CN102800612A - 传送盒 - Google Patents

Abstract

一种可利用自动化传送系统(AMHS)来搬运的传送盒，由配置于传送盒上的头顶式升降搬运系统，以机械化运输光罩盒，可大幅降低人力搬运所造成光罩损坏风险，并减少人力的浪费，进而减少制备工艺所需的时间。

Description

传送盒

技术领域

本发明是有关于一种传送盒，特别是以运用自动化传输运送系统的架构，来运送装载复数个光罩盒的传送盒。

背景技术

近代半导体科技发展迅速，其中光学微影技术(Optical Lithography)扮演重要的角色，只要是关于图形(pattern)定义，皆需仰赖光学微影技术。光学微影技术在半导体的应用上，是将设计好的线路制作成具有特定形状可透光的光罩(photo mask)。利用曝光原理，则光源通过光罩投影至硅圆片(silicon wafer)可曝光显示特定图案。由于任何附着于光罩上的尘埃颗粒(如微粒、粉尘或有机物)都会造成投影成像的质量劣化，用于产生图形的光罩必须保持绝对洁净，因此在一般的圆片制备工艺中，都提供无尘室(cleanroom)的环境以避免空气中的颗粒污染。

在半导体的制备工艺中，由于圆片尺寸已达到12时或以上，圆片厂对于自动化的要求相当高，通过计算机整合制造系统，将使得圆片厂能拥有100％圆片片传输自动化，由自动化传输运送管理，可以使得人为操作失误大为降低、提高产品良率并进行有效的工厂管理。

图9即为已经使用在半导体场中的光罩盒的示意图，光罩盒包括：一底座a，一相对于底座a的上盖b，及一位于底座a的支撑件c；由支撑件c支撑光罩d，并由底座a与上盖b将光罩d盖合于其中。

一般在搬运光罩时，是将光罩置于光罩盒中，而光罩盒为具有气密状态的盒体，因此，当光罩被放置于光罩盒中时。可避免光罩受到尘埃颗粒的污染。通常搬运光罩盒主要以人力搬运，例如：将多个光罩盒放在推车上，以推车将将光罩盒搬运至下一阶段的制备工艺，但因现在制备工艺中，光罩其体积趋于越来越大，相对地，重量亦越重，在以人力搬运的过程中，难免可能发生掉落的风险，以致于造成成本上的严重损失。此外，当圆片尺寸已达到12时或以上时，整个圆片制造厂可能都采用自动化设备来进行生产，因此，搬运光罩盒的方式有必须配合自动化；例如，以机器手臂抓取来搬运光罩盒是最为安全且迅速的方式。

基于上述的各种因素，为避免掉落的意外，及配合未来圆片厂自动化传输运送管理的需求，需要提供具有安全又快速运输多个光罩盒的传送盒。

发明内容

本发明的目的在于提供一种传送盒，以解决上述需要。

为实现上述目的，本发明提供的前开式传送盒，可放置复数个容置盒，该前开式传送盒包括一与后侧面连接成一体的左侧面、右侧面、上侧面及下侧面所组成，而相对于该后侧面另一侧为一开口；

