JP3180667B2

JP3180667B2 - ウェーハ収納容器の係止構造

Info

Publication number: JP3180667B2
Application number: JP12053796A
Authority: JP
Inventors: 良浩清野
Original assignee: Mitsubishi Materials Corp
Current assignee: Mitsubishi Materials Corp
Priority date: 1996-05-15
Filing date: 1996-05-15
Publication date: 2001-06-25
Anticipated expiration: 2016-05-15
Also published as: JPH09306982A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、複数の半導体ウェ
ーハ（以下、ウェーハという）を保管したり、運搬する
のに用いて好適な、ウェーハ収納容器に関し、特に、上
蓋と外箱本体との係止構造に関する。

【０００２】

【従来の技術】ウェーハはシリコン等の単結晶インゴッ
トを軸直角方向に薄くスライスして得られるが、これは
薄くて脆く、しかも汚染を極端に嫌うため、その搬送に
は充分な配慮が必要である。すなわち、ウェーハをクリ
ーンな状態で輸送するために、ウェーハをウェーハ収納
インラインバスケット（内箱）に入れた状態でウェーハ
収納容器（輸送用ウェーハ出荷ボックス）に収納し、こ
れに、上蓋を被せて気密状態に封じ込め、さらに、ウェ
ーハ収納容器の外部を包装し衝撃を緩和する緩衝材とと
もに段ボール梱包して、輸送する。このように、ウェー
ハ収納容器は、一般に、前記内箱を収納する外箱本体
と、外箱本体を封じ込める上蓋とで構成されており、内
部をクリーンな状態に常に保つためには、外箱本体と上
蓋との接合部分を完全にシールする必要がある。そし
て、このようなウェーハ収納容器においては、上蓋を外
箱本体に固定することと、簡単な操作で上蓋の外箱本体
への係止を解除することが要求される。

【０００３】ここで、ウェーハを整然と収納して搬送す
ることのできる、従来のウェーハ収納容器としては、例
えば図６乃至図１３に示すようなものが知られている
（特開平５−６３０６６号公報）。すなわち、図６は従
来の係止構造を備えるウェーハ収納容器の破断正面図、
図７は図６の側面図、図８は図６のＡ部拡大詳細図、図
９は上蓋の正面図、図１０は図９のＢ−Ｂ線断面図、図
１１は係止構造を示すフック部の正面図、図１２は図１
１のＣ−Ｃ線断面図、図１３は上蓋を閉じる際のフック
の作用を示す図１２と同様の図である。

【０００４】ウェーハ収納容器は、図６および図７に示
すように、外箱１と外箱１内に収納される内箱２を含ん
で構成されている。外箱１は、外箱本体１Ａと上蓋１Ｂ
とで構成され、上蓋１Ｂは外箱本体１Ａの上端開口部に
被せられて外箱本体１Ａに係止されるが、両者の間には
パッキン３が介在するため、図示のように上蓋１Ｂを閉
じた状態では外箱１内は密閉状態に保たれる。また、内
箱２は、図７に示すように、複数枚のウェーハＷを整然
と収容するものであって、これの上部は開口し、その相
対向する一対の側壁２ａ，２ａの内側には縦方向に長い
複数のリブ２ｂがウェーハＷの配列方向（図６の紙面垂
直方向）に適当なピッチで突設されており、これらのリ
ブ２ｂの間には複数の仕切溝が形成されている。そし
て、各ウェーハＷは、側壁２ａ，２ａにそれぞれ形成さ
れた相対向する一対の仕切溝に嵌め込まれて整然と収容
される。

