CN105993067B - 用于大直径晶片的具有锁止机构的晶片容器 - Google Patents

用于大直径晶片的具有锁止机构的晶片容器 Download PDF

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Abstract

一种具有锁止机构的晶片容器，其为诸如用于450mm晶片的大晶片容器提供密封，以降低的用于使中心可旋转凸轮板旋转的扭矩需要实现安全的门关闭和锁止。在各个实施例中，形成在可旋转凸轮化板中的凸轮槽是弓形的并且由相对的凸轮表面限定，相对的凸轮表面选择性地被连接到锁止臂的近端上的诸如辊子的凸轮从动件结合。辊子可以包括单一轴部，所述单一轴部卡入锁止臂的近端并且被支撑在辊子的两个轴端处。锁止臂的近端可以包括被间隙分开的平行的延伸件，并且具有导入表面，以在辊子的轴部被压入就位时使延伸件偏斜，从而使辊子坐落在两个轴端处。

Description

用于大直径晶片的具有锁止机构的晶片容器
相关申请的交叉引用
本申请要求2013年4月26日提交的美国临时专利申请号61/816,576和2013年5月1日提交的美国临时专利申请号61/818,343的权益，它们的全部公开内容在此通过引用引入本文中。
技术领域
本公开大体涉及半导体晶片容器，并且更具体地，涉及用于晶片容器的锁止机构。
背景技术
将半导体晶片加工到成品电子元件中通常需要许多加工步骤，在这些加工步骤中必须对晶片进行处理和加工。晶片是非常贵重、极其易碎的，并且很容易被物理和电的冲击损坏。此外，成功的加工在清洁度、没有颗粒和其它污染物方面要求极高。因此，已经开发了专门的容器或载体在晶片的加工、处理和运输过程中使用。这些容器保护晶片免受物理的和电的危害，并且是可密封的以保护晶片免于污染物影响。重要的是，容器在使用中保持密封，以阻止污染物对晶片的破坏。同样重要的是，从加工效率的立场出发，载体是易于使用和清洁的。
此外，组件的加工应当尽可能简单，并且牵涉尽可能少的部件。而且，在载体以及尤其是锁止机构的部件中希望减少或最小化任何金属部件。
被加工的晶片的尺寸越来越大。虽然仍然进行150mm晶片以及更小晶片的加工，但是现在已经明显出现了处理300mm晶片的生产设备。300mm晶片的容器涉及到在用于更小晶片的容器未预见的问题。一种全新类型的晶片容器被发展用于处理300mm晶片，例如参见：US专利号8,276,759；RE38221；RE42402；RE40513；7,422,107；7,677,393以及6,464,081，所有这些文献为申请人所有，并且除了明确限定和其中包含的权利要求书都在此被通过引用引入本文中。基本构造是前开口容器，其具有装配到限定门开口的门框中的门。在x-y-z坐标系(图1)中，晶片被沿着Z坐标方向插入和移除，上下方向为沿着y坐标方向，并且左右方向为沿着x坐标方向。门沿着z方向被插入并且具有锁止件，锁止件沿y坐标移动并且随后沿z坐标移动，以朝向容器部锁止并拉入该门，以限制晶片并在门和容器部之间提供密封。
目前，450mm的生产设备正在被开发，并且也正在进行具有超过现有技术的容器的进一步的和不同的性能和功能增强的用于该生产设备的容器的开发。这种容器可以具有类似构造的前开口门。
用于150mm和300mm的晶片容器提供各种构造的门外壳和锁止机构。许多或多数已知的用于300mm晶片容器的锁止机构使用用于致动锁止装置的具有机械接口的旋转元件。通常地，可旋转板包括凸轮表面和具有凸轮从动件以结合可旋转板的连杆或多个连杆。多个连杆的相反的端部将具有锁止件或与锁止件连接，该锁止件在容器部中与门框结合。具有结合和摩擦其它部件的部件的锁止机构可能产生对晶片加工有害的颗粒。
在用于较大晶片的容器中，特别是用于450mm晶片的容器中，需要力以便将晶片固定就位(即，力被施加在前和后晶片衬垫上，或者需要定位在门和容器的后面上的约束以提供更大的固定力)。相比300mm的门，基本上更大的垫圈长度与450mm的门相伴产生。垫圈必须被压缩以进行密封，并且更大的长度直接与增大的闭合力需要相关。由于这些更大的力，门的锁止变得更难。除了将门固定在门框中，锁止机构还使门朝向容器的内部移动，将晶片捕获并弹性地约束在门的内侧表面上的弹性衬垫和后晶片结合装置之间，并且压缩垫圈。这种捕获和密封需要弹性晶片衬垫的挠曲和垫圈的压缩。通常通过自动机械装置使机械锁止钥匙在锁止板中的钥匙孔中转动而使门实现锁止。
使用更大的门所需要的增大的晶片约束力和垫圈密封力产生部件上更高的应力以及结合的摩擦部件之间更大的摩擦力。所有这些导致更大的扭矩需要以致动门关闭装置，并且导致摩擦或滑动部件之间相伴的更大的颗粒化问题。工业标准和/或客户需求指示了可以实现用于锁止门的旋转的力。传统地，由于上述额外的要求，用于300mm容器和更小容器的所配置的锁止装置不能理想地适于用在更大的450mm的容器中。
已知有在门的周边枢转的可旋转的锁止元件，例如通过US专利号6,457,598，还已知有与锁止臂连接的单独的内槽。如所说明的这些装置没有提供450mm晶片容器所需要的降低的扭矩需要。
传统的可旋转板已经使用带有凸轮从动件的槽，凸轮从动件具有滑动表面，滑动表面结合板中的槽，以便移动连杆以实现需要的锁止件的二维运动。在该机构中期望具有良好限定并且平滑操作的运动，以阻止可能导致颗粒产生或效率低或不兼容的性能的堵塞或粗糙运转。在晶片容器门机构中已知有依靠辊子凸轮从动件的凸轮板的外周边缘结合，但是需要弹簧来保持辊子和凸轮化板的凸轮表面之间的结合。同时非常希望具有最小化的部件数量、不使用或使用最少工具或自动地简单地组装、并且容易清洁的机构。
发明内容
本文公开的各个实施例给出了一种具有锁止机构的晶片容器，其为诸如用于450mm晶片的大晶片容器提供密封，并且以降低的用于使中心可旋转凸轮板旋转的扭矩需要实现安全的门关闭和锁止。
在一个实施例中，锁止臂在凸轮从动件的两个轴端处支撑凸轮从动件。这增强了凸轮从动件的稳定性以及凸轮从动件和锁止臂之间的连接的结构完整性。
此外，对于将辊子引入凸轮从动件的实施例，辊子的轴的直径应当大致小于辊子的外直径。因为轴的直径接近凸轮从动件的外直径，辊子约束的趋势增强。辊子的约束导致与凸轮从动件的滑动结合，而不是导致机械无效的滚动结合。因而，为了从辊子的使用中获益，较小的轴直径优于较大的轴直径，这固有地削弱了轴。对于更大级别的晶片容器需要的增大的力，与伴随有效地操作辊子的被削弱的轴是正相反的。通过将辊子轴支撑在两端上，相对于仅被支撑在一端上的传统的辊子，能够利用具有较小直径的辊子轴。较小的轴直径提高了辊子的性能，与具有较大直径的轴相比，辊子较少地倾向于约束轴。
