向する櫛
歯状の係止片７８ａ・・・，７８ｂ・・・／又は係止片
７９ａ・・・，７９ｂが下方（図１８においては上方）
に向かって広がるように突設されている。すなわち、図
１６に示す或る弾性体７６Ａにはそれぞれ３本の係止片
７８ａ・・・，７８ｂが形成され、該弾性片７６Ａに隣
接する弾性片７６Ｂ，７６Ｃにはそれぞれ４本の係止片
７９ａ・・・，７９ｂが形成されている。そして、図１
６に示すように、弾性片７６Ａの一方の係止片７８ａ・
・・と弾性片７６Ｂの係止片７９ｂ・・・及び弾性片７
６Ａの他方の係止片７８ｂ・・・と弾性片７６Ｃの係止
片７９ａ・・・とは互いに噛み合っており、図１８に示
すように、これら係止片７８ａ・・・と７９ｂ・・・及
び係止片７８ｂ・・・と７９ａ・・・とは側面視で互い
にオーバーラップしている。

【００１０】また、図１８に示すように、各弾性片７６
において係止片７８ａ・・・と７８ｂ／又は係止片７９
ａ・・・，７９ｂ・・・の相対向する面は斜面を構成し
ており、これらの係止片７８ａ・・・と７８ｂ／及び係
止片７９ａ・・・７９ｂ・・・の間には下方（図１８に
おいては上方）に向かって広がる溝（ウェーハが嵌合す
べき溝）８２・・・が形成されている。

【００１１】図１９に示すように複数枚のウェーハＷ・
・・を図の紙面垂直方向に配列して収容する内箱７２
は、外箱１の本体７１Ａ内に収容され、その後に上蓋７
１Ｂが図２０に示すように本体１Ａに被せられて固定さ
れると、該上蓋７１Ｂに取り付けられたウェーハ押え７
３は、ウェーハＷ・・・の上蓋を押えてこれらウェーハ
Ｗ・・・弾性的に保持する。即ち、ウェーハ押え７３の
左右一対の弾性片７６，７６はウェーハＷの上縁に当接
してその弾性力でウェーハＷを下方へ押圧して該ウェー
ハＷを弾性的に支持する。このとき、ウェーハＷは、そ
の上縁が弾性片７６，７６に突設された係止片７８ａ・
・・，７８ｂ・・・／又は係止片７９ａ・・・，７９ｂ
・・・の間の溝８２，８２に嵌まり込んで支持される
が、前述のように係止片７８ａ・・・と係止片７９ｂ・
・・及び係止片７８ｂ・・・と係止片７９ａ・・・とは
噛み合って側面視で互いにオーバーラップしており、こ
のオーバーラップする部分は隣接するウェーハＷ，Ｗの
間の中央において山の頂部を形成するため、ウェーハＷ
は弾性片７６，７６の間の隙間に落ち込むことなく、上
蓋７１Ｂを閉じた時点で例えば図１８鎖線にて示す位置
にあったウェーハＷは係止片７８ａ・・・のように溝８
２の中央に自動的に位置せしめられる。この結果、全て
のウェーハＷ・・・は弾性片７６・・・の溝８２・・・
に常に確実に嵌まり込んでその上縁を保持され、弾性片
７６・・・の間に挟まれることがないため、損傷を受け
ることがない。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記
（１）の従来例では、係止片をＭ字状を呈する一組の側
壁から構成するので、この側壁の形状が複雑になってコ
ストが嵩み、また、（２）の従来例では、係止片を櫛歯
形状にして互いに噛み合わせるものなので、やはり、構
造が複雑化し、製造コストが嵩むことになる。さらに、
上記（１）および（２）においては、弾性片の先端部の
みに設けられた係止片が、ウェーハを溝に装着するため
のガイドの役目の他に、前記溝を形成する役目も兼ねて
いるので、ウェーハの上縁部を確実に保持するために
は、係止片の全長に渡り前記溝の方向を精度よく形成し
なければならず、ウェーハ押え部材を作製するための金
型として精度の高い高価なものを用いる必要があり、結
果的に、製造コストのさらなる増加が伴うことになる。

