KR102283302B1 - 웨이퍼 수납용기 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 수납실에 수납되는 웨이퍼에 퍼지가스를 공급하여 웨이퍼의 퓸을 제거하거나 웨이퍼의 습기를 제거하는 웨이퍼 수납용기에 관한 것으로서, 특히, 분사구 및 배기구의 신속한 차단을 달성할 뿐만 아니라 배기구의 차단시 오염물질이 수납실 내부로 유입되는 것을 방지할 수 있는 웨이퍼 수납용기에 관한 것이다.

Description

웨이퍼 수납용기{WAFER STORAGE CONTAINER}
본 발명은 웨이퍼 수납용기에 관한 것으로서, 수납실에 수납되는 웨이퍼에 퍼지가스를 공급하여 웨이퍼의 퓸을 제거하거나, 웨이퍼의 습기를 제거하는 웨이퍼 수납용기에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자는 웨이퍼 상에 증착 공정, 연마 공정, 포토리소그래피 공정, 식각 공정, 이온주입 공정, 세정 공정, 검사 공정, 열처리 공정 등이 선택적이면서도 반복적으로 수행되어 제조되며, 이렇게 반도체 소자로 형성되기 위하여 웨이퍼는 각 공정에서 요구되는 특정 위치로 운반되어 진다.
웨이퍼는 고정밀도의 물품으로서 외부의 오염 물질과 충격으로부터 오염되거나 손상되지 않도록 개구형 통합형 포드(Front Opening Unifie Pod, FOUP) 등과 같은 웨이퍼 수납용기에 수납되어 보관되거나 운반되어 진다.
이 경우, 공정상에서 사용되는 공정 가스 및 공정상의 부산물인 퓸(Fume) 등이 제거되지 않고 웨이퍼 표면에 잔존하게 되며, 이로 인해, 공정 중 반도체 제조장비의 오염이 발생하거나, 웨이퍼의 에칭 패턴(etch pattern) 불량 등이 발생하여 웨이퍼의 신뢰성이 저하되는 문제가 있다.
최근에 이러한 문제를 해결하기 위해, 웨이퍼 수납용기에 수납된 웨이퍼에 퍼지가스를 공급하여, 웨이퍼의 표면에 잔존하는 퓸을 제거하거나, 웨이퍼의 산화를 방지하는 퍼징(Purging) 기술들이 개발되고 있다.
이 경우, 웨이퍼의 퓸 제거는, 퍼지가스를 웨이퍼의 상면에 분사한 후 퍼지가스 및 웨이퍼의 퓸을 함께 배기시킴으로써 달성되며, 웨이퍼의 산화방지는, 웨이퍼가 수납된 수납실 내부에 퍼지가스를 가득 채워수납실의 습도를 낮춤으로써, 달성된다. 이처럼, 웨이퍼의 퓸 제거는 퍼지가스의 분사 및 배기가 필요한 반면에, 웨이퍼의 산화방지에는 퍼지가스 분사만이 필요하다.
따라서, 퍼지가스의 분사 및 배기가 가능한 웨이퍼 수납용기에서의 퍼지가스의 분사 및 배기의 선택적인 제어 기술이 필요하게 되었으며, 이러한 제어가 가능한 웨이퍼 수납용기로는 한국등록특허 제10-1171218호(이하, '특허문헌 1'이라 한다)에 기재된 것이 공지되어 있다.
특허문헌 1의 웨이퍼 캐리어는, 웨이퍼가 수납되는 내부 수납공간과, 불활성가스를 외부로부터 도입하여 주입포트까지 공급하는 가스공급라인, 주입포트 상에 구비되며, 가스공급라인을 통해 공급된 불활성가스를 웨이퍼 캐리어 내부까지 토출시켜 공급하는 가스공급노즐 및 구동 제어부로부터 제어신호를 인가받아, 가스공급노즐을 통해 상기 웨이퍼 캐리어 내부로 공급되는 불활성가스의 유동을 개폐 조절하는 가스공급밸브로 구성되어 웨이퍼 캐리어 내부로 불활성가스를 공급하는 가스공급부와, 웨이퍼 캐리어 내부의 공기를 외부로 배출시키도록 배기포트를 통해 외부로 연결되는 공기배출라인, 배기포트 상에 구비되며, 웨이퍼 캐리어 내부의 공기를 공기배출라인을 통해 외부로 배출시키는 공기배출노즐, 구동 제어부로부터 제어신호를 인가받아, 공기배출노즐을 통해 외부로 배출되는 공기의 유동을 개폐 조절하는 공기배출밸브 및 웨이퍼 캐리어 내부의 공기압을 감압시켜, 웨이퍼 캐리어 내부의 공기가 외부로 배출되는데 필요한 부압을 형성하는 이젝터(ejector)로 구성되어 웨이퍼 캐리어 내부의 분자성 오염물질을 포함한 공기를 배기하는 공기배출부를 포함하여 구성된다.
위와 같은 구성을 갖는 특허문헌 1의 웨이퍼 캐리어는, 습도 센서에서 검출된 실시간 습도 값에 따라 웨이퍼 캐리어 내부로 공급되는 불활성가스의 유동 개폐를 제어하게 되며, 이 경우, 가스 공급부의 개폐는 가스공급밸브에 의해 이루어지고, 공기배출부의 개폐는 공기배출밸브에 의해 이루어지게 된다.
그러나, 전술한 특허문헌 1의 웨이퍼 캐리어의 경우, 공기배출밸브의 폐쇄를 통해 공기배출부의 배기를 차단할 경우, 내부 수납공간에 오염물질이 남아있을 수 있다는 문제점이 있다.
상세하게 설명하면, 공기배출밸브를 폐쇄하더라도, 미쳐 배기되지 못한 오염물질은 공기배출밸브와 배기포트를 연결한 공기배출라인에 갇히게 된다. 따라서, 공기배출부를 폐쇄한 상태에서 가스공급부를 통해 불활성가스를 계속 공급하게 되면, 불활성가스가 상기 공기배출라인에도 유입이 되고, 이로 인해, 상기 공기배출라인에 갇혀있던 오염물질과 혼합되어 웨이퍼 캐리어의 내부, 즉, 내부 수납공간까지 유동될 수 있다. 이처럼, 오염물질이 내부 수납공간에 유동되면, 웨이퍼의 오염이 발생할 뿐만 아니라 내부 수납공간의 습도 제어가 제대로 이루어지지 않아 웨이퍼의 산화가 발생할 수 있다는 문제점이 있다.
또한, 가스공급밸브의 폐쇄를 통해 가스공급부의 불활성가스 공급을 차단할 경우, 가스공급밸브가 폐쇄되더라도, 주입포트와 가스공급밸브 사이의 가스공급라인에 있던 불활성가스는 웨이퍼 캐리어 내부로 공급되며, 특히, 주입포트와 가스공급밸브 사이의 가스공급라인이 길게 형성될 경우, 많은 양의 불활성가스가 의도치 않게 웨이퍼 캐리어 내부로 공급된다.
따라서, 사용자가 불활성가스 공급의 신속한 차단을 원하더라도, 이를 달성할 수 없다는 문제점이 있다.
한국등록특허 제10-1171218호.
본 발명은 전술한 문제를 해결하기 위해 안출된 것으로, 분사구 및 배기구의 신속한 차단을 달성할 뿐만 아니라 배기구의 차단시 오염물질이 수납실 내부로 유입되는 것을 방지할 수 있는 웨이퍼 수납용기를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일 특징에 따른 웨이퍼 수납용기는, 전방개구부를 통해 수납된 웨이퍼가 수납되는 수납실; 상기 수납실에 퍼지가스를 분사하는 분사구; 상기 수납실에 분사된 퍼지가스를 배기하는 배기구; 및 상기 분사구 또는 상기 배기구 중 적어도 하나의 적어도 일부를 차단 가능하게 설치된 차단부재;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 분사구 또는 상기 배기구와 연통되도록 상기 차단부재에 형성되는 연통구; 및 상기 차단부재의 연통구와, 상기 분사구 또는 상기 배기구의 연통이 어긋나도록 상기 차단부재를 이동시키는 구동부;를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 구동부는 상기 차단부재를 수직이동시키는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 구동부는 상기 차단부재를 수평이동시키는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 수납실의 둘레면 중 적어도 일부면을 이루며 상기 분사구가 형성된 분사구벽체; 상기 수납실의 둘레면 중 적어도 상기 분사구벽체가 위치하지 않은 나머지면을 이루며 상기 배기구가 형성된 배기구벽체; 및 상기 수납실에 수납된 웨이퍼를 지지하는 지지대;를 더 포함하고, 상기 분사구벽체 또는 상기 배기구벽체는 상기 지지대와 상기 차단부재 사이에 위치하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 분사구 또는 상기 배기구 중 적어도 하나의 적어도 일부가 차단되도록 상기 차단부재를 상기 분사구벽체 또는 상기 배기구벽체 방향으로 수평이동시키는 구동부;를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 분사구 또는 상기 배기구 중 적어도 하나의 적어도 일부가 차단되도록 상기 차단부재를 이동시키는 구동부; 상기 수납실의 내부 분위기를 측정하는 센서; 및 상기 센서에서 측정된 값을 기준으로 상기 구동부의 작동을 제어하는 제어부;를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
이상에서 살펴본 바와 같은 본 발명의 웨이퍼 수납용기에 따르면 다음과 같은 효과가 있다.