在各个实施例中，跟踪和对齐结构保持部件之间的对齐，以在运动平移部中提高效率，从具有钥匙槽的板处的旋转到锁止臂处的线性移动，到利用门周边处的枢转锁止元件的旋转和锁止。
在某些实施例中，在可旋转凸轮化板中的槽是弓形的并且由相对的凸轮表面限定，相对的凸轮表面被连接到锁止臂的第一或近端上的辊子结合。相反的远端与枢转锁止元件连接，随着凸轮化板旋转凸轮表面操纵凸轮从动件。由此，锁止臂相对于可旋转凸轮化板向内和向外平移，并且将运动转化为具有锁止件(latching tip)的锁止元件的旋转，其中所述锁止件从门周边向外延伸，并且然后向内拉门。辊子可以具有单一轴部，所述单一轴部卡入锁止臂的近端。近端可以限定具有两个延伸元件的“叉式”构造，两个延伸元件在它们之间限定间隙，并且具有导入表面，以在辊子的轴部被压入就位时使平行的延伸元件偏斜，从而允许辊子就位。槽尺寸形成为使辊子在槽的每个对应侧结合相对的凸轮表面，而不会引入或至少限制机构的“活动”(即，辊子在槽中沿连杆可以移动的方向进行的移动，而没有可旋转凸轮化板的对应的旋转)。在一些实施例中，该活动小于0.375英寸。在某些实施例中，该活动小于0.25英寸，并且在各个实施例中，小于0.20英寸。在各个实施例中，限定槽的相对的凸轮表面之间的空间小于或等于凸轮辊子的结合部的直径的1.3倍。在一些实施例中，限定槽的相对的凸轮表面之间的空间小于或等于凸轮辊子的结合部的直径的1.2倍；在某些实施例中，分别小于或等于凸轮辊子的结合部的直径的1.15和1.10倍。
在本公开的各个实施例中，连杆被对齐地固定，以有效利用从可旋转凸轮化锁止板的旋转到连杆以及到具有锁止件的锁止元件的旋转的运动转换中的动力。这种对齐可以通过门壳体的基部的内侧表面、门壳体的盖的内侧表面、连杆中的槽中的内柱提供。此外，对齐可以通过凸轮表面和辊子上的配合的、互补的非平行结合表面提供。例如，辊子可以具有诸如肋部的中心圆周突起部，该中心周围突起部结合限定可旋转凸轮化元件的槽的凸起的凸轮表面。
在一些实施例中，辊子可以具有内凹物，即凹结合表面，以与可旋转凸轮化板的凸的、外周面相接。这些配合的、互补的表面提供与其它约束一致的对齐。
在本公开的一些实施例中，凸轮化轮包括相反的凸轮表面，一个具有更宽的凸轮表面，以适应更大的力，具体地为推出锁止臂使锁止元件旋转到锁止位置所需要的关闭压缩力。当锁止结构未锁止时槽的相对侧的将锁止臂拉离门周边的力需求趋于需要更小的力并且因此需要更小的支撑表面。在一个实施例中，所述或较宽(厚度上更厚)的凸轮表面为其它、较窄(厚度上更薄)的凸轮表面的2倍；在其它实施例中，为2.5倍宽；在一些实施例中，为3倍宽；在其它实施例中，为5倍宽。在一个实施例中，较窄的凸轮表面可以为1.5-3mm。较宽的凸轮表面在宽度上可以为4-12mm。在各个实施例中，较宽的凸轮表面可以比较窄的凸轮表面宽1mm-5mm(包括1mm和5mm)。在一个实施例中，较宽的凸轮表面比较窄的凸轮表面宽3mm。较窄的凸轮表面与较宽的凸轮表面相对。
在一个实施例中，凸轮和凸轮表面被定位为使得相配的部件的截面轮廓之间的线接触小于约2mm被提供，这促进长的部件寿命、减轻了颗粒产生并且易于制造。
在结构上，在各个实施例中，公开了一种用于晶片容器的门锁止机构，包括凸轮化板，凸轮化板包括第一面、与第一面相反的第二面和外周边，凸轮化板能够绕大致垂直于第一面和第二面的中心轴线旋转。凸轮化板还限定穿过第一面和第二面的弓形凸轮槽，弓形凸轮槽由具有第一凸轮表面的内周边约束。凸轮从动件布置在凸轮槽内，凸轮从动件能够与第一凸轮表面结合。锁止臂能够沿致动轴线平移，并且包括具有第一延伸件和第二延伸件的近端，每个延伸件沿平行于致动轴线的方向延伸。第一延伸件和第二延伸件每个延伸过凸轮化板的外周边，使得第一延伸件邻近凸轮化板的第一面并且第二延伸件邻近凸轮化板的第二面。凸轮从动件与第一延伸件和第二延伸件连接。当凸轮化板绕中心轴线旋转时，第一凸轮表面结合凸轮从动件以沿致动轴线将力施加在锁止臂的第一延伸件和第二延伸件上。
在一个实施例中，凸轮化板的凸轮槽还包括与第一凸轮表面相对的第二凸轮表面，凸轮从动件能够选择性地与第一凸轮表面和第二凸轮表面结合。当凸轮化板绕中心轴线沿与第一旋转方向相反的第二旋转方向旋转时，第二凸轮表面结合凸轮从动件以沿致动轴线在第二平移方向上将力施加在锁止臂的第一延伸件和第二延伸件上，第二平移方向与第一平移方向相反。在一个实施例中，第一凸轮表面和第二凸轮表面分别限定沿平行于中心轴线的方向延伸的第一宽度和第二宽度，第一宽度大于第二宽度。对于某些实施例，脊部接近凸轮槽从凸轮化板的第一面和第二面中的至少一个上延伸，以沿平行于中心轴线的方向扩展第一凸轮表面。第一凸轮表面的第一宽度可以至少两倍而小于或等于五倍地宽于第二凸轮表面的第二宽度。在一个实施例中，第一凸轮表面的第一宽度在4mm-12mm、包括4mm和12mm的范围内，并且第二凸轮表面的第二宽度在1.5mm-3mm、包括1.5mm和3mm的范围内。在一个实施例中，第一凸轮表面的第一宽度比第二凸轮表面的第二宽度宽至少1mm而小于或等于5mm。在一些实施例中，第一凸轮表面的第一宽度比第二凸轮表面的第二宽度宽约3mm。
凸轮从动件可以包括辊子，辊子能够绕旋转轴线旋转，旋转轴线与中心轴线大致平行。在一个实施例中，第一凸轮表面在垂直于辊子的沿第一凸轮表面的行进方向的平面内限定第一截面轮廓，并且辊子的结合表面在垂直于行进方向的平面内限定第二截面轮廓，其中第一截面轮廓和第二截面轮廓中的一个是凸的，并且第一截面轮廓和第二截面轮廓中的另一个是大致平坦的。第一截面轮廓和第二截面轮廓中的为凸的一个可以限定平坦表面，并且那些平坦表面可以相交以大致限定顶点。
在各个实施例中，辊子的结合表面在垂直于辊子的沿第一凸轮表面的行进方向的平面内限定凸截面轮廓和凹截面轮廓中的一个。第一凸轮表面可以在垂直于辊子的沿第一凸轮表面的行进方向的平面内限定凸截面轮廓和凹截面轮廓中的另一个。辊子的截面轮廓可以与第一凸轮表面的截面轮廓互补。辊子可以包括聚醚醚酮。
在一个实施例中，辊子包括用于选择性地结合第一凸轮表面和第二凸轮表面中的一个的结合部。弓形凸轮槽可以以弓形轴线为中心，弓形轴线位于垂直于中心轴线的旋转平面上，弓形凸轮槽限定介于第一凸轮表面和第二凸轮表面之间的槽宽度尺寸，槽宽度尺寸垂直于旋转平面上的弓形轴线。在一个实施例中，槽宽度大于辊子的结合部的外直径至少0.25mm，并且小于或等于结合部的外直径的1.3倍。不同地，槽宽度可以小于或等于结合部的外直径的1.2倍或1.1倍。
