JPH11208767A - 板状部材収納容器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 上下に複数の板上部材収納容器を重ねて置く
場合、上面に載置する収納容器を容易に位置決めでき、
しかも、所定の位置で重ね合わされた後には、双方が安
定した状態を維持できるようにする。 【解決手段】 板上部材を収容した内箱を収容する外箱
本体３と、前記外箱本体３の上部に被せられて接合され
る上蓋４との間が、係止手段により前記上蓋４が前記外
箱本体３に向けて押圧された状態を維持し、かつ、前記
上蓋４と前記外箱本体３との接合部の全周にわたって配
設されているシール部材を圧縮して密封状態を保つと共
に、前記上蓋４の上面に他の板上部材収納容器の下端面
を重ね合わせて載置することができるように構成された
板上部材収納容器において、前記外箱本体３の下端面か
ら突出する一対の突片３１と、前記上蓋４の上面に形成
され前記突片３１がそれぞれ係合する一対の係合凹部４
１とを設けたものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、複数の半導体ウェ
ーハ（以下、ウェーハという）、ディスク、若しくは基
盤などの板状部材を保管したり、運搬するのに用いて好
適な、板状部材収納容器に関し、特に、上下に複数段積
み重ねて置くのに適した構造に関する。

【０００２】

【従来の技術】板状部材のひとつであるウェーハはシリ
コン等の単結晶インゴットを軸直角方向に薄くスライス
して得られるが、これは薄くて脆く、しかも汚染を極端
に嫌うため、その搬送には充分な配慮が必要である。す
なわち、ウェーハをクリーンな状態で輸送するために、
ウェーハをウェーハ収納インラインバスケット（内箱）
に入れた状態でウェーハ収納容器（輸送用ウェーハ出荷
ボックス）に収納し、これに、上蓋を被せて気密状態に
封じ込め、さらに、ウェーハ収納容器の外部を包装し衝
撃を緩和する緩衝材と共に段ボール梱包して、輸送す
る。このように、ウェーハ収納容器は、一般に、前記内
箱を収納する外箱本体と、外箱本体を封じ込める上蓋と
で構成されており、内部をクリーンな状態に常に保つた
めには、外箱本体と上蓋との接合部分を完全にシールす
る必要がある。そして、このようなウェーハ収納用容器
においては、上蓋を外箱本体に固定することと、簡単な
操作で上蓋の外箱本体への係止を解除することが共に要
求される。

【０００３】そこで、ウェーハなどの板状部材を整然と
収納して搬送することのできる従来の板状部材収納容器
として、たとえば図６ないし図９に示すようなウェーハ
収納容器が提案されており、以下図面を参照して簡単に
説明する。

【０００４】図６の外観斜視図及び図７の分解斜視図に
示すように、ウェーハ収納容器は、外箱１と外箱１内に
収納される内箱２を含んで構成され、一方の外箱１は、
外箱本体３とこの外箱本体３に対して開閉可能な上蓋４
とに分割される。外箱本体３には、平面視がほぼ矩形状
の開口部の全周にわたってコ字状断面のシール溝５が設
けられ、シール部材としてのパッキン６がシール溝５に
嵌合して配設されている。外箱本体３は四隅のコーナー
部に設けられた上下方向の４本の脚部３ａで自立し、対
向する一対の側面の脚部３ａ，３ａ間には本体凹部３ｂ
が設けられ、この凹部を形成する側壁上部にフック・レ
バー部材７が取り付けられると共に、他の対向する側面
には、収納容器を持ち運ぶ時に使用する搬送凹部３ｃが
設けられている。なお、図中の符号８は複数のウェーハ
押さえ溝８ａを備えたウェーハ押さえを示し、上蓋４の
内側に着脱可能に取り付けられており、また、内箱２
は、複数枚のウェーハを整然とした状態で収納するため
に、その上部が開口し、ウェーハ押さえ溝８ａと対向す
る収納溝２ａが内周面に複数設けられたものである。