차단부재가 분사구 또는 배기구를 직접 막아 차단하므로, 퍼지가스의 분사 또는 배기가 신속하게 차단될 수 있다.
공급유로의 공급밸브 또는 배출유로의 배출밸브의 위치를 고려하지 않아도 신속하게 퍼지가스의 분사 또는 배기를 달성할 수 있으며, 이로 인해, 웨이퍼 수납용기의 높은 호환성을 보장할 수 있다.
차단부재를 통해 배기구를 차단할 때, 웨이퍼의 퓸과 같은 오염물질이 수납실 내부로 들어오는 것을 방지할 수 있으며, 이로 인해, 웨이퍼가 오염되거나 수납실의 습도 제어가 제대로 이루어지지 못하는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 바람직한 제1실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기의 사시도.
도 2는 도 1의 웨이퍼 수납용기의 분해 사시도.
도 3은 도 1의 웨이퍼 수납용기의 평면 단면도.
도 4는 도 1의 웨이퍼 수납용기의 분사부(또는 배기부)의 사시도.
도 5는 도 4의 웨이퍼 수납용기의 분사부(또는 배기부)의 분해 사시도.
도 6a 및 도 6b는 도 4의 분사부의 분사차단부재(또는 배기부의 배기차단부재)의 동작 상태를 도시한 측면 단면도.
도 7a는 도 1의 웨이퍼 수납용기의 퍼지가스의 분사 및 배기 유동을 도시한 평면 단면도.
도 7b는 도 1의 웨이퍼 수납용기의 퍼지가스의 분사 유동을 도시한 평면 단면도.
도 7c는 도 1의 웨이퍼 수납용기의 퍼지가스의 배기 유동을 도시한 평면 단면도.
도 8은 본 발명의 바람직한 제1실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기의 제어시스템을 도시한 개략도.
도 9a는 본 발명의 바람직한 제2실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기의 퍼지가스의 분사 및 배기 유동을 도시한 평면 단면도.
도 9b는 본 발명의 바람직한 제2실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기의 퍼지가스의 분사 유동을 도시한 평면 단면도.
도 9c는 본 발명의 바람직한 제2실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기의 퍼지가스의 배기 유동을 도시한 평면 단면도.
도 10a는 본 발명의 바람직한 제3실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기의 퍼지가스의 분사 및 배기 유동을 도시한 평면 단면도.
도 10b는 본 발명의 바람직한 제3실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기의 퍼지가스의 분사 유동을 도시한 평면 단면도.
도 10c는 본 발명의 바람직한 제3실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기의 퍼지가스의 배기 유동을 도시한 평면 단면도.
이하에서 언급되는 '퍼지가스'는 웨이퍼의 퓸을 제거하기 위한 불활성 가스를 통칭하는 말이며, 특히, 불활성 가스 중 하나인 질소(N2) 가스일 수 있다.
또한, '퍼징(Purging)'은 웨이퍼에 퍼지가스를 분사하여 웨이퍼 표면에 잔존하는 퓸을 제거하거나, 수납실 내부의 습도를 제거함으로써, 웨이퍼의 산화를 방지하는 것을 통칭하는 말이다.
전방개구부를 통해 수납된 웨이퍼가 수납되는 수납실과, 수납실에 수납된 웨이퍼를 지지하는 지지대와, 웨이퍼 수납용기의 하부면을 이루는 하부플레이트와, 웨이퍼 수납용기의 상부면을 이루는 상부플레이트와, 수납실에 퍼지가스를 분사하는 분사부와, 수납실에 분사된 퍼지가스를 배기하는 배기부와, 분사부의 분사구 또는 배기부의 배기구 중 적어도 하나의 적어도 일부를 차단 가능하게 설치된 차단부재를 포함하여 구성된다.
수납실의 전방에는 전방개구부가 형성되어 있으며, 전방개구부를 통해 웨이퍼가 수납실 내부로 출입하게 된다.
지지대는 수납실의 내부에 구비되어 웨이퍼를 지지하는 기능을 하며, 웨이퍼는 수납실의 전방에 형성된 전방개구부를 통해 지지대에 수납된다.
상부플레이트와 하부플레이트는 각각 웨이퍼 수납용기의 상부면 및 하부면을 이루게 된다. 따라서, 수납실은 상부플레이트 및 하부플레이트에 의해 수납실의 상부면 및 하부면이 폐쇄되어 있다.
하부플레이트에는 외부 공급부와 분사부를 연통시키는 공급구와, 외부 배출부와 배기부를 연통시키는 배출구가 형성되어 있다.
분사부는 수납실의 둘레면 중 적어도 일부면을 이루며 수납실에 퍼지가스를 분사하는 분사구가 형성된 분사구벽체와, 분사구의 적어도 일부를 차단하는 차단부재와, 분사구벽체가 결합하며 웨이퍼 수납용기의 외부면을 이루는 외부벽체와, 차단부재를 구동시키는 구동부를 포함하여 구성된다.
배기부는 수납실의 둘레면 중 적어도 분사구벽체가 위치하지 않은 나머지면을 이루며 수납실에 분사된 퍼지가스를 배기하는 배기구가 형성된 배기구벽체와, 배기구의 적어도 일부를 차단하는 차단부재와, 배기구벽체 및 차단부재가 결합하며 웨이퍼 수납용기의 외부면을 이루는 외부벽체와, 차단부재를 구동시키는 구동부를 포함하여 구성된다.
위와 같이, 웨이퍼 수납용기에 수납실에 퍼지가스를 분사하는 분사부와, 퍼지가스를 배기하는 배기부가 구비됨에 따라, 수납실에 수납된 웨이퍼의 퓸 제거 및 습도 제어를 달성할 수 있다.
다시 말해, 분사부는 수납실에 퍼지가스를 분사하고, 배기부는 분사부에 의해 수납실로 분사된 퍼지가스와 웨이퍼의 퓸을 배기함으로써, 웨이퍼의 퓸 제거를 달성하거나, 차단부재를 통해 배기부에 의한 배기가 이루어지지 않도록 한 후, 분사부에서 퍼지가스를 수납실에 분사함으로써, 웨이퍼의 습도 제어를 달성할 수 있는 것이다.
위와 같은 분사부 및 배기부는 웨이퍼 수납용기의 크기, 용도 등에 따라 복수 개가 구비될 수 있다.
예컨데, 수납실의 전방이 개방된 전방개구부가 구비되어 있고, 수납실의 둘레면의 좌측부터 우측 순으로, 좌측전방면, 좌측후방면, 중앙후방면, 우측후방면 및 우측전방면으로 이루어져 있을 경우, 복수 개의 분사부는 수납실의 둘레면 중 우측전방면, 중앙후방면 및 우측전방면에 배치될 수 있으며, 복수 개의 배기부는 수납실의 둘레면 중 나머지 면인 좌측후방면, 우측후방면에 배치될 수 있다.
이하, 본 발명의 바람직한 제1 내지 제3실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기(10)는 복수 개의 분사부(500)가 수납실(100)의 둘레면 중 좌측전방면, 우측전방면, 중앙후방면에 배치되고, 복수 개의 배기부(600)가 수납실(100)의 둘레면 중 좌측후방면, 우측후방면에 배치된 것을 기준으로 설명한다.
또한, 설명의 용이함을 위해 이하의 설명에서는, 분사부(500)에 배치되는 차단부재는 '분사차단부재(530)', 배기부(600)에 배치되는 차단부재는 '배기차단부재(630)'로 각각 구분하여 명명하고, 분사부(500)에 배치되는 외부벽체는 '분사부외부벽체(520)', 배기부(600)에 배치되는 외부벽체는 '배기부외부벽체(620)'로 각각 구분하여 명명하며, 차단부재에 형성되는 연통구가 분사구(511)와 연통되는 경우 '분사연통구(531)', 차단부재에 형성되는 연통구가 배기구(611)와 연통되는 경우 '배기연통구(631)'라고 각각 구분하여 명명한다.
전술한 '분사차단부재(530)', '배기차단부재(630)', '분사부외부벽체(520)', '배기부외부벽체(620)', '분사연통구(531)', '배기연통구(631)'는 설명의 용이함을 위해 구분한 것이므로, 명명한 용어에 상관없이 각각 차단부재, 외부벽체, 연통구라는 용어로 이해될 수 있다.
또한, 구동부의 경우에도, 분사차단부재(530)를 구동시키는 구동부는 '분사차단부재구동부(540)', 배기차단부재(630)를 구동시키는 구동부는 '배기차단부재구동부(640)'로 명명한다.
전술한 '분사차단부재구동부(540)', '배기차단부재구동부(640)' 또한, 설명의 용이함을 위해 각각 분사차단부재(530)를 구동시키는지 배기차단부재(630)를 구동시키는지에 따라 구분한 것이므로, 명명한 용어에 상관없이 모두 구동부라는 용어로 이해될 수 있다.
본 발명의 바람직한 제1실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기(10)
먼저, 도 1 내지 도 8을 참조하여, 본 발명의 바람직한 제1실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기(10)에 대해 설명한다.
