JPH09148422A - ウェーハ収納容器の係止構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】レバー操作により、上蓋と外箱本体との係止の
解除および上蓋の押し上げをともに行って、上蓋を開け
る際の作業性が向上する係止構造を提供する。 【解決手段】 ウェーハ収納容器は、ウェーハを収容す
る外箱本体５と外箱本体５の上部に被せられてる上蓋４
とから構成されている。上蓋４の開口周縁部の外側壁４
ａには、互いに相対向する位置に係合突起３０がそれぞ
れ設けられている。一方、外箱本体５には、前記係合突
起３０とそれぞれ係合する係合凹部３１を先端部に備え
た一対のフック部９がそれぞれ設けられている。一対の
レバー部１０は、フック部９の他端部を一体的に支持
し、一端部が外箱本体５に回動自在に支持されている。
（ａ）の状態から、レバー部１０の下端部を内側に押し
込むことにより（矢印Ｆ参照）、フック部９と上蓋４と
の係合を解除し、この際に、上蓋４を押し上げるための
押し上げ用突起３２がレバー部１０に設けられている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、複数の半導体ウェ
ーハ（以下、ウェーハという）を保管したり、運搬する
のに用いて好適な、ウェーハ収納容器に関し、特に、上
蓋と外箱本体との係止構造に関する。

【０００２】

【従来の技術】ウェーハはシリコン等の単結晶インゴッ
トを軸直角方向に薄くスライスして得られるが、これは
薄くて脆く、しかも汚染を極端に嫌うため、その搬送に
は充分な配慮が必要である。すなわち、ウェーハをクリ
ーンな状態で輸送するために、ウェーハをウェーハ収納
インラインバスケット（内箱）に入れた状態でウェーハ
収納容器（輸送用ウェーハ出荷ボックス）に収納し、こ
れに、上蓋を被せて気密状態に封じ込め、さらに、ウェ
ーハ収納容器の外部を包装し衝撃を緩和する緩衝材とと
ともに段ボール梱包して、輸送する。このように、ウェ
ーハ収納容器は、一般に、前記内箱を収納する外箱本体
と、外箱本体を封じ込める上蓋とで構成されており、内
部をクリーンな状態に常に保つためには、外箱本体と上
蓋との接合部分を完全にシールする必要がある。そし
て、このようなウェーハ収納用容器においては、上蓋を
外箱本体に固定することと、簡単な操作で上蓋の外箱本
体への係止を解除することが要求される。

【０００３】ここで、ウェーハを整然と収納して搬送す
ることのできる、従来のウェーハ収納容器としては、例
えば図６乃至図１３に示すようなものが知られている
（特開平５−６３０６６号公報）。すなわち、図６は従
来の係止構造を備えるウェーハ収納容器の破断正面図、
図７は図６の側面図、図８は図６のＡ部拡大詳細図、図
９は上蓋の正面図、図１０は図９のＢ−Ｂ線断面図、図
１１は係止構造を示すフック部の正面図、図１２は図１
１のＣ−Ｃ線断面図、図１３は上蓋を閉じる際のフック
の作用を示す図１２と同様の図である。

【０００４】ウェーハ収納容器は、図６および図７に示
すように、外箱１と外箱１内に収納される内箱２を含ん
で構成されている。外箱１は、外箱本体１Ａと上蓋１Ｂ
とで構成され、上蓋１Ｂは外箱本体１Ａの上端開口部に
被せられて外箱本体１Ａに係止されるが、両者の間には
パッキン３が介在するため、図示のように上蓋１Ｂを閉
じた状態では外箱１内は密閉状態に保たれる。また、内
箱２は、図７に示すように、複数枚のウェーハＷを整然
と収容するものであって、これの上部は開口し、その相
対向する一対の側壁２ａ，２ａの内側には縦方向に長い
複数のリブ２ｂがウェーハＷの配列方向（図６の紙面垂
直方向）に適当なピッチで突設されており、これらのリ
ブ２ｂの間には複数の仕切溝が形成されている。そし
て、各ウェーハＷは、側壁２ａ，２ａにそれぞれ形成さ
れた相対向する一対の仕切溝に嵌め込まれて整然と収容
される。