【０００５】さて、上述したフック・レバー部材７は、
図８及び図９に示されたように、フック部９とレバー部
１０との２部品が回動可能に結合されたものである。ほ
ぼ長方形の板状部材であるフック部９には上部に係合凹
部１１，１１が穿設され、下部に設けられた軸受け部１
２にレバー部１０の連結軸１３が回動可能に軸支されて
いる。一方、レバー部１０は、同じくほぼ長方形の板状
部材に連結軸１３及び取付軸１４の２本の軸が平行に設
けられると共に、下端部の中央付近を一部下方に向けて
延長した指掛け部１５を備えている。取付軸１４は、フ
ック・レバー部材７を外箱本体３に回動自在に支持させ
るための軸で、外箱本体３の対向する側壁のそれぞれに
一対ずつ突設したリブ３ｄ，３ｄの軸穴１６，１６を両
端部がそれぞれ貫通することにより、支持される。

【０００６】そして、平面視がほぼ矩形状の上蓋４に
は、相対向する開口部周縁側壁にそれぞれ一対の係合突
起１７，１７が突設されている。この係合突起１７，１
７は、それぞれがフック部９の係合凹部１１，１１に入
り込んで係止される形状となっており、ここでは係合凹
部１１よりやや小さい矩形状とし、その外周面は外側へ
向けて若干広がる傾斜面にしてある。また、上蓋４の開
口部周縁には、外箱本体３のシール溝５に対向するコ字
状断面のシール溝１８（図９（ｄ）参照）が設けられて
いる。このシール溝１８は、外箱本体３のシール溝５を
形成する両側壁の外側に嵌合するように、その大きさを
設定してある。なお、シール溝１８及び外箱本体３のシ
ール溝５には、対向するそれぞれの底面にリブを全周に
わたって突設してある。

【０００７】以下、上述した係止構造の作用をフック・
レバー部材７による係止操作及び係止解除操作とともに
説明する。図８の断面図は係止状態を示したもので、上
蓋４が外箱本体３の上端開口部に被せされて係止されて
いる状態においては、上蓋４のシール溝が、外箱本体３
のシール溝５の外側に嵌合しており、外箱本体３のシー
ル溝５に配設されたパッキン６を対向するリブ間で押圧
することにより、圧縮変形させられたパッキン６のシー
ル作用によって上蓋４と外箱本体３との接合部から収納
容器内への外気の浸入が防止されている。このような係
止状態では、レバー部１０及び指掛け部１５は脚部３ａ
間の本体凹部３ｂに納まっている。

【０００８】図８の係止状態を解除するためには、指掛
け部１５と外箱本体３の側壁との間に指を差し入れ、レ
バー部１０を矢印Ｆの方向へ引けばよい。この時、レバ
ー部１０の下端部を延長した指掛け部１５と、円形のウ
ェーハ形状に合わせて内向きに傾斜する外箱本体３の側
壁との間には、充分な操作スペースが確保されている。
このようにしてレバー部１０を引くと、係止部は図９に
示す（ａ）ないし（ｄ）の順に変化し、係止状態が解除
されて上蓋４を開くことができる。そこで、これを簡単
に説明すると、（ａ）は係止状態にあり、取付軸１４を
支点として回転したレバー部１１の連結軸１３がフック
部９を引き下げ、この結果、係止凹部１１の上面が係止
突起１７を引き下げているのが分かる。（ｂ）はフック
・レバー部材７が取付軸１４を支点として係止位置から
若干解除方向（反時計方向）に回転移動した状態を示し
ており、係止凹部１１の下面が係止突起１７の下面に接
触し始めている。（ｃ）はさらに回転移動した状態を示
しており、レバー部１０の操作により係止凹部１１の下
面が係止突起１７の下面を押し上げるので、接合部で密
着していた上蓋４は、持ち上げられるようにして外箱本
体３からわずかに離れる。このような状態になれば、
（ｄ）に示すように、上箱４を手で容易に持ち上げて開
くことができる。なお、上蓋４を被せて外箱本体３に係
止する場合は、上述した解除操作と逆の順序で操作すれ
ばよく、係合突起１７に係合凹部１１を引っかけた後、
レバー部１０を外箱本体側へ向けて押圧すればよい。