도 1은 본 발명의 바람직한 제1실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기의 사시도이고, 도 2는 도 1의 웨이퍼 수납용기의 분해 사시도이고, 도 3은 도 1의 웨이퍼 수납용기의 평면 단면도이고, 도 4는 도 1의 웨이퍼 수납용기의 분사부(또는 배기부)의 사시도이고, 도 5는 도 4의 웨이퍼 수납용기의 분사부(또는 배기부)의 분해 사시도이고, 도 6a 및 도 6b는 도 4의 분사부의 분사차단부재(또는 배기부의 배기차단부재)의 동작 상태를 도시한 측면 단면도이고, 도 7a는 도 1의 웨이퍼 수납용기의 퍼지가스의 분사 및 배기 유동을 도시한 평면 단면도이고, 도 7b는 도 1의 웨이퍼 수납용기의 퍼지가스의 분사 유동을 도시한 평면 단면도이고, 도 7c는 도 1의 웨이퍼 수납용기의 퍼지가스의 배기 유동을 도시한 평면 단면도이고, 도 8은 본 발명의 바람직한 제1실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기의 제어시스템을 도시한 개략도이다.
도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 바람직한 제1실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기(10)는, 전방개구부(110)를 통해 수납된 웨이퍼(W)가 수납되는 수납실(100)과, 수납실(100)에 수납된 웨이퍼(W)를 지지하는 지지대(200)와, 웨이퍼 수납용기(10)의 하부면을 이루는 하부플레이트(300)와, 웨이퍼 수납용기(10)의 상부면을 이루는 상부플레이트(400)와, 수납실에 퍼지가스를 분사하는 분사부(500)와, 수납실에 분사된 퍼지가스를 배기하는 배기부(600)와, 분사부(500)의 분사구(511) 또는 배기부(600)의 배기구(611) 중 적어도 하나의 적어도 일부를 차단 가능하게 설치된 차단부재를 포함하여 구성된다.
이 경우, 차단부재는 분사부(500)에 배치되는 분사차단부재(530)와, 배기부(600)에 배치되는 배기차단부재(630)로 이루어질 수 있다.
수납실 (100)
이하, 수납실(100)에 대해 설명한다.
도 3, 도 7a, 도 7b 및 도 7c에 도시된 바와 같이, 수납실(100)은 내부에 웨이퍼(W)를 수납하는 기능을 하며, 좌측전방면, 우측전방면 및 중앙후방면에 배치된 분사부(500) 및 좌측후방면, 우측후방면에 배치된 배기부(600)로 이루어진 둘레면으로 둘러싸인 내측 공간으로 정의된다.
수납실(100)의 전방에는 전방개구부(110)가 형성되어 있으며, 전방개구부(110)를 통해 웨이퍼(W)가 출입하게 된다.
수납실(100)의 상부면은 상부플레이트(400)로 이루어져 있고, 수납실(100)의 하부면은 하부플레이트(300)로 이루어져 있으며, 수납실(100)의 둘레면은 좌측에서 우측 순으로 좌측전방면, 좌측후방면, 중앙후방면, 우측후방면 및 우측전방면으로 이루어져 있다.
이 경우, 좌측전방면, 우측전방면 및 후방중앙면을 각각에 분사부(500)가 배치되고, 좌측후방면 및 우측후방면에는 배기부(600)가 배치된다.
수납실(100)은 전방개구부(110)를 제외한 상부면 및 하부면은 상부플레이트(400) 및 하부플레이트(300)에 의해 폐쇄되어 있다. 또한, 수납실(100)의 좌측전방면, 우측전방면 및 후방중앙면은 좌측전방면, 우측전방면 및 후방중앙면에 각각 배치된 복수 개의 분사부(500)에 의해 폐쇄되어 있다. 또한, 수납실(100)의 좌측후방면 및 우측후방면은 좌측후방면 및 우측후방면 각각에 배치된 복수 개의 배기부(600)에 의해 폐쇄되어 있다.
따라서, 도 7a 내지 도 7c에 도시된 바와 같이, 복수 개의 분사부(500)가 배치된 수납실(100)의 좌측전방면, 우측전방면 및 후방중앙면에서 퍼지가스가 수납실(100) 내부로 분사되고, 복수 개의 배기부(600)가 배치된 수납실(100)의 좌측후방면 및 우측후방면에서 수납실(100) 내부에 분사된 퍼지가스 및 웨이퍼(W)의 퓸이 배기된다.
지지대(200)
도 1 내지 도 3 및 도 7a 내지 도 7c에 도시된 바와 같이, 수납실(100)의 내부에는 웨이퍼(W)를 지지하는 지지대(200)가 구비된다.
지지대(200)는 수납실(100)에 수납되는 웨이퍼(W)의 갯수에 따라 수직 방향으로 복수 개가 구비된다.
예컨데, 수납실(100)에 30개의 웨이퍼(W)가 수납될 경우, 30개의 웨이퍼(W) 각각을 지지하는 30개의 지지대(200)가 구비된다.
위와 같은, 복수 개의 지지대(200)는 지지대결합부(210)에 의해, 수납실(100)의 좌측전방면, 좌측후방면, 우측전방면 및 우측후방면에 고정되어 결합된다.
또한, 지지대(200)에는 웨이퍼(W)의 외측 방향 일부 영역이 겹쳐지도록 하방으로 단턱진 단턱(230)이 구비되며, 단턱(230)에는 3개의 돌출핀(250)이 구비된다. 따라서, 웨이퍼(W)는 돌출핀(250)에 얹어져 지지대(200)에 지지되게 된다.
위와 같이, 웨이퍼(W)가 돌출핀(250)에 얹어져 지지대(200)에 지지되게 됨으로써, 웨이퍼(W)와 지지대(200)가 접하는 면적이 최소화될 수 있으며, 이로 인해, 접촉에 의한 웨이퍼(W)의 파손이 최소화될 수 있다.
하부플레이트(300) 및 상부플레이트(400)
도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 하부플레이트(300)는 웨이퍼 수납용기(10)의 하부면을 이루며, 수납실(100)의 하부를 폐쇄함과 동시에 외부 공급부(미도시)를 통해 웨이퍼 수납용기(10)의 외부에서 공급된 퍼지가스를 분사부(500)로 공급하거나, 배기부(600)에서 배기된 퍼지가스 및 웨이퍼(W)의 퓸을 외부 배출부(미도시)를 통해 웨이퍼 수납용기(10)의 외부로 배출하는 기능을 한다.
하부플레이트(300)의 상면에는 복수 개의 분사부(500) 및 복수 개의 배기부(600)가 설치된다. 따라서, 하부플레이트(300)는 복수 개의 분사부(500)의 분사공간(550), 복수 개의 배기부(600)의 배기공간(650) 및 수납실(100)의 하부면을 폐쇄하는 기능을 한다.
하부플레이트(300)에는 복수 개의 공급구(310)가 형성되며, 복수 개의 공급구(310)는 분사부(500)에 퍼지가스가 공급되도록 외부 공급부와 분사부(500)의 분사공간(550)을 연통시킨다.
또한, 하부플레이트(300)에는 복수 개의 배출구(330)가 형성되며, 복수 개의 배출구(330)는 퍼지가스 및 웨이퍼(W)의 퓸이 배기부(600)를 통해 배출되도록 외부 배출부와 배기부(600)의 배기공간(650)을 연통시킨다.
이러한 공급구(310)는 도 3에 도시된 바와 같이, 복수 개의 분사부(500)의 분사공간(550) 각각에 2개씩 형성될 수 있다. 따라서, 복수 개의 공급구(310)는 분사부(500)의 분사공간(550)에 대응되는 위치에 형성되도록 하부플레이트(300)에 형성되어야 한다.
배출구(330) 또한, 도 3에 도시된 바와 같이, 복수 개의 배기부(600)의 배기공간(650) 각각에 2개씩 형성될 수 있다. 따라서, 복수 개의 배출구(330)는 배기부(600)의 배기공간(650)에 대응되는 위치에 형성되도록 하부플레이트(300)에 형성되어야 한다.
물론, 전술한 공급구(310) 및 배출구(330)는 웨이퍼 수납용기(10)의 크기, 용도 등에 따라 그 갯수가 달라질 수 있다.
상부플레이트(400)는 웨이퍼 수납용기(10)의 상부면을 이루며, 상부플레이트(400)의 하면에는 복수 개의 분사부(500) 및 복수 개의 배기부(600)가 설치된다. 따라서, 상부플레이트(400)는 복수 개의 분사부(500)의 분사공간(550), 복수 개의 배기부(600)의 배기공간(650) 및 수납실(100)의 상부면을 폐쇄하는 기능을 한다.
또한, 상부플레이트(400)에는 복수 개의 수용부(410)가 형성되며, 복수 개의 수용부(410)에는 분사부(500) 및 배기부(600)의 분사차단부재구동부(540) 또는 배기차단부재구동부(640)가 수용된다.
따라서, 분사차단부재구동부(540)를 구비한 분사부(500) 및 배기차단부재구동부(640)를 구비한 배기부(600)가 상부플레이트(400)의 하면에 용이하게 설치될 수 있다.
분사부 (500)
이하, 분사부(500)에 대해 설명한다.
도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 복수 개의 분사부(500)는 수납실(100)의 둘레면 중 좌측전방면, 우측전방면 및 후방중앙면에 배치된다.