对于一些实施例，辊子包括第一面和与第一面相反的第二面，辊子能够绕轴旋转，轴具有轴直径。轴可以沿垂直于辊子的第一面和辊子的第二面的方向延伸。辊子可以包括结合部，结合部从旋转轴线径向向外延伸并且具有用于结合第一凸轮表面的外直径。辊子的结合部的外直径可以至少两倍而小于或等于五倍地大于轴直径。在一些实施例中，轴在辊子直径的20％-40％、包括20％和40％的范围内。轴和辊子直径的示例性和非限制性的尺寸分别为约4mm和约14mm。
在一个实施例中，轴与辊子一体地(即，单一地)形成。在其它实施例中，轴从由定位销、铆钉、卡合塞和具有保持环的轴构成的组中选择。
在本公开的各个实施例中，给出了一种用于晶片容器的门锁止机构，包括凸轮化板，凸轮化板能够绕中心轴线旋转并且限定弓形凸轮槽，弓形凸轮槽由具有第一凸轮表面和第二凸轮表面的内周边约束，第二凸轮表面与第一凸轮表面相对。凸轮从动件布置在凸轮槽内，并且能够与内周边结合，凸轮从动件能够沿致动轴线平移。能够沿致动轴线平移的锁止臂操作性地与凸轮从动件连接。在一个实施例中，在门锁止机构的关闭过程中，凸轮化板绕中心轴线沿第一旋转方向的旋转可以使第一凸轮表面结合凸轮从动件并且使第二凸轮表面与凸轮从动件脱离结合。并且，在门锁止机构的打开过程中，凸轮化板绕中心轴线沿与第一旋转方向相反的第二旋转方向的旋转使第一凸轮表面与凸轮从动件脱离结合并且使第二凸轮表面结合凸轮从动件，使得凸轮从动件相对于凸轮槽的内周边限定闭环路线。
可选地，锁止臂包括具有第一延伸件和第二延伸件的近端，第一延伸件和第二延伸件沿平行于致动轴线的方向延伸。第一延伸件和第二延伸件可以在它们之间限定间隙。在一个实施例中，第一延伸件和第二延伸件延伸过凸轮化板的外周边，使得外周边的一部分布置在间隙内，凸轮从动件与第一延伸件和第二延伸件连接。在一个实施例中，当凸轮化板绕中心轴线沿第一旋转方向旋转并且第一凸轮表面结合凸轮从动件时，沿致动轴线在第一平移方向上将力施加在锁止臂的第一延伸件和第二延伸件上；当凸轮化板绕中心轴线沿第二旋转方向旋转并且第二凸轮表面结合凸轮从动件时，沿致动轴线在第二平移方向上将力施加在锁止臂的第一延伸件和第二延伸件上，第二平移方向与第一平移方向相反。
在各个实施例中，本文公开了一种用于组装用于晶片容器的门锁止机构的方法，包括：
·提供凸轮从动件，凸轮从动件包括第一面和与第一面相反的第二面，凸轮从动件包括沿垂直于凸轮从动件的第一面的方向延伸的第一突起部和沿垂直于凸轮从动件的第二面的方向延伸的第二突起部，凸轮从动件包括结合部，结合部从旋转轴线径向向外延伸并且具有用于结合第一凸轮表面的外直径；
·提供锁止臂，锁止臂包括具有第一延伸件和第二延伸件的近端，第一延伸件和第二延伸件沿平行于致动轴线的方向延伸，第一延伸件和第二延伸件在它们之间限定间隙，第一延伸件和第二延伸件中的每个包括用于将凸轮从动件的第一突起部和第二突起部中的对应一个固定于其上的安装结构；
·提供凸轮化板，凸轮化板用于绕中心轴线旋转并且以垂直于中心轴线的旋转平面为中心，凸轮化板限定接近凸轮化板的外周边的弓形凸轮槽，其中凸轮化板的位于弓形凸轮槽和外周边之间的外周部具有径向尺寸和轴向尺寸，径向尺寸和轴向尺寸小于锁止臂的间隙的尺寸；
·将凸轮化板的外周部布置在锁止臂的间隙内；
·在布置步骤之后，定向锁止臂使得第一延伸件和第二延伸件的安装结构位于旋转平面的同一侧上；以及
·在定向步骤之后，将凸轮从动件固定在锁止臂的第一延伸件和第二延伸件上。
该方法还可以包括：在固定步骤之后，围绕外周部并远离中心轴线旋转锁止臂，使得锁止臂与旋转平面大致平行。在一些实施例中，在提供锁止臂的步骤中提供的锁止臂的第一延伸件和第二延伸件中的至少一个包括圆形端，用于在旋转步骤中使延伸件枢转通过弓形凸轮槽。此外，在提供凸轮从动件的步骤中提供的凸轮从动件的第一突起部和第二突起部可以限定轴，凸轮从动件能够绕轴旋转。
在另一个实施例中，一种用于组装用于晶片容器的门锁止机构的方法，包括：
·提供凸轮从动件，凸轮从动件包括第一面和与第一面相反的第二面，凸轮从动件包括沿垂直于凸轮从动件的第一面的方向延伸的第一突起部和沿垂直于凸轮从动件的第二面的方向延伸的第二突起部，凸轮从动件包括结合部，结合部从旋转轴线径向向外延伸并且具有用于结合第一凸轮表面的外直径；
·提供锁止臂，锁止臂包括具有第一延伸件和第二延伸件的近端，第一延伸件和第二延伸件沿平行于致动轴线的方向延伸，第一延伸件和第二延伸件在它们之间限定间隙，第一延伸件和第二延伸件中的每个包括用于将凸轮从动件的第一突起部和第二突起部中的对应一个固定于其上的安装结构；
·提供凸轮化板，凸轮化板用于绕中心轴线旋转并且以垂直于中心轴线的旋转平面为中心，凸轮化板限定接近凸轮化板的外周边的弓形凸轮槽，其中凸轮化板的位于弓形凸轮槽和外周边之间的外周部具有轴向尺寸，轴向尺寸小于锁止臂的间隙的尺寸；
·将凸轮从动件布置在弓形凸轮槽内；
·朝向布置在弓形凸轮槽内的凸轮从动件移动第一延伸件和第二延伸件，使得凸轮化板的外周部位于锁止臂的间隙内；以及
·将凸轮从动件固定在锁止臂的第一延伸件和第二延伸件上，使得凸轮化板的外周部被捕获在第一延伸件、第二延伸件和凸轮从动件之间。
对于各个方法实施例，在提供锁止臂的步骤中提供的锁止臂的第一延伸件和第二延伸件可以包括安装结构，安装结构卡接地结合凸轮从动件。在提供锁止臂的步骤中提供的锁止臂的第一延伸件和第二延伸件的安装结构可以包括坡道，在固定步骤中坡道使第一延伸件和第二延伸件远离彼此偏斜，并且其中固定步骤还包括沿致动方向一起拉动锁止臂和凸轮从动件。可选地，在提供锁止臂的步骤中提供的锁止臂的第一延伸件和第二延伸件中的至少一个的安装结构包括C形卡合装置，当凸轮从动件被压入C形卡合装置中时C形卡合装置横向伸展至致动轴线，并且固定步骤还包括沿致动方向一起拉动锁止臂和凸轮从动件。
可选地，在提供锁止臂的步骤中提供的锁止臂的第一延伸件和第二延伸件中的至少一个的安装结构的安装结构C形卡合装置包括导入装置。固定步骤还包括沿致动方向一起拉动锁止臂和凸轮从动件。
本公开的一些实施例针对一种晶片容器，包括：容器部和门，门装配在门框架中，用于密封性地封闭容器部。锁止机构包括凸轮化板，凸轮化板能够绕中心轴线旋转并且限定弓形凸轮槽，弓形凸轮槽由具有第一凸轮表面的内周边约束；凸轮从动件，凸轮从动件布置在凸轮槽内，并且能够与内周边结合，凸轮从动件能够沿致动轴线平移；以及锁止臂，锁止臂能够平移，具有沿致动轴线设置的近端和远端，并且操作性地与凸轮从动件连接。锁止臂在近端可以包括第一延伸件和第二延伸件，第一延伸件和第二延伸件沿平行于致动轴线的方向延伸，第一延伸件和第二延伸件在它们之间限定间隙。在一个实施例中，第一延伸件和第二延伸件延伸过凸轮化板的外周边，使得外周边的一部分布置在间隙内，凸轮从动件与第一延伸件和第二延伸件连接，锁止臂包括锁止元件，锁止元件操作性地与远端连接。当凸轮化板绕中心轴线旋转时，第一凸轮表面结合凸轮从动件以沿致动轴线在第一方向上将力施加在锁止臂的第一延伸件和第二延伸件上，使锁止元件密封性地将门结合靠在门框架上。
