JP5524093B2 - 管状制御要素を有するウエハーコンテナ - Google Patents
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Description
本出願は2008年3月13日に出願された米国仮特許出願第61/036,353号の利益を主張し、それの内容全体が本明細書において参照により援用される。
Claims (22)
- 300mm以上のウエハーのための前面開放ウエハーコンテナであって、
開放内部を規定する閉鎖左側、閉鎖右側、閉鎖底部、閉鎖上部、及び閉鎖背面まわりに広がるコンテナ壁を有するコンテナ部と、
一組の向かい合う側壁部、後壁部、2つの内部垂直角部、上壁部及び底壁部を有するそれぞれのコンパートメントと、
開放前面に適合してドアフレームに掛け金をかけ得るドアと、
前記コンパートメントの1つ内で固定されて、一組の側壁部及び背面部から離れている少なくとも1つの細長い管状制御要素とを含み、
コンテナ部は、間隔の開いた複数の水平ウエハー棚と、開放前面を規定するドアフレームとを有し、
水平ウエハー棚はコンテナ部に取り付けられて開放内部において一般的な円筒状ウエハー受容領域を規定するため、水平に間隔を開けて大量のウエハーを棚に位置させて保持可能であり、
背面のコンテナ部壁はコンテナ部の上部からコンテナ部の底部まで伸びて内側に拡大する凹部を有し、凹部の両方の側面において、シェルの突出部はウエハーコンテナの開放前面が上方へ向きながら後方へ回転するときにウエハーコンテナを着座させるための一組の直立足部を規定し、足部は内部コンパートメントを規定しており、
細長い管状制御要素は長さを有しており、その長さは上壁部と底壁部との間の距離で十分に伸びており、
細長い管状制御要素は直立の軸を有し、及び細長い管状制御要素はオフセット部を経てパージポートにおいてコンテナ部の底部に接続されて、パージポートは管状制御要素の軸から外れて配置され、よって細長い管状制御要素はパージポートよりも閉鎖背面の近くに位置している前面開放ウエハーコンテナ。 - 請求項1の前面開放ウエハーコンテナであって、細長い管状制御要素は2つの伸長部から構成されており、それぞれの伸長部は伸長部を共に固定するための複数のラッチによって接続され、2つの伸長部は閉じ込め領域を規定する前面開放ウエハーコンテナ。
- 請求項2の前面開放ウエハーコンテナであって、2つの伸長部はヒンジで連結されることで閉じ込め部を規定し、閉じ込め部はフィルター材料又は蒸気吸収材料の少なくとも1つを含む前面開放ウエハーコンテナ。
- 請求項1の前面開放ウエハーコンテナであって、細長い管状制御要素は内部を有する閉じ込め部と、閉じ込め部の内部とコンテナ部の開放内部との間の連通を提供する複数の開口部とを有する前面開放ウエハーコンテナ。
- 請求項4の前面開放ウエハーコンテナであって、閉じ込め部の内部とコンテナ部の開放内部との間の連通を選択的に遮断するために管状制御部材に配置可能である細長い遮断部材をさらに含む前面開放ウエハーコンテナ。
- 請求項5の前面開放ウエハーコンテナであって、細長い遮断部材は弾性材料で形成され、管状制御要素は複数の開口部まわりに広がる取り付け構造を有し、閉じ込め部の内部とコンテナ部の開放内部との間の連通を密閉して遮断するために、前記遮断部材は前記取り付け構造に弾性的に係合する前面開放ウエハーコンテナ。
- 請求項5の前面開放ウエハーコンテナであって、細長い遮断部材は閉じ込め部とスライド可能に係合して、遮断位置と開口部開放位置との間をスライドして移動できる前面開放ウエハーコンテナ。
- 請求項1の前面開放ウエハーコンテナであって、細長い管状制御要素は閉じ込め部を規定する2つの伸長部から構成されており、細長い管状制御要素は閉じ込め部の上部を粘着的に被覆するために弾性的に拡張する弾性キャップをさらに含む前面開放ウエハーコンテナ。
- 請求項1の前面開放ウエハーコンテナであって、内部コンパートメントに配置される追加の細長い管状制御要素をさらに含み、2つの細長い管状制御要素は両方ともウエハーコンテナの底部でそれぞれのパージ入口に接続されて且つ細長い管状制御要素の軸とパージ入口の軸とが互いにオフセットされており、ウエハーコンテナはドアフレームに近接してウエハーコンテナの底部に配置されるパージ入口をさらに有し、ドアフレームに近接してウエハーコンテナの底部にパージ出口をさらに含む前面開放ウエハーコンテナ。
- 請求項1の前面開放ウエハーコンテナであって、細長い管状制御要素は閉じ込め部の上部を粘着的に被覆するために弾性的に拡張する弾性キャップを含み、キャップがシェル係合部を有することによって、管状制御要素は2つの対向する端部を有して両方の端部でコンテナ部に固定される前面開放ウエハーコンテナ。
- 請求項1の前面開放ウエハーコンテナであって、細長い管状制御要素は蒸気吸収材料から構成されており、ウエハーコンテナはスプリングアームを有するブラケットをさらに含むため、コンパートメントの1つの一組の側壁の中間にブラケットを固定可能であり、細長い管状制御要素はブラケットに取り外し可能に取り付けられる側壁前面開放ウエハーコンテナ。