【０００５】ところで、上蓋１Ｂの開口周縁部には、図
８に詳細に示すように、内外二重壁を構成する内側壁１
１および外側壁１２が形成されている。また、外箱本体
１Ａの開口周縁部には、同じく内外二重壁を構成する内
側壁１３および外側壁１４が形成されている。図示のよ
うに、外箱本体１Ａの上端開口部に上蓋４が被せられて
係止されている状態においては、上蓋１Ｂと外箱本体１
Ａの各外側壁１２，１４は互いに嵌合しており、嵌合状
態にある両外側壁１２，１４と上蓋１Ｂ、外箱本体１Ａ
の各内側壁１１，１３とで囲まれる空間には前記パッキ
ン３が介在し、このパッキン３のシール作用によって上
蓋１Ｂと外箱本体１Ａとの接合部から収納容器内への外
気の浸入が防止されている。

【０００６】ここで、上蓋１Ｂの係止構造について、図
９乃至図１３を参照して説明する。図９に示すように、
上蓋１Ｂの左右側方には、開口周縁部から一体的に垂下
する一対のフック１６，１６が相対向して形成されてお
り、各フック１６，１６の両端部には係止片１７，１７
が形成され、中央部には矩形の操作口１８が穿設されて
いる。一方、図１１乃至図１３に示すように、外箱本体
１Ａの前記フック１６に対応する部位には、フック１６
が嵌まり込むべき矩形凹部２１が形成されており、外箱
本体１Ａの開口周縁部には前記フック１６の係止片１
７，１７の頂部が係合すべき係止具２２，２２が突設さ
れている。なお、各係止具２２には、下方に向って広が
る傾斜面２２ａが形成されている。また、外箱本体１Ａ
の係止具２２，２２の下方位置には、図１２に示すよう
に、上蓋１Ｂが係止状態にあるときにフック１６の係止
片１７，１７の裏面の中間部に当接する突起２３，２３
が突設されている。

【０００７】上記構成のウェーハ収納容器において、上
蓋１Ｂを閉じるには、図１３に示すように、上蓋１Ｂを
外箱本体１Ａの上端開口部に被せ、上蓋１Ｂを下方へ押
圧すればよい。すると、図１３に実線にて示すように、
上蓋１Ｂの各フック１６はその下端縁が外箱本体１Ａの
係止具２２の斜面２２ａに当接し、該斜面２２ａに沿っ
て滑ることによってフック１６は外方へ押し広げられ
る。そして、フック１６の下端縁が係止具２２から外れ
た後は、図１３に鎖線にて示すように、フック１６はそ
の裏面が係止具２２に当接することによってさらに押し
広げられ、各係止片１７の上端縁が係止具２２を通過す
ると同時にフック１６は弾性力で元の位置まで戻り、こ
のとき各係止片１７の上端が係止具２２に係合するた
め、上蓋１Ｂは外箱本体１Ａに部せられて係止される。

【０００８】次に、上蓋１Ｂを開ける場合には、図１２
に示すように、上蓋１Ｂの各フック１６の下端部を外方
から内方へ向って力で押し込めば良い。すると、フック
１６の各係止片１７は、図１２に鎖線にて示すように、
外箱本体１Ａ側の突起２３を支点として回動するため、
係止片１７の係止具２２との係合が解除される。その
後、上蓋１Ｂを上方へ持ち上げれば、上蓋１Ｂを外箱本
体１Ａから取外すことができる。上述のようなフック１
６を内方へ押し込む作業は、内側から外側に向って押し
広げる作業に比べて力をかけ易いため、上蓋１Ｂと外箱
本体１Ａとの係止の解除を作業性よく行うことができ
る。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来技術のものは、上蓋１Ｂの１つの係止片１７と外箱本
体１Ａの１つの係止具２２との係止箇所は一箇所なの
で、上蓋１Ｂと外箱本体１Ａとの接合部を圧縮密閉する
力が弱いという問題点がある。また、上記従来技術のも
のは、上蓋を外箱本体に固定することと、簡単な操作で
上蓋の外箱本体への係止を解除できるが、上蓋を外箱本
体から取外す（上蓋を開ける）ことは容易ではない。す
なわち、上蓋を開けるためには、フックの部分が元に戻
らないように手で押えながら同時に上蓋を持ち上げる必
要があり、作業性が悪い。特に、温度差が生じたときや
長時間に渡る経過後に、収納容器内外の圧力差が生じ
て、上蓋が外箱本体に吸引され上蓋を容易には持ち上げ
れない場合には、２名の作業員が必要になる危惧があ
る。