可选地，凸轮化板的弓形凸轮槽包括第二凸轮表面，第二凸轮表面与第一凸轮表面相对。当凸轮化板绕中心轴线沿与第一旋转方向相反的第二旋转方向旋转时，第二凸轮表面结合凸轮从动件以沿致动轴线在第二平移方向上将力施加在锁止臂的第一延伸件和第二延伸件上，第二平移方向与第一平移方向相反。
所公开的实施例的各个典型方面的上述概要并不意在描述其每个说明方面或每一个执行方式。而是，选择和描述所述方面使得本领域技术人员可以领会和理解所公开的装置和方法的原理和实践。在随后的具体实施方式中的图示更具体地例示了这些方面。
附图说明
图1是本公开的实施例中的大直径晶片容器的立体图；
图2是本公开的实施例中的大直径晶片容器的前盖被移除的门的正视图；
图3是图2的锁止臂的可旋转凸轮化板、弹簧和近端部分的放大正视图；
图4是本公开的实施例中的大直径晶片容器的前盖被移除的门的立体图；
图5是图4的可旋转凸轮化板、弹簧和近端部分的放大的详细立体图；
图6是本公开的实施例中的锁止臂的可旋转凸轮化板、弹簧和近端部分的放大的、局部详细立体图；
图7是本公开的实施例中的锁止机构的部件的立体图；
图8是本公开的实施例中的凸轮从动件或辊子的立体图；
图9是本公开的实施例中的凸轮化板的背面的详细立体图；
图10是本公开的实施例中的图9的凸轮化板的前面的详细立体图；
图11A-11D是本公开的实施例中的在工作过程中凸轮化板和凸轮从动件之间的相互作用的平面视图；
图12A是本公开的实施例中的在凸轮化轮的槽中的辊子的局部剖视图；
图12B是本公开的实施例中的在凸轮化轮的槽中的辊子的局部剖视图
图12C是本公开的实施例中的在凸轮化轮的槽中的圆柱形的辊子的局部剖视图，其中辊子用于结合凸轮表面，凸轮表面具有凸表面或带有呈小于180度的角度的两个子表面的表面；
图12D是本公开的实施例中的在具有平坦的凸轮化表面的槽中的在辊子的轴线中心具有最大直径的辊子的局部剖视图；
图13是本公开的实施例中的锁止机构的组装步骤的立体图；
图14A是本公开的实施例中的锁止机构的组装步骤的立体图；
图14B是本公开的实施例中的锁止臂的近端的立体图；
图15是本公开的实施例中的锁止机构的组装步骤的立体图；
图16是本公开的实施例中的锁止机构的组装步骤的立体图；
图16A是图16的锁止机构的组装步骤的平面图；
图17是本公开的实施例中的锁止机构的组装步骤的立体图；以及
图17A-17C图示了本公开的实施例中的凸轮从动件的替代的连接技术。
虽然本发明可接受各种修改和替代形式，但是在附图中已经通过举例的方式示出了本公开的细节，并且将详细描述它们。然而，应当理解，所描述的特别方面并不意在是限制性的。相反，其意在覆盖落在由所附的权利要求书限定的本公开的精神和范围内的所有修改、等同和替代。
具体实施方式
参考图1，在本公开的实施例中图示了大直径晶片容器20。晶片容器20包括容器部22和门24，门装配到门框26上，用于密封地封闭容器并且约束其中的晶片。盖28与门24的基部29组合以形成包含锁止机构的外壳。在一个实施例中，晶片容器20适于450mm的晶片。
参考图2-9，在本公开的实施例中组装地和孤立地图示了锁止机构30和其各个部件。锁止机构30固定放置在门24内。锁止机构30包括凸轮化板36，凸轮化板通过凸轮从动件42与连杆臂或锁止臂40可操作地连接。在各个实施例中，锁止臂40包括近端41和远端43，并且限定致动轴线45，致动轴线穿过近端和远端41和43。越过中心的偏压弹簧46可操作地连接在基部29和凸轮化板36之间。
在各个实施例中，锁止臂40的近端41包括两个延伸元件87、88，两个延伸元件在其间限定具有法向尺寸83并且沿平行于致动轴线45的方向延伸的间隙85。延伸元件87和88中的每一个可以包括用于将凸轮从动件42安装于其上的安装结构84。
在各个实施例中，凸轮从动件42包括用于连接到锁止臂40的安装结构84上的相反的突起71a和71b。突起71a和71b分别沿垂直于凸轮从动件42的第一面72a和第二面72b的方向延伸，第一面72a与第二面72b相反。在某些实施例中，凸轮从动件42包括绕辊子轴线74可旋转的辊子70，辊子70包括结合部80，结合部从辊子轴线74径向向外延伸并且具有外直径77。在一些实施例中，突起71a和71b限定轴78。在一个实施例中，轴78与凸轮从动件的第一面和第二面72a和72b一体形成。在其它实施例中，轴78与辊子70分开地形成并且延伸穿过辊子70以从凸轮从动件72的两个面72a和72b上伸出。当与辊子70分开地形成时，轴78可以包括例如定位销、铆钉、卡合塞或具有保持环的轴。
锁止元件44与锁止臂40的远端43可操作地连接。锁止元件44可以包括轴或枢轴销48，该轴或枢轴销坐在门24的基部29中的槽或凹部中，并且锁止元件44围绕该轴或枢轴销旋转以实现锁止机构30的打开和关闭运动。
凸轮化板36是绕中心轴线51可旋转的，并且包括前面50和后面52，前面和后面50和52以外周边53为边界，并且基本上垂直于中心轴线51。凸轮化板36可以基本上以垂直于中心轴线51的旋转平面58为中心。在一个实施例中，后面52被配置为具有插座54，插座坐在从门的基部29上延伸的安装凸缘或安装凸起(未示出)上。凸轮化板36还可以包括限定以中心轴线51为中心的钥匙孔37。
凸轮化板36包括限定弓形凸轮槽60的结构，弓形凸轮槽穿过凸轮化板36的前面和后面50和52。弓形凸轮槽60由内周边59约束，内周边包括具有宽度67的内凸轮表面64和具有宽度65的外凸轮表面66，内和外凸轮表面64和66相反设置。在一个实施例中，内凸轮表面64的宽度宽于外凸轮表面66的宽度65。
弓形凸轮槽60以弓形轴线60.1为中心，弓形轴线位于旋转平面58上。弓形凸轮槽可以限定内凸轮表面64和外凸轮表面66之间的槽宽度尺寸60.2，槽宽度尺寸60.2在旋转平面58上垂直于弓形轴线 60.1。在一个实施例中，槽宽度60.2大于辊子70的结合部80的外直径77至少0.25mm并且小于或等于结合部80的外直径77的1.3倍。在其它实施例中，槽宽度60.2小于或等于结合部的外直径77的1.2倍；在其它实施例中，槽宽度60.2小于或等于结合部的外直径77的1.1倍。
弓形凸轮槽60可以接近外周边53以限定凸轮化板36的位于弓形凸轮槽60和外周边53之间的外周部69。在一个实施例中，外周部69包括径向尺寸55和厚度或轴向尺寸57(图10)，其小于锁止臂40的间隙85的尺寸83。
