KR102479895B1 - 웨이퍼 수납용기 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 특징에 따른 웨이퍼 수납용기는 전방에 개구부를 포함하고, 웨이퍼가 수납되는 본체; 및 상기 본체의 일측에 구비되는 기류 제어부를 포함하되, 상기 기류 제어부는, 내부가 빈 형태로 제공되는 몸체; 상기 몸체의 일측에 제공되어 상기 몸체 내부에 압축가스를 주입하는 압축가스 주입부; 및 상기 몸체 내부의 압축가스를 상기 몸체 외부로 배출하는 압축가스 배출부를 포함하며, 상기 몸체는 상기 본체의 수직 방향 또는 수평 방향으로 소정 길이 연장된 형태로 제공되고, 상기 본체는 내부로 퍼지가스를 분사하는 복수개의 분사부를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 수납용기가 제공될 수 있다.

Description

웨이퍼 수납용기{WAFER STORAGE CONTAINER}
본 발명은 웨이퍼 수납용기에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 외기의 유입을 차단함과 동시에 내기를 방출시키는 웨이퍼 수납용기에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자는 웨이퍼 상에 증착 공정, 연마 공정, 포토리소그래피 공정, 식각 공정, 이온주입 공정, 세정 공정, 검사 공정, 열처리 공정 등이 선택적이면서 반복적으로 수행되어 제조되며, 이렇게 반도체 소자로 형성되기 위하여 웨이퍼는 각 공정에서 요구되는 특정 위치로 운반되어 진다.
웨이퍼는 고정밀도의 물품으로서 외부의 오염 물질과 충격으로부터 오염되거나 손상되지 않도록 개구형 통합형 포드(Front Opening Unified Pod, FOUP) 등과 같은 웨이퍼 수납용기에 수납되어 보관되거나 운반되어 진다.
이 경우, 공정상에서 사용되는 공정 가스 및 공정상의 부산물인 퓸(Fume) 등이 제거되지 않고 웨이퍼 표면에 잔존하게 되며, 이로 인해, 공정 중 반도체 제조장비의 오염이 발생하거나, 웨이퍼의 에칭 패턴(etching pattern) 불량 등이 발생하여 웨이퍼의 신뢰성이 저하되는 문제가 있다.
최근에 이러한 문제를 해결하기 위해, 웨이퍼 수납용기에 수납된 웨이퍼에 퍼지가스를 공급하여, 웨이퍼의 표면에 잔존하는 퓸을 제거하거나, 웨이퍼의 산화를 방지하는 퍼징(Purging) 기술들이 개발되고 있다.
웨이퍼 수납용기에 수납되는 웨이퍼의 퍼징을 달성하기 위하여, 웨이퍼 수납용기는 로드 포트(Load Port) 등과 같이 퍼지가스의 공급이 가능한 공급장치와 결합되고, 웨이퍼 수납용기에 수납된 웨이퍼에 퍼지가스를 공급하게 된다. 따라서, 웨이퍼 수납용기에는 상기 공급장치에서 공급된 퍼지가스가 유동하는 유로 및 퍼지가스가 분사되는 분사구 등이 구비된다.
웨이퍼 수납용기 내부에서 퓸과 결합된 오염된 퍼지가스는 웨이퍼 수납용기 외부로 배출될 수 있다. 이때, 웨이퍼 수납용기의 일측 또는 외부에는 퍼지가스의 기류를 제어하는 기류 제어부가 제공될 수 있다.
위와 같이, 외부에 기류 제어부를 포함하는 웨이퍼 수납용기로는 한국등록특허 제10-1444241호(이하, '특허문헌 1'이라 한다)에 기재된 것이 공지되어 있다.
특허문헌 1의 웨이퍼를 수납하는 세정장치의 일측에는 배기장치가 구비된다. 배기장치는 웨이퍼의 수납 공간보다 낮은 위치에 제공되고, 이에 따라, 웨이퍼의 수납공간에서 배출된 퍼지가스의 유동 방향이 하측을 향하도록 제공될 수 있다. 이러한 세정장치는 배기장치를 통해 퍼지가스를 원활하게 하측으로 배출시킬 수 있으나, 퍼지가스의 하측을 향한 유동에 따라 세정장치의 상측에 외기가 유입되는 한계를 가질 수 있다.
또한, 일측에 기류 제어부를 포함하는 웨이퍼 수납용기로는 한국등록특허 제10-1090350호(이하, '특허문헌 2'라 한다)에 기재된 것이 공지되어 있다.
특허문헌 2의 퓸 제거장치는 웨이퍼가 내부에 적재되는 것으로서, 개방된 일측에 에어커튼을 포함한다. 이때, 에어커튼은 퓸 제거장치의 내부로 진입하는 웨이퍼를 씻어냄과 동시에, 퓸의 역류를 방지할 수 있다. 그러나, 이러한 에어커튼은 퓸 제거장치의 내부로 외기가 유입되는 것을 방지하는 역할을 하지만, 퓸 제거장치 내부의 오염된 기체가 외부로 방출되는 역할을 하지는 못하는 한계를 가지고 있다.
한국등록특허 제10-1444241호 한국등록특허 제10-1090350호
이에 본 발명은 종래기술의 문제점을 해소하기 위하여 제안된 것으로서, 외기 유입의 차단과 동시에 내기를 방출시키는 웨이퍼 수납용기를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
또한, 내기의 사영역이 발생하는 것을 방지하는 웨이퍼 수납용기를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
본 발명의 일 특징에 따른 웨이퍼 수납용기는 전방에 개구부를 포함하고, 웨이퍼가 수납되는 본체; 및 상기 본체의 일측에 구비되는 기류 제어부를 포함하되, 상기 기류 제어부는, 내부가 빈 형태로 제공되는 몸체; 상기 몸체의 일측에 제공되어 상기 몸체 내부에 압축가스를 주입하는 압축가스 주입부; 및 상기 몸체 내부의 압축가스를 상기 몸체 외부로 배출하는 압축가스 배출부를 포함하며, 상기 몸체는 상기 본체의 수직 방향 또는 수평 방향으로 소정 길이 연장된 형태로 제공되고, 상기 본체는 내부로 퍼지가스를 분사하는 복수개의 분사부를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 수납용기가 제공될 수 있다.