【００１０】本発明は、上記従来技術の有する問題点に
鑑みてなされたものであり、上蓋と外箱本体との接合部
の係止強度ひいては圧縮性が良く、上蓋と外箱本体との
係止の解除および上蓋の持ち上げをともに行って、上蓋
を開ける際の作業性の向上を図ることができる、ウェー
ハ収納容器の係止構造を提供することを目的としてい
る。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明は、ウェーハ、若しくはウェーハを収容した内
箱を収容する外箱本体と、前記外箱本体の上部に被せら
れて接合される上蓋とからなるウェーハ収納容器におい
て、前記ウェーハ収納容器の相対向する部位に少なくと
も一対設けられて、前記外箱本体に前記上蓋を係止した
り該係止を解除するための係止構造であって、前記上蓋
の下端に側方に突出した突出部が形成されており、前記
外箱本体に一端部が回動自在に支持され、かつ他端部が
前記上蓋の前記突出部に係止可能な第１のフック部材
と、前記第１のフック部材の前記他端部に一端部が回動
自在に支持され、かつ他端部で前記上蓋の天板部に係止
可能な第２のフック部材とを備えていることを特徴とす
るものである。

【００１２】また、ウェーハ、若しくはウェーハを収容
した内箱を収容する外箱本体と、前記外箱本体の上部に
被せられて接合される上蓋とからなるウェーハ収納容器
において、前記ウェーハ収納容器の相対向する部位に少
なくとも一対設けられて、前記外箱本体に前記上蓋を係
止したり該係止を解除するための係止構造であって、前
記上蓋の下端に側方に突出した突出部が形成されてお
り、前記外箱本体に下端部が回動自在に支持され、かつ上端
部が前記上蓋の前記突出部に係止可能な第１のフック部
材と、前記第１のフック部材の上部に下端部が回動自在に支持
され、かつ上端部で前記上蓋の天板部に係止可能な第２
のフック部材とを備え、前記第２のフック部材の前記下端部は、その下端に、前
記上蓋の前記天板部との係合が解除された後に、前記上
蓋を押し上げる凸部を有している。さらに、前記上蓋の
側壁には空気流通穴が形成され、この空気流通穴は、前
記第２のフック部材が前記上蓋の前記天板部に係止され
ているときに、前記第２のフック部材により閉塞される
ものである。

【００１３】以下、本発明の作用について説明する。請
求項１に記載の発明では、上蓋が外箱本体に係止されて
いる状態からこの係止を解除するには、先ず、第２のフ
ック部材を上蓋から遠ざかる方向に回動させて上蓋の天
板部との係合を解除し、次に、第１のフック部材も上蓋
から遠ざかる方向に回動させて、上蓋の下端の突出部と
の係止を解除する。最後に、上蓋を手で持ち上げて外箱
本体との密着力を解く。本発明の係止構造は、第１およ
び第２の２つのフック部材により上蓋を同時に係止す
る、ダブルフック構造であるので、上蓋と外箱本体との
接合部の密着力を確実に保持することができる。

【００１４】請求項２に記載の発明では、第１および第
２のフック部材の係止が解除されている状態で、第２の
フック部材をさらに回動させると、第２のフック部材の
下端部側の凸部で上蓋を押し上げ、外箱本体に密着して
いた上蓋を上方へ若干量押し上げることができ、結果的
に、上蓋の外箱本体への密着力を解くことができる。最
後に、上蓋を小さな力で持ち上げれば外箱本体から外れ
て、上蓋を開くことができる。このように、本発明で
は、第２のフック部材により外箱本体を閉じ込める密着
力を除き、すなわち、少なくとも一対の第２のフック部
材で上蓋を持ち上げ、上蓋と外箱本体との密着状態を解
除する。そして、特に、温度差が生じたときや長時間に
渡る経過後に、収納容器内外の圧力差が生じて、従来の
ように上蓋が外箱本体に吸引されて上蓋が開きにくいこ
とがあっても、両手で少なくとも一対の第２のフック部
材を操作して、上蓋を容易に持ち上げる。