【００１３】本発明は、上記従来技術の有する問題点に
鑑みてなされたものであり、ウェーハの上縁部を押えて
確実に保持できるとともに、構成が簡単で製造コストが
安い、ウェーハ収納容器のウェーハ押え部材を提供する
ことを目的としている。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明は、ウェーハ収納容器の上蓋の内側に取り付け
られ、ウェーハ収納容器内に収容された複数のウェーハ
の各上縁部を短冊状の弾性片でそれぞれ押えて該ウェー
ハを保持する、ウェーハ収納容器のウェーハ押え部材に
おいて、前記弾性片の先端部の幅方向の両端部に、前記
上蓋を閉じる過程において前記ウェーハの前記上縁部を
ガイドするための内側に傾斜する傾斜面をそれぞれ有す
る一対のガイド片が、前記弾性片の長手方向に位置をず
らして設けられ、隣接する弾性片の隣接するガイド片の
一部は前記弾性片の幅方向に重なり合っており、前記弾
性片の前記ガイド片よりも根元側に、前記上蓋を閉じた
ときに前記ウェーハの前記上縁部が入り込む係止溝を形
成するために、内側に傾斜する傾斜面をそれぞれ有しか
つ互いに対向する一対の係止片が設けられていることを
特徴とするものである。

【００１５】以下、本発明の作用について説明する。各
弾性片の先端部に、一対のガイド片を前記弾性片の長さ
方向に互い違いに設け、また、このガイド片の後方に一
対の係止片を設けて係止溝を形成したので、ガイド片お
よび係止片として簡単な形状のものでもよい。上蓋を下
降させて容器本体に装着する際には、先ず、隣接する弾
性片の隣接するガイド片の一部は前記弾性片の幅方向に
重なり合っているので、ウェーハの上縁部が隣接する弾
性片間に挿入される恐れがなく、各弾性片の一対のガイ
ド片の間に対応するウェーハの上縁部が入り込んでそれ
らの傾斜面によりウェーハは一対のガイド片間の中間に
移動するようにガイドされるので、結果的に、ウェーハ
の上縁部は一対の係止片間に円滑に入って保持される。
このように、それぞれ簡単な形状のガイド片および係止
片に、それぞれウェーハのガイドおよび保持する機能を
分担させることにより、係止溝の方向および幅が高精度
に要求される係止片の長さが短い場合でも、ウェーハの
上縁部を先ずガイド片で案内してから係止溝に入れるこ
とができる。

【００１６】

【発明の実施の形態】次に、本発明の一実施形態例につ
いて、図面を参照して説明する。図１の（ａ），（ｂ）
はそれぞれ、本発明に係わるウェーハ収納容器の正面図
および側面図で、図２は図１に示したウェーハ収納容器
の係止構造を示す図であって、第１および第２の双方の
フック部材９，１０が上蓋４に係止されている状態を示
しており、図３乃至図５は、図２の状態から上蓋４の外
箱本体５からの密着力を解くまでの各過程を示す図、図
６は図２に示したウェーハ押え部材の正面図、図７は図
６の下面図、図８は図７のＡ−Ａ線矢視図、図９は図７
の要部である各弾性片の拡大図、図１０はウェーハの上
縁部が係止溝に保持されるまでの過程を説明するための
図である。なお、以下に説明する実施形態例は、あくま
でも本発明の一例にすぎず、本発明はその特許請求の範
囲を逸脱しない範囲内において、設計変更等の変形例を
含むものである。

【００１７】先ず、図１および図２に示すように、平面
視略矩形の上蓋４は、その互いに相対向する位置におい
て、後述する一対の係止機構Ａ，Ａにより、外箱本体５
に係止されるようになっている。上蓋４および外箱本体
５とで、ウェーハ収納容器が構成され、複数枚のウェー
ハＷを整然とした状態で収納するものである。

【００１８】複数枚のウェーハＷは、外箱本体５内に設
けた中仕切りと呼ばれる内箱（バスケット）３３に整然
と収容されている。内箱３３の上部は開口し、その相対
向する一対の側壁の内側には縦方向に長い複数のリブ３
４がウェーハＷの配列方向（図２では図面に垂直な方
向）に適当なピッチで突設されており、これらのリブ３
４の間には複数の仕切溝が形成されている。そして、各
ウェーハＷは、前記側壁壁にそれぞれ形成された相対向
する一対の仕切溝に嵌め込まれて整然と並べられてい
る。そして、上蓋４が外箱本体５に密着している状態に
おいて、上蓋４の天板部４ｃの下面には、前記整然と並
べられた各ウェーハＷのそれぞれの上縁部に当接して押
さえるための複数の弾性片（ウェーハ押さえ片）３６を
有するウェーハ押さえ部材（上部緩衝部材）３５が装着
されている。これにより、ウェーハ収納容器の輸送時等
においても、ウェーハＷが安定に保持されて移動したり
しない。本実施形態例の特徴とするところは、上記ウ
ェーハ押え部材３５の弾性片３６の構造にあり、この点
については後述する。