【０００９】このように、上述した係止構造では、レバ
ー部１０を操作するだけで容易に係止及び係止解除の操
作をすることができ、しかも係止解除の操作の中で上蓋
４を持ち上げて密着状態の接合部を切り離すので、特に
容器内外の圧力差があった場合には、接合部の密着が少
しでも解除されることによって圧力差が解消され、上蓋
４を開く作業性が良好であると共に、係止状態では、フ
ック・レバー部材７が上蓋４を引き下げた状態に保持す
るので、温度変化や圧力変化が生じた場合であってもパ
ッキン６に対し適当な圧縮力を維持できるようになり、
良好なシール性を確保できる。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した構
成の板状部材収納容器は、限られた保管スペースを有効
に利用するため上下に複数段重ねて置くことが望まれ
る。板状部材収納容器を上下に重ねる場合、外箱本体３
に上蓋４を係止手段によって係止した状態、すなわち図
６の斜視図に示された状態で、上蓋４の上面にもう一方
の外箱本体３の下端面を載置するのであるが、この場
合、上蓋４の上面に外箱本体３の下端面が安定した状態
で載置され、しかも、双方が常に一定の位置関係にある
ことが望ましい。

【００１１】本発明は、上記従来技術の有する問題点に
鑑みてなされたものであり、上下に複数の板上部材収納
容器を重ねて置く場合、すでに置かれている下側の収納
容器に対してその上面に新たに載置する収納容器を容易
に位置決めでき、しかも、所定の位置で重ね合わされた
後には、双方が安定した状態を維持できるようにした板
状部材収納容器を提供することを目的としている。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明は、板上部材、若しくは板上部材を収容した内
箱を収容する外箱本体と、前記外箱本体の上部に被せら
れて接合される上蓋との間が、係止手段により前記上蓋
が前記外箱本体に向けて押圧された状態を維持し、か
つ、前記上蓋と前記外箱本体との接合部の全周にわたっ
て配設されているシール部材を圧縮して密封状態を保つ
と共に、前記上蓋の上面に他の板上部材収納容器の下端
面を重ね合わせて載置することができるように構成され
た板上部材収納容器において、前記外箱本体の下端面か
ら突出する一対の突片と、前記上蓋の上面に形成され前
記突片がそれぞれ係合する一対の係合凹部とを設けたこ
とを特徴とするものである。

【００１３】そして、前記外箱本体及び前記上蓋を平面
視矩形状とし、前記外箱本体の下端面コーナー部にそれ
ぞれ突起を設けると共に、前記上蓋の上面コーナー部に
前記突起がそれぞれ嵌合する嵌合凹部を設けたことを特
徴とするものである。

【００１４】以下、本発明の作用について説明する。請
求項１に記載の発明では、外箱本体の下端面から突出す
る一対の突片と、上蓋の上面に形成され前記突片がそれ
ぞれ係合する一対の係合凹部とを設けたので、上蓋の上
面に載置される他の板上部材収納容器の下端面から突出
する一対の突片を上蓋の上面に設けた係合凹部とそれぞ
れ係合させることによって、二つの板上部材収納容器
は、所定の位置関係で安定した状態に積み重ねられる。

【００１５】請求項２に記載の発明では、外箱本体及び
上蓋を平面視矩形状とし、外箱本体の下端面コーナー部
にそれぞれ突起を設けると共に、上蓋の上面コーナー部
に前記突起がそれぞれ嵌合する嵌合凹部を設けたので、
平面視矩形の４カ所のコーナー部で突起が嵌合凹部に嵌
合するので、より一層安定した状態で積み重ねておくこ
とができる。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面を
参照して説明する。なお、以下に説明する実施形態は、
本発明の数例にすぎず、本発明はその特許請求の範囲を
逸脱しない範囲内において、設計変更等の変形例を含む
ものである。