【０００５】ところで、上蓋１Ｂの開口周縁部には、図
８に詳細に示すように、内外二重壁を構成する内側壁１
１および外側壁１２が形成されている。また、外箱本体
１Ａの開口周縁部には、同じく内外二重壁を構成する内
側壁１３および外側壁１４が形成されている。図示のよ
うに、外箱本体１Ａの上端開口部に上蓋４が被せられて
係止されている状態においては、上蓋１Ｂと外箱本体１
Ａの各外側壁１２，１４は互いに嵌合しており、嵌合状
態にある両外側壁１２，１４と上蓋１Ｂ、外箱本体１Ａ
の各内側壁１１，１３とで囲まれる空間には前記パッキ
ン３が介在し、このパッキン３のシール作用によって上
蓋１Ｂと外箱本体１Ａとの接合部から収納容器内への外
気の浸入が防止されている。

【０００６】ここで、上蓋１Ｂの係止構造について、図
９乃至図１３を参照して説明する。図９に示すように、
上蓋１Ｂの左右側方には、開口周縁部から一体的に垂下
する一対のフック１６，１６が相対向して形成されてお
り、各フック１６，１６の両端部には係止片１７，１７
が形成され、中央部には矩形の操作口１８が穿設されて
いる。一方、図１１乃至図１３に示すように、外箱本体
１Ａの前記フック１６に対応する部位には、フック１６
が嵌まり込むべき矩形凹部２１が形成されており、外箱
本体１Ａの開口周縁部には前記フック１６の係止片１
７，１７の頂部が係合すべき係止具２２，２２が突設さ
れている。なお、各係止具２２には、下方に向って広が
る傾斜面２２ａが形成されている。また、外箱本体１Ａ
の係止具２２，２２の下方位置には、図１２に示すよう
に、上蓋１Ｂが係止状態にあるときにフック１６の係止
片１７，１７の裏面の中間部に当接する突起２３，２３
が突設されている。

【０００７】上記構成のウェーハ収納容器において、上
蓋１Ｂを閉じるには、図１３に示すように、上蓋１Ｂを
外箱本体１Ａの上端開口部に被せ、上蓋１Ｂを下方へ押
圧すればよい。すると、図１３に実線にて示すように、
上蓋１Ｂの各フック１６はその下端縁が外箱本体１Ａの
係止具２２の斜面２２ａに当接し、該斜面２２ａに沿っ
て滑ることによってフック１６は外方へ押し広げられ
る。そして、フック１６の下端縁が係止具２２から外れ
た後は、図１３に鎖線にて示すように、フック１６はそ
の裏面が係止具２２に当接することによってさらに押し
広げられ、各係止片１７の上端縁が係止具２２を通過す
ると同時にフック１６は弾性力で元の位置まで戻り、こ
のとき各係止片１７の上端が係止具２２に係合するた
め、上蓋１Ｂは外箱本体１Ａに部せられて係止される。

【０００８】次に、上蓋１Ｂを開ける場合には、図１２
に示すように、上蓋１Ｂの各フック１６の下端部を外方
から内方へ向って力で押し込めば良い。すると、フック
１６の各係止片１７は、図１２に鎖線にて示すように、
外箱本体１Ａ側の突起２３を支点として回動するため、
係止片１７の係止具２２との係合が解除される。その
後、上蓋１Ｂを上方へ持ち上げれば、上蓋１Ｂを外箱本
体１Ａから取外すことができる。上述のようなフック１
６を内方へ押し込む作業は、内側から外側に向って押し
広げる作業に比べて力をかけ易いため、上蓋１Ｂと外箱
本体１Ａとの係止の解除を作業性よく行うことができ
る。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のものは、上蓋を外箱本体に固定することと、簡単な
操作で上蓋の外箱本体への係止を解除できるが、上蓋を
外箱本体から取外す（上蓋を開ける）ことは容易ではな
い。すなわち、上記従来技術のものでは、上蓋を開ける
ためには、フックの部分が元に戻らないように手で押え
ながら同時に上蓋を持ち上げる必要があり、作業性が悪
い。特に、温度差が生じたときや長時間に渡る経過後
に、収納容器内外の圧力差が生じて、上蓋が外箱本体に
吸引され上蓋を容易には持ち上げれない場合には、２名
の作業員が必要になる危惧がある。また、単なるフック
止めによる係止構造なので、上蓋と外箱本体との接合部
を圧縮密閉する力が弱いという問題点もある。さらに、
温度変化や気圧変化により、外箱本体がその内方に収縮
した場合には、外箱本体と上蓋との間に隙間が生じ易
く、シール性が悪くなるという問題点もある。