【００１９】なお、以下に説明する本発明は、複数枚の
ウェーハＷを収容する内箱３３を外箱本体５内に収納す
るものに限らず、複数枚のウェーハＷを内箱を介さず
に、直接外箱本体５内に収納するウェーハ収納容器にも
適用できる。また、上蓋４および外箱本体５は、平面視
矩形状のものに限らず、平面視円形状としてもよい。

【００２０】図２に示すように、上蓋４の下端開口周縁
部は、内外二重壁を構成する内側壁４ｂと外側壁４ａと
を有する突出部（フランジ部）４ｅが形成されている。
また、外箱本体５の上端の開口周縁部にも、同じく内外
二重壁を構成する内側壁５ｂと外側壁５ａとが形成され
ている。なお、符号５ｃは、外箱本体５の上部を取り囲
む大径側壁を示している。図示のように、上蓋４が外箱
本体５の上端開口部に被せされて係止されている状態に
おいては、上蓋４および外箱本体５の各外側壁４ａ，５
ａは互いに嵌合しているとともに、上蓋４および外箱本
体５の各内側壁４ａ，５ａも互いに嵌合している。外箱
本体５の内外側壁５ｂ，５ａで囲まれる環状の空間は、
シール部材（例えばＯリング）６を装着するためのシー
ル部材装着溝８になっている。一方、上蓋４の突出部４
ｅの下面には、前記シール部材６に押圧する断面逆山形
の突起７が環状に形成されている。この突起７の下端が
シール部材６に線接触にて押圧し、シール部材６とのシ
ール作用によって上蓋４と外箱本体５との接合部からウ
ェーハ収納容器内への外気の浸入が防止されている。

【００２１】次に、前記ウェーハ収納容器の一対の係止
構造の一例について説明する。なお、一対の係止機構
Ａ，Ａは互いに同一構造であるので、１つの係止機構Ａ
を例に挙げて説明する。また、係止構造は後述するダブ
ルフック構造に限らず、一般的なシングルフック構造で
もよいことは勿論である。外箱本体５の相対向する側壁
にはブラケット３１が一体的にそれぞれ設けられてお
り、各ブラケット３１にはピン部材３２を介して第１の
フック部材９の下端部が回動自在（矢印Ｂ方向参照）に
設けられている。この第１のフック部材９は側面視（図
１（ｂ）図示）でほぼ凹型のものであり、その上部凹部
には、第２のフック部材１０の下端部がピン部材３０を
介して回動自在（矢印Ｃ方向参照）に支持されている。
上蓋４の側壁４ｄには空気流通穴４１が形成され、この
空気流通穴４１は、図２の状態時には、前記側壁４ｄが
第２のフック部材１０により押圧されていることにより
密閉されている。

【００２２】第１のフック部材９の上端部両側には、上
蓋４の突出部（フランジ部）４ｅの上面と係止可能な突
出部４ｆ，４ｇになっている。一方、第２のフック部材
１０はほぼ「く」字型に屈曲形成されたものであり、そ
の上端部で上蓋４の天板部４ｃに係止可能である。符号
３７は上蓋４に設けられた押し上げ突起を示している。
この押し上げ突起３７は、前記上蓋４の側壁４ｄの、第
２のフック部材１０と重なる位置に、側方へ突出するよ
うに一体的に設けられている。そして、第２のフック部
材１０には、前記天板部４ｃに係止されている状態にお
いて、前記押し上げ突起３７が入り込むような凹み部１
０ａが形成されている。

【００２３】さらに、図４に示すように、第２のフック
部材１０を回動させてその下端部で上蓋４を若干押し上
げることができる。これにより、上蓋４の外箱本体５へ
の密着力を解くことができる。この際、前記上蓋４の押
し上げ突起３７および前記第２のフック部材１０には、
それぞれ互いに嵌め合う凸部３８および溝部３９がそれ
ぞれ形成されている。