이러한 분사부(500)는 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 수납실(100)의 둘레면 중 적어도 일부면을 이루며 수납실(100)에 퍼지가스를 분사하는 분사구(511)가 형성된 분사구벽체(510)와, 분사구(511)의 적어도 일부를 차단하는 분사차단부재(530)와, 분사구벽체(510)가 결합하며 웨이퍼 수납용기(10)의 외부면을 이루는 분사부외부벽체(520)와, 분사차단부재(530)를 구동시키는 분사차단부재구동부(540)를 포함하여 구성된다.
분사구벽체(510)에는 복수 개의 분사구(511)가 형성되며, 분사구(511)는 수납실(100)에 퍼지가스를 분사하는 기능을 한다.
이 경우, 분사구(511)는 복수 개의 행과 열을 갖도록 형성될 수 있으며, 수납실(100)에 수납된 웨이퍼(W) 각각의 상면에 분사구(511)를 통해 퍼지가스를 용이하게 분사하기 위해, 분사구(511)의 행은 수납실(100)에 수납된 웨이퍼(W)의 갯수와 동일한 갯수인 것이 바람직하다.
도 4 및 도 5에는 하나의 예시로서, 30개의 행과 4개의 열을 갖도록 120개의 분사구(511)가 분사구벽체(510)에 형성되어 있으며, 이 경우, 수납실(100)에 수납되는 웨이퍼(W)는 30장이고, 지지대(200)의 갯수 또한 30개이다.
분사구벽체(510)는 수납실(100)의 둘레면 중 일부면을 이루는 기능을 한다. 따라서, 좌측전방면에 배치된 분사부(500)의 분사구벽체(510)는 수납실(100)의 둘레면 중 좌측전방면을 이루며, 우측전방면에 배치된 분사부(500)의 분사구벽체(510)는 수납실(100)의 둘레면 중 우측전방면을 이루고, 후방중앙면에 배치된 분사부(500)의 분사구벽체(510)는 수납실(100)의 둘레면 중 후방중앙면을 이룬다.
분사차단부재(530)는 분사구벽체(510)의 분사구(511)와 연통되는 분사연통구(531)가 형성되어 있으며, 분사구벽체(510)의 뒷면에 배치된다.
분사연통구(531)는 분사차단부재(530)가 정위치에 있을 때, 분사구(511)에 대응되도록 동일한 행과 열을 갖는 동일 갯수로 형성된다.
따라서, 도 6a에 도시된 바와 같이, 분사차단부재(530)가 정위치에 있을 경우, 복수 개의 분사연통구(531)와 복수 개의 분사구(511)는 모두 연통되며, 이로 인해, 분사공간(550)의 퍼지가스가 분사구(511) 및 분사연통구(531)를 통해 용이하게 수납실(100)로 분사될 수 있다.
또한, 도 6b에 도시된 바와 같이, 분사차단부재(530)가 차단위치에 있을 경우, 복수 개의 분사연통구(531)와 복수 개의 분사구(511)가 모두 어긋나게 됨으로써, 상호 연통되지 않게 되며, 이로 인해, 분사공간(550)의 퍼지가스가 수납실(100)로 분사되지 않는다.
분사부외부벽체(520)는 분사구벽체(510)가 결합되는 벽체이며, 'ㄷ'자 형상을 갖는다. 따라서, 분사부외부벽체(520)는 그 뒷면이 웨이퍼 수납용기(10)의 외부면을 이루게 된다.
분사차단부재구동부(540)는 분사차단부재(530)를 정위치 또는 차단위치로 이동시키도록 분사차단부재(530)를 수직방향으로 이동, 즉, 승하강시키는 기능을 하며, 도 4, 도 5, 도 6a 및 도 6b에 도시된 바와 같이, 몸체(541)와, 몸체(541) 및 분사구벽체(510)를 연결하는 제1연결부(543)와, 몸체(541) 및 분사차단부재(530)를 연결하는 제2연결부(545)를 포함하여 구성된다.
제1연결부(543)는 신장 및 신축 가능하게 구성될 수 있으며, 도 6b에 도시된 바와 같이, 제1연결부(543)가 신장되면, 분사차단부재(530)가 승강하여, 분사차단부재(530)를 차단위치로 이동시킬 수 있다.
이러한 제1연결부(543)는 실린더 구조, 또는 회전에 의해 제1연결부(543)의 길이를 변화시키는 나선나사 구조 등으로 이루어질 수 있다.
전술한 분사부(500)는 퍼지가스가 머무르는 도 3에 도시된 바와 같이, 분사공간(550)을 갖는다.
이러한 분사공간(550)은 분사부외부벽체(520), 분사구벽체(510)(또는 분사차단부재(530)), 상부플레이트(400) 및 하부플레이트(300)에 의해 형성된다. 즉, 분사부외부벽체(520)는 분사공간(550) 및 분사구벽체(510)(또는 분사차단부재(530))는 분사공간(550)의 폐쇄된 둘레면을 이루고, 상, 하부플레이트(300) 각각은 분사공간(550)의 폐쇄된 상, 하부면 각각을 이루는 것이다.
따라서, 공급구(310)를 통해 외부 공급부에서 분사공간(550)으로 공급된 퍼지가스는 분사구(511) 및 분사연통구(531)를 통해 분사공간(550)에서 수납실(100) 내부로 용이하게 분사될 수 있다.
또한, 분사부(500)의 분사차단부재(530)는 분사구벽체(510)의 뒷면에 배치되게 되므로, 분사구벽체(510)는 지지대(200)와 분사차단부재(530) 사이에 위치하게 된다.
따라서, 웨이퍼 수납용기(10)의 내측에서 외측 방향 순으로, 지지대(200), 분사구벽체(510) 및 분사차단부재(530) 순서로 위치되어 있다.
분사부(500)의 분사차단부재(530)의 구동
이하, 도 6a 및 도 6b을 참조하여, 전술한 구성을 갖는 분사부(500)의 분사차단부재(530)의 구동에 대해 설명한다.
도 6a에 도시된 바와 같이, 분사차단부재구동부(540)가 작동하지 않는 경우, 분사차단부재(530)는 정위치, 즉 하강된 위치에 있게 되며, 이로 인해, 분사차단부재(530)의 분사연통구(531)와 분사구벽체(510)의 분사구(511)는 상호 연통된다.
따라서, 외부 공급부에서 퍼지가스가 공급구(310)를 통해 분사공간(550)으로 공급되며, 분사공간(550)으로 공급된 퍼지가스는 분사연통구(531) 및 분사구(511)를 통해 수납실(100)로 분사된다.
도 6b에 도시된 바와 같이, 분사차단부재구동부(540)가 작동하여, 제1연결부(543)의 길이가 신장된 경우, 제2연결부(545)에 연결된 분사차단부재(530)는 차단위치, 즉 승강된 위치로 이동하게 되며, 이로 인해, 분사차단부재(530)의 분사연통구(531)와 분사구벽체(510)의 분사구(511)의 상호 연통은 차단되게 된다.
이 경우, 분사구(511)의 차단은 분사차단부재(530)의 앞면의 영역 중 분사연통구(531)가 형성되지 않은 영역이 분사구(511)를 막음으로써 이루어지게 된다.
따라서, 외부 공급부에서 퍼지가스가 공급구(310)를 통해 분사공간(550)으로 공급되면, 분사공간(550)으로 공급된 퍼지가스는 분사연통구(531) 및 분사구(511)를 통해 수납실(100)로 분사될 수 없다.
위와 같이, 분사차단부재구동부(540)는 작동에 의해 분사차단부재(530)의 분사연통구(531)와 분사구벽체(510)의 분사구(511)를 상호 연통시키거나, 분사차단부재(530)의 분사연통구(531)와 분사구벽체(510)의 분사구(511)를 어긋나게 하여 상호 연통을 차단시킨다.
또한, 분사차단부재구동부(540)는 필요에 따라 도 6b에 도시된 바와 달리, 분사차단부재(530)의 분사연통구(531)와 분사구벽체(510)의 분사구(511)의 상호 연통을 일부만 차단시킬 수 있다.
상세하게 설명하면, 분사차단부재구동부(540)가 도 6b의 차단위치보다 더 낮게 분사차단부재(530)를 승강시키게 되면, 분사연통구(531)와 분사구(511)의 상호 연통은 그 일부만 차단되게 된다. 따라서, 분사연통구(531)와 분사구(511)를 통해 퍼지가스가 수납실(100)로 용이하게 분사될 수 있다.
즉, 분사차단부재(530)의 앞면의 영역 중 분사연통구(531)가 형성되지 않은 영역이 분사구(511)의 일부를 막음으로써 분사구(511)의 일부 차단이 이루어지는 것이다.
이처럼, 분사차단부재구동부(540)는 분사연통구(531)와 분사구(511)의 상호 연통을 완전히 차단할수도 있으며, 분사연통구(531)와 분사구(511)의 상호 연통 중 일부만 차단함으로써, 분사구(511)의 개구면적 중 일부를 차단할 수 있는 것이다.
위와 같은 구동원리에 의해, 도 8의 제어부(710)가 분사차단부재구동부(540)의 작동을 제어함으로써, 분사구(511)의 개구면적을 조절할 수 있다. 이러한 제어부(710)의 제어에 대한 자세한 설명은 후술한다.