【００１０】本発明は、上記従来技術の有する問題点に
鑑みてなされたものであり、レバー操作により上蓋と外
箱本体との係止の解除および上蓋の持ち上げをともに行
って、上蓋を開ける際の作業性の向上を図ることができ
るとともに、上蓋と外箱本体との接合部の圧縮性が良
く、シール性の高いウェーハ収納容器の係止構造を提供
することを目的としている。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明は、ウェーハ、若しくはウェーハを収容した内
箱を収容する外箱本体と、前記外箱本体の上部に被せら
れて接合される上蓋との係止構造において、前記上蓋の
側壁の相対向する部位に、係合突起あるいは係合凹部が
それぞれ設けられ、一方、前記外箱本体の相対向する部
位にそれぞれ設けられた、前記上蓋の係合突起あるいは
係合凹部とそれぞれ係合可能な係合凹部あるいは係合突
起を備えた一対のフック部と、前記一対のフック部をそ
れぞれ支持し、かつ一端部が前記外箱本体に回動自在に
支持されて、前記フック部を前記上蓋に係合させるとと
もに前記係合を解除するための一対のレバー部材とから
なる一対のフック・レバー部材を備え、前記一対のレバ
ー部が前記外箱本体側に向けてそれぞれ押し込まれるこ
とにより、前記一対のフック部と前記上蓋との係合を解
除するように構成し、さらに、前記一対のフック部に
は、前記係合の解除の際に、前記上蓋を上方へ押し上げ
るための上蓋押し上げ用突起がそれぞれ設けられている
ことを特徴とするものである。

【００１２】また、前記上蓋の開口周縁部に内外二重壁
を構成する内側壁および外側壁が形成され、前記外箱本
体の開口周縁部にも内外二重壁を構成する内側壁および
外側壁が形成され、前記上蓋が前記外箱本体の上端開口
部に被せられて係止されている状態においては前記上蓋
と前記外箱本体の各外側壁が互いに嵌合しており、嵌合
状態にある両外側壁と前記上蓋、前記外箱本体の各内側
壁とで囲まれる空間にはシール部材が介在されており、
前記上蓋の前記外側壁の相対向する部位に前記係合突起
あるいは係合凹部がそれぞれ設けられているものであ
る。

【００１３】さらに、前記上蓋の前記外箱本体への装着
時における摺接面の相対向する部位には、ウェーハ収納
容器の上下方向に延びる蟻溝あるいは末広がりの突起が
それぞれ設けられ、一方、前記外箱本体の相対向する部
位には、前記蟻溝あるいは末広がりの突起と嵌合する末
広がりの突起あるいは蟻溝がそれぞれ設けられているも
のである。

【００１４】以下、本発明の作用について説明する。請
求項１に記載の発明では、上蓋を外箱本体に係止させる
には、上蓋を外箱本体に被せて密着させ、ここで、一対
のフック・レバー部材の一対のレバー部をそれぞれ引く
ことにより、一対のフック部を外箱本体側にそれぞれ移
動させて、それらの係合部（係合凹部あるいは係合突
起）を上蓋の係合部（係合突起あるいは係合凹部）に係
合させる。そして、上蓋の外箱本体との係止を解除する
には、一対のレバー部をそれぞれ押し込んで、一対のフ
ック部を外箱本体からそれぞれ遠ざけて、それらの前記
係合部を上蓋の前記係合部から外す。この際、一対のフ
ック部の上蓋押し上げ用突起が上蓋の両端部を押し上げ
るので、外箱本体に密着していた上蓋を上方へ若干量押
し上げることができ、結果的に、上蓋の外箱本体への密
着力を解くことができる。最後に、上蓋を小さな力で持
ち上げれば外箱本体から外れて、上蓋を開くことができ
る。