【００２４】次に、本実施形態例の特徴部であるウェー
ハ押え部材について説明する。図６乃至図１０に示すよ
うに、上蓋４の下面に着脱自在に装着されたウェーハ押
え部材３５は、その本体３５ａの両側から下方へ垂設さ
れて略「く」字状に広がる短冊状の弾性片３６が複数備
えている。ウェーハ押え部材３５の片側（例えば図６お
よび図７中の左側）において、弾性片３６の数は収容す
るウェーハＷの数と等しい数となっており、上記の弾性
片３６はウェーハ押え部材３５の両側に設けられている
ので、弾性片３６の総数はウェーハの最大収容数の２倍
と等しい。なお、上蓋４が外箱本体（容器本体）５に係
止されている状態では、各弾性片３６は各ウェーハＷよ
り力を受け、両側の弾性片３６のなす角度θ（図６参
照）はほぼ９０゜になっている。なお、ウェーハ押え部
材３５は、摩擦係数の大きな例えば熱可塑性エラストマ
ー（ポリエステル系）で一体成形されたものである。

【００２５】特に、図９および図１０に示すように、各
弾性片３６の先端部下面の幅方向の両端部に、ウェーハ
Ｗの上縁をガイドするための内側に傾斜する傾斜面１８
ａ，１８ｂをそれぞれ有する一対のガイド片１１ａ，１
１ｂが、前記弾性片３６の長さ方向に互い違いに設けら
れ、隣接する弾性片３６の隣接するガイド片１１ｂ，１
１ａの一部は弾性片の幅方向に重なり合っている。本例
では、この重なり量（オーバーラップ量）Ｈ（図９参
照）は弾性片３６間の隙間量と等しくなっている。な
お、各ガイド片１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂの幅方
向両側の下面は平坦部１３，１４になっている。弾性片
３６のガイド片１１ａ，１１ｂよりも根元側の下面に、
ウェーハＷの上縁を押えるための内側に傾斜する傾斜面
１９ａ，１９ｂをそれぞれ有する一対の係止片１２ａ，
１２ｂが設けられている。この一対の係止片１２ａ，１
２ｂの間にウェーハ装着溝１７が形成されている。な
お、各係止片１２ａ，１２ｂの幅方向両側の下面は平坦
部１５，１６になっており、傾斜面１９ａ，１９ｂの傾
斜角度は傾斜面１８ａ，１８ｂのそれよりも大きくなっ
ている。

【００２６】ウェーハ収納容器の係止機構Ａやウェーハ
押え部材３５の作用について説明する。図２の状態で
は、第１のフック部材９および第２のフック部材１０
は、それぞれ上蓋４の突出部（フランジ部）４ｅおよび
天板部４ｃに係止され、また、前記シール部材６によ
り、上蓋４および外箱本体５の接合部がシールされてい
る。本例では、ウェーハ収納容器の係止機構Ａ，Ａは一
対あるので、以下のように両手でそれぞれ操作する。図
３に示すように、図２の状態から前記シールを解除する
には、先ず、第２のフック部材１０を上蓋４から遠ざか
る方向に回動させて上蓋４の天板部４ｃとの係合を解除
し、次に、第１のフック部材９も上蓋４から遠ざかる方
向に回動させて上蓋４の下端の突出部４ｅとの係止を解
除する。第２のフック部材１０により閉塞されていた上
蓋４の空気流通穴４１は解放され、ウェーハ収納容器の
内外の気圧差がなくなる。なお、図３の状態時では、第
１のフック部材９の傾斜角度θ ₁は１０゜程度になって
いる。

【００２７】次に、図４に示すように、第２のフック部
材１０をさらに回動させて、その溝部３９に、上蓋４の
押し上げ突起３７の凸部３８に嵌め合わされる。このと
き、第１のフック部材９の傾斜角度θ₂は８゜程度にな
っている。さらに、図５に示すように、第２のフック部
材１０をさらに回動させて、その下端の凸部４０で上蓋
４を若干量押し上げる。この際、上記のように、ウェー
ハ収納容器の内外の気圧差は等しくなっているので、上
蓋４の外箱本体５への密着力を容易に解くことができ
る。なお、第１のフック部材９の傾斜角度θ₃は７．５
゜程度になっている。最後に、第１および第２のフック
部材９，１０を上蓋４から完全に離れるまでそれぞれ回
動させ、上蓋４を手で持ち上げて外箱本体５から外す。