위와 같이 분사차단부재(530)를 통해 분사구(511)를 막는 것을 용이하게 하기 위해, 분사차단부재(530)의 분사연통구(531)는 인접한 분사연통구(531) 사이의 수직방향 거리, 즉, 인접한 분사연통구(531)의 수직방향 이격거리가 분사연통구(531)의 면적보다 큰 것이 바람직하다. 이 경우, 분사구벽체(510)의 분사구(511) 또한, 인접한 분사구(511) 사이의 수직방향 거리, 즉, 인접한 분사구(511)의 수직방향 이격거리가 분사구(511)의 면적보다 큰 것이 바람직하다.
전술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 제1실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기(10)는 분사차단부재(530)를 통해 분사구(511)를 차단시킴으로써, 다음과 같은 이점을 갖는다.
퍼지가스가 공급되는 공급밸브를 차단함으로써, 수납실 내부의 퍼지가스 공급을 차단하는 종래의 웨이퍼 수납용기와 달리, 분사구벽체(510)의 뒷면에 배치된 분사차단부재(530)가 분사구(511)를 직접 막음으로써, 퍼지가스의 분사를 차단하므로, 신속하게 퍼지가스의 분사를 차단할 수 있다.
특히, 공급밸브와 분사부(500)를 연통하는 공급유로가 길게 형성되어 있더라도, 전술한 바와 같이, 분사차단부재(530)가 분사구(511)를 직접 막음으로써 퍼지가스의 분사를 차단하므로, 공급밸브의 위치를 고려하지 않아도 신속한 퍼지가스의 분사를 달성할 수 있으며, 이로 인해, 웨이퍼 수납용기(10)의 뛰어난 호환성을 보장할 수 있다.
또한, 분사구(511)를 완전 차단하는 것뿐만 아니라, 분사구(511)의 일부만을 차단할 수도 있으므로, 퍼지가스의 분사량을 용이하게 제어할 수 있다.
배기부 (600)
이하, 배기부(600)에 대해 설명한다.
도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 복수 개의 배기부(600)는 수납실(100)의 둘레면 중 좌측후방면 및 우측후방면에 배치된다.
이러한 배기부(600)는 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 수납실(100)의 둘레면 중 적어도 일부면을 이루며 수납실(100)에 퍼지가스를 배기하는 배기구(611)가 형성된 배기구벽체(610)와, 배기구(611)의 적어도 일부를 차단하는 배기차단부재(630)와, 배기구벽체(610)가 결합하며 웨이퍼 수납용기(10)의 외부면을 이루는 배기부외부벽체(620)와, 배기차단부재(630)를 구동시키는 배기차단부재구동부(640)를 포함하여 구성된다.
배기구벽체(610)에는 복수 개의 배기구(611)가 형성되며, 배기구(611)는 수납실(100)에 분사된 퍼지가스 및 웨이퍼(W)의 퓸을 배기하는 기능을 한다.
이 경우, 배기구(611)는 복수 개의 행과 열을 갖도록 형성될 수 있으며, 배기구(611)를 통해 퍼지가스와 웨이퍼(W)의 상면에 존재하는 웨이퍼(W)의 퓸을 용이하게 배기하기 위해, 배기구(611)의 행은 수납실(100)에 수납된 웨이퍼(W)의 갯수와 동일한 갯수인 것이 바람직하다.
도 4 및 도 5에는 하나의 예시로서, 30개의 행과 4개의 열을 갖도록 120개의 배기구(611)가 배기구벽체(610)에 형성되어 있으며, 이 경우, 수납실(100)에 수납되는 웨이퍼(W)는 30장이고, 지지대(200)의 갯수 또한 30개이다.
배기구벽체(610)는 수납실(100)의 둘레면 중 일부면을 이루는 기능을 한다. 따라서, 좌측후방면에 배치된 배기부(600)의 배기구벽체(610)는 수납실(100)의 둘레면 중 좌측후방면을 이루며, 우측후방면에 배치된 배기부(600)의 배기구벽체(610)는 수납실(100)의 둘레면 중 우측후방면을 이룬다.
배기차단부재(630)는 배기구벽체(610)의 배기구(611)와 연통되는 배기연통구(631)가 형성되어 있으며, 배기구벽체(610)의 뒷면에 배치된다.
배기연통구(631)는 배기차단부재(630)가 정위치에 있을 때, 배기구(611)에 대응되도록 동일한 행과 열을 갖는 동일 갯수로 형성된다.
따라서, 도 6a에 도시된 바와 같이, 배기차단부재(630)가 정위치에 있을 경우, 복수 개의 배기연통구(631)와 복수 개의 배기구(611)는 모두 연통되며, 이로 인해, 수납실(100)의 퍼지가스 및 웨이퍼(W)의 퓸이 배기구(611) 및 배기연통구(631)를 통해 배기공간(650)으로 용이하게 배기될 수 있다.
또한, 도 6b에 도시된 바와 같이, 배기차단부재(630)가 차단위치에 있을 경우, 복수 개의 배기연통구(631)와 복수 개의 배기구(611)가 모두 어긋나게 됨으로써, 상호 연통되지 않게 되며, 이로 인해, 수납실(100)의 퍼지가스 및 웨이퍼(W)의 퓸이 배기공간(650)으로 배기되지 않는다.
배기부외부벽체(620)는 배기구벽체(610)가 결합되는 벽체이며, 'ㄷ'자 형상을 갖는다. 따라서, 배기부외부벽체(620)는 그 뒷면이 웨이퍼 수납용기(10)의 외부면을 이루게 된다.
배기차단부재구동부(640)는 배기차단부재(630)를 정위치 또는 차단위치로 이동시키도록 배기차단부재(630)를 수직방향으로 이동, 즉, 승하강시키는 기능을 하며, 도 4, 도 5, 도 6a 및 도 6b에 도시된 바와 같이, 몸체(641)와, 몸체(641) 및 배기구벽체(610)를 연결하는 제1연결부(643)와, 몸체(641) 및 배기차단부재(630)를 연결하는 제2연결부(645)를 포함하여 구성된다.
제1연결부(643)는 신장 및 신축 가능하게 구성될 수 있으며, 도 6b에 도시된 바와 같이, 제1연결부(643)가 신장되면, 배기차단부재(630)가 승강하여, 배기차단부재(630)를 차단위치로 이동시킬 수 있다.
이러한 제1연결부(643)는 실린더 구조, 또는 회전에 의해 제1연결부(643)의 길이를 변화시키는 나선나사 구조 등으로 이루어질 수 있다.
전술한 배기부(600)는 퍼지가스가 머무르는 도 3에 도시된 바와 같이, 배기공간(650)을 갖는다.
이러한 배기공간(650)은 배기부외부벽체(620), 배기구벽체(610)(또는 배기차단부재(630)), 상부플레이트(400) 및 하부플레이트(300)에 의해 형성된다. 즉, 배기부외부벽체(620)는 배기공간(650) 및 배기구벽체(610)(또는 배기차단부재(630))는 배기공간(650)의 폐쇄된 둘레면을 이루고, 상, 하부플레이트(300) 각각은 배기공간(650)의 폐쇄된 상, 하부면 각각을 이루는 것이다.
따라서, 배기구(611) 및 배기연통구(631)를 통해 수납실(100)에서 배기공간(650)으로 배기된 퍼지가스 및 웨이퍼(W)의 퓸은 배기공간(650)의 배출구(330)를 통해 외부 배출부로 용이하게 배기될 수 있다.
또한, 배기부(600)의 배기차단부재(630)는 배기구벽체(610)의 뒷면에 배치되게 되므로, 배기구벽체(610)는 지지대(200)와 배기차단부재(630) 사이에 위치하게 된다.
따라서, 웨이퍼 수납용기(10)의 내측에서 외측 방향 순으로, 지지대(200), 배기구벽체(610) 및 배기차단부재(630) 순서로 위치되어 있다.
배기부(600)의 배기차단부재(630)의 구동
이하, 도 6a 및 도 6b을 참조하여, 전술한 구성을 갖는 배기부(600)의 배기차단부재(630)의 구동에 대해 설명한다.
도 6a에 도시된 바와 같이, 배기차단부재구동부(640)가 작동하지 않는 경우, 배기차단부재(630)는 정위치, 즉 하강된 위치에 있게 되며, 이로 인해, 배기차단부재(630)의 배기연통구(631)와 배기구벽체(610)의 배기구(611)는 상호 연통된다.
따라서, 수납실(100)에 분사된 퍼지가스 및 웨이퍼(W)의 퓸은 배기연통구(631) 및 배기구(611)를 통해 배기공간(650)으로 배기되며, 배기공간(650)에 위치하는 배출구(330)를 통해 외부 배출부로 배출될 수 있다.
도 6b에 도시된 바와 같이, 배기차단부재구동부(640)가 작동하여, 제1연결부(543)의 길이가 신장된 경우, 제2연결부(545)에 연결된 배기차단부재(630)는 차단위치, 즉 승강된 위치로 이동하게 되며, 이로 인해, 배기차단부재(630)의 배기연통구(631)와 배기구벽체(610)의 배기구(611)의 상호 연통은 차단되게 된다.