【００１５】請求項３に記載の発明では、第２のフック
部材を回動させて前記上蓋の天板部との係止を解除する
際に、上蓋の空気流通穴が解放されるので、外箱本体内
の圧力が外界の圧力（例えば大気圧）と等しくなり、上
蓋の外箱本体への密着力をさらに容易に解くことができ
る。

【００１６】

【発明の実施の形態】次に、本発明の一実施形態例につ
いて、図面を参照して説明する。図１の（ａ），（ｂ）
はそれぞれ、本発明に係わるウェーハ収納容器の正面図
および側面図で、図２は本発明のウェーハ収納容器の係
止構造を示す図であって、第１および第２の双方のフッ
ク部材９，１０が上蓋４に係止されている状態を示して
おり、図３乃至図５は、図２の状態から上蓋４の外箱本
体５からの密着力を解くまでの各過程を示す図である。
なお、以下に説明する実施形態例は、あくまでも本発明
の一例にすぎず、本発明はその特許請求の範囲を逸脱し
ない範囲内において、設計変更等の変形例を含むもので
ある。

【００１７】先ず、図１および図２に示すように、平面
視略矩形の上蓋４は、その互いに相対向する位置におい
て、後述する一対の係止機構Ａ，Ａにより、外箱本体５
に係止されるようになっている。上蓋４および外箱本体
５とで、ウェーハ収納容器が構成され、複数枚のウェー
ハＷを整然とした状態で収納するものである。

【００１８】複数枚のウェーハＷは、外箱本体５内に設
けた中仕切りと呼ばれる内箱（バスケット）３３に整然
と収容されている。内箱３３の上部は開口し、その相対
向する一対の側壁の内側には縦方向に長い複数のリブ３
４がウェーハＷの配列方向（図２では図面に垂直な方
向）に適当なピッチで突設されており、これらのリブ３
４の間には複数の仕切溝が形成されている。そして、各
ウェーハＷは、前記側壁壁にそれぞれ形成された相対向
する一対の仕切溝に嵌め込まれて整然と並べられてい
る。そして、上蓋４が外箱本体５に密着している状態に
おいて、上蓋４の天板部４ｃの下面には、前記整然と並
べられた各ウェーハＷのそれぞれの上端に当接して押さ
えるための複数のウェーハ押さえ片３６を有するウェー
ハ押さえ部材３５が装着されている。これにより、ウェ
ーハ収納容器の輸送時等においても、ウェーハＷが安定
に保持されて移動したりしない。なお、以下に説明する
本発明は、複数枚のウェーハＷを収容する内箱３３を外
箱本体５内に収納するものに限らず、複数枚のウェーハ
Ｗを内箱を介さずに、直接外箱本体５内に収納するウェ
ーハ収納容器にも適用できる。また、上蓋４および外箱
本体５は、平面視矩形状のものにかぎらず、平面視円形
状としてもよい。

【００１９】図２に示すように、上蓋４の下端開口周縁
部は、内外二重壁を構成する内側壁４ｂと外側壁４ａと
を有する突出部（フランジ部）４ｅが形成されている。
また、外箱本体５の上端の開口周縁部にも、同じく内外
二重壁を構成する内側壁５ｂと外側壁５ａとが形成され
ている。なお、符号５ｃは、外箱本体５の上部を取り囲
む大径側壁を示している。図示のように、上蓋４が外箱
本体５の上端開口部に被せされて係止されている状態に
おいては、上蓋４および外箱本体５の各外側壁４ａ，５
ａは互いに嵌合しているとともに、上蓋４および外箱本
体５の各内側壁４ａ，５ａも互いに嵌合している。外箱
本体５の内外側壁５ｂ，５ａで囲まれる環状の空間は、
シール部材（例えばＯリング）６を装着するためのシー
ル部材装着溝８になっている。一方、上蓋４の突出部４
ｅの下面には、前記シール部材６に押圧する断面逆山形
の突起７が環状に形成されている。この突起７の下端が
シール部材６に線接触にて押圧し、シール部材６とのシ
ール作用によって上蓋４と外箱本体５との接合部からウ
ェーハ収納容器内への外気の浸入が防止されている。

