KR980012234A - 도어를 가진 웨이퍼 캐리어 - Google Patents

도어를 가진 웨이퍼 캐리어 Download PDF

Info

Publication number
KR980012234A
KR980012234A KR1019970032175A KR19970032175A KR980012234A KR 980012234 A KR980012234 A KR 980012234A KR 1019970032175 A KR1019970032175 A KR 1019970032175A KR 19970032175 A KR19970032175 A KR 19970032175A KR 980012234 A KR980012234 A KR 980012234A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
door
wafer
arm
latching
cam
Prior art date
Application number
KR1019970032175A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100283960B1 (ko
Inventor
엘. 니세스 데이비드
Original Assignee
스탠 게이어
플루오로웨어 아이엔씨
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 스탠 게이어, 플루오로웨어 아이엔씨 filed Critical 스탠 게이어
Publication of KR980012234A publication Critical patent/KR980012234A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100283960B1 publication Critical patent/KR100283960B1/ko

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67373—Closed carriers characterised by locking systems
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Packaging Frangible Articles (AREA)
  • Packaging Of Annular Or Rod-Shaped Articles, Wearing Apparel, Cassettes, Or The Like (AREA)
  • Closures For Containers (AREA)
  • Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)

Abstract

웨이퍼 컨테이너는 도어 프레임에 의해 형성된 개방 전면과 그 도어 프레임에 맞추어 만든 도어를 가지고 있다. 도어받이 프레임은 대변에 슬롯들을 가지고 있으며 도어는 도어받이 프레임에 도어를 걸쇠걸고 걸쇠벗기기 위해 도어의 가장자리부로부터 슬롯들의 안팎으로 연장하고 수축하는 보지부들을 활용한다. 도어는, 웨이퍼들에 향해 내향으로 연장하여 도어가 적소에 있을 때 상기 웨이퍼들을 고정시키게 되는 웨이퍼 접촉 암들을 또한 가지고 있다. 수축가능한 보지부들과 웨이퍼 유지 암들은 도어의 내부에 있는 회전가능의 캠형성 부재에 연결돼 있다. 캠 형성 부재는, 우선 도어를 걸쇠건 다음 웨이퍼 유지 암을 연장하게 형상지어진, 캠형성 곡면들을 활용한다.