이 경우, 배기구(611)의 차단은 배기차단부재(630)의 앞면의 영역 중 배기연통구(631)가 형성되지 않은 영역이 배기구(611)를 막음으로써 이루어지게 된다.
따라서, 수납실(100)에 분사된 퍼지가스 및 웨이퍼(W)의 퓸은 배기연통구(631) 및 배기구(611)를 통해 배기공간(650)으로 배기될 수 없다.
위와 같이, 배기차단부재구동부(640)는 작동에 의해 배기차단부재(630)의 배기연통구(631)와 배기구벽체(610)의 배기구(611)를 상호 연통시키거나, 배기차단부재(630)의 배기연통구(631)와 배기구벽체(610)의 배기구(611)를 어긋나게 하여 상호 연통을 차단시킨다.
또한, 배기차단부재구동부(640)는 필요에 따라 도 6b에 도시된 바와 달리, 배기차단부재(630)의 배기연통구(631)와 배기구벽체(610)의 배기구(611)의 상호 연통을 일부만 차단시킬 수 있다.
상세하게 설명하면, 배기차단부재구동부(640)가 도 6b의 차단위치보다 더 낮게 배기차단부재(630)를 승강시키게 되면, 배기연통구(631)와 배기구(611)의 상호 연통은 그 일부만 차단되게 된다. 따라서, 배기연통구(631)와 배기구(611)를 통해 퍼지가스가 수납실(100)로 용이하게 배기될 수 있다.
즉, 배기차단부재(630)의 앞면의 영역 중 배기연통구(631)가 형성되지 않은 영역이 배기구(611)의 일부를 막음으로써 배기구(611)의 일부 차단이 이루어지는 것이다.
이처럼, 배기차단부재구동부(640)는 배기연통구(631)와 배기구(611)의 상호 연통을 완전히 차단할수도 있으며, 배기연통구(631)와 배기구(611)의 상호 연통 중 일부만 차단함으로써, 배기구(611)의 개구면적 중 일부를 차단할 수 있는 것이다.
위와 같은 구동원리에 의해, 도 8의 제어부(710)가 배기차단부재구동부(640)의 작동을 제어함으로써, 배기구(611)의 개구면적을 조절할 수 있다. 이러한 제어부(710)의 제어에 대한 자세한 설명은 후술한다.
위와 같이 배기차단부재(630)를 통해 배기구(611)를 막는 것을 용이하게 하기 위해, 배기차단부재(630)의 배기연통구(631)는 인접한 배기연통구(631) 사이의 수직방향 거리, 즉, 인접한 배기연통구(631)의 수직방향 이격거리가 배기연통구(631)의 면적보다 큰 것이 바람직하다. 이 경우, 배기구벽체(610)의 배기구(611) 또한, 인접한 배기구(611) 사이의 수직방향 거리, 즉, 인접한 배기구(611)의 수직방향 이격거리가 배기구(611)의 면적보다 큰 것이 바람직하다.
전술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 제1실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기(10)는 배기차단부재(630)를 통해 배기구(611)를 차단시킴으로써, 다음과 같은 이점을 갖는다.
퍼지가스를 배출하는 배출밸브를 차단함으로써, 수납실 내부의 퍼지가스 배기를 차단하는 종래의 웨이퍼 수납용기와 달리, 배기구벽체(610)의 뒷면에 배치된 배기차단부재(630)가 배기구(611)를 직접 막음으로써, 퍼지가스 및 웨이퍼(W)의 퓸의 배기를 차단하므로, 신속하게 퍼지가스 및 웨이퍼(W)의 퓸의 배기를 차단할 수 있다.
특히, 배출밸브와 배기부(600)를 연통하는 배출유로가 길게 형성되어 있더라도, 전술한 바와 같이, 배기차단부재(630)가 배기구(611)를 직접 막음으로써 퍼지가스 및 웨이퍼(W)의 퓸의 배기를 차단하므로, 배출밸브의 위치를 고려하지 않아도 신속한 퍼지가스 및 웨이퍼(W)의 퓸의 배기를 달성할 수 있으며, 이로 인해, 웨이퍼 수납용기(10)의 뛰어난 호환성을 보장할 수 있다.
또한, 배기구(611)를 완전 차단하는 것뿐만 아니라, 배기구(611)의 일부만을 차단할 수도 있으므로, 퍼지가스 및 웨이퍼(W)의 퓸의 배기량을 용이하게 제어할 수 있다.
또한, 퍼지가스를 배출하는 배출밸브를 차단함으로써, 수납실 내부의 퍼지가스 배기를 차단하는 종래의 웨이퍼 수납용기와 달리, 배기차단부재(630)가 배기구(611)를 직접 막음으로써, 퍼지가스 및 웨이퍼(W)의 퓸의 배기를 차단하므로, 배기밸브와 배기부(600)를 연통하는 배기유로에 퍼지가스 및 웨이퍼(W)의 퓸이 갇히게 되는 것을 방지할 수 있다.
따라서, 웨이퍼 수납용기(10)의 배기가 차단되어도, 배기유로에 갇혀있던 웨이퍼(W)의 퓸, 즉, 오염물질이 수납실(100) 내부로 혼합되지 못하며, 이로 인해, 웨이퍼(W)가 오염되거나, 수납실(100)의 습도 제어가 제대로 이루어지지 못하는 것을 방지할 수 있다.
웨이퍼 수납용기(10)의 퍼지가스 분사 및 배기 제어
이하, 전술한 구성을 갖는 본 발명의 바람직한 제1실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기(10)의 퍼지가스 분사 제어와, 퍼지가스 및 웨이퍼(W)의 퓸의 배기 제어에 대해 설명한다.
본 발명의 바람직한 제1실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기(10)는 제어시스템(700)을 갖을 수 있으며, 이러한 제어시스템(700)은 도 8에 도시된 바와 같이, 수납실(100)의 내부 분위기를 측정하는 센서와, 차단부재를 구동시키는 구동부와, 센서에서 측정된 값을 기준으로 구동부의 작동을 제어하는 제어부(710)를 포함하여 구성된다.
이 경우, 센서는 수납실(100) 내부의 습도를 측정하는 습도센서(720)와, 수납실(100) 내부의 압력을 측정하는 압력센서(730)로 이루어질 수 있다.
또한, 차단부재는 전술한 바와 같이, 분사부(500)에 배치되어 분사구(511)를 차단하는 분사차단부재(530)와, 배기부(600)에 배치되어 배기구(611)를 차단하는 배기차단부재(630)로 이루어질 수 있으며, 구동부는 분사차단부재(530)를 구동시키는 분사차단부재구동부(540)와, 배기차단부재(630)를 구동시키는 배기차단부재구동부(640)로 이루어질 수 있다.
습도센서(720)는 수납실(100) 내부에 구비되며, 수납실(100) 내부의 습도를 측정하는 기능을 한다.
압력센서(730)는 수납실(100) 내부에 구비되며, 수납실(100) 내부의 압력을 측정하는 기능을 한다.
위와 같이, 습도센서(720) 및 압력센서(730)는 수납실(100) 내부에 구비되며, 수납실(100)의 내부 분위기를 측정하게 된다.
제어부(710)는 습도센서(720) 및 압력센서(730)에서 측정된 값을 기준으로 분사차단부재구동부(540) 또는 배기차단부재구동부(640)의 작동을 제어함으로써, 웨이퍼 수납용기(10)의 퍼지가스 분사와, 퍼지가스 및 웨이퍼(W)의 퓸 배기를 제어하는 기능을 한다.
따라서, 제어부(710)는 습도센서(720), 압력센서(730), 분사차단부재구동부(540) 및 배기차단부재구동부(640)와 연결되어 습도센서(720), 압력센서(730), 분사차단부재구동부(540) 및 배기차단부재구동부(640)에 전기적 신호를 송수신할 수 있다.
위와 같은 구성을 갖는 제어시스템(700)에 의해 웨이퍼 수납용기(10)는 웨이퍼(W)의 퓸 제거와, 수납실(100)의 습도 제어를 달성할 수 있다.
먼저, 웨이퍼 수납용기(10)에 수납된 웨이퍼(W)의 퓸 제거 동작에 대해 설명한다.
웨이퍼(W)는 웨이퍼(W) 제조공정에 의해 그 상면에 오염물질인 퓸이 잔존하게 된다. 따라서, 웨이퍼 수납용기(10)에 수납된 웨이퍼(W)의 퓸을 제거하기 위해, 도 7a에 도시된 바와 같이, 분사부(500)에서 퍼지가스를 분사한다.
이 경우, 전술한 바와 같이, 분사부(500)는 수납실(100)의 둘레면 중 좌측전방면, 우측전방면 및 후방중앙면에 배치되므로, 퍼지가스는 수납실(100)의 좌측전방면, 우측전방면 및 후방중앙면에서 분사된다.
이렇게 수납실(100) 내부로 분사된 퍼지가스는 지지대(200)에 지지된 복수 개의 웨이퍼(W)의 상면에 분사되며, 웨이퍼(W)의 퓸과 함께 배기부(600)로 배기된다.
이 경우, 전술한 바와 같이, 배기부(600)는 수납실(100)의 둘레면 중 좌측후방면 및 우측후방면에 배치되므로, 퍼지가스 및 웨이퍼(W)의 퓸은 수납실(100)의 좌측후방면 및 우측후방면에서 배기된다.