一门体，与该前开式传送盒的该开口大小相符，用以封闭该前开式传送盒的该开口，该前开式传送盒的特征在于：

一对支撑架，相对地配置在该前开式传送盒的该左侧面内侧及该右侧面内侧上；

复数对滑轨槽，平行相对的形成于该对支撑架上，且由该开口往该前开式传送盒的该后侧面延伸；

复数个放置板，每一该放置板平行配置于每一该对滑轨槽上；

其中，该放置板包括：

一上表面，该上表面的后端具有一挡边，且与该挡边连接的左右两侧上，具有一对与该对滑轨槽相对的连接机构，经由该连接机构与该对滑轨槽接合。

所述的传送盒，其中，每一该滑轨槽的位于该前开式传送盒的该开口的一端上配置有第一滚轮。

所述的传送盒，其中，该对连接机构具有一对相对于该对第一滚轮的凹槽。

本发明还提供一种前开式传送盒，可放置复数个容置盒，该前开式传送盒包括一与后侧面连接成一体的左侧面、右侧面、上侧面及下侧面所组成，而相对于该后侧面另一侧为一开口；

一门体，与该前开式传送盒的该开口大小相符，用以封闭该前开式传送盒的该开口，该前开式传送盒的特征在于：

复数对支撑肋，平行相对的形成于该前开式传送盒的该左侧面内侧及该右侧面内侧上，且由该开口往该前开式传送盒的该后侧面延伸；

复数个放置板，每一该放置板平行配置于每一该对支撑肋上；

其中，该放置板包括：

一上表面，该上表面的后端具有一挡边，且与该挡边连接的左右两侧上，具有一对与该对支撑肋相对的连接机构，经由该连接机构与该对支撑肋接合；

多个扣件，配置在每一该放置板的该上表面且位于该开口处。

所述的传送盒，其中，每一该扣件的一端与一固定柱枢接，并由该固定柱将该扣件固定于每一该放置板上，使得每一该扣件可以向该开口外及该开口内活动。

所述的传送盒，其中，在该放置板的该连接机构的后端附近设置一缺口，并在该缺口处进一步配置一第二滚轮。

所述的传送盒，其中，每一该滑轨槽上配置一止动组件。

所述的传送盒，其中，该放置板的上表面配置一夹扣装置。

所述的传送盒，其中，该放置板的该上表面配置一防呆结构。

所述的传送盒，其中，该放置板配置一重心结构。

所述的传送盒，其中，该下侧面上配置复数个定位槽。

所述的传送盒，其中，该前开式传送盒在与该后侧面连接的该左侧面及该右侧面上为一镂空结构。

本发明利用配置于传送盒上部，与圆片传送盒相同结构的头顶式升降搬运系统(OHT)，配合自动化传输运送系统，以机械化运输传送盒。

本发明还利用传送盒同时运送复数个光罩盒，配合自动化传输运送系统，以机械化运输传送盒，避免人力搬运所造成可能掉落的风险，避免成本的损失。

附图说明

图1为本发明的前开式传送盒示意图；

图2A为本发明的放置板示意图；

图2B为本发明的放置板侧视图；

图3为本发明的光罩盒放置于前开式传送盒的示意图

图4A为本发明的前开式传送盒上侧面示意图；

图4B为本发明的前开式传送盒下侧面示意图；

图5为本发明另一实施例的前开式传送盒示意图；

图6为本发明的放置板的重心结构示意图；

图7为本发明的光罩盒下视图；

图8为本发明再一实施例的前开式传送盒示意图；

图9为公知的光罩盒示意图。

附图中主要组件符号说明：

a底座(公知技术)；b上盖(公知技术)；c支撑件(公知技术)；d光罩(公知技术)；1光罩盒；3底板；5防呆凹槽；10前开式传送盒；101相对孔；12开口；13左侧面；14右侧面；15后侧面；16上侧面；18下侧面；20门体；22门锁装置；221门闩；30支撑架；301滑轨槽；31卡笋；32第一滚轮；36止动组件；40放置板；401上表面；4011挡边；4013防呆结构；42连接机构；421凹槽；422缺口；44第二滚轮；46重心结构；48支撑肋；50OHT头；501凸出边缘；60定位槽；70夹扣装置；71座体；73夹扣件；731凸出部；75枢轴；751弹性件；80镂空结构；90扣件；92固定柱。