Description

도어를 가진 웨이퍼 캐리어
제1도는 웨이퍼 컨테이너 및 도어의 사시도이다.
제2도는 제거되어 기구를 노출하는 전면 커버의 부분을 가진 웨이퍼 컨테이너 도어의 사시도이다.
제3도는 회전가능 캠 부재의 사시도이다.
제4도는 래칭 암의 사시도이다.
제5도는 웨이퍼 접촉 암의 사시도이다.
제6도는 웨이퍼 접촉 암 작동기 연결부의 사시도이다.
제7도는 리어 패널과 맞문 벨 크랭크의 단면도이다.
제8도는 웨이퍼 접촉부의 사시도이다.
제9도는 도어의 백 패널의 내측의 정면도이다.
제10a도는 닫힌 위치의 도어의 개략도이다.
제10b도는 웨이퍼 접촉 암들의 위치를 설명하는 개략도이다.
제11a도는 연장된 래칭 암을 가진 도어 기구의 개략도이다.
제11b도는 도 11a의 기구위치들에 부합하는 웨이퍼들을 접촉하지 않는 인접 위치에 있는 웨이퍼 접촉 암들의 개략도이다.
제12a도는 연장된 래칭 암으로 완전히 걸쇠건 위치의 기구의 개략도이다.
제12b도는 말단으로 배치되어 웨이퍼들을 접촉하는 웨이퍼 접촉 암을 가진 도 12a의 기구위치에 상응하는 개략도이다.
제13a도는 완전히 연장된 래칭 암들로 열고 있는 중의 도어의 개략도이다.
제13b도는 인접 위치의 웨이퍼들로부터 해방된 웨이퍼 접촉 암들을 가진, 도 13a의 기구위치에 해당한다.
제14a도는 도어를 열기 위하여 완전히 걸쇠벗긴 위치에 복귀된 웨이퍼 기구를 가진 도어의 개략도이다.
제14b도는 도 14a의 기구 위치에 해당하며 웨이퍼들로부터 해방돼 남아있는 웨이퍼 접촉 암들을 보인다.
제15도는 본 발명의 대체 실시양태를 보이는 도어의 전면도이다.
[발명의 목적]
[발명이 속하는 기술분야 및 그 분야의 종래기술]
본 발명은 웨이퍼 캐리어에 관한 것이다. 더 상세하게는 컨테이너에 웨이퍼들을 봉해넣기 위하여 커버 또는 도어를 가지는 웨이퍼 컨테이너에 관한 것이다.
저장 또는 적하를 위해 컨테이너에 웨이퍼들을 봉해넣는 데는 여러가지 방법이 활용돼 왔다. 다수의 컨테이너는 웨이퍼에 대한 수직의 슬롯들과 탄력있게 유연한 플라스틱의 상측 커버 또는 뚜껑 상의 스냅을 활용하였다. 상측 커버가 적용된 때, 상측 커버에 부착된 수동적 쿠션은 웨이퍼를 맞물고 있을 경우 쏠려 버린다.
반도체 산업은 직경 300 ㎜ 까지의 보다 큰 웨이퍼를 처리하는 것으로 발전하였으며, 배타적으로 수평의 웨이퍼 배치를 가진 캐리어와 수송 컨테이너에 향해 움직이고 있다. 큰 웨이퍼를 보지하는데 필요한 큰 컨테이너는 종래의 수동적인 탄력있게 유연한 쿠션을 제조하여 사용하기 어렵게 만들고 있다.
[발명의 개요]
웨이퍼 컨테이너는 도어 프레임에 의해 형성된 개방 전면과 그 도어 프레임에 맞추어 만든 도어를 가지고 있다. 도어받이 프레임은 대변에 슬롯들을 가지고 있으며 도어는 도어받이 프레임에 도어를 걸쇠걸고 걸쇠벗기기 위해 도어의 가장자리부로부터 슬롯들의 안팎으로 연장하고 수축하는 보지부들을 활용한다. 도머는 웨이퍼들에 향해 내향으로 연장하여 도어가 적소에 있을 때 상기 웨이퍼들을 고정시키게 되는 웨이퍼 접촉 암들을 또한 가지고 있다. 수축가능한 보지부들과 웨이퍼 유지 암들은 도어의 내부에 있는 회전가능의 캠형성 부재에 연결돼 있다. 캠 형성 부재는, 우선 도어를 걸쇠건 다음 웨이퍼 유지 암을 연장하게 형상지어진, 캠형성 곡면들을 활용한다.
[발명이 이루고자 하는 기술적 과제]
본 발명의 장점과 특징은 도어의 래칭에 더하여 도어가 웨이퍼 보유력을 또한 제공한다는 점이다. 상기 래칭과 보유력은 도어 핸들의 단일의 회전운동에 의하여 제공된다.
본 발명의 또 다른 특징과 장점은 기구가 도어의 내부에 위치돼 있어 도어 기구에 의한 입자들의 발생 및 분산 작용을 최소화하고 있다는 점이다.
본 발명의 또 다른 특징과 장점은 도어 기구가 래칭과 보유력을 적절한 순서로 제공한다는 점이다.
본 발명의 또 다른 특징과 장점은 회전가능한 캠형성 부재의 캠형성 곡면들이 도어를 걸쇠건 위치에 용이하고 간단하게 고정하며 웨이퍼 보유 암을 접촉 위치에 고정시킬 멈춤쇠를 포함할수도 있다는 점이다.
[발명의 구성 및 작용]
[상세한 설명]