当完全组装后，凸轮从动件42被布置在弓形凸轮槽60内。凸轮从动件42被安装在锁止臂40的延伸件87、88上，延伸件87、88延伸过(跨过)凸轮化板36的外周边53，使得延伸件87邻近凸轮化板36的前面50并且延伸件88邻近凸轮化板36的背面52。以这种方式，凸轮从动件42被捕获在弓形凸轮槽60内。
参考图11A-11D，图示了在工作中凸轮化板36和凸轮从动件42之间的相互作用。在该图示中，锁止机构30初始地处于打开或未锁定构型，凸轮从动件42套齐在外凸轮表面66上并且凸轮化板36旋转至第一旋转极点(当观察前面50时顺时针方向的极点)(图11A)。当凸轮化板36绕中心轴线51沿第一旋转方向90a(图11的图示中的逆时针方向)旋转时，内凸轮表面64朝向凸轮从动件42旋转，在死区旋转行程θ1(图11B)之后，结合凸轮从动件42。凸轮从动件42的结合在锁止臂40(在图11的图示中以虚线示出)的延伸件87、88上施加力，导致锁止臂40沿致动轴线45在第一平移方向91a上平移。随着凸轮化板36继续沿第一旋转方向90a旋转，内凸轮表面继续朝向凸轮从动件42旋转，导致凸轮从动件42与移动的内凸轮表面64一起滑动或滚动并且在锁止臂40上施加继续使锁止臂40沿第一平移方向91a平移的力。
凸轮化板36的旋转以及伴随的锁止臂40的沿第一平移方向91a的平移继续直到凸轮从动件42到达第二旋转极点(当观察前面50时逆时针方向的极点)(图11C)。在第二旋转极点，凸轮从动件套齐在内凸轮表面64上，并且锁止臂40完全伸展到关闭或锁定位置，已经平移了全部行程距离99。在一个实施例中，第一旋转极点和第二旋转极点之间的旋转距离约为90度。在一个实施例中，全部行程距离99在8mm-15mm、包括8mm和15mm的范围内。
当凸轮化板36绕中心轴线51沿与第一旋转方向90a相反的第二旋转方向90b(图11的图示中的顺时针方向)旋转时，外凸轮表面66朝向凸轮从动件42旋转，在死区旋转行程θ2(图11D)之后，结合凸轮从动件42。凸轮从动件42的结合在锁止臂40的延伸件87、88上施加力，导致锁止臂40沿致动轴线45在第二平移方向91b上平移，第二方向91b与第一平移方向91a相反。随着凸轮化板36继续沿第二旋转方向90b旋转，外凸轮表面66继续朝向凸轮从动件42旋转，导致凸轮从动件42与移动的外凸轮表面66一起滑动或滚动并且在锁止臂40上施加继续使锁止臂40沿第二平移方向91b平移的力。凸轮化板36的旋转以及伴随的锁止臂40的沿第二平移方向91b的平移继续直到凸轮从动件42到达第一旋转极点，如图11A所示。从而完成了锁止机构30从完全脱离结合到完全结合再回到完全脱离结合的整个循环。
以这种方式，选择性的结合一个内和外凸轮表面64或66受凸轮化板36的旋转方向影响。凸轮从动件42相对于移动的凸轮槽60执行经过设计的闭环路线，而不是曲线上的前后逆转。闭环路线使得凸轮从动件42在一个时刻只结合凸轮表面64、66中的一个，并且当被使用时，使得辊子70在凸轮槽60内自由滚动。
在一些实施例中，死区旋转行程θ1和θ2在2度-20度、包括2度和20度之间。在其它实施例中，死区旋转行程θ1和θ2在3度-15度、包括3度和15度之间。在另外的其它实施例中，死区旋转行程θ1和θ2在5度-15度、包括5度和15度之间。在此外的其它实施例中，死区旋转行程θ1和θ2在7度-15度、包括7度和15度之间。
在功能上，内凸轮表面64便于沿着致动轴线45“推”或压锁止臂40，以实现锁止元件44的关闭旋转。外凸轮表面66便于沿着致动轴线45“拉”或张紧锁止臂40，以实现锁止元件44的打开。凸轮从动件42至两个相反的延伸件87和88的连接在锁止臂40和凸轮从动件42上提供对称的载荷，以在操作力的作用下辅助保持它们之间的对齐。对称载荷也阻止凸轮从动件42倾斜，并且阻止在凸轮从动件42和锁止臂40的连接处的伴随的力矩应力。
已经意识到，在关门动作中致动锁止机构30所需的力明显高于在开门动作中使锁止机构30回缩所需的力。由于用于使锁止机构30回缩需要更小的力，在回缩过程中驱动凸轮从动件42的外凸轮表面66的宽度65可以比内凸轮表面65的宽度67更窄。在一个实施例中，脊部64.1接近凸轮槽60从凸轮化板36的前面50和背面52中的至少一个上延伸，以在平行于中心轴线51的方向上产生内凸轮表面64的延伸部，由此提供更宽的宽度67。
因此，除了通过在外凸轮表面66上使用更少的材料能够获得的经济性外，外凸轮表面66的降低的材料需求使得凸轮化板36的外周部69尺寸成形为便于组装，如下面伴随图15所描述的。
参考图12A-12D，在本公开的实施例中，图示了用于辊子70的结合部80和凸轮表面64和66的各种截面轮廓。结合部80单独地被称为结合部80a-80d，并且一般地或共同地被称为结合部80。类似地，内和外凸轮表面64和66单独地被称为内凸轮表面64a-64d和外凸轮表面66a-66d，并且一般地或共同地被称为凸轮表面64和66。此外，结合部80或内或外凸轮表面64或66的“截面轮廓”被其各自表面的轮廓线限定，如在垂直于沿着辊子的凸轮表面的行进方向的平面内的剖面中观察到的。
在一些实施例中，结合部80a限定凹的截面轮廓，而配合的内和外凸轮表面64a和66a限定凸的截面轮廓(图12A)。在其它实施例中，结合部80a限定凸的截面轮廓，而配合的内和外凸轮表面64b和66b限定凹的截面轮廓(图12B)。因而，图12A和12B的结合部80和凸轮表面64和66的当前的截面轮廓的实施例是“互补的”。在另外的其它实施例中，结合部80c限定大致平的截面轮廓，而配合的内和外凸轮表面64c和66c限定凸的截面轮廓(图12C)。在此外的其它实施例中，结合部80d限定凸的截面轮廓，而配合的内和外凸轮表面64d和66d限定大致平的截面轮廓(图12D)。因而，图12C和12D的结合部80和凸轮表面64和66的当前的截面轮廓的实施例是“不匹配的”。
在各个实施例中，结合部80和凸轮表面64和66的凸的截面轮廓包括平坦表面96，平坦表面96相对于彼此倾斜，由此在它们之间限定小于180度的角度。在各个实施例中，平坦表面96可以相交以大致限定顶点97。
在功能上，图12A和12B的互补的轮廓配合以提供影响辊子70和凸轮表面64和66以保持在轨道上的对齐和跟踪力，这可以提供更有效的平移运动并且降低致动锁止机构30所需的扭矩的大小。另一方面，我们已经发现不匹配的轮廓可以提供良好的生命周期和较低的扭矩需求。不匹配的结合被认为是当截面轮廓的结合表面的长度是至少0.5mm并且小于2mm时当欠载时在具有减少的颗粒产生的持久的稳定结合方面是最有利的。在一些实施例中，截面轮廓的结合表面的长度小于1.5mm，在其它实施例中小于1mm，并且在另外的其它实施例中，小于0.75mm。对于利用顶点97的实施例，各自的部件可以注射成形，使得顶点97形成在配合的模具腔的分模线处。