【００２０】次に、前記ウェーハ収納容器の一対の係止
構造について説明する。なお、一対の係止機構Ａ，Ａは
互いに同一構造であるので、１つの係止機構Ａを例に挙
げて説明する。外箱本体５の相対向する側壁にはブラケ
ット３１が一体的にそれぞれ設けられており、各ブラケ
ット３１にはピン部材３２を介して第１のフック部材９
の下端部が回動自在（矢印Ｂ方向参照）に設けられてい
る。この第１のフック部材９は側面視（図１（ｂ）図
示）でほぼ凹型のものであり、その上部凹部には、第２
のフック部材１０の下端部がピン部材３０を介して回動
自在（矢印Ｃ方向参照）に支持されている。上蓋４の側
壁４ｄには空気流通穴４１が形成され、この空気流通穴
４１は、図２の状態時には、前記側壁４ｄが第２のフッ
ク部材１０により押圧されていることにより密閉されて
いる。

【００２１】第１のフック部材９の上端部両側には、上
蓋４の突出部（フランジ部）４ｅの上面と係止可能な突
出部４ｆ，４ｇになっている。一方、第２のフック部材
１０はほぼ「く」字型に屈曲形成されたものであり、そ
の上端部で上蓋４の天板部４ｃに係止可能である。符号
３７は上蓋４に設けられた押し上げ突起を示している。
この押し上げ突起３７は、前記上蓋４の側壁４ｄの、第
２のフック部材１０と重なる位置に、側方へ突出するよ
うに一体的に設けられている。そして、第２のフック部
材１０には、前記天板部４ｃに係止されている状態にお
いて、前記押し上げ突起３７が入り込むような凹み部１
０ａが形成されている。

【００２２】さらに、図４に示すように、第２のフック
部材１０を回動させてその下端部で上蓋４を若干押し上
げることができる。これにより、上蓋４の外箱本体５へ
の密着力を解くことができる。この際、前記上蓋４の押
し上げ突起３７および前記第２のフック部材１０には、
それぞれ互いに嵌め合う凸部３８および溝部３９がそれ
ぞれ形成されている。

【００２３】以下、本実施例のウェーハ収納容器の係止
機構Ａの作用について説明する。図２の状態では、第１
のフック部材９および第２のフック部材１０は、それぞ
れ上蓋４の突出部（フランジ部）４ｅおよび天板部４ｃ
に係止され、また、前記シール部材６により、上蓋４お
よび外箱本体５の接合部がシールされている。本例で
は、ウェーハ収納容器の係止機構Ａ，Ａは一対あるの
で、以下のように両手でそれぞれ操作する。図３に示す
ように、図２の状態から前記シールを解除するには、先
ず、第２のフック部材１０を上蓋４から遠ざかる方向に
回動させて上蓋４の天板部４ｃとの係合を解除し、次
に、第１のフック部材９も上蓋４から遠ざかる方向に回
動させて上蓋４の下端の突出部４ｅとの係止を解除す
る。第２のフック部材１０により閉塞されていた上蓋４
の空気流通穴４１は解放され、ウェーハ収納容器の内外
の気圧差がなくなる。なお、図３の状態時では、第１の
フック部材９の傾斜角度θ ₁は１０゜程度になってい
る。