도 1을 참조하면 웨이퍼 컨테이너(20)는 일반적으로 컨테이너부(22)와 협력 도어(24)로 이루어져 있다. 컨테이너부는 웨이퍼들을 사실상 수평의 평면을 이룬 삽입 및 제거를 위한 복수의 웨이퍼 슬롯(28)을 가지고 있다. 그 슬롯들은 웨이퍼 가이드(32)와 웨이퍼 지지 선반들(26)에 의하여 구성돼 있다. 컨테이너부는 개방 전면(40), 닫힌 상측면(42), 닫힌 좌측면(44), 닫힌 배면(46), 및 닫힌 우측면(48)과 닫힌 저면(50)을 일반적으로 가지고 있다. 컨테이너는 장비 접촉면(52) 상에 위치되어 도시돼 있다.
도어(24)는 도어받이 프레임(60)에 앉혀지며 그와 접촉한다. 도어 프레임(60)은 두쌍의 대향 프레임 부재, 수직의 쌍(64)와 수평의 쌍(68)을 가지고 있다. 수직의 프레임 주재들은 도어를 컨테이너부(22)에 맞대어 걸쇠거는데 이용되는 한쌍의 구멍 또는 슬롯(72, 74)을 가지고 있다. 도어는, 앞 커버(86)의 리세스(84)에 수동식 또는 로보트 핸들(81)이 있는 중앙으로 위치된 회전가능 부재(80)을 가지고 있다. 앞 커버(86)은, 도어 가장자리부(94)와 이 그림에는 나타나지 않은 배면판(96)을 또한 포함하고 있는 도어 개재물(90)의 본질적 부분이다. 앞 커버(86)은 적당한 기계식 죔쇠(98)로 고정된다.
도 2는 앞 커버(86)의 부분을 제거하여 도어 기구(100)을 드러내고 있는 도어(20)의 사시도이다. 이 기구의 개별 구성요소들은 도 3, 4, 5, 및 6에 나타내 있으며 회전가능한 캠형성 부재(110), 벨 크랭크들(113)을 부착한 웨이퍼 접촉 암(112)와 래칭 암(118) 및 웨이퍼 접촉 암 작동기 연결부(120)을 함유한다.
도 2와 3을 참조하면, 회전가능한 캠형성 부재(110)은, 캠형성 곡면들을 형성하는 한쌍의 래칭 암 캠 구멍(114)를 가지고 있다. 그 캠 구멍들(114)는 플라스틱 돌기를 통해 한 단에 형성된 멈추개(122)를 가진 대향 단들(123)을 가지고 있다. 멈추개(122)는 멈추개 구멍(124)의 부가에 의해 구부리기 쉽게 탄력있게 만들어져 있다. 회전가능한 캠 부재(110)는, 웨이퍼 접촉 캠형성 표면(132)을 형성하는 한쌍의 대향하는 웨이퍼 접촉 캠 구멍(130)을 또한 가지고 있다. 게다가 웨이퍼 접촉 캠 멈추개(134)가, 캠 곡면들(132) 중의 하나에 돌기에 의해 마련되어 웨이퍼 접촉 캠 구멍(130)의 한 단어(138) 인접의 멈추개 구멍(136)을 통해 탄력있게 유연하게 만들어져 있다. 회전가능한 캠 부재는 샤프트(152)에 의해 도어의 리어 패널(96)에 회전가능 캠형성 부재(110)를 배치하여 고정시키는 데 이용되는 중심의 구멍(150)을 가지고 있다.
도 2와 4를 참조하면, 각 래칭 암(118)은 연결부(160)와 또 도어받이 프레임(60)의 리세스들 또는 구멍들(72, 74)에 물리게 형상지어져 있는 래칭부(164)를 포함하고 있는 한쌍의 연장가능부(162)로 이루어져 있다. 각 래칭암은 그 암(118)의 일반적으로 편평한 부분(168)으로부터의 샤프트 또는 돌기로서 형성된 캠 종동자(166)을 또한 가지고 있다.
도 5, 7 및 8을 참조하면, 각 웨이퍼 접촉 암(112)을 웨이퍼 가장자리 접촉부(170), 연결 슬롯(174)을 가진 벨크랭크들(113) 및 선회지축 면(176)으로 이루어져 있다. 웨이퍼 가장자리 접촉부(170)는 하이트렐(Hytrel)로 적당히 형성된다.
도 6을 참조하면 웨이퍼 접촉 암 작동기 연결부(120)가 도시돼 있으며 캠 종동자(196)와 힌지들(195) 가지고 있다.
래칭 암(118)은 회전가능 캠형성 부재(110)와 작동기 연결부(120)의 사이에 배치돼 있다. 래칭부들은 도어 가장자리부(94)의 슬롯들(216)을 통해 슬라이드 가능하게 연장하고 수축하는 크기로 돼 있다. 캠 종동자들(166)은 캠 종동자 구멍(118) 내로 연장하고 또 백 패널 홈(200) 내로 연장한다. 상측 커버는 도어 가장자리부(94)에 조립되어 도어 개재물(90)을 형성하게 된다. 앞 패널과 리어 패널 간의 비교적 제한된 공간은 기구(100)를 안정화시키어 유지하는 작용을 한다.