具体实施方式

本发明提供的一种前开式传送盒，包括：一左侧面，一右侧面，一上侧面，一下侧面，一后侧面，及一开口；一门体，与前开式传送盒的开口大小相符；一头顶式升降搬运系统，配置在在前开式传送盒的上侧面上；一对支撑架，相对地配置在前开式传送盒的左侧面及右侧面上；复数对滑轨槽，平行相对的形成于对支撑架上，且由开口往后侧面延伸；复数对第一滚轮，配置在位于开口一端的每一滑轨槽上；复数个放置板，每一放置板系平行配置于每一对滑轨槽上；其中，放置板的特征在于：放置板具有一上表面，上表面的边缘上具有复数个挡边，在放置板的左右两侧，具有一对与对滑轨槽相对的连接机构，且对连接机构具有一对相对于对第一滚轮的凹槽。

经由本发明所提供的设计，可载运多个光罩盒，并可大幅降低人力搬运所造成的损坏风险，减少人力的浪费，进而减少制备工艺所需的时间。

以下结合附图对本发明作详细描述。

由于本发明是揭示一种使用在半导体厂中的前开式传送盒，特别是传送多个光罩盒的传送盒；其中所利用到的一些关于前开式传送盒定位及OHT头，是利用现有技术来达成，故在下述说明中，并不作完整描述。此外，于下述内文中的附图，其前开式传送盒亦并未依据实际的相关尺寸完整绘制，其作用仅在表达与本发明特征有关的示意图。

首先，请参阅图1，为本发明的前开式传送盒示意图。如图1所示，前开式传送盒10，包括：一左侧面13，一右侧面14，一上侧面16，一下侧面18，一后侧面15及一相对于后侧面15另一侧的开口12；一门体20，是与前开式传送盒10的开口12大小相符，用以封闭前开式传送盒10的开口12；一对支撑架30相对地以卡扣方式配置在前开式传送盒10的左侧面13及右侧面14上，且由开口12往后侧面15延伸，并在每一支撑架30的平行方向上形成多相对个滑轨槽301，而位于开口12一端的每一个滑轨槽301上均配置一个第一滚轮32；多个放置板40，经由放置板40两侧的连接机构42与支撑架30上的滑轨槽301接合，使得放置板40可以在滑轨槽301上的第一滚轮32前后滑动。此外，前开式传送盒10的材质为耐磨的高分子材料。

本发明的门体20上具有锁闩装置，在门体20上配置一对门锁装置22而每一门锁装置是以旋转来带动一椭圆凸轮(未显示)，再由椭圆凸轮去推动一对门闩221，使得门闩221由门体20滑出至前开式传送盒10上侧面16及下侧面18上的相对孔101中，使得门体20可以稳固地锁固在前开式传送盒10的开口12上。而在此要强调，门锁装置22可为压按式设计或是旋转式设计，其主要的功能是将将门体20与前开式传送盒10的开口12盖合并锁固，以防止门体20或内部存放的物品分离掉落，且开门方式可为机械式开启或以人为开启，本发明并不对此加以局限。另外，在此要强调，本发明的前开式传送盒，最主要为承载光罩盒1，但亦可承载相同大小的盒体或物品，本发明并不加以限制。

接着，请参阅图2A，为本发明的放置板示意图。如图2A所示，放置板40具有一上表面401，在上表面401的后端具有一挡边4011，且挡边4011凸出于上表面401；另外，在放置板40的前端附近，配置一夹扣装置70；此夹扣装置70包括一座体71，形成在放置板40前端的上表面401上；一夹扣件73其一端经由一枢轴75与座体71枢接，而另一相对端为自由端，使得夹扣件73可以在与上表面401的垂直方向转动；此外，本发明的夹扣件73上可进一步形成一凸出部731，此凸出部731可以扣压住放置在放置板40上表面401的光罩盒1；再者，为了使夹扣件73能够稳固地扣压住光罩盒1，枢轴75上还可以进一步配置一弹性件751(例如：弹簧)，并使弹性件751与夹扣件73接触，用以增加夹扣件73扣压光罩盒1的力量。