【００１７】図１は本発明による板状部材収納容器の上
蓋上面を示す平面図、図２は本発明による板上部材収納
容器の下端面を示す底面図である。なお、係止手段など
他の構成部分は従来技術で説明したものと同一であり、
従って、重複を避けるためここでは同一部分に同じ符号
を付して示し、その詳細な説明を省略する。

【００１８】さて、図１に示した上蓋４は、平面視がほ
ぼ矩形状となっており、対向する一対の側壁直線部に
は、それぞれ係止手段を構成する一対の係合突起１７，
１７が突設されている。そして、上蓋４の上面には、他
の対向する一対の側壁直線部に、それぞれが外周部分か
ら上蓋中心方向へ延びる幅Ｗ１の係合凹部４１，４１を
設けてある。この係合凹部４１，４１は、側壁直線部の
中心に位置し、平面部４２と垂直壁部４３とがＬ字状の
断面を形成している。すなわち、垂直壁部４３は、平面
部４２の上蓋中心側で立ち上がる壁面部であり、双方の
垂直壁部４３，４３は互いに平行に向き合って面間距離
Ｌ１を形成しており、垂直壁部４３，４３の間の上蓋４
には凸部４４が形成されている。また、上蓋４の上面に
は、４カ所のコーナー部にそれぞれ比較的浅い円形の嵌
合凹部４５を設けてある。

【００１９】一方、図２に示した外箱本体３の下端面に
は、幅をＷ２とした対向する一対の板状の突片３１，３
１を突設してある。この突片３１，３１は、重ね合わせ
た状態で上述した上蓋４の係合凹部４１，４１に対応す
る位置に設けられ、互いに対向する垂直面３２，３２を
有している。この垂直面間距離Ｌ２は、上述した上蓋４
側の垂直壁部４３，４３の面間距離Ｌ１よりわずかに大
きく設定し、また、突片３１の幅Ｗ２は、上述した係合
凹部４１の幅Ｗ１よりわずかに小さく設定してある。ま
た、外箱本体３の下端面には、それぞれのコーナー部に
円形の突起３３が突設されている。なお、この突起３３
は、それぞれが上述した上蓋４の嵌合突起４５内に嵌合
して納まるように、位置及び大きさを設定してある。

【００２０】以下、上述した構成の外箱本体３及び上蓋
４を備えた板状部材収納容器１の作用を説明する。図３
は、本発明の板状部材収納容器１を２段に積み重ねた状
態を示しており、図４は図３のＡーＡ線に沿った断面
図、図５は図３のＢ−Ｂ線に沿った断面図である。

【００２１】図３から分かるように、上段の板状部材収
納容器１は、下段となる収納容器の上蓋４の上面に外箱
本体３の下端面を接して載置されている。この状態で
は、突片３１，３１の面間Ｌ２に凸部４４が入り込み
（図４参照）、垂直壁部４３と垂直面３２とが係合して
紙面垂直方向の位置決めをするとともに、突片３２の幅
Ｗ２が係合凹部４１の幅Ｗ２に規制されて紙面左右方向
の位置決めをする。このため、上下の収納容器１，１
は、突片３１と係合凹部４１との係合により互いに所定
の位置関係に納まり、安定した状態で積み重ねられる。

【００２２】さらに、図３のように積み重ねられた上下
の収納容器１，１は、図５に示すように、４カ所のコー
ナー部で突起３３がそれぞれ嵌合凹部４５に嵌合するの
で、この４カ所でも位置決めされることになり、４カ所
が共に嵌合することでがたつきがなくなるので、所定の
位置に載置されたことを容易に確認できる。このような
状態になると、上述した突片３１と係合凹部４１との係
合だけでなく、突起３３と嵌合凹部４５との嵌合部の作
用も加わって、上下に積み重ねられた収納容器１，１は
さらに安定した状態が維持される。