【００２４】次に、図４に示すように、第２のフック部
材１０をさらに回動させて、その溝部３９に、上蓋４の
押し上げ突起３７の凸部３８に嵌め合わせる。このと
き、第１のフック部材９の傾斜角度θ₂は８゜程度にな
っている。さらに、図５に示すように、第２のフック部
材１０をさらに回動させて、その下端の凸部４０で上蓋
４を若干量押し上げる。この際、上記のように、ウェー
ハ収納容器の内外の気圧差は等しくなっているので、上
蓋４の外箱本体５への密着力を容易に解くことができ
る。なお、第１のフック部材９の傾斜角度θ₃は７．５
゜程度になっている。最後に、第１および第２のフック
部材９，１０を上蓋４から完全に離れるまでそれぞれ回
動させ、上蓋４を手で持ち上げて外箱本体５から外す。

【００２５】上記のように本実施形態例は、第１および
第２の２つのフック部材９，１０により上蓋４を同時に
係止する、ダブルフック構造であるので（図２の状
態）、上蓋４と外箱本体５との接合部の密着力を確実に
保持することができる。

【００２６】また、第１および第２のフック部材９，１
０の係止が解除されている状態で、第２のフック部材１
０をさらに回動させると、第２のフック部材１０の下端
部側で上蓋４を押し上げ、外箱本体５に密着していた上
蓋４を上方へ若干量押し上げることができ、結果的に、
上蓋４の外箱本体５への密着力を解くことができる。最
後に、上蓋４を小さな力で持ち上げれば外箱本体５から
外れて、上蓋４を容易に開くことができる。このよう
に、上蓋４と外箱本体５との密着状態を解除する際に、
作業性と確実性が改善される。特に、温度差が生じたと
きや長時間に渡る経過後に、ウェーハ収納容器内外の圧
力差が生じて、従来のように上蓋４が外箱本体５に吸引
されて上蓋４が開きにくいことがあっても、予めウェー
ハ収納容器の内外の気圧差を等しくするので、前記作業
性および確実性の向上は極めて大きい。

【００２７】ところで、上蓋４を外箱本体５に装着して
係止するには、図２乃至図５のほぼ逆の過程を行う。す
なわち、図５に示すように、上蓋４を外箱本体５上に被
せ、第１のフック部材９を収納容器側に回動させて、そ
の突出部４ｆ（４ｇ）で上蓋４の突出部４ｅを下方へ押
圧して、上蓋４を外箱本体５に密閉する。そして、第１
のフック部材９および第２のフック部材１０を上蓋４の
突出部４ｅおよび天板部４ｃにそれぞれ係止させる（図
２の状態）。

【００２８】

【発明の効果】本発明は、以上説明したとおりに構成さ
れているので、以下に記載するような効果を奏する。請
求項１に記載の発明は、少なくとも一対の係止機構はそ
れぞれ２つのフック部材を備えたものであるので、上蓋
と外箱本体との接合部の密着力を確実に保持し、より強
い密着力で上蓋と外箱本体との接合部を圧縮密閉するこ
とができ、結果的に、シール性が向上する。

【００２９】請求項２に記載の発明は、上記効果の他、
両手により一対の第２のフック部材で上蓋を持ち上げ、
上蓋と外箱本体との密着状態を解除するものなので、上
蓋の開封の作業性と確実性が改善される。特に、温度差
が生じたときや長時間に渡る経過後に、収納容器内外の
圧力差が生じて、従来のように上蓋が外箱本体に吸引さ
れて上蓋が開きにくいことがあっても、一名の作業員に
より上蓋を容易に持ち上げて、収納容器内外の気圧差を
なくすことができる。

【００３０】請求項３に記載の発明は、上記効果の他、
第２のフック部材を回動させて前記上蓋の天板部との係
止を解除する際に、上蓋の空気流通穴が解放されるの
で、外箱本体内の圧力が外界の圧力（例えば大気圧）と
等しくなる。このように、上蓋の密着力を解く前に、予
め外箱本体内の圧力を外界のそれと等しくすることによ
り、前記密着力を容易に解くことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ），（ｂ）はそれぞれ、本発明に係わるウ
ェーハ収納容器の正面図、側面図である。