接着，如图2B所示，在放置板40相对前端与后端的两平行侧边上，形成一对连接机构42，而此对连接机构42可与支撑架30上的滑轨槽301接合，其中连接机构42可以是以凹槽方式形成或是以一凸出于放置板40的檐部所形成(未显示于图中)。当连接机构42与支撑架30上的滑轨槽301接合时，可以使连接机构42与支撑架30上的第一滚轮32接触，故使得放置板40可以在滑轨槽301上的第一滚轮32前后滑动；而在一较佳实施例中，连接机构42中具有一对相对于第一滚轮32的凹槽421，可使第一滚轮32在凹槽421内滑动。此外，为了使放置板40可以滑动的更平顺，因此，可以进一步在连接机构42的后端上配置一对第二滚轮44；例如：在连接机构42的后端附近设置一缺口422，并将一对第二滚轮44配置于缺口422中，如图2B所示。当光罩盒1放置于放置板40上后，其后端由挡边4011限制住光罩盒1的位置，而前端则以夹扣装置70的夹扣件73夹住光罩盒1，防止光罩盒1在搬运中滑动。此外，由放置板40的左右两侧的连接机构42与支撑架30的滑轨槽301连接，并且经由滑轨槽301上的第一滚轮32或是连接机构42的后端上的第二滚轮44，使放置板40可以平顺地在支撑架30上的滑轨槽301滑动。

请参阅图3，为本发明的光罩盒放置于前开式传送盒的支撑架示意图。如图3所示，首先，本发明的支撑架30是由支撑架上的多个卡笋31卡固于配置在前开式传送盒10的左侧面13及右侧面14上。接着，光罩盒1如图2A所叙放置于放置板40上并以夹扣装置70固定住后，将放置板40上的连接机构42滑入支撑架30上的滑轨槽301；其中，位于滑轨槽301上的第一滚轮32会被导入连接机构42上的凹槽421中，而第二滚轮44也会则连同连接机构42一起滑入滑轨槽301中。因此，可由第一滚轮32及第二滚轮44的滑动，平顺的抽取放置板40；另外，在支撑架30的滑轨槽301的后端处，配置一止动组件36，止动组件36为一凸起的构造，其主要功能为，当放置板40在完全滑入前，其第二滚轮44会滑过止动组件36，且因是凸起构造的原因，因此当第二滚轮44滑过止动组件36后，其凸起结构便成为防止放置板40滑出的结构(如同垫块砖挡住车轮防止滑动)，且当放置板40通过止动组件36时，便已知其放置板40已完整放入传送盒，可避免放入不完全的情况发生。

接着，请参阅图4A，为本发明的前开式传送盒上侧面示意图。如图4A所示，在前开式传送盒10的上侧面16上，配置一头顶式升降搬运系统50(Overhead Host Transfer；简称OHT头)，OHT头50其为一矩形且周边具有凸出边缘501的凸出板状物。在12时以上的圆片厂中，主要由圆片搬运盒(FOUP)来载运圆片片，因载运圆片片的圆片搬运盒具有一定的重量，非人员所能轻易搬运，因此，在圆片搬运盒上通常通过自动化传输运送系统，经由机械手臂(robot)来抓取OHT头50的凸出边缘，并将圆片搬运盒搬运至机台(例如：Load Port)上。而本发明前开式传送盒10的上侧面16上所配置的OHT头50的凸出边缘501亦具有相同的功能，可配置相同大小及形状的凸出边缘501给予相同的机械手臂抓取，甚至在对应不同机器时，可由更换不同大小及形状的OHT头50来对应不同的机器；因此，本发明并不限定OHT头50的大小及形状，只需符合给予机械手臂抓取的形状即可。而该OHT头50其装置于前开式传送盒10的上侧面16的方式，可为螺丝锁固，或是用卡笋方式固定，本发明并不限定。