【００１５】このように、本発明では、一対のフック・
レバー部材により外箱本体を閉じ込める密着力を除き、
すなわち、一対のフック・レバー部材で上蓋を持ち上
げ、上蓋と外箱本体との密着状態を解除するもので、作
業性と確実性が改善される。特に、温度差が生じたとき
や長時間に渡る経過後に、収納容器内外の圧力差が生じ
て、従来のように上蓋が外箱本体に吸引されて上蓋が開
きにくいことがあっても、一対のレバー部の操作により
上蓋を容易に持ち上げて、収納容器内外の気圧差をなく
すことができる。また、本発明は、フック・レバー部材
を使用することで、フック部をレバー部の作用により係
止位置に確実に保持できて、従来の単なるフック止めの
方法と比較して、上蓋と外箱本体との接合部の密着力を
確実に保持することができる。

【００１６】請求項２に記載の発明では、上蓋および外
箱本体の開口周縁部をそれぞれ内外二重壁構造にし、各
側壁で囲まれた空間にシール部材を設けることにより、
シール性がよい。請求項３に記載の発明では、上蓋を外
箱本体に係止した状態で、温度変化や気圧変化により、
外箱本体がその内方に収縮した場合には、蟻溝および末
広がりの突起により外箱本体とその径方向へ係合する上
蓋は、外箱本体と追従して収縮するので、上蓋と外箱本
体との間に隙間が生じない。

【００１７】

【発明の実施の形態】次に、本発明の数例の実施形態例
について、図面を参照して説明する。なお、以下に説明
する実施形態例は、本発明の数例にすぎず、本発明はそ
の特許請求の範囲を逸脱しない範囲内において、設計変
更等の変形例を含むものである。図１は本発明に係わる
ウェーハ収納容器の平面図（上面図）、図２は本発明の
ウェーハ収納容器の係止構造の第１の実施形態例を示す
図であり、（ａ）および（ｂ）はそれぞれ係止時の状態
および非係止時の状態を示す要部断面図、図３の（ａ）
および（ｂ）はそれぞれ上蓋および外箱本体の嵌め込み
構造を示す拡大斜視図である。

【００１８】先ず、図１に示すように、平面視略矩形の
上蓋４は、その外壁部４ａの互いに相対向する位置にお
いて、一対のフック・レバー部材Ａ，Ａのフック部９，
９により、外箱本体（不図示）に係止されるようになっ
ている。前記上蓋４および外箱本体とで、複数枚のウェ
ーハＷを整然とした状態で収納するものであり、内箱
（バスケット）は図６および図７のものと同一なので、
その説明は省略する。なお、以下に説明する本発明は、
複数枚のウェーハＷを収容する内箱を外箱本体に収納す
るものに限らず、複数枚のウェーハＷを内箱を介さず
に、直接外箱本体内に収納するウェーハ収納容器にも適
用できる。また、上蓋４および外箱本体は、平面視矩形
状のものにかぎらず、平面視円形状としてもよい。

【００１９】図２（ａ），（ｂ）に示すように、上蓋４
の開口周縁部には、内外二重壁を構成する内側壁４ｂ
と、外側壁４ａとが形成されている。また、外箱本体５
の開口周縁部には、同じく内外二重壁を構成する内側壁
５ｂと外側壁５ａとが形成されている。図示のように、
上蓋４が外箱本体５の上端開口部に被せされて係止され
ている状態においては、上蓋４および外箱本体５の各外
側壁４ａ，５ａは互いに嵌合している。嵌合状態にある
両外側壁４ａ，５ａと上蓋４、外箱本体５の各内側壁４
ｂ，５ｂとで囲まれる空間にはＯリング（シール部材）
６が介在し、このＯリング６のシール作用によって上蓋
４と外箱本体５との接合部から収納容器内への外気の浸
入が防止されている。詳述すると、外箱本体５の上端に
は突出部７ａが環状に形成されており、一方、上蓋４に
は、この突出部７ａと嵌合する凹部７ｂが環状に形成さ
れている。そして、突出部７ａの上端面にはＯリング装
着溝８が環状に形成されており、このＯリング装着溝８
内にはＯリング６の大部分が収容されている。