【００２３】なお、これまで説明した突片３１及び係合
凹部４１は互いに垂直な面どうしで係合するようにした
が、他の実施形態では必ずしも垂直な面にする必要はな
く、例えば傾斜面どうしで係合するようにしてもよい。
なおまた、これまで説明した実施形態では、係止手段が
フック・レバー部材７及び係合突起１７により構成され
ていたが、上述した本発明は、上蓋４を外箱本体３へ向
けて押圧した状態に維持する他の構成の係止手段を採用
しているものにも適用可能なことは言うまでもなく、ま
た、上述した本発明は、複数枚の板状部材を収納する内
箱を外箱本体に収容するものに限らず、複数枚の板状部
材を、内箱を介さずに直接外箱本体内に収納するものに
も適用できる。

【００２４】

【発明の効果】上述した本発明によれば、上下に積み重
ねる際に互いに接する上蓋の上面と外箱本体の下端面と
の間に、互いに係合する突片と係合凹部を設けたので、
両者を確実に係合させることで、位置決めが容易にな
り、かつ安定した積み重ね状態を維持するといった効果
を奏する。また、互いに嵌合する突起と嵌合凹部を設け
たので、位置決めの確認が容易になり、より一層安定し
た積み重ね状態を維持できるようになるといった効果を
奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明に係わる板状部材収納容器の上蓋上面
を示す平面図である。

【図２】 本発明に係わる板状部材収納容器の外箱本体
下端面を示す底面図である。

【図３】 本発明の板上部材収納容器を上下に２段積み
重ねた状態を示す正面図である

【図４】 図３のＡーＡ線に沿う断面図である。

【図５】 図３のＢーＢ線に沿う断面図である。

【図６】 板上部材収納容器の外観を示す斜視図であ
る。

【図７】 図６の板状部材収納容器の構成を示す分解斜
視図である。

【図８】 係止状態にある従来の板状部材収納容器の断
面図である。

【図９】 係止手段の動作を示す図で、（ａ）は係止状
態を示す要部断面図、（ｂ）はフック部による上蓋の押
し下げが解除された状態を示す要部断面図、（ｃ）はフ
ック部が上蓋を押し上げ始めた状態を示す要部断面図、
（ｄ）は上蓋が開いた状態を示す要部断面図である。

【符号の説明】

１ 外箱 ２ 内箱 ３ 外箱本体 ４ 上蓋 ５，１８ シール溝 ６ パッキン（シール部材） ７ フック・レバー部材（係止手
段） １１ 係合凹部 １７ 係合突起（係止手段） ３１ 突片 ３２ 垂直面 ３３ 突起 ４１ 係合凹部 ４２ 平面部 ４３ 垂直壁部 ４４ 凸部 Ｗ ウェーハ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 板上部材、若しくは板上部材を収容した
   内箱を収容する外箱本体と、前記外箱本体の上部に被せ
   られて接合される上蓋との間が、係止手段により前記上
   蓋が前記外箱本体に向けて押圧された状態を維持し、か
   つ、前記上蓋と前記外箱本体との接合部の全周にわたっ
   て配設されているシール部材を圧縮して密封状態を保つ
   と共に、前記上蓋の上面に他の板上部材収納容器の下端
   面を重ね合わせて載置することができるように構成され
   た板上部材収納容器において、前記外箱本体の下端面か
   ら突出する一対の突片と、前記上蓋の上面に形成され前
   記突片がそれぞれ係合する一対の係合凹部とを設けたこ
   とを特徴とする板上部材収納容器。
2. 【請求項２】 前記外箱本体及び前記上蓋を平面視矩形
   状とし、前記外箱本体の下端面コーナー部にそれぞれ突
   起を設けると共に、前記上蓋の上面コーナー部に前記突
   起がそれぞれ嵌合する嵌合凹部を設けたことを特徴とす
   る請求項１に記載の板状部材収納容器。