또한, 상기 기류 제어부는 상기 본체에 분리 가능하게 결합될 수 있다.
또한, 상기 기류 제어부는 상기 본체와 별도로 제공되는 웨이퍼 이송 자동화 모듈(EFEM, Equipment Front End Module)에 분리 가능하게 결합될 수 있다.
또한, 상기 기류 제어부는 상기 개구부의 좌측 및 우측에 각각 제공될 수 있다.
또한, 상기 기류 제어부는 상기 개구부의 상측 및 하측에 더 제공되고, 상기 개구부의 상측, 하측, 좌측, 및 우측에 제공되는 상기 몸체는 내부가 연통되도록 공간이 제공될 수 있다.
또한, 상기 몸체 내부의 상기 공간은 상기 압축가스가 유동하는 공간일 수 있다.
또한, 상기 압축가스 배출부는 일부가 상기 공간 내부로 구부러진 형태로 제공될 수 있다.
또한, 상기 공간 내부의 상기 압축가스는 상기 압축가스 배출부를 따라 배출되고, 상기 압축가스는 상기 본체 내부의 퍼지가스와 함께 상기 개구부를 통해 상기 본체 외부로 배출될 수 있다.
또한, 상기 본체는, 전방 및 후방이 개방된 형태의 제1 본체; 및 전방이 개방된 제2 본체를 포함하고, 상기 제1 본체와 상기 제2 본체의 사이에 상기 기류 제어부가 제공될 수 있다.
또한, 상기 압축가스 배출부는 상기 제1 본체 보다 상기 제2 본체에 더 가까운 위치에 제공될 수 있다.
또한, 상기 기류제어부는 상기 제1 본체 및 상기 제2 본체에 대응되는 형태로 제공되고, 상기 몸체는 내부가 연통되도록 공간이 제공되며, 상기 몸체 내부의 상기 공간은 상기 압축가스가 유동하는 공간일 수 있다.
또한, 상기 압축가스 배출부는 상기 공간 내부로 구부러진 형태로 제공되고, 상기 공간 내부의 상기 압축가스는 상기 압축가스 배출부를 따라 배출되며, 상기 압축가스는 상기 본체 내부의 퍼지가스와 함께 상기 개구부를 통해 상기 본체 외부로 배출될 수 있다.
본 발명의 일 특징에 따른 웨이퍼 수납용기는, 전방이 개구부를 포함하고, 내부에 퍼지가스가 공급되는 본체; 및 상기 본체의 일측에 구비되고, 상기 본체 내부로 압축가스를 공급하는 기류 제어부를 포함하되, 상기 기류 제어부는, 상기 본체 내부로 상기 압축가스를 배출하는 압축가스 배출부; 및 내부가 빈 형태로 제공되고, 일측에 상기 압축가스 배출부가 형성되는 몸체를 포함하고, 상기 압축가스 배출부를 통해 상기 압축가스가 상기 본체의 후방에서 전방으로 배출되면, 상기 기류제어부의 후방 영역의 압력이 상기 기류제어부의 전방 영역의 압력보다 높아지고, 상기 본체의 후방 영역에서 전방 영역으로 기류 흐름이 발생되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 수납용기가 제공될 수 있다.
또한, 상기 기류 제어부는 상기 본체 내부의 후방보다 전방에 가까운 일측에 분리 가능하게 결합될 수 있다.
또한, 상기 기류 제어부는 상기 본체의 개구부에 분리 가능하게 결합될 수 있다.
또한, 상기 본체 내부에 차단부가 구비되고, 상기 본체 내부는 상기 차단부를 통해 복수개의 영역으로 구획될 수 있다.
또한, 상기 복수개의 영역에 각각 기류 제어부가 구비될 수 있다.
또한, 도어가 구비되고, 상기 도어는 상기 복수개의 영역의 전방을 선택적으로 개폐 가능할 수 있다.
본 발명의 일 특징에 따른 웨이퍼 수납용기는, 웨이퍼가 수납되는 본체; 및 상기 본체의 일측에 구비되는 기류 제어부를 포함하고, 상기 본체는, 상기 웨이퍼가 기 설정된 거리를 두고 복수개 적재되고, 내부에 퍼지가스가 채워지며, 상기 기류 제어부는, 내부가 빈 형태로 제공되는 몸체; 및 상기 본체의 전방에서 후방으로 갈수록 상기 몸체 내부로 구부러진 형태로 형성되는 압축가스 배출부를 포함하고, 상기 압축가스 배출부를 통해 상기 몸체 내부의 압축가스가 상기 본체의 후방에서 전방으로 배출되며, 상기 본체 내기의 흐름이 상기 웨이퍼와 수평 방향으로 형성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 수납용기가 제공될 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의한 웨이퍼 수납용기는, 외기 유입의 차단과 동시에 내기를 방출시킬 수 있다.
또한, 내기의 사영역에 발생하는 것을 방지할 수 있게 된다.
도 1은 본 발명의 바람직한 제1 실시예에 따른 웨이퍼 수납용기를 도시한 사시도.
도 2는 도 1의 A-A'를 따라 절단한 모습을 보여주는 단면도.
도 3은 도 1의 B-B'를 따라 절단한 모습을 보여주는 단면도.
도 4는 도어를 포함한 도 1의 웨이퍼 수납용기를 도시한 사시도.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 웨이퍼 수납용기를 도시한 사시도.
도 6은 도 5의 C-C'를 따라 절단한 모습을 보여주는 단면도.
도 7은 본 발명의 제3 실시예에 따른 웨이퍼 수납용기를 도시한 사시도.
도 8은 본 발명의 제4 실시예에 따른 웨이퍼 수납용기를 도시한 사시도.
도 9는 도 8의 D-D'를 따라 절단한 모습을 보여주는 단면도.
도 10은 제 4 실시예의 변형례를 도시한 사시도.