可以配置混合有互补的和不匹配的截面轮廓的其它组合。例如，结合部80可以呈现凸的截面轮廓，并且外凸轮表面66呈现互补的凹的截面轮廓(例如，图12A的结合部80a和外凸轮表面66a)，而内凸轮表面64呈现平的截面轮廓(例如，图12D的内凸轮表面64d)。这种设置在辊子与较窄的外凸轮表面66结合时(此时更牵扯在减小的接触区域之间的不对齐问题)将提供由互补的轮廓提供的跟踪对齐的优点，同时在锁止机构30的更大的力致动循环过程中辊子与更宽的内凸轮表面64结合时提供由不匹配的轮廓提供的降低磨损的优点。
参考图13-17C，在本公开的实施例中图示了不同地配置的凸轮从动件42和锁止臂40以及用于锁止机构30的组装的不同模式。在一个实施例(图13)中，组装方法是将凸轮从动件42定位在凸轮化板36的弓形凸轮槽60中，并且操纵锁止臂40的延伸件87、88越过凸轮化板36的外周边53以结合并允许凸轮从动件42卡入延伸件87、88的安装结构84中，由此将凸轮化板36捕获在锁止臂40和凸轮从动件42之间。可以手动地、用工具或使用气动完成凸轮从动件42的插入。在一些实施例(图14A)中，安装结构84可以包括坡道102以便于当凸轮从动件42卡合入位时沿轴向(即，平行于辊子轴线74)展开延伸件87和88。在一个实施例(图14B)中，延伸件87和/或88中的一个或多个的端部可以为圆形104以便于锁止臂40的旋转，用于在槽60内枢转。
在各个实施例(图15)中，组装锁止机构30的方法包括将凸轮化板36的外周部69布置在锁止臂40的间隙85中。然后锁止臂40被定位使得延伸件87、88的安装结构84在旋转平面58的同一侧。凸轮从动件42被固定在锁止臂40的延伸件87和88上。在一个实施例中，锁止臂在组装过程中被固定。在将外周部69捕获在延伸件87、88和凸轮从动件42之间之后，锁止臂40可以围绕外周部69被旋转，并且远离中心轴线51，使得锁止臂40大致与旋转平面58平行。
在其它实施例(图16和16A)中，在延伸件87、88的至少一个上的安装结构84包括C形卡合装置106，当凸轮从动件42被压入其中时C形卡合装置横向伸展至致动轴线。在一个实施例中，C形卡合装置包括导入装置108，导入装置辅助沿横向方向(即，垂直于辊子轴线74)展开C形卡合装置106。
在另外的其它实施例(图17)中，安装结构84限定通孔112，诸如定位销的销92通过该通孔被插入。在该实施例中，凸轮从动件42也限定通孔114。凸轮从动件42被放置在延伸件87和88之间的间隙85内，并且通孔112和114大致对齐。然后销92通过通孔112供应并压入到凸轮从动件42中，以形成轴78。销和从动件的设置的变形包括轴78的不同结构，包括92a(图17A)、卡合塞92b(图17B)和具有C形夹的保持环116的轴92c(图17C)。替代地，可以使用焊接部、螺纹固定件或通过对于技术人员可用的其它固定技术固定销92。
当锁止臂被连接到凸轮化板上后，锁止元件44还可以被连接到锁止臂40的远端43。然后可以通过操纵锁止元件44进入在门24的周边处的它们的合适的坐落位置并且通过使插座54坐在基部29的安装凸缘或凸起上，而将组件插入到门24的基部29的机构接收区域89中。然后可以例如使用聚合物螺丝将越过中心的偏压弹簧46连接到凸轮化板 36和基部29上。
为了各种目的，在本申请的所有部分中的上述参考文献在此通过引用以其全部内容引入本文中。
本说明书(包括通过引用引入的参考文献、包括任何所附的权利要求书、摘要和附图)中所公开的所有特征和/或这样公开的任何方法或过程的所有步骤可以以任何组合的方式组合，除了这些特征和/或步骤中的至少一些是相互排斥的组合。
除非另有明确说明，本说明书(包括通过引用引入的参考文献、任何所附的权利要求书、摘要和附图)中所公开的每个特征都可以被起到相同、等同或相似目的的替代特征取代。因而，除非另有明确说明，所公开的每个特征都仅仅是等同或相似特征的通用系列的一个实例。
权利要求书并不限于前述实施例(多个实施例)的细节。权利要求书可以扩展至本说明书(包括任何通过引用引入的参考文献、任何所附的权利要求书、摘要和附图)中所公开的特征的任何新颖的特征或任何新颖的组合，或扩展至这样公开的任何方法或过程的步骤的任何新颖的步骤或任何新颖的组合。为了各种目的，在本申请的所有部分中的上述参考文献在此通过引用以其全部内容引入本文中。
虽然这里已经图示并描述了具体的实例，但是本领域技术人员应当领会，打算获得相同目的的任何装置可以替代所示的具体的实例。本申请意在覆盖当前主题的改编或改变。因此，上述方面和实施例仅仅说明其原理，而不被认为是限定性的。对应领域的技术人员将可以对本文公开的实施例进行进一步的修改，并且所有这些修改被视为落在本公开的范围内。
对“实施例(多个实施例)”、“公开”、“本公开”、“本公开的实施例(多个实施例)”以及本文所包含的类似用语的引用是指本专利申请的说明书(包括权利要求书和附图的文本)，其不是公认的现有技术。
为了解释权利要求书的目的，这里明确表示，不援用35 U.S.C.的112节第六段，除非权利要求中叙述了特定的术语“用于……的装置”或“用于……的步骤”。

Claims (35)

1.一种用于晶片容器的门锁止机构，包括：
凸轮化板，所述凸轮化板包括第一面、与所述第一面相反的第二面和外周边，所述凸轮化板能够绕垂直于所述第一面和所述第二面的中心轴线旋转，所述凸轮化板限定穿过所述第一面和所述第二面的弓形凸轮槽，所述弓形凸轮槽由具有第一凸轮表面的内周边约束；
凸轮从动件，所述凸轮从动件布置在所述凸轮槽内，所述凸轮从动件能够与所述第一凸轮表面结合；以及
锁止臂，所述锁止臂能够沿致动轴线平移，并且包括具有第一延伸件和第二延伸件的近端，每个延伸件沿平行于所述致动轴线的方向延伸，所述第一延伸件和所述第二延伸件延伸过所述凸轮化板的所述外周边，使得所述第一延伸件邻近所述凸轮化板的所述第一面并且所述第二延伸件邻近所述凸轮化板的所述第二面，所述凸轮从动件与所述第一延伸件和所述第二延伸件连接，
其中，当所述凸轮化板绕所述中心轴线旋转时，所述第一凸轮表面结合所述凸轮从动件以沿所述致动轴线将力施加在所述锁止臂的所述第一延伸件和所述第二延伸件上。
2.一种用于晶片容器的门锁止机构，包括：
凸轮化板，所述凸轮化板包括第一面、与所述第一面相反的第二面和外周边，所述凸轮化板能够绕垂直于所述第一面和所述第二面的中心轴线旋转，所述凸轮化板限定穿过所述第一面和所述第二面的弓形凸轮槽，所述弓形凸轮槽由具有第一凸轮表面和第二凸轮表面的内周边约束，所述第二凸轮表面与所述第一凸轮表面相对；