구성 부품들은 아래와 같이 조립된다. 도 2와 9를 참조하면, 도어의 리어 패널(96)은 직사각형의 귀퉁이들 처럼 정렬된 넷의 구멍(186)을 가지고 있다. 리어 패널은, 그 구멍들의 각각에 배치되고 리어 패널(96)과 일체인 원통형상의 핀 부재들(190)을 가지고 있다. 그 핀 부재들(190)은 벨 크랭크(113)가 핀 부재(190) 상에서 회전하게 벨 크랭크(113) 내에 드러맞게 적절하게 치수정해져 있다. 벨 크랭크(113)의 슬롯(174)는 힌지(195)의 핀(194)을 통해 접촉 암 작동기 연결부(120)를 접촉한다. 각 작동기 연결부(120)는, 웨이퍼 접촉 암 캠 곡면들(132)을 맞물며 또 리어 패널(96)에 형성된 리세스들 또는 홈들(200) 내에 또한 접촉하는 캠 종동자(196)를 가지고 있다. 상기 홈들은 리어 패널로부터 전면패널에 향해 상향으로 연장하는 도드라진 돌기들(202) 내에 형성돼 있다. 또 리어 패널(96)으로부터는 회전가능 캠 부재(80)가 올라타는 복수의 회전가능 캠 부케 지지봉들(210)이 상향으로 연장하고 있다. 상기 지지봉들은 테이블 캠 부재(110)를 위치에 보지하는 것을 손쉽게 하기 위하여 러그들(212)을 가질 수도 있다. 도 7의 실시양태는 도 2에 보인 바와 같은 일반적으로 정방형 구멍들 보다는 스롯들(186)을 이용한다. 아울러 핀들(190)은 도 2에 보인 구멍의 측면에 비해 슬롯(186)에 중신으로 배치돼 있다.
장치는 아래와 같이 작동한다. 도 2와 도 10a 및 10b로부터 도 14a 및 14b에 이르는 일련의 도면을 참조하면, 도어는 수동식 또는 로보트의 수단을 통해 컨테이너부(22)의 도어받이 프레임(60) 내에 우선 놓여진다. 회전 가능한 캠형성 부재가 도 2의 실시양태에 대해 반시계 방향의 형상에 회전시켜진다. 래칭 암의 캠 종동자(166)의 회전가능 캠형성 부재의 캠 곡면들(116)과의 맞물림이 래칭 암으로 하여금 상기 캠 구멍(114)의 열거한 형상으로 인해 외향으로 슬라이드 가능하게 연장시킨다. 래칭 암(118)이 외향으로 연장하는 때 래칭부들(164)는 구멍들(216)을 통해 연장하며 도어받이 프레임(60)의 수직의 부재들 상의 슬롯들(72, 74) 안으로 연장한다. 도 11a를 정확히 참조하기 바란다. 웨이퍼 접촉 암들은 이 때 연장되지 않는다. 도 12a에 보인 바와 같이 캠형성 웨이퍼부의 그 이상의 회전은 래칭 암(118)을 그 이상 중대하게 움직이지 않으나 웨이퍼 접촉 암 작동기 연결부(120)의 캠 종동자들(196)을 외향으로 좨치어 벨 크랭크들(113)을 회전시킴으로써 작동기 연결부(120)의 횡운동을 웨이퍼 접촉 암(112)의 웨이퍼들을 향한 외향운동으로 변경시키게 된다. 따라서 도 12b는, 도어 개재물에 관하여 말단 위치이며 웨이퍼 접촉 위치인 웨이퍼 접촉 암들을 보이고 있다. 캠 부재의 완전 90°반시계방향 회전으로 캠 종동자들(196 및 166)은 멈추개들(134, 122)을 지나 이동시켜지어 캠형성 부재를 도 12a 및 12b의 상기 위치에 잠그는 것이다. 상기 도어를 걸쇠풀어 제거하려면 캠 부재를 시계방향에, 우선 도 13a와 13b에 보인 바와 같은 위치에 회전시키며 이때 웨이퍼 접촉 암(112)이 웨이퍼들로부터 수축되고 다음 도 13a와 13b에 보인 바와 같이 기부위치에 수축되어 래칭 암(118)이 도어받이 프레임의 슬롯들의 밖으로 또한 수축된다.
도 15는 본 발명의 대체 실시양태이며 래칭 부를 연장하거나 수축하는 수단과 웨이퍼 접촉 부재를 기저부와 말단부 간에 이동시키는 수단은 캠 곡면과 캠 종동자 보다는 링키지(211, 212)와 조인트들(213)로 이루어져 있다. 그러한 형상으로, 회전가능 부재(110)는 수자(216)으로 나타낸 점선으로 나타낸 바와 같이 링크(212)의 중심초과 위치를 통해 래칭 위치에 잠겨질 수 있다. 이 그림에 보인 특정의 형상으로, 래칭 암과 웨이퍼 접촉 암의 충분한 작동은 회전가능 부재(110)의 회전의 대략 1/8로 달성된다. 화살표(210)는 이 도면에는 나타내 있지 않는, 래칭 암(118) 및 위이퍼 접촉 암(112)을 완전히 연장하기 위한 회전의 방향이다.
[발명의 효과]
도어 기구(100)의 개별 부품은 정전기 소산 특성을 제공하기 위하여 탄소 섬유 폴리카보네이트로 적당하게 형성될 수도 있다. 도어의 전면 패널과 리어 패널은 폴리카보네이트로 형성되어도 좋다.