위와 같은 웨이퍼(W)의 퓸 제거 동작을 달성하기 위해, 분사차단부재(530) 및 배기차단부재(630)는 도 6a와 같이, 정위치에 있어야 하며, 이 경우, 제어부(710)는 분사차단부재구동부(540) 및 배기차단부재구동부(640)를 작동시키지 않는다.
또한, 제어부(710)는 분사차단부재구동부(540) 및 배기차단부재구동부(640)를 작동시켜, 분사부(500)의 퍼지가스의 분사량 및 배기부(600)의 퍼지가스 및 웨이퍼(W)의 퓸의 배기량을 제어할 수 있다.
다시 말해, 사용자가 제어부(710)를 조작하여 분사부(500)의 퍼지가스의 분사량을 줄이면, 제어부(710)가 분사차단부재구동부(540)에 전기적 신호를 보내 분사차단부재구동부(540)를 작동시킨다. 따라서, 분사차단부재(530)는 승강하게 되며, 이로 인해, 분사구(511)와 분사연통구(531)가 어긋나게 된다.
단, 이 경우, 분사차단부재(530)는 도 6b 보다 낮게 승강하며, 분사구(511)와 분사연통구(531)의 상호 연통은 완전히 차단되지 않고 일부만 차단된다. 따라서, 분사구(511)의 개구면적이 좁아지게 됨으로써, 분사구(511)를 통해 분사되는 퍼지가스의 분사량이 줄어든다.
또한, 사용자가 제어부(710)를 조작하여 배기부(600)의 퍼지가스 및 웨이퍼(W)의 퓸의 배기량을 줄이면, 제어부(710)가 배기차단부재구동부(640)에 전기적 신호를 보내 배기차단부재구동부(640)를 작동시킨다. 따라서, 배기차단부재(630)는 승강하게 되며, 이로 인해, 배기구(611)와 배기연통구(631)가 어긋나게 된다.
단, 이 경우, 배기차단부재(630)는 도 6b 보다 낮게 승강하며, 배기구(611)와 배기연통구(631)의 상호 연통은 완전히 차단되지 않고 일부만 차단된다. 따라서, 배기구(611)의 개구면적이 좁아지게 됨으로써, 배기구(611)를 통해 배기되는 퍼지가스 및 웨이퍼(W)의 퓸의 배기량이 줄어든다.
위와 같은 제어부(710)를 통한 분사량 및 배기량 제어는 사용자의 조작 뿐만 아니라 제어부(710)에 제한 값을 기설정함으로써, 자동적으로 이루어질 수 있다.
이하, 웨이퍼 수납용기(10)의 수납실(100)의 습도 제어 동작에 대해 설명한다.
수납실(100)의 습도가 높을 경우, 수납실(100)에 수납된 웨이퍼(W)의 산화가 촉진되게 된다. 이러한 웨이퍼(W)의 산화는 웨이퍼(W)의 불량의 원인이 된다.
따라서, 웨이퍼 수납용기(10)는 불활성 기체인 퍼지가스를 수납실(100)에 가득채워 수납실(100)의 습도를 낮출 수 있으며, 이를 통해, 웨이퍼(W)의 산화를 방지할 수 있다.
위와 같은 습도 제어, 즉 제습을 달성하기 위해, 먼저, 제어부(710)는 습도센서(720)에서 측정된 습도 값이 기설정된 습도제한 값 이상이 될 경우, 배기차단부재(630)를 작동시켜 배기부(600)의 퍼지가스 및 웨이퍼(W)의 퓸의 배기를 차단하게 된다.
따라서, 도 7b에 도시된 바와 같이, 분사부(500)에서 퍼지가스가 수납실(100) 내부로 분사되며, 수납실(100) 내부에는 퍼지가스가 가득 차게 된다.
이 경우, 전술한 바와 같이, 퍼지가스는 수납실(100)의 둘레면 중 좌측전방면, 좌측후방면 및 후방중앙면에서 분사된다.
수납실(100) 내부에 퍼지가스가 차게 되어 압력센서(730)에서 측정된 압력 값이 기설정된 압력제한 값 이상이 될 경우, 분사차단부재(530)를 작동시켜 분사부(500)의 퍼지가스 분사를 차단하게 된다.
또한, 수납실(100)의 습도가 떨어져, 습도센서(720)에서 측정된 습도 값이 기설정된 습도제한 값 미만이고, 압력센서(730)에서 측정된 압력 값이 기설정된 압력제한 값 이상인 경우, 제어부(710)는 배기차단부재(630)를 작동시켜 배기부(600)의 퍼지가스의 배기가 이루어지게 한다.
따라서, 도 7c에 도시된 바와 같이, 수납실(100)의 퍼지가스는 배기부(600)로 배기된다.
전술한 제어시스템(700)의 제어부(710)를 통해 분사부(500)의 분사차단부재(530)를 작동시켜 분사구(511)를 차단하는 경우, 분사공간(550)에 퍼지가스가 가득 차, 분사공간(550)의 압력이 상승하는 것을 방지하기 위해, 제어부(710)는 외부 공급부와 분사부(500)를 연통하는 공급유로(미도시)에 구비된 공급밸브(미도시)를 폐쇄시키는 것이 바람직하다.
위와 같이, 본 발명의 바람직한 제1실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기(10)는 제어시스템(700)의 제어부(710)를 통해, 웨이퍼(W)의 퓸 제거 및 수납실(100)의 습도 제어를 통한 웨이퍼(W)의 산화방지를 동시에 달성할 수 있다.
본 발명의 바람직한 제2실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기(10')
이하, 도 9a 내지 도 9c를 참조하여 본 발명의 바람직한 제2실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기(10')에 대해 설명한다.
도 9a는 본 발명의 바람직한 제2실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기의 퍼지가스의 분사 및 배기 유동을 도시한 평면 단면도이고, 도 9b는 본 발명의 바람직한 제2실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기의 퍼지가스의 분사 유동을 도시한 평면 단면도이고, 도 9c는 본 발명의 바람직한 제2실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기의 퍼지가스의 배기 유동을 도시한 평면 단면도이다.
본 발명의 바람직한 제2실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기(10')는 전술한 본 발명의 바람직한 제1실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기(10)와 비교하여, 분사차단부재(530') 및 배기차단부재(630')의 이동 방향이 다를 뿐 나머지 구성요소는 동일하다.
따라서, 나머지 구성요소에 대한 설명은 전술한 본 발명의 바람직한 제1실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기(10')의 설명으로 갈음한다.
본 발명의 바람직한 제2실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기(10')의 분사차단부재(530')및 배기차단부재(630')는 구동부에 의해 수평방향으로 이동 될 수 있다.
이 경우, 도 9a는 분사차단부재(530') 및 배기차단부재(630')가 정위치에 위치한 것을 나타내며, 도 9b는 배기차단부재(630')가 차단위치에 위치한 것을 나타내고, 도 9c는 분사차단부재(530')가 차단위치에 위치한 것을 나타낸다.
제어부(710)가 구동부를 작동시켜 분사차단부재(530')를 정위치에서 차단위치로 이동시키면, 분사차단부재(530')는 수평방향으로 이동되어 그 위치가 도 9a의 위치에서 도 9c의 위치로 변하게 된다.
따라서, 분사차단부재(530')의 분사연통구(531) 및 분사구벽체(510)의 분사구(511)가 서로 어긋나게 되며, 이로 인해, 분사차단부재(530')가 분사구(511)를 막음으로써, 분사구(511)를 차단시킨다.
또한, 제어부(710)가 구동부를 작동시켜 배기차단부재(630')를 정위치에서 차단위치로 이동시키면, 배기차단부재(630')는 수평방향으로 이동되어 그 위치가 도 9a의 위치에서 도 9b의 위치로 변하게 된다.
따라서, 배기차단부재(630')의 배기연통구(631) 및 배기구벽체(610)의 배기구(611)가 서로 어긋나게 되며, 이로 인해, 배기차단부재(630')가 배기구(611)를 막음으로써, 배기구(611)를 차단시킨다.
이 경우, 분사차단부재(530')를 구동시키는 구동부는 분사공간(550)에 구비될 수 있으며, 분사차단부재(530')를 수평방향으로 슬라이드 시킨다. 또한, 배기차단부재(630')를 구동시키는 구동부는 배기공간(650)에 구비될 수 있으며, 배기차단부재(630')를 수평방향으로 슬라이드 시킨다.
위와 같은 분사차단부재(530')를 통해 분사구(511)를 막는 것을 용이하게 하기 위해, 분사차단부재(530')의 분사연통구(531)는 인접한 분사연통구(531) 사이의 수평방향 거리, 즉, 인접한 분사연통구(531)의 수평방향 이격거리가 분사연통구(531)의 면적보다 큰 것이 바람직하다. 이 경우, 분사구벽체(510)의 분사구(511) 또한, 인접한 분사구(511) 사이의 수평방향 거리, 즉, 인접한 분사구(511)의 수평방향 이격거리가 분사구(511)의 면적보다 큰 것이 바람직하다.