【００２０】上蓋４の外側壁４ａの外周面の、互いに相
対向する位置（図１では左右位置）に係合突起３０が一
体的にそれぞれ設けられており、一方、外箱本体５の相
対向する部位には、上蓋４の係合突起３０に係合可能な
係合凹部３１を先端部に備えた一対のフック部９（図１
も参照）がそれぞれ設けられている。一対のレバー部１
０（一方のレバー部材は不図示）は、前記フック部９の
他端部を連結軸３４を介して一体的に支持し、レバー部
１０の他端部は、外箱本体５に突設された支持部材３５
に、ピン軸３３を介して回動自在に支持されている。な
お、前記ピン軸３３と支持部材３５との間の摩擦力によ
り、レバー部１０およびフック部９は、図２（ａ）およ
び（ｂ）にそれぞれ示す係止位置あるいは非係止位置に
確実に保持できるようになっている。

【００２１】前記一対のレバー部１０の他端部（下端
部）を引くことにより（図２（ｂ）中、矢印Ｅ参照）、
一対のフック部９を外箱本体５側にそれぞれ移動させ
て、それらの係合凹部３１を上蓋４の係合突起３０にそ
れぞれ係止させることができる（図２（ａ）参照）。一
方、一対のレバー部１０の他端部をそれぞれ押し込むこ
とにより（図２（ａ）中、矢印Ｆ参照）、一対のフック
部９を外箱本体５からそれぞれ遠ざけて、上蓋４との係
止を解除することができる（図２（ｂ）参照）。前記フ
ック部９およびレバー部１０とによりフック・レバー部
材Ａが構成されている。なお、上蓋４、フック部９およ
びレバー部１０は安価で軽量な樹脂により構成すること
が好ましく、また、フック部９とレバー部１０を一体成
形することによりフック・レバー部材を構成してもよ
い。また、本実施形態例の特徴としては、一対のフック
部９の係合凹部３１の下端縁には、上蓋押し上げ用突起
（爪部）３２が一体的に設けられており、この上蓋押し
上げ用突起３２は、上述のような上蓋４の外箱本体５へ
の係止の解除の際に、上蓋４の下端縁を押し上げ、上蓋
４の外箱本体５への密着状態を解除することができる。

【００２２】また、図３（ａ）に示すように、上蓋４の
外箱本体５への装着時における摺接面（本例では、内側
壁４ｂの外周面）の相対向する部位（本例では、図１
中、上下方向の２つの位置）には、ウェーハ収納容器の
上下方向に延びる蟻溝（一方の蟻溝は不図示）２０ａが
それぞれ形成されている。そして、蟻溝２０ａの正面に
は、断面半球形状の３つの凹部２４ａ，２４ｂ，２４ｃ
が上下方向に並んで形成されている。一方、図３（ｂ）
に示すように、外箱本体５の前記突出部７ａの内周面の
相対向する部位には、前記蟻溝２０ａと嵌合する末広が
りの突起（一方の突起は不図示）２０ｂがそれぞれ設け
られている。そして、末広がりの突起２０ｂの正面に
は、断面半球形状の３つの突起２５ａ，２５ｂ，２５ｃ
が上下方向に並んで一体的に設けられている。なお、末
広がりの突起２０ｂの代りに、図３（ｃ）に示すよう
に、平面視凸型の突起２０ｃを設けてもよく、これに対
応して、上蓋側の溝形状を変更する必要がある。また、
蟻溝２０ａおよび末広がりの突起２０ｂを収納容器の４
辺の位置にそれぞれ設けてもよい。さらに、上蓋４およ
び外箱本体５に、それぞれ末広がりの突起および蟻溝を
形成してもよい。