【００２８】上記のように本実施形態例では、第１およ
び第２の２つのフック部材９，１０により上蓋４を同時
に係止する、ダブルフック構造であるので（図２の状
態）、上蓋４と外箱本体５との接合部の密着力を確実に
保持することができる。

【００２９】また、第１および第２のフック部材９，１
０の係止が解除されている状態で、第２のフック部材１
０をさらに回動させると、第２のフック部材１０の下端
部側で上蓋４を押し上げ、外箱本体５に密着していた上
蓋４を上方へ若干量押し上げることができ、結果的に、
上蓋４の外箱本体５への密着力を解くことができる。最
後に、上蓋４を小さな力で持ち上げれば外箱本体５から
外れて、上蓋４を容易に開くことができる。このよう
に、上蓋４と外箱本体５との密着状態を解除する際に、
作業性と確実性が改善される。特に、温度差が生じたと
きや長時間に渡る経過後に、ウェーハ収納容器内外の圧
力差が生じて、従来のように上蓋４が外箱本体５に吸引
されて上蓋４が開きにくいことがあっても、予めウェー
ハ収納容器の内外の気圧差を等しくするので、前記作業
性および確実性の向上は極めて大きい。

【００３０】ところで、上蓋４を外箱本体５に装着して
係止するには、図２乃至図５のほぼ逆の過程を行う。す
なわち、図５に示すように、上蓋４を外箱本体５上に被
せると、図１０に示すように、ウェーハＷ（一点鎖線で
示す）の上縁部は、対応する一対のガイド片１１ａ，１
１ｂのいずれかの傾斜面１８ａ，１８ｂに当接する。隣
接する弾性片３６の隣接するガイド片１１ｂ，１１ａの
一部は前記弾性片３６の幅方向に重なり合っているの
で、ウェーハＷの上縁部が隣接する弾性片３６間に挿入
される恐れなない。この状態では、ウェーハＷから弾性
片３６におよぼされる力は小さいので、弾性片３６は大
きくは変形せず、両側の弾性片３６のなす角度θ（図６
参照）は９０゜より小さくなっている。第１のフック部
材９を収納容器側に回動させて、その突出部４ｆ（４
ｇ）で上蓋４の突出部４ｅに係止させて下方へ押圧し
て、上蓋４を外箱本体５に密閉する。この際、上蓋４は
若干下降して、ウェーハＷ（実線で示す）の上縁部はガ
イド片１１ａ，１１ｂにガイドされつつ、一対の係止片
１２ａ，１２ｂ間の係止溝１７に当接されて保持され
る。この状態では、弾性片３６は大きく変形し、両側の
弾性片３６のなす角度θ（図６参照）はほぼ９０゜にな
っている。そして、第２のフック部材１０を上蓋４の天
板部４ｃに係止させる（図２の状態）。

【００３１】上述のように、各弾性片３６の先端に一対
のガイド片１１ａ，１１ｂを互い違いに設けて、このガ
イド片１１ａ，１１ｂの後方に一対の係止片１２ａ，１
２ｂを設けて係止溝１７を形成した簡単な構成にするこ
とができる。そして、上蓋４を下降させて外箱本体５に
装着する際には、先ず、各弾性片３６の一対のガイド片
１１ａ，１１ｂの間にウェーハＷの上縁部が入り込み、
それらの傾斜面１８ａ，１８ｂによりウェーハＷは一対
のガイド片１１ａ，１１ｂ間の中間に移動するように案
内されるので、ウェーハＷは係止溝１７に円滑に入って
保持される。このように、それぞれ簡単な形状のガイド
片１１ａ，１１ｂおよび係止片１２ａ，１２ｂにそれぞ
れガイドおよび保持する機能分担させることにより、係
止溝１７の方向および幅が高精度に要求される係止片１
２ａ，１２ｂの長さが短くても、ウェーハＷの上縁部を
先ずガイド片１１ａ，１１ｂで案内して係止溝１７に入
れることができる。そして、ウェーハ押え部材３５は金
型により一体成形されるものであり、高精度を要する係
止片１２ａ，１２ｂの長さが短くてもよいので、この金
型の精度は低いもので済み、結果的に、製造コストが低
く済む。