再接着，请参阅图4B，为本发明的前开式传送盒下侧面示意图。如图4B所示，前开式传送盒10的下侧面18是配置三或三的倍数的定位槽60，每一个定位槽60为一具有一凹孔的装置，且以三角方位配置于下侧面18上。在圆片厂中，机械手臂会抓取圆片搬运盒至机台上，机台上有复数个与圆片搬运盒底部的定位槽60相对应的定位销(未显示于图中)，因此，当圆片搬运盒放置于机台时，其定位销可插入机台上的定位槽60，使前开式传送盒10稳固地放置在机台上。

请参阅图5，为本发明另一实施例的前开式传送盒示意图。如图5所示，由于前开式传送盒10的后侧面15与左侧面13及右侧面14的连结面并不一定为直角状(例如：为圆弧形或内缩状)，因此，当前开式传送盒10需承载的光罩盒越大时，如：EUV光罩盒，其原本空间可能不足够，因此，本实施例在前开式传送盒10在与后侧面15连接的左侧面13及右侧面14上，可以设计成一镂空结构80，因此，可以让一部份的EUV光罩盒经过此镂空结构80的设计而凸出于前开式传送盒10，故可以利让整个EUV光罩盒放入。在一较佳的实施例中，镂空结构80的位置可以选择在左侧面13及右侧面14上且靠近后侧面15处；同时，镂空结构80可以是多个间隔排列或是一个长形的镂空结构80，对此被本发明并不加以限制。而其它详细实施方式亦与上述相同，故不再重复赘述的。

再接着，请参阅图6，为本发明的放置板的重心结构示意图。如图6所示，在本发明的放置板40上，进一步配置一重心结构46，此重心结构46的位置并不限制：而重心结构46其材质主要为金属。重心结构46配置于放置板40的目的，主要为当前开式传送盒10的上侧面16上配置一OHT头50时，其盒体重心会往前倾，因此在机械手臂进行吊挂作业时，其中重心会因此不稳。因此，在放置板40上配置一重心结构46，来平衡整个盒体的重心，使盒体在吊挂作业时，能稳定的被运输。另外，在放置板40的上表面401上配置复数个防呆结构4013，本发明的防呆结构4013是以三角方位来配置，但本发明并不加以限定。接着，如图7所示，在光罩盒1的底板3下，具有复数个防呆凹槽5，每一防呆凹槽5与放置板40的上表面401上的每一防呆结构4013相对应；因此当光罩盒1放置至放置板40时，因其防呆结构4013的三角方位配置，其光罩盒1的放置方位需与防呆结构4013对齐才可放置，即防呆凹槽5需与防呆结构4013对应。此防呆结构4013主要为避免光罩盒1放置错误的方向，并统一放置方式，以利制备工艺。

接着，参阅图8，为本发明再一实施例的前开式传送盒示意图。如图8所示，前开式传送盒10，包括：一左侧面13，一右侧面14，一上侧面16，一下侧面18，一后侧面15及一相对于后侧面15另一侧的开口12；一门体20，与前开式传送盒10的开口12大小相符，用以封闭前开式传送盒10的开口12；多个支撑肋48相对地配置在前开式传送盒10的左侧面13及右侧面14的内侧上，每一支撑肋48由开口12往后侧面15延伸；多个放置板40，放置在相应的一对支撑肋48上；多个扣件90，配置在每一放置板40上的位于开口12处的一端上，每一扣件90的一端与一固定柱92枢接，并由此固定柱92将扣件90固定于每一放置板40上，使得每一扣件90可以向开口12外及开口12内活动；同样地，固定柱92上还可以进一步配置一弹性件(未显示于图中)；例如：弹簧；并使弹性件配置于扣件90内，用以增加扣件90扣压的力量。

本实施例的操作方式说明如下。当光罩盒1放置于放置板40上，并且以放置板40上位于开口12的扣件90夹住光罩盒1后，再将含有光罩盒1的放置板40上的连接机构42对准相对配置在前开式传送盒10的左侧面13及右侧面14的内侧上的支撑肋48，使放置板40进入至前开式传送盒10的内；最后，再将门体20封闭前开式传送盒10的开口12。