【００２３】上蓋４が外箱本体５に係止されているとき
には、各凹部２４ａ，２４ｂ，２４ｃに各突起２５ａ，
２５ｂ，２５ｃがそれぞれ嵌合している。なお、最下段
の突起２５ｃおよび凹部２４ｃは、他の突起２５ａ，２
５ｂおよび凹部２４ａ，２４ｂよりも若干大きくなって
いる。そして、上記のように、一対のレバー部１０をそ
れぞれ押すことにより、上蓋４が上方へ若干量移動する
と、大径の突起２５ｃおよび凹部２４ｃの嵌合が解除さ
れるようになっている。なお、図３に示したような嵌合
構成は、外箱本体５の突出部７ａの外周面と上蓋４の外
側壁４ａの内周面とに設けてもよく、さらには、この嵌
合構造は必ずしも採用する必要はない。

【００２４】以下、本実施形態例の作用について説明す
る。図２（ｂ）に示す、上蓋４が外箱本体５に覆い被さ
っている状態において、上蓋４を下方へ押圧して、外箱
本体５の各突起２５ａ，２５ｂ，２５ｃ（図３（ｂ）参
照）に上蓋４の各凹部２４ａ，２４ｂ，２４ｃ（図３
（ａ）参照）をそれぞれ嵌合させる。これにより、上蓋
４は外箱本体５に密着される。ここで、両手で一対のレ
バー部１０をそれぞれ引くことにより（矢印Ｅ参照）、
一対のフック部９を外箱本体５側にそれぞれ移動させ
て、それらの係合凹部３１を上蓋４の係合突起３０にそ
れぞれ係合させ、上蓋４を外箱本体５に係止させる（図
２（ａ）参照）。この際、レバー部９の上蓋押し上げ用
突起３２が上蓋４の係合突起３０に干渉するが、上蓋押
し上げ用突起３２および係合突起３０が弾性的に変形し
て、係合凹部３１に係合突起３０をスムーズに入り込ま
せることができる。

【００２５】そして、図２（ａ）の状態から、上蓋４の
外箱本体５への係止を解除するには、両手で一対のレバ
ー部１０をそれぞれ押し込んで（矢印Ｆ参照）、一対の
フック部９を外箱本体５からそれぞれ遠ざけて、それら
の係合凹部３１から上蓋４の係合突起３０を外す。この
際、一対のフック部９の上蓋押し上げ用突起３２が上蓋
４の係合突起３０の下端面をそれぞれ押し上げるので、
外箱本体５に密着していた上蓋４を上方へ若干量押し上
げることができ（図２（ｂ）参照）、結果的に、上蓋４
の外箱本体５への密着力を解くことができるとともに、
前記大径の突起２５ｃおよび凹部２４ｃの嵌合が解除さ
れる。これにより、上蓋４を小さな力で持ち上げれば、
上蓋４を外箱本体５から完全に外せる。

【００２６】このように、本実施形態例では、一対のフ
ック・レバー部材Ａにより、上蓋４が外箱本体５を閉じ
込める密着力を除き、すなわち、一対のフック・レバー
部材Ａで上蓋４を持ち上げ、上蓋４と外箱本体５との密
着状態を解除するもので、一名の作業者により上蓋４を
容易に開けることができて、作業性と確実性が改善され
る。特に、温度差が生じたときや長時間に渡る経過後
に、収納容器内外の圧力差が生じて、従来のような上蓋
４が外箱本体５に吸引され上蓋４が開きにくいことがあ
っても、一対のレバー部１０の操作で上蓋を容易に持ち
上げて、収納容器内外の気圧差をなくすことができる。
また、本実施形態例は、フック・レバー方式を採用する
ことで、フック部をレバー部の作用により係止位置に確
実に保持できて、従来の単なるフック止めの方法と比較
して、上蓋と外箱本体との接合部の密着力を確実に保持
することができる。

【００２７】さらに、上蓋４を外箱本体５に係止した状
態で、温度変化や気圧変化により、外箱本体５がその内
方に収縮した場合には、前記蟻溝２０ａおよび末広がり
の突起２０ｂ（図３参照）により、外箱本体５とその径
方向へ係合する上蓋４は、外箱本体５と追従して収縮す
るので、上蓋４と外箱本体５との間に隙間が生じなく、
シール性が低下しない。