이하의 내용은 단지 발명의 원리를 예시한다. 그러므로 당업자는 비록 본 명세서에 명확히 설명되거나 도시되지 않았지만 발명의 원리를 구현하고 발명의 개념과 범위에 포함된 다양한 장치를 발명할 수 있는 것이다. 또한, 본 명세서에 열거된 모든 조건부 용어 및 실시 예들은 원칙적으로, 발명의 개념이 이해되도록 하기 위한 목적으로만 명백히 의도되고, 이와 같이 특별히 열거된 실시 예들 및 상태들에 제한적이지 않는 것으로 이해되어야 한다.
상술한 목적, 특징 및 장점은 첨부된 도면과 관련한 다음의 상세한 설명을 통하여 보다 분명해 질 것이며, 그에 따라 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 것이다.
이하, 본 발명의 제1 실시예를 첨부 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명의 바람직한 제1 실시예에 따른 웨이퍼 수납용기를 도시한 사시도이고, 도 2는 도 1의 A-A'를 따라 절단한 모습을 보여주는 단면도이며, 도 3은 도 1의 B-B'를 따라 절단한 모습을 보여주는 단면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 웨이퍼 수납용기(1)는 웨이퍼가 수납되는 본체(10)와, 본체(10)의 일측에 구비되는 기류 제어부(20)를 포함할 수 있다.
본체(10)는 내부에 복수개의 웨이퍼가 수납되는 공간을 제공하는 것으로서, 전방에 형성되는 개구부(110)와, 웨이퍼가 적재되는 적재부(120)와, 퍼지가스를 분사하는 분사부(130)를 포함할 수 있다. 이때, '퍼지가스'는 퓸을 제거하기 위한 불활성 가스를 통칭하는 말이며, 특히, 불활성 가스 중 하나인 질소(N2) 가스일 수 있다.
개구부(110)는 본체(10)의 전방에 제공되는 것으로서, 웨이퍼를 본체(10) 내부로 반입 또는 외부로 반출하는 통로일 수 있다. 구체적으로, 개구부(110)는 사각형 단면을 갖도록 제공될 수 있고, 개구부(110)의 한 변의 길이는 웨이퍼의 직경보다 클 수 있다. 본 실시예에서는 개구부(110)가 사각형 단면을 갖는 것을 예로 도시 및 설명하였으나, 개구부(110)의 형상은 이에 한정되지 않는다. 일 예로, 개구부(110)는 원형 단면을 가질 수 있다.
본체(10) 내부에는 복수개의 적재부(120)가 제공될 수 있다. 적재부(120)는 웨이퍼를 지지하는 것으로서, 본체(10)의 수평 방향으로 복수개 제공될 수 있다. 구체적으로, 적재부(120)는 기 설정된 거리를 두고 본체(10)의 내벽에 고정될 수 있다. 이에 따라, 적재부(120)의 사이 사이에 웨이퍼가 제공될 수 있다. 즉, 본체(10) 내부에 기 설정된 거리를 두고 웨이퍼가 복수개 적재될 수 있다.
본체(10)는 복수개의 분사부(130)를 포함할 수 있다. 분사부(130)는 본체(10) 내부로 퍼지가스를 분사하는 것으로서, 본체(10)의 내벽에 복수개 제공될 수 있다. 구체적으로, 본체(10)의 일측에는 퍼지가스를 공급하는 공급부(미도시)가 제공될 수 있다. 또한, 공급부를 통해 공급된 퍼지가스는 분사부(130)를 통해 분사될 수 있다. 이때, 분사부(130)는 적재부(120)와 겹치지 않는 위치에 제공될 수 있고, 일 예로, 분사부(130)는 복수의 적재부(120) 사이 공간에 복수개 제공될 수 있다. 즉, 분사부(130)는 본체(10) 내벽의 측면 및 후면에 모두 제공될 수 있다. 이에 따라, 적재부(120)에 웨이퍼가 적재된 후, 분사부(130)를 통해 분사되는 퍼지가스가 웨이퍼 상면에 용이하게 제공될 수 있다. 즉, 웨이퍼 상면의 퓸이 퍼지가스를 통해 제거될 수 있다.
분사부(130)의 분사 여부에 상관없이 본체(10) 내부는 퍼지가스가 채워질 수 있다. 구체적으로, 본체(10) 내부에 퍼지가스가 채워진 후 분사부(130)가 작동할 수 있다. 또한, 분사부(130)가 작동되면, 기존에 채워져 있던 퍼지가스가 본체(10) 외부로 배출되고 분사부(130)를 통해 새로운 퍼지가스가 공급될 수 있고, 이에 따라, 본체(10) 내부의 퍼지가스가 계속 순환될 수 있다.
본 실시예에서는 분사부(130)가 본체(10) 내벽에 제공되는 것을 예로 도시하였으나, 분사부(130)의 위치는 이에 한정되지 않는다. 일 예로, 분사부(130)는 적재부(120)에 제공될 수 있다. 이때, 공급부 또한 적재부(120)에 제공될 수 있으며, 이에 따라, 적재부(120)의 내부는 퍼지가스가 유동하는 공간이 될 수 있다.
본체(10)의 일측에는 기류 제어부(20)가 구비될 수 있다. 기류 제어부(20)는 본체(10) 내부의 압축가스의 기류를 제어하는 것으로서, 내부가 빈 형태로 제공되는 몸체(210)와, 몸체(210) 내부에 압축가스를 주입하는 압축가스 주입부(220)와, 몸체(210) 외부로 압축가스를 배출하는 압축가스 배출부(230)를 포함할 수 있다. 이때, 압축가스는 불활성 가스를 의미하며, 퍼지가스와 동일한 가스가 사용되거나, 다른 가스가 사용될 수 있다.