【００３２】

【発明の効果】本発明は、以上説明したとおりに構成さ
れているので、上蓋を閉じる過程において、先ずウェー
ハの上縁部を一対のガイド片で案内してから係止溝に確
実に保持することができるとともに、弾性片の構造を簡
略化できる。このように、ガイド片および係止片にそれ
ぞれウェーハのガイドおよび保持の機能を別個に持たせ
ることにより、ガイド片と比較して係止溝の方向が高精
度なものに要求される係止片の長さを短く設定できて、
弾性片を製造するための金型の精度が低くてもよく、結
果的に、ウェーハ押え部材の製造コストの大幅な低減を
達成できるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ），（ｂ）はそれぞれ、本発明に係わる
ウェーハ収納容器の正面図、側面図である。

【図２】図１に示したウェーハ収納容器の係止構造を
示す図であり、第１および第２の双方のフック部材が上
蓋に係止されている状態を示している。

【図３】図２の状態から第１および第２の双方のフッ
ク部材を回動させて上蓋との係止を解除した状態を示す
図である。

【図４】図３の状態から第２のフック部材をさらに回
動させて、その凹部３９を上蓋の凸部３８に嵌め合わせ
た状態を示す図である。

【図５】図４の状態から第２のフックを回動させて、
その上蓋を若干量押し上げて外箱本体との密着を解除し
た状態を示す図である。

【図６】本実施形態態例に係わるウェーハ押えの正面
図である。

【図７】図６の下面図である。

【図８】図７のＡ−Ａ線断面図である。

【図９】図７の要部（弾性片の先端部）の拡大図であ
る。

【図１０】ウェーハを溝に装着する過程を示す説明図
である。

【図１１】従来の上部緩衝板を備えたウェーハ容器に
ついて、その構造を説明するための分解斜視図である。

【図１２】図１１の上部緩衝板に係わる図であり、
（ａ）は平面図、（ｂ）はその部分拡大平面図、（ｃ）
はウェーハ挿入時の作用を示す、（ｂ）図のＣ−Ｃ矢視
線に沿う断面図である。

【図１３】他の従来のウェーハ押えの正断面図であ
る。

【図１４】図１３のウェーハ押えの側面図

【図１５】図１３のウェーハ押えの底面図

【図１６】図１５のＣ部拡大詳細図である。

【図１７】図１６のＤ−Ｄ線断面図である。

【図１８】図１６のＥ−Ｅ線断面図である。

【図１９】ウェーハ押えの作用説明のための、上蓋の
収納容器本体への装着前のウェーハ収容容器の正断面図
である。

【図２０】ウェーハ押えの作用説明のための、上蓋の
収納容器本体への装着後のウェーハ収納容器の正断面図
である。

【符号の説明】

Ａ係止構造Ｗウェーハ４上蓋４ａ外側壁４ｂ内側壁４ｃ天板部４ｄ側壁４ｆ，４ｇ突出部５外箱本体５ａ外側壁５ｂ内側壁５ｃ大径側壁６シール部材７断面逆山形状の突起８シール部材装着溝９第１のフック部材１０第２のフック部材１０ａ凹み部１１ａ，１１ｂガイド片１２ａ，１２ｂ係止片１３，１４，１５，１６平坦部１７係止溝１８ａ，１８ｂ，１９ａ，１９ｂ傾斜面３０ピン部材３１ブラケット３２ピン部材３３内箱（バスケット）３４リブ３５ウェーハ押さえ部材３５ａ本体３６弾性片（ウェーハ押さえ片）３７押し上げ突起３８凸部３９溝部４０凸部４１空気流通穴

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ウェーハ収納容器の上蓋の内側に取り付
けられ、ウェーハ収納容器内に収容された複数のウェー
ハの各上縁部を短冊状の弾性片でそれぞれ押えて該ウェ
ーハを保持する、ウェーハ収納容器のウェーハ押え部材
において、前記弾性片の先端部の幅方向の両端部に、前記上蓋を閉
じる過程において前記ウェーハの前記上縁部をガイドす
るための内側に傾斜する傾斜面をそれぞれ有する一対の
ガイド片が、前記弾性片の長手方向に位置をずらして設
けられ、隣接する弾性片の隣接するガイド片の一部は前
記弾性片の幅方向に重なり合っており、前記弾性片の前記ガイド片よりも根元側に、前記上蓋を
閉じたときに前記ウェーハの前記上縁部が入り込む係止
溝を形成するために、内側に傾斜する傾斜面をそれぞれ
有しかつ互いに対向する一対の係止片が設けられている
ことを特徴とするウェーハ収納容器のウェーハ押え部
材。