【図２】本発明のウェーハ収納容器の係止構造を示す図
であり、第１および第２の双方のフック部材が上蓋に係
止されている状態を示している。

【図３】図２の状態から第１および第２の双方のフック
部材を回動させて上蓋との係止を解除した状態を示す図
である。

【図４】図３の状態から第２のフック部材をさらに回動
させて、その凹部３９を上蓋の凸部３８に嵌め合わせた
状態を示す図である。

【図５】図４の状態から第２のフックを回動させて、そ
の上蓋を若干量押し上げて外箱本体との密着を解除した
状態を示す図である。

【図６】従来の係止構造を備えるウェーハ収納容器の破
断正面図である。

【図７】図６の側面図である。

【図８】図６のＡ部拡大詳細図である。

【図９】上蓋の正面図である。

【図１０】図９のＢ−Ｂ線断面図である。

【図１１】係止構造を示すフック部の正面図である。

【図１２】図１１のＣ−Ｃ線断面図である。

【図１３】上蓋を閉じる際のフックの作用を示す図１２
と同様の図である。

【符号の説明】

Ａ係止構造Ｗウェーハ４上蓋４ａ外側壁４ｂ内側壁４ｃ天板部４ｄ側壁４ｆ，４ｇ突出部５外箱本体５ａ外側壁５ｂ内側壁５ｃ大径側壁６シール部材７断面逆山形状の突起８シール部材装着溝９第１のフック部材１０第２のフック部材１０ａ凹み部３０ピン部材３１ブラケット３２ピン部材３３内箱（バスケット）３４リブ３５ウェーハ押さえ部材３６ウェーハ押さえ片３７押し上げ突起３８凸部３９溝部４０凸部４１空気流通穴

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】ウェーハ、若しくはウェーハを収容した
内箱を収容する外箱本体と、前記外箱本体の上部に被せ
られて接合される上蓋とからなるウェーハ収納容器にお
いて、前記ウェーハ収納容器の相対向する部位に少なく
とも一対設けられて、前記外箱本体に前記上蓋を係止し
たり該係止を解除するための係止構造であって、前記上蓋の下端に側方に突出した突出部が形成されてお
り、前記外箱本体に一端部が回動自在に支持され、かつ他端
部が前記上蓋の前記突出部に係止可能な第１のフック部
材と、前記第１のフック部材の前記他端部に一端部が回動自在
に支持され、かつ他端部で前記上蓋の天板部に係止可能
な第２のフック部材とを備えていることを特徴とするウ
ェーハ収納容器の係止構造。
【請求項２】ウェーハ、若しくはウェーハを収容した
内箱を収容する外箱本体と、前記外箱本体の上部に被せ
られて接合される上蓋とからなるウェーハ収納容器にお
いて、前記ウェーハ収納容器の相対向する部位に少なく
とも一対設けられて、前記外箱本体に前記上蓋を係止し
たり該係止を解除するための係止構造であって、前記上蓋の下端に側方に突出した突出部が形成されてお
り、前記外箱本体に下端部が回動自在に支持され、かつ上端
部が前記上蓋の前記突出部に係止可能な第１のフック部
材と、前記第１のフック部材の上部に下端部が回動自在に支持
され、かつ上端部で前記上蓋の天板部に係止可能な第２
のフック部材とを備え、前記第２のフック部材の前記下端部は、その下端に、前
記上蓋の前記天板部との係合が解除された後に、前記上
蓋を押し上げる凸部を有していることを特徴とするウェ
ーハ収納容器の係止構造。
【請求項３】前記上蓋の側壁には空気流通穴が形成さ
れ、この空気流通穴は、前記第２のフック部材が前記上
蓋の前記天板部に係止されているときに、前記第２のフ
ック部材により閉塞されるものである請求項１または請
求項２に記載のウェーハ収納容器の係止構造。