구체적으로, 기류 제어부(20)는 본체(10)의 개구부(110)에 분리 가능하게 결합될 수 있으며, 개구부(110)의 상측, 하측, 좌측, 및 우측에 모두 제공될 수 있다. 이때, 개구부(110)의 상측, 하측, 좌측, 및 우측에 제공되는 기류 제어부(20)의 몸체(210)는 연통 가능하게 제공될 수 있다. 본 실시예에서는 기류 제어부(20)가 개구부(110)의 상측, 하측, 좌측 및 우측에 모두 제공되는 것을 예로 도시하였으나, 기류 제어부(20)의 형태는 이에 한정되지 않는다. 일 예로, 기류 제어부(20)는 개구부(110)의 좌측 및 우측에만 제공될 수 있다. 또한, 기류 제어부(20)의 위치는 본체(10)와 결합되는 것만으로 한정되지 않으며, 일 예로, 기류 제어부(20)는 별도의 웨이퍼 이송 자동화 모듈(EFEM, Equipment Front End Module)과 분리 가능하게 결합될 수 있다.
몸체(210)는 본체(10)의 수직 방향 또는 수평 방향으로 소정 길이 연장된 형태로 제공될 수 있다. 구체적으로, 개구부(110)의 좌측 및 우측에 제공되는 몸체(210)의 일부는 본체(10)의 수직 방향으로 연장된 형태일 수 있고, 개구부(110)의 상측 및 하측에 제공되는 몸체(210)의 일부는 본체(10)의 수평 방향으로 연장된 형태일 수 있다.
몸체(210)는 내부에 빈 공간(210a)을 포함할 수 있고, 일측에는 압축가스 주입부(220)가 제공될 수 있으며, 타측에는 압축가스 배출부(230)가 제공될 수 있다. 구체적으로, 몸체(210)의 외측에는 복수개의 압축가스 주입부(220)가 형성될 수 있고, 내측에는 압축가스 배출부(230)가 형성될 수 있다. 이때, 몸체(210)의 외측은 본체(10)의 외측에 대응하는 측을 의미하고, 내측은 본체(10)의 내측에 대응하는 측을 의미한다.
압축가스 주입부(220)는 외부 공급원(미도시)을 통해 공급받은 압축가스를 몸체(210) 내부에 제공할 수 있다. 압축가스 주입부(220)를 통해 몸체(210)에 공급된 압축가스는 공간(210a)에서 유동할 수 있다. 즉, 몸체(210) 내부 공간(210a)이 압축가스가 유동하는 공간일 수 있다.
몸체(210)는 내측 일부가 개방된 형태로 형성될 수 있다. 이때, 몸체(210)의 개방된 일측이 압축가스 배출부(230)일 수 있다.
압축가스 배출부(230)는 일부가 공간(210a) 내부로 구부러진 형태로 형성될 수 있다. 구체적으로, 압축가스 배출부(230)는 몸체(210)의 내측에 제공될 수 있고, 전방에서 후방으로 갈수록 몸체(210) 내부 공간(210a) 측으로 더 구부러진 형태일 수 있다. 이에 따라, 공간(210a) 내부의 압축가스는 압축가스 배출부(230)의 형태를 따라 몸체(210)의 외부로 배출된 후, 본체(10)의 후방에서 전방으로 이동될 수 있다. 이때, 몸체(210) 내부에서 배출된 압축가스는 본체(10) 내부의 퍼지가스와 함께 본체(10)의 개구부(110)로 배출될 수 있다(도 3 화살표 참조). 즉, 본체(10) 내부에서 웨이퍼의 퓸을 제거한 퍼지가스가 기류 제어부(20)를 통해 배출된 압축가스를 통해 별도의 동력 없이 본체(10) 외부로 배출될 수 있다.
도 4는 도어를 포함한 도 1의 웨이퍼 수납용기를 도시한 사시도이다.
도 4를 참조하면, 본체(10)에는 도어(40)가 구비될 수 있다. 도어(40)는 본체(10)의 일측에 구비되는 것으로서, 본체(10) 내부 영역을 밀폐할 수 있다.
도어(40)는 본체(10)에 선택적으로 개폐 가능하게 구비될 수 있다. 구체적으로, 본체(10) 내기의 방출을 필요로 할 경우에는 도어(40)를 개방하고, 본체(10)에 퍼지가스를 충전할 경우에는 도어(40)를 폐쇄할 수 있다. 즉, 도어(40)를 개방하여 본체(10) 내부의 퍼지가스를 방출할 수 있다.
도어(40)는 본체(10)의 개구부(110)에 구비될 수 있고, 본체(10)의 외부에 별도로 구비될 수 있다. 또한, 도어(40)를 개폐시키는 수단은, 본체(10)의 전방 개구부(110)를 개방시키거나 밀폐시킬 수 있는 구성이면 이에 대한 한정은 없다.
본 실시예에서는, 도어(40)가 롤러를 통해 작동하여 본체(10) 내부 영역을 개폐하는 것을 예로 설명하겠다.
도어(40)는 제1 도어부(410), 제2 도어부(420) 및 구동부(430)를 포함할 수 있다. 이때, 제1 도어부(410)와 제2 도어부(420)는 일체로 형성되는 것으로서, 제1 도어부(410)와 제2 도어부(420)의 사이에 구동부(430)가 구비될 수 있다.
제1 도어부(410)는 본체(10)의 일측에 구비될 수 있고, 구동부(430)는 기류 제어부(20)의 일측에 구비될 수 있다. 또한, 제2 도어부(420)는 본체(10)의 개폐 여부에 따라 본체(10)의 일측 또는 본체(10)의 개구부(110)에 구비될 수 있다.
구동부(430)는 제1 도어부(410)와 제2 도어부(420)를 조절하는 것으로서, 롤러로 제공될 수 있다. 제1 도어부(410)와 제2 도어부(420)는 변형 가능한 재질로 제공될 수 있고, 구동부(430)를 감싸는 형태로 구비될 수 있다.
구체적으로, 제1 도어부(410)와 구동부(430)는 본체(10)의 상측에 구비되고, 구동부(430)는 제1 도어부(410) 및 제2 도어부(420)를 개구부(110)의 상측에서 하측 방향으로 이동시킬 수 있다. 본 실시예에서는, 제1 도어부(410)와 구동부(430)가 본체(10)의 상측에 구비된 것을 예로 도시하였으나, 제1 도어부(410)와 구동부(430)의 위치는 이에 한정되지 않는다. 일 예로, 제1 도어부(410)와 구동부(430)는 본체(10)의 좌측 또는 우측에 구비되어 제1 도어부(410)와 제2 도어부(420)가 우측 또는 좌측으로 이동되거나, 제1 도어부(410)와 구동부(430)가 본체(10)의 하측에 구비되어 제1 도어부(410)와 제2 도어부(420)가 개구부(110)의 상측으로 이동될 수 있다.