Claims (9)

  1. 원형의 웨이퍼들을 수평의 축방향으로 정령되니 형상에 가장자리부로 보지하는 웨이퍼 컨테이너로서, 컨테이너가 컨테이너부와 협력 도어로 이루어져 있고, 그 컨테이너부는; 개방 전면, 닫힌 좌측면, 닫힌 배면, 닫힌 우측면, 닫힌 저면, 개방 내부 와, 그리고 도어를 받기 위해 도어 시트를 구성하는 일반적으로 장방형의 도어 프레임으로 이루어지고 있어, 도어가 상기 도어 프레임에 의해 받아들여지는 경우, 상기 도어는 웨이퍼들의 가장자리부를 직면하고, 도어 프레임은 래칭 부를 가지고 있는 구성이고; 그 협력 도어는: 도어 프레임과 맞닿기 위해 외측의 앉힘자리를 가진 도어 개재물, 그 개재물에 그에 회전가능하게 접속되고, 개재물의 외부로부터 회전시킬 수 있으며, 래칭 암 캠형성 곡면을 가진 회전가능 캠부재와, 웨이퍼 접촉 캠 곡면, 래칭 암 캠형성 곡면을 접촉하는 캠 종동자를 가짐으로써, 캠형성 부재가 회전시켜지는 경우 래칭 암이 도어 프레임의 래칭 부를 접촉하는 외향으로 움직일 수 있는 래칭 암, 내향과 외향으로 이동가능한 웨이퍼 접촉 암과 그 웨이퍼 접촉 암에 접속하는 작동기 암으로 함유하고, 작동기 암이 웨이퍼 접촉 캠형성 곡면을 접촉 한 캠 종동자를 가지고 있음으로써, 캠형성 부재가 회전시켜지는 경우 작동기 암이 웨이퍼 접촉 암을 외향으로 연장하여 웨이퍼들의 가장자리부들을 접촉하게 되어 상기 웨이퍼들을 보유하는 웨이퍼 접촉 기구로 이루어지는, 구성의, 컨테이너.
  2. 제1항에 있어서, 도어받이 프레임이 구멍을 가지고 있고 래칭 암이 삽입부를 가지고 있음으로써 그 삽입부가 그 구멍에 삽입가능하여 상기 도어를 컨테이너부에 걸쇠걸게 되는 웨이퍼 컨테이너.
  3. 제1항에 있어서, 캠형성 곡면들은 웨이퍼 접촉 암이 웨이퍼들의 가장자리부를 접촉하기 전에 래칭 암이 래칭 부를 접촉하게 형상지어져 있는 웨이퍼 컨테이너.
  4. 제1항에 있어서, 웨이퍼 접촉 기구는 도어 개재물에 추축식으로 접속된 벨 크랭크를 더 함유하여 그 벨 크랭크가 양단을 가지어, 일단이 웨이퍼 접촉 암에 접속되고 타단이 작동기 암에 접속하고 있음으로써 작동기 암의 개재물에서의 종방향 운동이 웨이퍼 접촉 암의 내향의 운동으로 변경되는 웨이퍼 컨테이너.
  5. 제1항에 있어서, 캠형성 곡면들 중의 적어도 하나가 웨이퍼 접촉 암이 연장되는 경우 각각의 캠 종동자를 보유하기 위해 배치된 멈추개를 가지고 있는 웨이퍼 컨테이너.
  6. 도어 구멍을 형성하는 도어받이 프레임을 가진 컨테이너부를 함유하여, 그 도어받이 프레임이 적어도 하나의 래칭 구멍을 가지고, 도어를 더 함유하여, 그 도어가 상기 래칭 구멍 안으로 연장가능한 래칭 부와, 안의 웨이퍼들을 접촉도록 상기 도어로부터 연장가능한 웨이퍼 접촉 암과, 도어를 도어받이 프레임에 걸쇠거는 도어기구를 함유하여, 그 기구가 계속하여 우선 래칭 부를 연장하고 그 다음 상기 웨이퍼 접촉 암을 연장하게 형상 치어져 있는, 웨이퍼 컨테이너.
  7. 웨이퍼 캐리어에 걸쇠걸 수 있는 도어로서, 웨이퍼 캐리어가 둘의 대변이 있는 도어받이 프레임을 가지고, 상기 대변들의 각각이 리세스를 가지고 있고, 그 도어가: 대향의 가장자리들이 있는 외측 가장자리부를 가지어, 그 외측 가장자리부가 도어 프레임 안에 들어맞는 치수로 되어 있고, 그 외측 가장자리부가 대향의 가장자리부들에 적어도 둘의 구멍을 가지어 도어가 도어 프레임 안으로 있는 경우 도어 프레임의 대변들 상의 리세스 인접에 배치되는, 도어 개재물, 도어 개재물에 회전가능하게 접속되어 외부로부터 개재물을 회전시킬 수 있는 회전가능 부재, 각 래칭 암이 각각의 구멍들 중의 하나의 인접에 연장가능한 래칭부를 가지어, 상기 연장가능부들이 각각의 구멍을 통해 연장되고 수축되게 배치된, 한쌍의 대향하는 슬라이딩 래칭 암, 외부에 배치되어 도어 개재물에 향해 또 도어 개재물로부터 떨어져 이동가능한 직립의 웨이퍼 접촉 부재, 회전가능 부재가 회전시켜지는 경우 연장위치와 수축위치의 사이를 각각의 구멍을 통해 각각의 래칭 부를 연장하고 수축하기 위해 슬라이딩 래칭 암에 회전가능 부재를 접속하는 제 1의 수단, 및 회전가능 부재가 회전시켜지는 경우 개재물 기부의 위치와 개재물로부터 말 단의 위치 사이에 직립의 웨이퍼 접촉 부재를 이동시키기 위해 직립의 웨이퍼 접촉 부재에 회전가능 부재를 접속하는 제 2의 수단, 으로 이루어지는 웨이퍼 컨테이너 도어.
  8. 제7항에 있어서, 각각의 구멍을 통한 연장가능부들의 수축을 연장가능 부들이 수축의 위치에 있지 않는 때만은 제한하는 수단을 더 포함하는 웨이퍼 컨테이너 도어.
  9. 제7항에 있어서, 가각의 구멍을 통한 연장가능 부들의 수축을 웨이퍼 접촉 부재가 말단위치에 배치돼 있지 않는 때 만은 제한하는 수단을 더 포함하는 웨이퍼 컨테이너 도어.
    ※ 참고사향 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임
KR1019970032175A 1996-07-12 1997-07-11 도어를가진 웨이퍼 캐리어 KR100283960B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US8/678,885 1996-07-12
US08/678,885 1996-07-12
US08/678,885 US5711427A (en) 1996-07-12 1996-07-12 Wafer carrier with door

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR980012234A true KR980012234A (ko) 1998-04-30
KR100283960B1 KR100283960B1 (ko) 2001-04-02

Family

ID=24724702

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019970032175A KR100283960B1 (ko) 1996-07-12 1997-07-11 도어를가진 웨이퍼 캐리어

Country Status (12)