凸轮从动件，所述凸轮从动件布置在所述凸轮槽内，所述凸轮从动件能够选择性地与所述第一凸轮表面和所述第二凸轮表面结合；以及
锁止臂，所述锁止臂能够沿致动轴线平移，并且包括具有第一延伸件和第二延伸件的近端，每个延伸件沿平行于所述致动轴线的方向延伸，所述第一延伸件和所述第二延伸件延伸过所述凸轮化板的所述外周边，使得所述第一延伸件邻近所述凸轮化板的所述第一面并且所述第二延伸件邻近所述凸轮化板的所述第二面，所述凸轮从动件与所述第一延伸件和所述第二延伸件连接，
其中，当所述凸轮化板绕所述中心轴线沿第一旋转方向旋转时，所述第一凸轮表面结合所述凸轮从动件以沿所述致动轴线在第一平移方向上将力施加在所述锁止臂的所述第一延伸件和所述第二延伸件上；并且
其中，当所述凸轮化板绕所述中心轴线沿与所述第一旋转方向相反的第二旋转方向旋转时，所述第二凸轮表面结合所述凸轮从动件以沿所述致动轴线在第二平移方向上将力施加在所述锁止臂的所述第一延伸件和所述第二延伸件上，所述第二平移方向与所述第一平移方向相反。
3.根据权利要求2所述的门锁止机构，其中所述第一凸轮表面和所述第二凸轮表面分别限定沿平行于所述中心轴线的方向延伸的第一宽度和第二宽度，所述第一宽度大于所述第二宽度。
4.根据权利要求3所述的门锁止机构，其中所述第一凸轮表面的所述第一宽度至少两倍而小于或等于五倍地宽于所述第二凸轮表面的所述第二宽度。
5.根据权利要求3所述的门锁止机构，其中所述第一凸轮表面的所述第一宽度在4mm-12mm、包括4mm和12mm的范围内，并且所述第二凸轮表面的所述第二宽度在1.5mm-3mm、包括1.5mm和3mm的范围内。
6.根据权利要求3所述的门锁止机构，其中所述第一凸轮表面的所述第一宽度比所述第二凸轮表面的所述第二宽度宽至少1mm而小于或等于5mm。
7.根据权利要求6所述的门锁止机构，其中所述第一凸轮表面的所述第一宽度比所述第二凸轮表面的所述第二宽度宽3mm。
8.根据权利要求2-7中任一项所述的门锁止机构，其中所述凸轮从动件包括辊子，所述辊子能够绕旋转轴线旋转，所述旋转轴线与所述中心轴线平行。
9.根据权利要求8所述的门锁止机构，其中所述第一凸轮表面在垂直于所述辊子的沿所述第一凸轮表面的行进方向的平面内限定第一截面轮廓，并且所述辊子的结合表面在垂直于所述行进方向的所述平面内限定第二截面轮廓，其中所述第一截面轮廓和所述第二截面轮廓中的一个是凸的，并且所述第一截面轮廓和所述第二截面轮廓中的另一个是平坦的。
10.根据权利要求9所述的门锁止机构，其中所述第一截面轮廓和所述第二截面轮廓中的为凸的所述一个限定平坦表面。
11.根据权利要求10所述的门锁止机构，其中所述平坦表面相交以限定顶点。
12.根据权利要求8所述的门锁止机构，其中所述辊子的结合表面在垂直于所述辊子的沿所述第一凸轮表面的行进方向的平面内限定凸截面轮廓和凹截面轮廓中的一个，并且所述第一凸轮表面在垂直于所述辊子的沿所述第一凸轮表面的所述行进方向的所述平面内限定所述凸截面轮廓和所述凹截面轮廓中的另一个，所述辊子的截面轮廓与所述第一凸轮表面的截面轮廓互补。
13.根据权利要求8所述的门锁止机构，其中所述辊子包括聚醚醚酮。
14.根据权利要求8所述的门锁止机构，其中：
所述辊子包括用于选择性地结合所述第一凸轮表面和所述第二凸轮表面中的一个的结合部；
所述弓形凸轮槽以弓形轴线为中心，所述弓形轴线位于垂直于所述中心轴线的旋转平面上，所述弓形凸轮槽限定介于所述第一凸轮表面和所述第二凸轮表面之间的槽宽度尺寸，所述槽宽度尺寸垂直于所述旋转平面上的所述弓形轴线；并且
所述槽宽度大于所述辊子的所述结合部的外直径至少0.25mm，并且小于或等于所述结合部的所述外直径的1.3倍。
15.根据权利要求14所述的门锁止机构，其中所述槽宽度小于或等于所述结合部的所述外直径的1.2倍。
16.根据权利要求15所述的门锁止机构，其中所述槽宽度小于或等于所述结合部的所述外直径的1.1倍。
17.根据权利要求8所述的门锁止机构，其中：
所述辊子包括第一面和与所述第一面相反的第二面，所述辊子能够绕轴旋转，所述轴具有轴直径，所述轴沿垂直于所述辊子的所述第一面和所述辊子的所述第二面的方向延伸，所述辊子包括结合部，所述结合部从所述旋转轴线径向向外延伸并且具有用于结合所述第一凸轮表面的外直径；并且
所述辊子的所述结合部的所述外直径至少两倍而小于或等于五倍地大于所述轴直径。
18.根据权利要求17所述的门锁止机构，其中所述轴在辊子直径的20％-40％、包括20％和40％的范围内。
19.根据权利要求17所述的门锁止机构，其中所述轴与所述辊子一体地形成。
20.根据权利要求17所述的门锁止机构，其中所述轴从由定位销、铆钉、卡合塞和具有保持环的轴构成的组中选择。
21.根据权利要求1或2所述的门锁止机构，其中脊部接近所述凸轮槽从所述凸轮化板的所述第一面和所述第二面中的至少一个上延伸，以沿平行于所述中心轴线的方向扩展所述第一凸轮表面。
22.一种用于组装用于晶片容器的门锁止机构的方法，包括：
提供凸轮从动件，所述凸轮从动件包括第一面和与所述第一面相反的第二面，所述凸轮从动件包括沿垂直于所述凸轮从动件的所述第一面的方向延伸的第一突起部和沿垂直于所述凸轮从动件的所述第二面的方向延伸的第二突起部，所述凸轮从动件包括能够绕旋转轴线旋转的辊子和结合部，所述结合部从所述旋转轴线径向向外延伸并且具有用于结合第一凸轮表面的外直径；
提供锁止臂，所述锁止臂能够沿致动轴线平移，并且包括具有第一延伸件和第二延伸件的近端，第一延伸件和第二延伸件中的每个沿平行于所述致动轴线的方向延伸，所述第一延伸件和所述第二延伸件在它们之间限定间隙，所述第一延伸件和所述第二延伸件中的每个包括用于将所述凸轮从动件的所述第一突起部和所述第二突起部中的对应一个固定于其上的安装结构；
提供凸轮化板，所述凸轮化板用于绕中心轴线旋转并且以垂直于所述中心轴线的旋转平面为中心，所述凸轮化板限定接近所述凸轮化板的外周边的弓形凸轮槽，其中所述凸轮化板的位于所述弓形凸轮槽和所述外周边之间的外周部具有径向尺寸和轴向尺寸，所述径向尺寸和轴向尺寸小于所述锁止臂的所述间隙的尺寸；
将所述凸轮化板的所述外周部布置在所述锁止臂的所述间隙内；
在布置步骤之后，定向所述锁止臂使得所述第一延伸件和所述第二延伸件的安装结构位于所述旋转平面的同一侧上；以及
在定向步骤之后，将所述凸轮从动件固定在所述锁止臂的所述第一延伸件和所述第二延伸件上。
23.根据权利要求22所述的方法，还包括：在固定步骤之后，围绕所述外周部并远离所述中心轴线旋转所述锁止臂，使得所述锁止臂与所述旋转平面平行。
24.根据权利要求23所述的方法，其中在提供锁止臂的步骤中提供的所述锁止臂的所述第一延伸件和所述第二延伸件中的至少一个包括圆形端，用于在旋转步骤中使延伸件枢转通过所述弓形凸轮槽。