본체(10) 내기의 방출을 필요로 하여 도어(40)를 개방할 경우, 구동부(430)는 제1 도어부(410)의 일측 및 제2 도어부(420)를 감싸는 형태로 구비될 수 있다. 본체(10)에 퍼지가스를 충전하기 위하여 도어(40)를 폐쇄할 경우, 구동부(430)는 제2 도어부(420)를 개구부(110)의 하측 방향으로 이동시킬 수 있다. 즉, 구동부(430)를 감싸고 있던 제2 도어부(420)가 개구부(110) 측으로 이동되어 개구부(110)를 가리는 형태로 제공될 수 있다. 이때, 제1 도어부(410)는 제2 도어부(420)의 이동에 따라 본체(10)의 전방 측으로 이동될 수 있다.
폐쇄된 도어(40)를 다시 개방할 경우, 구동부(430)는 개구부(110)를 밀폐하는 제2 도어부(420)를 다시 개구부(110)의 상측 방향으로 이동시킬 수 있다. 이때, 제1 도어부(410)는 제2 도어부(420)의 이동에 따라 본체(10)의 후방 측으로 이동될 수 있다. 이에 따라, 본체(10)는 도어(40)를 통해 선택적으로 개방 또는 밀폐될 수 있다.
이하에서는 상기와 같은 구성을 갖는 본 발명의 제1 실시예에 따른 웨이퍼 수납용기(1)의 작용 및 효과에 대해 설명하겠다.
우선, 본체(10)의 내부에는 분사부(130)를 통해 퍼지가스가 분사될 수 있다. 이때, 분사부(130)는 본체(10) 내부의 웨이퍼 구비 여부에 상관없이 작동될 수 있다. 따라서, 웨이퍼가 개구부(110)를 통해 반입 또는 반출되는 순간에도 분사부(130)가 작동될 수 있다.
분사부(130)를 통해 퍼지가스가 분사되면, 본체(10) 내부 웨이퍼의 퓸이 제거될 수 있다. 이때, 분사부(130)는 적재부(120)의 사이에 복수개 제공될 수 있고, 본체(10) 내측면 및 후면에 모두 제공될 수 있으므로, 퍼지가스가 본체(10) 내부에 적재된 웨이퍼에 골고루 분사될 수 있다.
개구부(110)에는 기류 제어부(20)가 제공될 수 있다. 기류 제어부(20)는 내부가 빈 형태로 제공될 수 있고, 외부 공급원으로부터 압축가스를 공급받을 수 있다. 이에 따라, 기류 제어부(20)의 내측은 압축가스가 유동하는 공간이 될 수 있다.
압축가스 주입부(220)를 통해 몸체(210) 내부로 공급된 압축가스는 압축가스 배출부(230)를 통해 몸체(210) 외부로 배출될 수 있다. 압축가스 배출부(230)는 전방에서 후방으로 갈수록 몸체(210) 내부로 구부러진 형태로 형성될 수 있고, 이에 따라, 압축가스는 압축가스 배출부(230)의 형상을 따라 이동되어 본체(10)의 후방에서 전방으로 이동될 수 있다.
압축가스 배출부(230)를 통해 압축가스가 본체(10)의 후방에서 전방으로 배출되면, 기류 제어부(20)의 후방 영역인 본체(10) 내부의 압력이 기류 제어부(20)의 전방 영역의 압력보다 높아질 수 있다. 이로 인해, 본체(10)의 후방 영역에서 전방 영역으로 기류 흐름이 발생하게 되고, 본체(10) 내부의 퍼지가스가 외부로 배출될 수 있다. 이때, 본체(10) 내부의 퍼지가스의 흐름은 웨이퍼의 수평 방향으로 형성될 수 있다. 즉, 별도의 동력 없이 압축가스 배출부(230)의 형상을 통해 본체(10)의 기류를 변경할 수 있다.
아울러, 압축가스 및 퍼지가스의 흐름을 본체(10)의 후방에서 전방으로 유도함으로써, 본체(10) 내부에 외기가 유입되는 것을 차단함과 동시에 내기를 방출하는 효과를 가질 수 있다.
한편, 분사부(120)가 본체(10)의 내측면 및 후면에 제공될 경우, 본체(10) 전방에 제공되는 웨이퍼의 일측에는 퍼지가스가 공급되지 않을 수 있다. 이때, 기류 제어부(20)를 통해 퍼지가스가 본체(10)의 외부로 배출됨으로써, 퍼지가스가 웨이퍼의 전방에도 용이하게 공급될 수 있다. 즉, 내기의 사영역이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
또한, 본체(10)의 일측에 도어(40)를 구비함으로써, 도어(40)의 개폐 여부에 따라, 선택적으로 본체(10) 내부 퍼지가스의 충전 및 방출이 수행될 수 있다.
이하에서는 본 발명의 제2 실시예에 따른 웨이퍼 수납용기에 대하여 도 5 및 도 6을 참조하여 설명한다. 다만, 제2 실시예는 제1 실시예와 비교하여 기류 제어부(20')의 위치 및 본체(10')의 형태에 차이가 있으므로, 차이점을 위주로 설명하며 동일한 부분에 대하여는 제1 실시예의 설명과 도면 부호를 원용한다.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 웨이퍼 수납용기를 도시한 사시도이고, 도 6은 도 5의 C-C'를 따라 절단한 모습을 보여주는 단면도이다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 본 발명의 제2 실시예에 따른 웨이퍼 수납용기(1')는 전방 및 후방이 개방된 형태의 제1 본체(10a')와, 전방이 개방된 제2 본체(10b')를 포함할 수 있다. 구체적으로, 제1 본체(10a') 및 제2 본체(10b')는 대응되는 크기로 제공될 수 있고, 기 설정된 간격을 두고 제공될 수 있다. 이때, 제1 본체(10a')와 제2 본체(10b')의 사이에는 기류 제어부(20')가 제공될 수 있다.