很明显地，在本实施例中的前开式传送盒10中，是以多个支撑肋48来取代支撑架30，使放置板40直接放置于支撑肋48上；由支撑肋48在前开式传送盒10内的形成多个放置光罩盒的空间；另外，以扣件90取代夹扣装置70。此外，在有关本实施例的前开式传送盒10与放置板40与图1及图2A及图2B类似，其差异处已于前述说明，故不再赘述的。

虽然本发明以前述的较佳实施例揭示如上，然其并非用以限定本发明，本领域技术人员在不脱离本发明的精神和范围内，当可作些许的更动与润饰，因此本发明的保护范围应以申请的权利要求范围所界定的内容为准。

Claims (12)

1.一种前开式传送盒，可放置复数个容置盒，该前开式传送盒包括一与后侧面连接成一体的左侧面、右侧面、上侧面及下侧面所组成，而相对于该后侧面另一侧为一开口；

一门体，与该前开式传送盒的该开口大小相符，用以封闭该前开式传送盒的该开口，该前开式传送盒的特征在于：

一对支撑架，相对地配置在该前开式传送盒的该左侧面内侧及该右侧面内侧上；

复数对滑轨槽，平行相对的形成于该对支撑架上，且由该开口往该前开式传送盒的该后侧面延伸；

复数个放置板，每一该放置板平行配置于每一该对滑轨槽上；

其中，该放置板包括：

一上表面，该上表面的后端具有一挡边，且与该挡边连接的左右两侧上，具有一对与该对滑轨槽相对的连接机构，经由该连接机构与该对滑轨槽接合。

2.如权利要求1所述的传送盒，其中，每一该滑轨槽的位于该前开式传送盒的该开口的一端上配置有第一滚轮。

3.如权利要求2所述的传送盒，其中，该对连接机构具有一对相对于该对第一滚轮的凹槽。

4.一种前开式传送盒，可放置复数个容置盒，该前开式传送盒包括一与后侧面连接成一体的左侧面、右侧面、上侧面及下侧面所组成，而相对于该后侧面另一侧为一开口；

一门体，与该前开式传送盒的该开口大小相符，用以封闭该前开式传送盒的该开口，该前开式传送盒的特征在于：

复数对支撑肋，平行相对的形成于该前开式传送盒的该左侧面内侧及该右侧面内侧上，且由该开口往该前开式传送盒的该后侧面延伸；

复数个放置板，每一该放置板平行配置于每一该对支撑肋上；

其中，该放置板包括：

一上表面，该上表面的后端具有一挡边，且与该挡边连接的左右两侧上，具有一对与该对支撑肋相对的连接机构，经由该连接机构与该对支撑肋接合；

多个扣件，配置在每一该放置板的该上表面且位于该开口处。

5.如权利要求4所述的传送盒，其中，每一该扣件的一端与一固定柱枢接，并由该固定柱将该扣件固定于每一该放置板上，使得每一该扣件可以向该开口外及该开口内活动。

6.如权利要求1或4所述的传送盒，其中，在该放置板的该连接机构的后端附近设置一缺口，并在该缺口处进一步配置一第二滚轮。

7.如权利要求1或4所述的传送盒，其中，每一该滑轨槽上配置一止动组件。

8.如权利要求1或4所述的传送盒，其中，该放置板的上表面配置一夹扣装置。

9.如权利要求1或4所述的传送盒，其中，该放置板的该上表面配置一防呆结构。

10.如权利要求1或4所述的传送盒，其中，该放置板配置一重心结构。

11.如权利要求1或4所述的传送盒，其中，该下侧面上配置复数个定位槽。

12.如权利要求1或4所述的传送盒，其中，该前开式传送盒在与该后侧面连接的该左侧面及该右侧面上为一镂空结构。

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