Country Link
US (1) US5711427A (ko)
JP (1) JP3280282B2 (ko)
KR (1) KR100283960B1 (ko)
CN (1) CN1135200C (ko)
DE (1) DE19731183C2 (ko)
FR (1) FR2750962B1 (ko)
GB (1) GB2315261B (ko)
HK (1) HK1010279A1 (ko)
IT (1) IT1293423B1 (ko)
MY (1) MY126374A (ko)
NL (1) NL1006528C2 (ko)
SG (1) SG50867A1 (ko)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100575910B1 (ko) * 1998-08-17 2006-05-02 신에츠 폴리머 가부시키가이샤 정밀 기판 수납 용기
KR100818380B1 (ko) * 2003-11-07 2008-04-02 인티그리스, 인코포레이티드 웨이퍼 캐리어, 개구가 앞면에 형성된 웨이퍼 콘테이너, 웨이퍼 케리어 도어, 및 웨이퍼 캐리어 도어 세척 방법
US8540289B2 (en) 2005-05-31 2013-09-24 Vantec Co., Ltd. Opening/closing structure for container for conveying thin plate

Families Citing this family (76)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1997013710A1 (en) 1995-10-13 1997-04-17 Empak, Inc. 300mm MICROENVIRONMENT POD WITH DOOR ON SIDE
US5915562A (en) * 1996-07-12 1999-06-29 Fluoroware, Inc. Transport module with latching door
US6010008A (en) * 1997-07-11 2000-01-04 Fluoroware, Inc. Transport module
US6736268B2 (en) * 1997-07-11 2004-05-18 Entegris, Inc. Transport module
US5957292A (en) * 1997-08-01 1999-09-28 Fluoroware, Inc. Wafer enclosure with door
TWI237305B (en) * 1998-02-04 2005-08-01 Nikon Corp Exposure apparatus and positioning apparatus of substrate receiving cassette
US6474474B2 (en) * 1998-02-06 2002-11-05 Sumitomo Metal Industries, Ltd. Sheet support container
WO1999052140A1 (en) * 1998-04-06 1999-10-14 Dainichi Shoji K. K. Container
US8083272B1 (en) * 1998-06-29 2011-12-27 Industrial Technology Research Institute Mechanically actuated air tight device for wafer carrier
US6095335A (en) * 1998-07-10 2000-08-01 H-Square Corporation Wafer support device having a retrofit to provide size convertibility
US6244812B1 (en) 1998-07-10 2001-06-12 H-Square Corporation Low profile automated pod door removal system
US6245229B1 (en) 1998-07-31 2001-06-12 Amway Corporation Point-of-use water treatment system
US6082540A (en) * 1999-01-06 2000-07-04 Fluoroware, Inc. Cushion system for wafer carriers
US6206196B1 (en) * 1999-01-06 2001-03-27 Fluoroware, Inc. Door guide for a wafer container
US6464081B2 (en) 1999-01-06 2002-10-15 Entegris, Inc. Door guide for a wafer container
US6520726B1 (en) 1999-03-03 2003-02-18 Pri Automation, Inc. Apparatus and method for using a robot to remove a substrate carrier door
WO2000054311A1 (en) * 1999-03-11 2000-09-14 Applied Materials, Inc. Apparatus for raising and lowering an object
JP3954287B2 (ja) * 1999-06-28 2007-08-08 東京エレクトロン株式会社 ウェハキャリア用蓋体の着脱装置
US6945405B1 (en) 1999-07-08 2005-09-20 Entegris, Inc. Transport module with latching door
CN1169696C (zh) * 1999-07-08 2004-10-06 恩特格里斯公司 具有闭锁门的输送组件
JP3405937B2 (ja) * 1999-08-11 2003-05-12 ティーディーケイ株式会社 クリーンボックスの蓋ラッチ機構
TW433258U (en) * 2000-06-23 2001-05-01 Ind Tech Res Inst Improved door body structure for a pod
KR20020009186A (ko) * 2000-07-25 2002-02-01 윤종용 웨이퍼의 백-엔드 공정에 사용되는 웨이퍼 캐리어
CN1304253C (zh) * 2000-12-13 2007-03-14 恩特格里斯开曼有限公司 防止foup门不正确地插入该容器内的系统
CN1486388A (zh) * 2000-12-13 2004-03-31 恩特格里斯开曼有限公司 横向浮动的卡锁锁芯组件
WO2002093622A2 (en) * 2001-05-17 2002-11-21 Ebara Corporation Substrate transport container
US6923325B2 (en) 2001-07-12 2005-08-02 Entegris, Inc. Horizontal cassette
EP1411006B1 (en) * 2001-07-23 2011-07-20 Miraial Co., Ltd. Cover body for sheet supporting container and sheet supporting container
TW511649U (en) * 2001-09-12 2002-11-21 Ind Tech Res Inst Wafer retainer
US6951284B2 (en) * 2001-11-14 2005-10-04 Entegris, Inc. Wafer carrier with wafer retaining system
US7886910B2 (en) * 2001-11-27 2011-02-15 Entegris, Inc. Front opening wafer carrier with path to ground effectuated by door
US7121414B2 (en) * 2001-12-28 2006-10-17 Brooks Automation, Inc. Semiconductor cassette reducer
CN100429133C (zh) * 2002-01-15 2008-10-29 诚实公司 晶片运载器上的门和带有沙漏型槽的闭锁装置
US6955382B2 (en) 2002-01-15 2005-10-18 Entegris, Inc. Wafer carrier door and latching mechanism with c-shaped cam follower