- 300mm以上のウエハーのための前面開放ウエハーコンテナであって、
開放内部を規定する閉鎖左側、閉鎖右側、閉鎖底部、閉鎖上部、及び閉鎖背面まわりに広がるコンテナ壁を有するコンテナ部と、
開放前面に適合してドアフレームに掛け金をかけ得るドアと、
角領域の1つに配置される細長い管状制御要素とを含み、
コンテナ部は、間隔の開いた複数の水平ウエハー棚と、開放前面を規定するドアフレームとを有し、
水平ウエハー棚はコンテナ部に取り付けられて開放内部において一般的な円筒状ウエハー受容領域を規定するため、水平に間隔を開けて大量のウエハーを棚に位置させて保持可能であり、
背面のコンテナ部壁はコンテナ部の上部からコンテナ部の底部まで伸びる一組の角領域を有しており、
前記細長い管状制御要素は内部を有する閉じ込め部と、閉じ込め部の内部とコンテナ部の開放内部との間の連通を提供する複数の開口部を有し、前記細長い管状制御要素は直立の軸を有し、細長い管状制御要素はパージポートにおいてオフセット部を経てコンテナ部の底部に接続されて、パージポートは管状制御要素の軸から外れて配置され、よって細長い管状制御要素はパージポートよりも閉鎖背面の近くに位置しており、細長い管状制御要素は2つの伸長部から構成されて、それぞれの伸長部は複数のラッチ及びヒンジの少なくとも1つによってもう一方に連結され、2つの伸長部は閉じ込め部を規定する前面開放ウエハーコンテナ。 - 請求項12の前面開放ウエハーコンテナであって、閉じ込め部はそこにフィルター材料及び吸収材料の少なくとも1つを有する前面開放ウエハーコンテナ。
- 請求項12の前面開放ウエハーコンテナであって、閉じ込め部の内部とコンテナ部の開放内部との間の連通を選択的に遮断するために管状制御部材に配置可能である細長い遮断部材をさらに含む前面開放ウエハーコンテナ。
- 請求項14の前面開放ウエハーコンテナであって、細長い遮断部材は弾性部材で形成され、管状制御要素は複数の開口部まわりに広がる取り付け構造を有し、閉じ込め部の内部とコンテナ部の開放内部との間の連通を密閉して遮断するために、前記遮断部材は前記取り付け構造に弾性的に係合する前面開放ウエハーコンテナ。
- 請求項12の前面開放ウエハーコンテナであって、細長い遮断部材は閉じ込め部の1つとスライド可能に係合して、前記閉じ込め部において少なくとも遮断位置と開口部開放位置との間をスライドして移動できる前面開放ウエハーコンテナ。
- 請求項12の前面開放ウエハーコンテナであって、細長い管状制御要素は閉じ込め部の上部を粘着的に被覆するために弾性的に拡張する弾性キャップをさらに含む前面開放ウエハーコンテナ。
- 請求項1の前面開放ウエハーコンテナであって、それぞれの閉じ込め部はフィルター材料及び吸収材料の少なくとも1つをそこに有する前面開放ウエハーコンテナ。
- 前面開放ウエハーコンテナであって、
開放内部を規定する閉鎖左側、閉鎖右側、閉鎖底部、閉鎖上部、及び閉鎖背面まわりに広がるコンテナ壁を有するコンテナ部と、
開放前面に適合してドアフレームに掛け金をかけ得るドアと、
コンテナ部に配置されてコンテナ部の底部からコンテナ部の上部まで十分に伸びる細長い管状制御要素とを含み、
コンテナ部は、間隔の開いた複数の水平ウエハー棚と、開放前面を規定するドアフレームとを有し、
水平ウエハー棚はコンテナ部に取り付けられて開放内部において一般的な円筒状ウエハー受容領域を規定するため、水平に間隔を開けて大量のウエハーを棚に位置させて保持可能であり、
背面のコンテナ部壁はコンテナ部の上部からコンテナ部の底部まで伸びる一組の角領域を有しており、
前記細長い管状制御要素は内部を有する閉じ込め部と、閉じ込め部の内部とコンテナ部の開放内部との間の連通を提供する複数の開口部を有し、前記細長い管状制御要素は直立の軸を有し、オフセット部を経てパージポートにおいてコンテナ部の底部に接続されて、パージポートは細長い管状制御要素の軸から外れて配置されており、よって細長い管状制御要素はパージポートよりも閉鎖背面の近くに位置しており、細長い管状制御要素は閉じ込め部の内部とコンテナ部の開放内部との間の連通を選択的に遮断するために管状制御部材に配置可能である細長い遮断部材をさらに含む管状前面開放ウエハーコンテナ。 - 請求項19の前面開放ウエハーコンテナであって、細長い遮断部材は弾性部材で形成され、管状制御部材は複数の開口部まわりに広がる取り付け構造を有し、閉じ込め部の内部とコンテナ部の開放内部との間の連通を密閉して遮断するために、前記遮断部材は前記取り付け構造に弾性的に係合する前面開放ウエハーコンテナ。
- 請求項19の前面開放ウエハーコンテナであって、細長い遮断部材は剛性のポリマーで形成されて閉じ込め部の1つとスライド可能に係合可能であり、前記閉じ込め部において少なくとも遮断位置と開口部開放位置との間をスライドして移動できる前面開放ウエハーコンテナ。
- 請求項19の前面開放ウエハーコンテナであって、細長い管状制御要素は弾性材料から形成されるキャップをさらに含み、それは閉じ込め部の上部を粘着的に被覆するために弾性的に拡張する前面開放ウエハーコンテナ。
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