【００２８】上記実施形態例において、図２に示したフ
ック・レバー構成を採用せずに、従来の図６および図７
等に示した従来のフック構造を採用し、図３に示した上
蓋のはめ込み構造のみでも、本発明は成立する。

【００２９】図４は本発明のウェーハ収納容器の係止構
造の第２の実施形態例を示す図であり、（ａ）および
（ｂ）はそれぞれ係止時の状態および非係止時の状態を
示す要部断面図である。本実施形態例のフック・レバー
部材Ａにおいては、係合凹部４１がフック部４４を貫通
しないものであり、これに対応して、上蓋４の外側壁４
ａの係合突起４０の高さを、前記係合凹部４１の深さと
同一にしたものである。また、符号４２は、上蓋押し上
げ用突起を示し、この作用は図２のものと同一である。

【００３０】図５は本発明のウェーハ収納容器の係止構
造の第３の実施形態例を示す図であり、（ａ）および
（ｂ）はそれぞれ係止時の状態および非係止時の状態を
示す要部断面図である。本実施形態例のフック・レバー
部材Ａにおいては、上蓋４の外側壁４ａに係合凹部（開
口部）５１を形成し、一方、フック部５４の先端部に、
前記係合凹部（開口部）５１に係合可能な係合突起５０
を形成したものである。また、符号５２は上蓋押し上げ
用突起を示し、この作用は図２のものと同一である。

【００３１】

【発明の効果】本発明は、以上説明したとおりに構成さ
れているので、以下に記載するような効果を奏する。請
求項１に記載の発明は、一対のフック・レバー部材によ
り上蓋の外箱本体からの係止を解除すると同時に、上蓋
の外箱本体への密着力を解くことができる。このよう
に、一対のフック・レバー部材により外箱本体を閉じ込
める密着力を除き、すなわち、一対のフック・レバー部
材により上蓋を持ち上げ、上蓋と外箱本体との密着状態
を解除することができ、作業性と確実性が改善される。
特に、温度差が生じたときや長時間に渡る経過後に、収
納容器内外の圧力差が生じて、従来のように上蓋が外箱
本体に吸引され上蓋が開きにくい場合でも、レバー部の
操作で上蓋を容易に持ち上げて、収納容器内外の気圧差
をなくすことができる。また、本発明は、フック・レバ
ー方式を採用したので、フック部をレバー部により係止
位置に確実に保持できて、従来の単なるフック止めの方
法と比較して、より強い密着力で上蓋と外箱本体との接
合部を圧縮密閉することができる。請求項２に記載の発
明は、上蓋および外箱本体の開口周縁部をそれぞれ内外
二重壁構造にし、各側壁で囲まれた空間にシール部材を
設けることにより、シール性がよい。請求項３に記載の
発明は、上蓋を外箱本体に係止した状態で、温度変化や
気圧変化により、外箱本体がその内方に収縮した場合に
は、蟻溝および末広がりの突起により外箱本体とその径
方向へ係合する上蓋は、外箱本体と追従して収縮するの
で、上蓋と外箱本体との間に隙間が発生せず、シール性
の低下を確実に防止できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係わるウェーハ収納容器の概略平面図
（上面図）である。

【図２】本発明のウェーハ収納容器の係止構造の第１の
実施形態例を示す図であり、（ａ）および（ｂ）はそれ
ぞれ係止時の状態および非係止時の状態を示す要部断面
図である。

【図３】（ａ）および（ｂ）はそれぞれ上蓋および外箱
本体の嵌め込み構造を示す斜視図、（ｃ）は（ｂ）の変
形例を示す図である。

【図４】本発明のウェーハ収納容器の係止構造の第２の
実施形態例を示す図であり、（ａ）および（ｂ）はそれ
ぞれ係止時の状態および非係止時の状態を示す要部断面
図である。