US6644477B2 (en) * 2002-02-26 2003-11-11 Entegris, Inc. Wafer container cushion system
US7175026B2 (en) 2002-05-03 2007-02-13 Maxtor Corporation Memory disk shipping container with improved contaminant control
US20040074808A1 (en) * 2002-07-05 2004-04-22 Entegris, Inc. Fire retardant wafer carrier
TW549564U (en) * 2002-10-22 2003-08-21 Power Geode Technology Co Ltd Structure for manually opening wafer pot
TW566803U (en) * 2003-04-04 2003-12-11 Tatung Co Door lid locking mechanism
TWI239931B (en) * 2003-05-19 2005-09-21 Miraial Co Ltd Lid unit for thin plate supporting container and thin plate supporting container
US7455181B2 (en) * 2003-05-19 2008-11-25 Miraial Co., Ltd. Lid unit for thin plate supporting container
US7347329B2 (en) * 2003-10-24 2008-03-25 Entegris, Inc. Substrate carrier
US7182203B2 (en) * 2003-11-07 2007-02-27 Entegris, Inc. Wafer container and door with vibration dampening latching mechanism
US7100772B2 (en) * 2003-11-16 2006-09-05 Entegris, Inc. Wafer container with door actuated wafer restraint
US7325693B2 (en) * 2003-11-16 2008-02-05 Entegris, Inc. Wafer container and door with cam latching mechanism
TWI276580B (en) * 2003-12-18 2007-03-21 Miraial Co Ltd Lid unit for thin-plate supporting container
US7077270B2 (en) 2004-03-10 2006-07-18 Miraial Co., Ltd. Thin plate storage container with seal and cover fixing means
US7578407B2 (en) * 2004-04-18 2009-08-25 Entegris, Inc. Wafer container with sealable door
JP4573566B2 (ja) * 2004-04-20 2010-11-04 信越ポリマー株式会社 収納容器
US20060045663A1 (en) * 2004-08-05 2006-03-02 Ravinder Aggarwal Load port with manual FOUP door opening mechanism
US7720558B2 (en) 2004-09-04 2010-05-18 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for mapping carrier contents
CN1760092B (zh) * 2004-10-14 2010-12-22 未来儿株式会社 薄板支持容器用盖体
JP4668133B2 (ja) * 2006-06-28 2011-04-13 三甲株式会社 ウエハ容器の位置決め構造
JP4841383B2 (ja) * 2006-10-06 2011-12-21 信越ポリマー株式会社 蓋体及び基板収納容器
CN101873973B (zh) * 2008-01-31 2011-11-23 大陆制罐株式会社 具有双阶式吸管部的喷嘴帽
JP5524093B2 (ja) * 2008-03-13 2014-06-18 インテグリス・インコーポレーテッド 管状制御要素を有するウエハーコンテナ
TWI358379B (en) * 2008-08-14 2012-02-21 Gudeng Prec Industral Co Ltd A wafer container with at least one latch
TWI341816B (en) * 2008-08-14 2011-05-11 Gudeng Prec Industral Co Ltd A wafer container having the latch and inflatable seal element
US8276758B2 (en) * 2008-08-14 2012-10-02 Gudeng Precision Industrial Co, Ltd Wafer container with at least one oval latch
US7909166B2 (en) * 2008-08-14 2011-03-22 Gudeng Precision Industrial Co, Ltd Front opening unified pod with latch structure
TW201010916A (en) * 2008-09-12 2010-03-16 Gudeng Prec Industral Co Ltd Wafer container with roller
TWI373295B (en) * 2008-10-29 2012-09-21 Asustek Comp Inc Electronic-device casing and electrical apparatus
TWI485796B (zh) * 2008-11-21 2015-05-21 Gudeng Prec Industral Co Ltd 容置薄板之容器
TWI365030B (en) * 2009-06-25 2012-05-21 Wistron Corp Covering mechanism for covering an opening of a housing
TW201138002A (en) 2010-04-29 2011-11-01 Gudeng Prec Industral Co Ltd A wafer container with oval latch
TWI394695B (zh) 2010-04-29 2013-05-01 Gudeng Prec Industral Co Ltd 一種具有橢圓門閂結構之前開式晶圓盒
JP2013540372A (ja) * 2010-10-19 2013-10-31 インテグリス・インコーポレーテッド ウエハクッションを備える前面開放式ウエハ容器
CN102800612A (zh) * 2011-05-27 2012-11-28 家登精密工业股份有限公司 传送盒
TW201251567A (en) * 2011-06-15 2012-12-16 Wistron Corp Cover module
TWM434763U (en) * 2012-03-22 2012-08-01 Gudeng Prec Ind Co Ltd Containers for packaging semiconductor components
US9711385B2 (en) * 2012-11-28 2017-07-18 Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. Substrate storage container
CN105993067B (zh) 2013-04-26 2019-04-16 恩特格里斯公司 用于大直径晶片的具有锁止机构的晶片容器
KR102113139B1 (ko) * 2013-09-11 2020-05-20 미라이얼 가부시키가이샤 기판수납용기
CN107924858B (zh) 2015-07-13 2023-05-30 恩特格里斯公司 具有增强型容纳的衬底容器
CN105291030A (zh) * 2015-11-03 2016-02-03 贾振东 一种新型折叠螺丝刀
CN110475179B (zh) * 2019-09-20 2020-11-03 歌尔科技有限公司 一种tws耳机充电盒