또한, 위와 같은 배기차단부재(630')를 통해 배기구(611)를 막는 것을 용이하게 하기 위해, 배기차단부재(630')의 배기연통구(631)는 인접한 배기연통구(631) 사이의 수평방향 거리, 즉, 인접한 배기연통구(631)의 수평방향 이격거리가 배기연통구(631)의 면적보다 큰 것이 바람직하다. 이 경우, 배기구벽체(610)의 배기구(611) 또한, 인접한 배기구(611) 사이의 수평방향 거리, 즉, 인접한 배기구(611)의 수평방향 이격거리가 배기구(611)의 면적보다 큰 것이 바람직하다.
위와 같은 구성을 갖는 본 발명의 바람직한 제2실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기(10')는 구동부가 분사공간(550) 및 배기공간(650)에 구비됨에 따라, 본 발명의 바람직한 제1실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기(10)보다 컴팩트한 웨이퍼 수납용기(10)를 제조할 수 있다는 장점이 있다.
본 발명의 바람직한 제3실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기(10")
이하, 도 10a 내지 도 10c 를 참조하여 본 발명의 바람직한 제2실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기(10")에 대해 설명한다.
도 10a는 본 발명의 바람직한 제3실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기의 퍼지가스의 분사 및 배기 유동을 도시한 평면 단면도이고, 도 10b는 본 발명의 바람직한 제3실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기의 퍼지가스의 분사 유동을 도시한 평면 단면도이고, 도 10c는 본 발명의 바람직한 제3실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기의 퍼지가스의 배기 유동을 도시한 평면 단면도이다.
본 발명의 바람직한 제3실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기(10")는 전술한 본 발명의 바람직한 제1실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기(10)와 비교하여, 분사차단부재(530") 및 배기차단부재(630")의 이동 방향이 다를 뿐 나머지 구성요소는 동일하다.
따라서, 나머지 구성요소에 대한 설명은 전술한 본 발명의 바람직한 제1실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기(10)의 설명으로 갈음한다.
본 발명의 바람직한 제3실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기(10")의 분사차단부재(530")는 구동부에 의해 분사부외부벽체(520)의 뒷면에서 분사구벽체(510) 방향으로 수평방향으로 이동될 수 있다.
또한, 본 발명의 바람직한 제3실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기(10)의 배기차단부재(630")는 구동부에 의해 배기부외부벽체(620)의 뒷면에서 배기구벽체(610) 방향으로 수평방향으로 이동될 수 있다.
또한, 분사차단부재(530") 및 배기차단부재(630")에는 분사연통구 및 배기연통구가 형성되어 있지 않다.
이 경우, 도 10a는 분사차단부재(530") 및 배기차단부재(630")가 정위치에 위치한 것을 나타내며, 도 10b는 배기차단부재(630")가 차단위치에 위치한 것을 나타내고, 도 10c는 분사차단부재(530")가 차단위치에 위치한 것을 나타낸다.
제어부(710)가 구동부를 작동시켜 분사차단부재(530")를 정위치에서 차단위치로 이동시키면, 분사차단부재(530")는 분사부외부벽체(520)의 뒷면에서 분사구벽체(510) 방향으로 수평방향으로 이동되어 그 위치가 도 10a의 위치에서 도 9c의 위치로 변하게 된다.
따라서, 분사차단부재(530")의 앞면이 분사구벽체(510)의 분사구(511)를 차단시킨다.
또한, 제어부(710)가 구동부를 작동시켜 배기차단부재(630")를 정위치에서 차단위치로 이동시키면, 배기차단부재(630")는 배기부외부벽체(620)의 뒷면에서 배기구벽체(610) 방향으로 수평방향으로 이동되어 그 위치가 도 10a의 위치에서 도 10b의 위치로 변하게 된다.
따라서, 배기차단부재(630")의 앞면이 배기구벽체(610)의 배기구(611)를 차단시킨다.
이 경우, 분사차단부재(530")를 구동시키는 구동부는 분사공간(550)에 구비될 수 있으며, 분사차단부재(530")를 수평방향으로 슬라이드 시킨다. 또한, 배기차단부재(630")를 구동시키는 구동부는 배기공간(650")에 구비될 수 있으며, 배기차단부재(630")를 수평방향으로 슬라이드 시킨다.
위와 같은 구성을 갖는 본 발명의 바람직한 제3실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기(10")는 구동부가 분사공간(550) 및 배기공간(650)에 구비됨에 따라, 본 발명의 바람직한 제1실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기(10)보다 컴팩트한 웨이퍼 수납용기(10)를 제조할 수 있다는 장점이 있다.
또한, 분사차단부재(530") 및 배기차단부재(630")에 분사구(511) 및 배기구(611)와 연통되는 연통구가 구비되어 있지 않으므로, 분사차단부재(530") 및 배기차단부재(630")를 더욱 쉽게 제조할 수 있으며, 이를 통해, 제조비 절감 및 분사차단부재(530") 및 배기차단부재(630")의 오작동을 방지할 수 있다.
전술한 본 발명의 바람직한 제1 내지 제3실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기(10, 10', 10")의 차단부재, 즉, 분사차단부재(530, 530', 530")와 배기차단부재(630, 630', 630")는 부식을 방지할 수 있는 재질로 이루어지는 것이 바람직하다.
이는, 분사차단부재(530, 530', 530")와 배기차단부재(630, 630', 630")가 웨이퍼(W)의 퓸 등과 같은 오염물질에 의해 부식되어 분사부(500)의 분사 차단 또는 배기부(600)의 배기 차단을 제대로 달성하지 못하는 것을 방지하기 위함이다.
따라서, 분사차단부재(530, 530', 530")와 배기차단부재(630, 630', 630")는 분사차단부재(530, 530', 530")와 배기차단부재(630, 630', 630")에 테플론 (TELFLON, 등록상표명) 등과 같은 불소계 수지 코팅이 이루어지거나, 분사차단부재(530, 530', 530")와 배기차단부재(630, 630', 630")가 금속재질로 이루어진 경우, 양극산화막을 형성시킬 수 있다. 예컨데, 분사차단부재(530, 530', 530")와 배기차단부재(630, 630', 630")가 알루미늄 재질인 경우, 알루미늄을 양극산화하여 형성된 아노다이징층이 형성될 수 있다.
전술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 제1 내지 제3실시 예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 통상의 기술자는 하기의 특허 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 또는 변형하여 실시할 수 있다.
10, 10', 10": 웨이퍼 수납용기 100: 수납실
110: 전방개구부 200: 지지대
210: 지지대결합부 230: 단턱
250: 돌출핀 300: 하부플레이트
310: 공급구 330: 배출구
400: 상부플레이트 410: 수용부
500: 분사부 510: 분사구벽체
511: 분사구 520: 분사부외부벽체
530, 530', 530": 분사차단부재 531: 분사연통구
540: 분사차단부재구동부 541: 몸체
543: 제1연결부 545: 제2연결부
550: 분사공간
600: 배기부 610: 배기구벽체
611: 배기구 620: 배기부외부벽체
630, 630', 630": 배기차단부재 631: 배기연통구
640: 배기차단부재구동부 641: 몸체
643: 제1연결부 645: 제2연결부
650: 배기공간
700: 제어시스템 710: 제어부
720: 습도센서 730: 압력센서
W: 웨이퍼

Claims (7)

  1. 전방개구부를 통해 수납된 웨이퍼가 수납되는 수납실;
    상기 수납실에 퍼지가스를 분사하는 분사구;
    상기 수납실에 분사된 퍼지가스를 배기하는 배기구;
    상기 분사구 또는 상기 배기구 중 적어도 하나의 적어도 일부를 차단 가능하게 설치된 차단부재;
    상기 수납실의 둘레면 중 적어도 일부면을 이루며 상기 분사구가 형성된 분사구벽체;
    상기 수납실의 둘레면 중 적어도 상기 분사구벽체가 위치하지 않은 나머지면을 이루며 상기 배기구가 형성된 배기구벽체; 및
    상기 수납실에 수납된 웨이퍼를 지지하는 지지대;를 포함하고,
    상기 분사구벽체 또는 상기 배기구벽체는 상기 지지대와 상기 차단부재 사이에 위치하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 수납용기.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 분사구 또는 상기 배기구와 연통되도록 상기 차단부재에 형성되는 연통구; 및
    상기 차단부재의 연통구와, 상기 분사구 또는 상기 배기구의 연통이 어긋나도록 상기 차단부재를 이동시키는 구동부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 수납용기.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 구동부는 상기 차단부재를 수직이동시키는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 수납용기.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 구동부는 상기 차단부재를 수평이동시키는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 수납용기.
  5. 삭제
  6. 제2항에 있어서,
    상기 구동부는 상기 연통구와 상기 분사구 또는 상기 배기구의 상호 연통을 완전히 차단하거나 상기 연통구와 상기 분사구 또는 상기 배기구의 상호 연통 중 일부만 차단하여 상기 분사구 또는 상기 배기구의 개구면적을 조절하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 수납용기.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 분사구 또는 상기 배기구 중 적어도 하나의 적어도 일부가 차단되도록 상기 차단부재를 이동시키는 구동부;
    상기 수납실의 내부 분위기를 측정하는 센서; 및
    상기 센서에서 측정된 값을 기준으로 상기 구동부의 작동을 제어하는 제어부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 수납용기.
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