기류 제어부(20')는 제1 본체(10a') 및 제2 본체(10b')와 분리 가능하게 결합될 수 있다. 구체적으로, 기류 제어부(20')는 제1 본체(10a') 및 제2 본체(10b')의 사이에 제공되고, 제1 본체(10a')의 전방에 개구부(110')가 제공될 수 있다.
기류 제어부(20')의 압축가스 배출부(230')는 제1 본체(10a') 보다 제2 본체(10b')에 더 가까운 위치에 제공될 수 있다. 구체적으로, 압축가스 배출부(230')는 제1 본체(10a')에서 제2 본체(10b')로 갈수록 몸체(210') 내부 공간(210a')으로 구부러진 형태로 형성될 수 있다. 이에 따라, 공간(210a') 내부에서 유동하는 압축가스가 제2 본체(10b')에서 제1 본체(10a')를 향해 이동된 후 개구부(110')를 통해 배출될 수 있다.
압축가스 배출부(230')를 통해 압축가스가 배출되면, 기류 제어부(20')의 후방 영역인 제2 본체(10b')의 압력이 전방 영역인 제1 본체(10a')의 압력보다 높아지게 되고, 이에 따라, 제2 본체(10b')에서 제1 본체(10a')으로 기류 흐름이 발생될 수 있다. 이때, 본체(10') 내부에 채워진 퍼지가스 또는 분사부(130')를 통해 공급된 퍼지가스는 본체(10') 내부에서 기류 제어부(20')에서 공급된 압축가스와 만나고, 압축 가스의 흐름과 동일한 흐름을 가질 수 있다. 즉, 본체(10') 내부의 퍼지가스는 개구부(110')를 통해 본체(10')의 외부로 배출될 수 있다.
이하에서는 본 발명의 제3 실시예에 따른 웨이퍼 수납용기에 대하여 도 7을 참조하여 설명한다. 다만, 제3 실시예는 제1 실시예와 비교하여 기류 제어부(20")와 본체(10)의 결합 형태에 차이가 있으므로, 차이점을 위주로 설명하며 동일한 부분에 대하여는 제1 실시예의 설명과 도면 부호를 원용한다.
도 7은 본 발명의 제3 실시예에 따른 웨이퍼 수납용기를 도시한 사시도이다.
도 7을 참조하면, 본 발명의 제3 실시예에 따른 웨이퍼 수납용기(1")는 본체(10)와 소정 간격을 두고 제공되는 기류 제어부(20")를 포함한다. 구체적으로, 기류 제어부(20")는 설치부재(240")를 통해 기 설정된 위치에 제공된다. 이때, 설치부재(240")는 브라켓(bracket)으로 제공될 수 있다.
기류 제어부(20")는 본체(10)의 개구부(110) 측에 제공되고, 본체(10) 내부의 퍼지가스는 기류 제어부(20")를 통해 본체(10)의 외부로 배출된다. 구체적으로, 기류 제어부(20")를 통해 본체(10)의 후방 영역에서 전방 영역으로 기류 흐름이 발생하게 되고, 본체(10) 내부의 퍼지가스가 기류 제어부(20")의 전방으로 배출된다. 이때, 기류 제어부(20")와 본체(10) 사이의 간격을 통해 외부 공기가 유입될 수 있다. 즉, 기류 제어부(20")의 후방에는 본체(10) 내부의 퍼지가스 뿐만 아니라 기류 제어부(20")와 본체(10) 사이의 유입 공기도 제공되고, 이에 따라, 기류 제어부(20")의 후방 영역에서 전방 영역으로 발생되는 기류 흐름이 더욱 용이하게 발생될 수 있다. 따라서, 본체(10) 내부의 퍼지가스 또한 후방 영역에서 전방 영역으로 용이하게 배출될 수 있다.
또한, 기류 제어부(20")의 후방 영역에 기류 제어부(20")와 본체(10) 사이의 유입 가스가 제공되어 후방 영역에서 전방 영역으로 기류 흐름이 용이하게 발생됨에 따라, 본체(10)의 외부에서 내부로 공기가 유입되는 역류 현상이 방지될 수 있다.
본 실시예에서는 설치부재(240")가 브라켓으로 제공되고, 기류 제어부(20")의 하부에 브라켓 2개가 제공되어 지면에 설치되는 것을 예로 도시하였으나, 기류 제어부(20")의 설치 방법은 이에 한정되지 않는다. 일 예로, 기류 제어부(20")는 브라켓을 통해 본체(10)에 직접 결합되거나, 설치 위치의 천장에 설치부재(240")를 통해 매달리는 형태로 설치될 수 있다.
이하에서는 본 발명의 제4 실시예에 따른 웨이퍼 수납용기에 대하여 도 8 및 도 9를 참조하여 설명한다. 다만, 제4 실시예는 제1 실시예와 비교하여 기류 제어부(20")가 복수개 구비되는 것에 차이가 있으므로, 차이점을 위주로 설명하며 동일한 부분에 대하여는 제1 실시예의 설명과 도면 부호를 원용한다.
도 8은 본 발명의 제4 실시예에 따른 웨이퍼 수납용기를 도시한 사시도이고, 도 9는 도 8의 D-D'를 따라 절단한 모습을 보여주는 단면도이다.
도 8 및 도 9를 참조하면, 본 발명의 제4 실시예에 따른 웨이퍼 수납용기(1"')는 하나의 본체(10)에 복수개의 기류 제어부(20"')가 구비되고, 본체(10)의 내부에는 본체(10)의 크기에 대응하는 차단부(30"')가 구비된다.
차단부(30"')는 본체(10)의 내부를 구획하기 위한 것으로서, 적재부(120)의 일측에 제공될 수 있다. 구체적으로, 차단부(30"')는 본체(10)의 수평 방향으로 복수개 제공될 수 있으며, 본체(10) 내부의 모든 면과 접하도록 제공될 수 있다. 이에 따라, 차단부(30"')가 본체(10) 내부에 구비될 경우, 본체(10) 내부는 차단부(30"')의 상부 및 하부로 각각 분리될 수 있다.