【図５】本発明のウェーハ収納容器の係止構造の第３の
実施形態例を示す図であり、（ａ）および（ｂ）はそれ
ぞれ係止時の状態および非係止時の状態を示す要部断面
図である。

【図６】従来の係止構造を備えるウェーハ収納容器の破
断正面図である。

【図７】図６の側面図である。

【図８】図６のＡ部拡大詳細図である。

【図９】上蓋の正面図である。

【図１０】図９のＢ−Ｂ線断面図である。

【図１１】係止構造を示すフック部の正面図である。

【図１２】図１１のＣ−Ｃ線断面図である。

【図１３】上蓋を閉じる際のフックの作用を示す図１２
と同様の図である。

【符号の説明】

Ａ フック・レバー部材 Ｗ ウェーハ ４ 上蓋 ４ａ 外側壁 ４ｂ 内側壁 ５ 外箱本体 ５ａ 外側壁 ５ｂ 内側壁 ６ Ｏリング（シール部材） ７ａ 突出部 ７ｂ 凹部 ８ Ｏリング装着溝 ９，４４，５４ フック部 １０ レバー部 ２０ａ 蟻溝 ２０ｂ 末広がりの突起 ２４ａ，２４ｂ，２４ｃ 凹部 ２５ａ，２５ｂ，２５ｃ 突起 ３０，４０ 係合突起 ３１，４１，５１ 係合凹部 ３２，４２，５２ 上蓋押し上げ用突起（爪部） ３３ ピン軸 ３４ 連結軸 ３５ 支持部材

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 清野 良浩 新潟県新潟市小金町三番地１ 三菱マテリ アル株式会社新潟製作所内

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ウェーハ、若しくはウェーハを収容した
   内箱を収容する外箱本体と、前記外箱本体の上部に被せ
   られて接合される上蓋との係止構造において、 前記上蓋の側壁の相対向する部位に、係合突起あるいは
   係合凹部がそれぞれ設けられ、 一方、前記外箱本体の相対向する部位にそれぞれ設けら
   れた、前記上蓋の係合突起あるいは係合凹部とそれぞれ
   係合可能な係合凹部あるいは係合突起を備えた一対のフ
   ック部と、前記一対のフック部をそれぞれ支持し、かつ
   一端部が前記外箱本体に回動自在に支持されて、前記フ
   ック部を前記上蓋に係合させるとともに前記係合を解除
   するための一対のレバー部とからなる一対のフック・レ
   バー部材を備え、 前記一対のレバー部が前記外箱本体側に向けてそれぞれ
   押し込まれることにより、前記一対のフック部と前記上
   蓋との係合を解除するように構成し、 さらに、前記一対のフック部には、前記係合の解除の際
   に、前記上蓋を上方へ押し上げるための上蓋押し上げ用
   突起がそれぞれ設けられていることを特徴とするウェー
   ハ収納容器の係止構造。
2. 【請求項２】 前記上蓋の開口周縁部に内外二重壁を構
   成する内側壁および外側壁が形成され、前記外箱本体の
   開口周縁部にも内外二重壁を構成する内側壁および外側
   壁が形成され、前記上蓋が前記外箱本体の上端開口部に
   被せられて係止されている状態においては前記上蓋と前
   記外箱本体の各外側壁が互いに嵌合しており、嵌合状態
   にある両外側壁と前記上蓋、前記外箱本体の各内側壁と
   で囲まれる空間にはシール部材が介在されており、前記
   上蓋の前記外側壁の相対向する部位に前記係合突起ある
   いは係合凹部がそれぞれ設けられている請求項１に記載
   のウェーハ収納容器の係止構造。
3. 【請求項３】 前記上蓋の前記外箱本体への装着時にお
   ける摺接面の相対向する部位には、ウェーハ収納容器の
   上下方向に延びる蟻溝あるいは末広がりの突起がそれぞ
   れ設けられ、一方、前記外箱本体の相対向する部位に
   は、前記蟻溝あるいは末広がりの突起と嵌合する末広が
   りの突起あるいは蟻溝がそれぞれ設けられている請求項
   １または請求項２に記載のウェーハ収納容器の係止構
   造。