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4534389A (en) * 1984-03-29 1985-08-13 Hewlett-Packard Company Interlocking door latch for dockable interface for integrated circuit processing
US4674939A (en) * 1984-07-30 1987-06-23 Asyst Technologies Sealed standard interface apparatus
US4815912A (en) * 1984-12-24 1989-03-28 Asyst Technologies, Inc. Box door actuated retainer
US4739882A (en) * 1986-02-13 1988-04-26 Asyst Technologies Container having disposable liners
US4697704A (en) * 1986-06-30 1987-10-06 Royal Master Systems, Inc. Storage container for floppy discs
US4966284A (en) * 1987-07-07 1990-10-30 Empak, Inc. Substrate package
US4995430A (en) * 1989-05-19 1991-02-26 Asyst Technologies, Inc. Sealable transportable container having improved latch mechanism
DE4207341C1 (ko) * 1992-03-09 1993-07-15 Acr Automation In Cleanroom Gmbh, 7732 Niedereschach, De
US5555981A (en) * 1992-05-26 1996-09-17 Empak, Inc. Wafer suspension box
DE69219329T2 (de) * 1992-08-04 1997-10-30 Ibm Tragbare abdichtbare unter Druck stehende Behältern zum Speichern von Halbleiterwafern in einer Schützenden gasartigen Umgebung
US5570987A (en) * 1993-12-14 1996-11-05 W. L. Gore & Associates, Inc. Semiconductor wafer transport container
US5482161A (en) * 1994-05-24 1996-01-09 Fluoroware, Inc. Mechanical interface wafer container
JP2796502B2 (ja) * 1994-10-06 1998-09-10 信越ポリマー株式会社 ウェーハ収納容器のウェーハ抑え

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100575910B1 (ko) * 1998-08-17 2006-05-02 신에츠 폴리머 가부시키가이샤 정밀 기판 수납 용기
KR100818380B1 (ko) * 2003-11-07 2008-04-02 인티그리스, 인코포레이티드 웨이퍼 캐리어, 개구가 앞면에 형성된 웨이퍼 콘테이너, 웨이퍼 케리어 도어, 및 웨이퍼 캐리어 도어 세척 방법
US8540289B2 (en) 2005-05-31 2013-09-24 Vantec Co., Ltd. Opening/closing structure for container for conveying thin plate

Also Published As

Publication number Publication date
GB2315261B (en) 2000-04-12
US5711427A (en) 1998-01-27
GB2315261A (en) 1998-01-28
KR100283960B1 (ko) 2001-04-02
DE19731183C2 (de) 2001-12-06
JP3280282B2 (ja) 2002-04-30
SG50867A1 (en) 1998-07-20
FR2750962B1 (fr) 1999-03-05
GB9714702D0 (en) 1997-09-17
ITTO970605A1 (it) 1999-01-08
CN1179007A (zh) 1998-04-15
MY126374A (en) 2006-09-29
FR2750962A1 (fr) 1998-01-16
HK1010279A1 (en) 1999-06-17
NL1006528C2 (nl) 1998-01-15
CN1135200C (zh) 2004-01-21
JPH1070184A (ja) 1998-03-10
DE19731183A1 (de) 1998-01-15
IT1293423B1 (it) 1999-03-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100283960B1 (ko) 도어를가진 웨이퍼 캐리어
US5915562A (en) Transport module with latching door
KR100925590B1 (ko) 도어 및 2 위치로 스프링 편향되는 래칭 기구
US5482161A (en) Mechanical interface wafer container
JP4441111B2 (ja) ドア付きウェハー容器
US6435633B2 (en) Article holder with lift mechanism
CN109997217A (zh) 配备具有两个凸轮轮廓的闩锁机构的衬底容器
JP2007019328A (ja) 基板収納容器の蓋体開閉方法
CN116646286B (zh) 晶圆盒闩锁机构及晶圆盒
US11211274B2 (en) Latching mechanism for a substrate container
JP4322681B2 (ja) ウエハ搬送装置の扉および掛止機構
US20020021009A1 (en) SMIF container latch mechanism
KR100747041B1 (ko) 잠금 문을 가진 이송 모듈
US6680851B1 (en) Positive latching combination handle and insertion/removal tool method and apparatus
KR20110046037A (ko) 도어 잠금 장치를 구비한 웨이퍼 운송 용기
KR20070017462A (ko) 셔터형 전기 코넥터 소켓
JPH084402A (ja) ヒンジ構造

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20121127

Year of fee payment: 13

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20131127

Year of fee payment: 14

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20141125

Year of fee payment: 15

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20151118

Year of fee payment: 16

LAPS Lapse due to unpaid annual fee