하나의 본체(10)에 2개의 차단부(30"')가 구비될 경우, 차단부(30"')는 제1 차단부(310"')와, 제1 차단부(310"')에서 일정 거리 이격된 하부에 구비된 제2 차단부(320"')를 포함할 수 있다. 이를 통해, 본체(10)의 내부는 제1 차단부(310"')의 상측인 제1 영역, 제1 차단부(310"')와 제2 차단부(320"') 사이인 제2 영역, 제2 차단부(320"')의 하측인 제3 영역으로 분리될 수 있다. 이때, 제1 영역과, 제2 영역 및 제3 영역의 넓이가 같도록 제1 차단부(310"')와 제2 차단부(320"')가 위치될 수 있다. 본 실시예에서는, 본체(10)에 2개의 차단부(30"')가 구비되어 본체(10) 내부가 3개의 영역으로 구획되는 것을 예로 도시하였으나, 차단부(30"')의 개수는 이에 한정되지 않는다. 일 예로, 본체(10)에 3개의 차단부(30"')가 구비되어 본체(10) 내부가 4개의 영역으로 구획될 수 있다.
본체(10) 각각의 영역에는 기류 제어부(20"')가 구비된다. 기류 제어부(20"')는 차단부(30"')를 통해 구획된 본체(10) 내부의 영역에 대응되게 제공될 수 있다. 일 예로, 차단부(30"')가 2개 제공되어 본체(10) 내부가 3개의 영역으로 분리될 경우, 기류 제어부(20"')는 3개가 제공될 수 있다.
본체(10)는 2개의 차단부(30"')를 통해 가장 상측에 제1 영역이 제공되고, 가장 하측에 제3 영역이 제공되며, 제1 영역과 제3 영역 사이에 제2 영역이 제공될 수 있다. 또한, 제1 영역의 개구부(110)에 제1 기류 제어부(21"')가 구비되고, 제2 영역의 개구부(110)에 제2 기류 제어부(22"')가 구비되며, 제3 영역의 개구부(110)에 제3 기류 제어부(23"')가 구비될 수 있다. 이때, 제1 기류 제어부(21"')와 제2 기류 제어부(22"') 및 제3 기류 제어부(33"')의 각각의 몸체(211"', 212"', 213"')는 모두 동일한 형상 및 크기로 형성될 수 있으며, 각각의 몸체(211"', 212"', 213"')에는 동일한 위치에 압축가스 주입부(221"', 222"', 223"')가 구비될 수 있다.
각각의 압축가스 주입부(221"', 222"', 223"')를 통해 몸체(211"', 212"', 213"') 내부로 공급된 압축가스는 압축가스 배출부(230"')를 통해 몸체(211"', 212"', 213"')의 외부로 배출될 수 있다. 이때, 하나의 본체(10)에 복수개의 기류 제어부(20"')가 구비되어, 각각의 기류 제어부(21"', 22"', 23"')에서 압축가스가 공급 및 배출되므로, 하나의 기류 제어부가 구비될 경우보다 압축가스가 효율적으로 공급 및 배출될 수 있다. 즉, 본체(10) 내기가 각각의 기류 제어부(21"', 22"', 23"')로 인하여 효율적으로 본체(10) 외부로 배출될 수 있다.
도 10은 제 4 실시예의 변형례를 도시한 사시도이다.
도 10을 참조하면, 본체(10)에는 도어(40"')가 구비될 수 있다. 도어(40"')는 본체(10)의 일측에 구비되는 것으로서, 기류 제어부(21"', 22"', 23"')를 통해 구획된 본체(10) 내부 영역을 밀폐할 수 있다.
도어(40"')는 기류 제어부(21"', 22"', 23"')에 선택적으로 개폐 가능하게 구비될 수 있다. 구체적으로, 본체(10) 내기의 방출을 필요로 할 경우에는 도어(40"')를 개방하고, 본체(10)에 퍼지가스를 충전할 경우에는 도어(40"')를 폐쇄할 수 있다.
도어(40"')는 제1 내지 제3 기류 제어부(21"', 22"', 23"')의 개방부에 구비될 수 있고, 본체(10)의 외부에 별도로 구비될 수 있다. 또한, 도어(40"')를 개폐시키는 수단은, 본체(10)의 전방 개구부를 개방시키거나 밀폐시킬 수 있는 구성이면 이에 대한 한정은 없다.
제1 도어부(411"', 412"', 413"')와 구동부(431"', 432"', 433"')는 본체(10)의 우측에 구비되고, 구동부(431"', 432"', 433"')는 제1 도어부(411"', 412"', 413"') 및 제2 도어부(421"', 422"', 423"')를 본체(10)의 우측에서 좌측 방향으로 이동시킬 수 있다.
본체(10) 내기의 방출을 필요로 하여 도어(40"')를 개방할 경우, 제1 영역과 같이 구동부(431"')는 제1 도어부(411"')의 일측 및 제2 도어부(421"')를 감싸는 형태로 구비될 수 있다. 본체(10)에 퍼지가스를 충전하기 위하여 도어(40)를 폐쇄할 경우, 제2 영역과 같이 구동부(432"')는 제2 도어부(422"')를 본체(10)의 좌측 방향으로 이동시킬 수 있다. 즉, 구동부(432"')를 감싸고 있던 제2 도어부(422"')가 본체(10)의 개구부 측으로 이동될 수 있다. 구동부(433"')의 작동이 완료되면, 3 영역과 같이 제2 도어부(422"')가 본체(10)의 전방 개구부를 모두 가리는 위치에 제공될 수 있다. 이에 따라, 본체(10)는 도어(40"')를 통해 선택적으로 개방 또는 밀폐될 수 있다. 즉, 도어(40"')의 구비 여부에 따라, 본체(10) 내부 퍼지가스의 충전 및 방출이 동시에 수행될 수 있다.