25.根据权利要求22所述的方法，其中在提供凸轮从动件的步骤中提供的所述凸轮从动件的所述第一突起部和所述第二突起部限定轴，所述凸轮从动件能够绕所述轴旋转。
26.一种用于组装用于晶片容器的门锁止机构的方法，包括：
提供凸轮从动件，所述凸轮从动件包括第一面和与所述第一面相反的第二面，所述凸轮从动件包括沿垂直于所述凸轮从动件的所述第一面的方向延伸的第一突起部和沿垂直于所述凸轮从动件的所述第二面的方向延伸的第二突起部，所述凸轮从动件包括能够绕旋转轴线旋转的辊子和结合部，所述结合部从所述旋转轴线径向向外延伸并且具有用于结合第一凸轮表面的外直径；
提供锁止臂，所述锁止臂能够沿致动轴线平移，并且包括具有第一延伸件和第二延伸件的近端，第一延伸件和第二延伸件中的每个沿平行于所述致动轴线的方向延伸，所述第一延伸件和所述第二延伸件在它们之间限定间隙，所述第一延伸件和所述第二延伸件中的每个包括用于将所述凸轮从动件的所述第一突起部和所述第二突起部中的对应一个固定于其上的安装结构；
提供凸轮化板，所述凸轮化板用于绕中心轴线旋转并且以垂直于所述中心轴线的旋转平面为中心，所述凸轮化板限定接近所述凸轮化板的外周边的弓形凸轮槽，其中所述凸轮化板的位于所述弓形凸轮槽和所述外周边之间的外周部具有轴向尺寸，所述轴向尺寸小于所述锁止臂的所述间隙的尺寸；
将凸轮从动件布置在所述弓形凸轮槽内；
朝向布置在所述弓形凸轮槽内的凸轮从动件移动所述第一延伸件和所述第二延伸件，使得所述凸轮化板的所述外周部位于所述锁止臂的所述间隙内；以及
将所述凸轮从动件固定在所述锁止臂的所述第一延伸件和所述第二延伸件上，使得所述凸轮化板的所述外周部被捕获在所述第一延伸件、所述第二延伸件和所述凸轮从动件之间。
27.根据权利要求22-26中任一项所述的方法，其中在提供锁止臂的步骤中提供的所述锁止臂的所述第一延伸件和所述第二延伸件包括安装结构，所述安装结构卡接地结合所述凸轮从动件。
28.根据权利要求27所述的方法，其中在提供锁止臂的步骤中提供的所述锁止臂的所述第一延伸件和所述第二延伸件的所述安装结构包括坡道，在固定步骤中所述坡道使所述第一延伸件和所述第二延伸件远离彼此偏斜，并且其中固定步骤还包括沿所述致动方向一起拉动所述锁止臂和所述凸轮从动件。
29.根据权利要求27所述的方法，其中在提供锁止臂的步骤中提供的所述锁止臂的所述第一延伸件和所述第二延伸件中的至少一个的所述安装结构包括C形卡合装置，当所述凸轮从动件被压入C形卡合装置中时所述C形卡合装置横向伸展至致动轴线，并且其中固定步骤还包括沿所述致动方向一起拉动所述锁止臂和所述凸轮从动件。
30.根据权利要求29所述的方法，其中在提供锁止臂的步骤中提供的所述锁止臂的所述第一延伸件和所述第二延伸件中的至少一个的所述安装结构的所述安装结构C形卡合装置包括导入装置，并且其中固定步骤还包括沿所述致动方向一起拉动所述锁止臂和所述凸轮从动件。
31.一种用于晶片容器的门锁止机构，包括：
凸轮化板，所述凸轮化板能够绕中心轴线旋转并且限定弓形凸轮槽，所述弓形凸轮槽由具有第一凸轮表面和第二凸轮表面的内周边约束，所述第二凸轮表面与所述第一凸轮表面相对；
凸轮从动件，所述凸轮从动件布置在所述凸轮槽内，并且能够与所述内周边结合，所述凸轮从动件能够沿致动轴线平移；以及
锁止臂，所述锁止臂能够沿所述致动轴线平移，并且操作性地与所述凸轮从动件连接，
其中，在所述门锁止机构的关闭过程中，所述凸轮化板绕所述中心轴线沿第一旋转方向的旋转使所述第一凸轮表面结合所述凸轮从动件并且使所述第二凸轮表面与所述凸轮从动件脱离结合，并且在所述门锁止机构的打开过程中，所述凸轮化板绕所述中心轴线沿与所述第一旋转方向相反的第二旋转方向的旋转使所述第一凸轮表面与所述凸轮从动件脱离结合并且使所述第二凸轮表面结合所述凸轮从动件，使得所述凸轮从动件相对于所述凸轮槽的所述内周边限定闭环路线，
其中，所述锁止臂包括具有第一延伸件和第二延伸件的近端，第一延伸件和第二延伸件中的每个沿平行于所述致动轴线的方向延伸，所述第一延伸件和所述第二延伸件在它们之间限定间隙，所述第一延伸件和所述第二延伸件延伸过所述凸轮化板的外周边，使得所述外周边的一部分布置在所述间隙内，所述凸轮从动件与所述第一延伸件和所述第二延伸件连接；
当所述凸轮化板绕所述中心轴线沿所述第一旋转方向旋转并且所述第一凸轮表面结合所述凸轮从动件时，沿所述致动轴线在第一平移方向上将力施加在所述锁止臂的所述第一延伸件和所述第二延伸件上；并且
当所述凸轮化板绕所述中心轴线沿所述第二旋转方向旋转并且所述第二凸轮表面结合所述凸轮从动件时，沿所述致动轴线在第二平移方向上将力施加在所述锁止臂的所述第一延伸件和所述第二延伸件上，所述第二平移方向与所述第一平移方向相反。
32.根据权利要求31所述的门锁止机构，其中所述凸轮从动件为辊子。
33.一种晶片容器，包括：
容器部和门，所述门装配在门框架中，用于密封性地封闭容器部；
锁止机构，包括：
凸轮化板，所述凸轮化板能够绕中心轴线沿第一旋转方向旋转并且限定弓形凸轮槽，所述弓形凸轮槽由具有第一凸轮表面的内周边约束；
凸轮从动件，所述凸轮从动件布置在所述凸轮槽内，并且能够与所述内周边结合，所述凸轮从动件能够沿致动轴线平移；以及
锁止臂，所述锁止臂能够平移，具有沿所述致动轴线设置的近端和远端，并且操作性地与所述凸轮从动件连接，所述锁止臂在所述近端包括第一延伸件和第二延伸件，第一延伸件和第二延伸件沿平行于所述致动轴线的方向延伸，所述第一延伸件和所述第二延伸件在它们之间限定间隙，所述第一延伸件和所述第二延伸件延伸过所述凸轮化板的外周边，使得所述外周边的一部分布置在所述间隙内，所述凸轮从动件与所述第一延伸件和所述第二延伸件连接，所述锁止臂包括锁止元件，所述锁止元件操作性地与所述远端连接；
其中，当所述凸轮化板绕所述中心轴线旋转时，所述第一凸轮表面结合所述凸轮从动件以沿所述致动轴线在第一平移方向上将力施加在所述锁止臂的所述第一延伸件和所述第二延伸件上，使所述锁止元件密封性地将所述门结合靠在所述门框架上。
34.根据权利要求33所述的晶片容器，其中：
所述凸轮化板的所述弓形凸轮槽包括第二凸轮表面，所述第二凸轮表面与所述第一凸轮表面相对；并且
当所述凸轮化板绕所述中心轴线沿与所述第一旋转方向相反的第二旋转方向旋转时，所述第二凸轮表面结合所述凸轮从动件以沿所述致动轴线在第二平移方向上将力施加在所述锁止臂的所述第一延伸件和所述第二延伸件上，所述第二平移方向与所述第一平移方向相反。
35.根据权利要求33或34所述的晶片容器，其中所述凸轮从动件为辊子。
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