이상 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 수납용기를 구체적인 실시 형태로서 설명하였으나, 이는 예시에 불과한 것으로서, 본 발명은 이에 한정되지 않는 것이며, 본 명세서에 개시된 기초 사상에 따르는 최광의 범위를 갖는 것으로 해석되어야 한다. 당업자는 개시된 실시형태들을 조합, 치환하여 적시되지 않은 형상의 패턴을 실시할 수 있으나, 이 역시 본 발명의 범위를 벗어나지 않는 것이다. 이외에도 당업자는 본 명세서에 기초하여 개시된 실시형태를 용이하게 변경 또는 변형할 수 있으며, 이러한 변경 또는 변형도 본 발명의 권리범위에 속함은 명백하다.
1, 1', 1", 1"': 웨이퍼 수납용기
10, 10': 본체 110, 110': 개구부
120, 120': 적재부 130, 130': 분사부
20, 20', 20", 20"': 기류 제어부
210, 210', 210", 210"': 몸체
220, 220', 220", 220"': 압축가스 주입부
230, 230', 230", 230"': 압축가스 배출부
240": 설치부재

Claims (21)

  1. 전방에 개구부를 포함하고, 웨이퍼가 수납되는 본체; 및
    상기 본체의 일측에 구비되는 기류 제어부를 포함하되,
    상기 기류 제어부는,
    내부가 빈 형태로 제공되는 몸체;
    상기 몸체의 일측에 제공되어 상기 몸체 내부에 압축가스를 주입하는 압축가스 주입부; 및
    상기 몸체 내부의 압축가스를 상기 몸체 외부로 배출하는 압축가스 배출부를 포함하며,
    상기 압축가스 배출부를 통해 상기 압축가스가 상기 기류 제어부의 후방에서 전방을 향하는 방향으로 배출되면, 상기 본체의 후방 영역에서 전방 영역으로 기류 흐름이 발생하고,
    상기 기류 제어부는 상기 개구부의 좌측 및 우측에 각각 제공되고,
    상기 본체는 내부로 퍼지가스를 분사하는 복수개의 분사부를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 수납용기.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 기류 제어부는 상기 본체에 분리 가능하게 결합되는 웨이퍼 수납용기.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 기류 제어부는 상기 본체와 별도로 제공되는 웨이퍼 이송 자동화 모듈(EFEM, Equipment Front End Module)에 분리 가능하게 결합되는 웨이퍼 수납용기.
  4. 삭제
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 기류 제어부는 상기 개구부의 상측 및 하측에 더 제공되고, 상기 개구부의 상측, 하측, 좌측, 및 우측에 제공되는 상기 몸체는 내부가 연통되도록 공간이 제공되는 웨이퍼 수납용기.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 몸체 내부의 상기 공간은 상기 압축가스가 유동하는 공간인 웨이퍼 수납용기.
  7. 제6 항에 있어서,
    상기 압축가스 배출부는 일부가 상기 공간 내부로 구부러진 형태로 제공되는 웨이퍼 수납용기.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 공간 내부의 상기 압축가스는 상기 압축가스 배출부를 따라 배출되고, 상기 압축가스는 상기 본체 내부의 퍼지가스와 함께 상기 개구부를 통해 상기 본체 외부로 배출되는 웨이퍼 수납용기.
  9. 삭제
  10. 삭제
  11. 삭제
  12. 삭제
  13. 전방에 개구부를 포함하고, 내부에 퍼지가스가 공급되는 본체; 및
    상기 본체의 일측에 구비되고, 상기 본체 내부로 압축가스를 공급하는 기류 제어부를 포함하되,
    상기 기류 제어부는,
    상기 본체 내부로 상기 압축가스를 배출하는 압축가스 배출부; 및
    내부가 빈 형태로 제공되고, 일측에 상기 압축가스 배출부가 형성되는 몸체를 포함하고,
    상기 기류 제어부는 상기 본체 내부의 후방보다 전방에 가까운 일측에 결합되고,
    상기 압축가스 배출부를 통해 상기 압축가스가 상기 기류 제어부의 후방에서 전방을 향하는 방향으로 배출되면, 상기 본체의 후방 영역에서 전방 영역으로 기류 흐름이 발생되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 수납용기.
  14. 삭제
  15. 제13 항에 있어서,
    상기 기류 제어부는 상기 본체의 개구부에 분리 가능하게 결합되는 웨이퍼 수납용기.
  16. 제1 항에 있어서,
    상기 기류 제어부는 상기 본체의 개구부 측에 설치부재를 통해 상기 본체와 소정 간격을 두고 제공되는 웨이퍼 수납용기.
  17. 제16 항에 있어서,
    상기 기류 제어부는 상기 설치부재를 통해 상기 본체에 직접 결합되거나, 설치 위치의 지면 또는 천장에 설치되는 웨이퍼 수납용기.
  18. 제1 항에 있어서,
    상기 본체 내부에 차단부가 구비되고, 상기 본체 내부는 상기 차단부를 통해 복수개의 영역으로 구획되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 수납용기.
  19. 제18 항에 있어서,
    상기 복수개의 영역에 각각 기류 제어부가 구비되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 수납용기.
  20. 제18 항에 있어서,
    도어가 구비되고, 상기 도어는 상기 복수개의 영역의 전방을 선택적으로 개폐 가능한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 수납용기.
  21. 전방에 개구부를 포함하고, 웨이퍼가 수납되는 본체; 및
    상기 본체의 일측에 구비되는 기류 제어부를 포함하고,
    상기 본체는,
    상기 웨이퍼가 기 설정된 거리를 두고 복수개 적재되고, 내부에 퍼지가스가 채워지며,
    상기 기류 제어부는,
    내부가 빈 형태로 제공되는 몸체; 및
    상기 본체의 전방에서 후방으로 갈수록 상기 몸체 내부로 구부러진 형태로 형성되는 압축가스 배출부를 포함하고,
    상기 기류 제어부는 상기 본체 내부의 후방보다 전방에 가까운 일측에 결합되고,
    상기 압축가스 배출부를 통해 상기 몸체 내부의 압축가스가 상기 기류 제어부의 후방에서 전방을 향하는 방향으로 배출되며,
    상기 본체 내기의 흐름이 상기 웨이퍼와 수평 방향으로 형성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 수납용기.
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