TWI409903B - A substrate storage container and a check valve - Google Patents

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Description

基板收納容器以及逆止閥
本發明是關於一種基板收納容器以及安裝於基板收納容器的逆止閥，其使用於對半導體晶圓、光罩玻璃等機密基板等進行收納、運送、搬運和保管等。
近年來，進入到半導體零件的細微化和配線的狹間距化。因此，對於收納半導體晶圓(精密基板)的基板收納容器，便要求防止精密基板污染的高密閉性以及處理的自動化。這樣的機密基板收納容器，眾所知曉的是具備利用於氣體清除(gas purge)時的逆止閥(例如，參考專利文件1-3)。
第16圖為繪示習知在基板收納容器的逆止閥的立體分解圖。如圖16所示，在習知的基板收納容器中，貫通孔51a形成在收納基板的容器本體的壁體51，貫通孔51a中裝有氣體清除時所利用的逆止閥52。此逆止閥52具備閥體53和圓筒狀殼體54，其中閥體53具有圓環狀的密封面，殼體54用來收容閥體53。殼體54具有配置在容器本體內面側的保持筒55以及配置在容器本體外面側的固定筒56，螺絲部55a、56a形成於保持筒55的外面側和固定筒56的內面側。接著，以挾持壁體51的方式來配置保持筒55和固定筒56，藉由彼此螺合，形成殼體54並固定在壁體。
專利文件1：特開2004-146676號公報
專利文件2：特開2004-179449號公報
專利文件3：特開2002-521189號公報
但是，在上述專利文件1和2所記載的習之技術中，因為在逆止閥組裝時，保持筒55和固定筒56彼此螺合，其組裝作業複雜，而有簡化組裝作業的要求。另外，因為逆止閥是通過螺絲結合而安裝到容器本體，需要進行安裝扭矩(torque)的管理，但在安裝扭矩的管理上會有費工夫的問題。
本發明為用來解決上述課題，提供一種逆止閥和具備該逆止閥的基板收納容器，其無安裝扭矩之管理的必要性，並且達到組裝作業的簡化。
本發明提供一種基板收納容器，其具備容器本體，以收納基板；以及逆止閥，其具有圓筒狀的殼體和配置在該殼體內的閥體，控制對該容器本體之內外的氣體流通，其中該殼體裝入到該容器本體的貫通孔中。以容器本體的內部側做為前端側。逆止閥具備固定環，其中固定環裝配在後端側且相對於殼體進行相對旋轉，並且從後側將殼體固定到容器本體上。殼體更包括：第一殼體，配置在前端側；以及第二殼體，前端部插入第一殼體內，且安裝在第一殼體上。第一殼體更包括：固定片，從後端部往後側突出；固定爪，形成在固定片的後端部，固定一固定環。固定環更包括：側壁部，為圓筒狀且裝配在第一殼體的外側；帽 緣部，從側壁部向外側突出。在側壁部的內周面上，設置導引凹部，沿軸方向延伸，以導引固定爪；緣端部，往內側突出，並且與固定片接觸；鉤部，從緣端部往周方向彎曲，並且與固定片結合。
根據這種基板收納容器，以容器本體的內面側為前端側，具備控制對容器本體內外的氣體流通之逆止閥。此逆止閥之殼體具備配置在前端側的第一殼體以及配置在後端側的第二殼體。再者，基板收納容器具備固定環，從殼體後方裝配，可對於殼體進行相對旋轉，將逆止閥固定在容器本體。藉此，根據固定環，因為可以將逆止閥固定在容器本體，不需要類似以前以螺絲來固定，也不需要進行安裝扭矩的管理。另外，因為具備將固定環固定到第一殼體的固定片和固定爪，藉由押入固定環，可以確實地將逆止閥固定在容器本體上。另外，固定環因為具備往外側突出的帽緣部，藉由使該帽緣部與容器本體接觸，可以穩定並固定逆止閥。另外，固定環因為在第一殼體外側所裝配的圓筒狀側壁部上具備將固定爪沿軸方向導引的導引凹部，可以將固定環平滑地裝配到第一殼體，以謀求組裝作業效率的提升。另外，在固定環側壁部的內周面上設置：往內側突出且可以和固定片接觸的緣端部，以及從該緣端部向周方向彎曲且與固定片結合的鈎部，故藉由將固定環裝配並固定到固定片上，並且使固定環對殼體旋轉，可以將固定環的鈎部與殼體的固定片結合。
在此，較佳而言，逆止閥更具備定位部，將第二殼體 定位到第一殼體；以及結合部，使第二殼體結合到第一殼體。藉此，可以利用定位部，將第二殼體定位到第一殼體，並且可以利用結合部，使第二殼體結合到第一殼體。因此，在組裝第一殼體和第二殼體時，不需要類似以前的螺絲結合，可以達成組裝作業的簡化。
另外，較佳而言，第二殼體更包括：折返突緣部，由前端部側折返，接觸到第一殼體的內周面的整個周緣，而結合部更包括：固定凹部，形成在該第一殼體的內周面上；以及固定突起，形成在第二殼體的折返突緣上，並與固定凹部結合。藉此，藉由將第二殼體押入第一殼體，可以使在第一殼體內周面上形成的固定凹部和在第二殼體之折返突緣上形成的固定突起彼此結合。因此，可以達成組裝作業的簡化。
另外，較佳而言，定位部更包括：定位凹部，形成在第一殼體的後端；以及定位凸部，形成在第二殼體的折返突緣，並且與定位凹部結合。藉此，利用形成在第一殼體後端的定位凹部以及形成在第二殼體之折返突緣的定位凸部，可以進行第二殼體對第一殼體之定位。
另外，較佳而言，閥體做成圓柱狀，並且包括端部，形成有一環狀密封面；環狀帽緣部，形成環狀彈性面，彈性面是藉由彈性裝置來賦予恢復力；以及另一端部，在徑方向上形成有排氣凹部，可流通該氣體。環狀密封面和環狀彈性面大致上同心，環狀彈性面的外徑大於等於環狀密封面的外徑。藉此，因為由彈性裝置賦予恢復力的環狀彈 性面的外徑大於等於閥體之環狀密封面的外徑，可以防止閥體的傾斜並且確實地封住氣體。另外，因為在與形成有密封面的一端為相反側的另一端部上，在徑方向上形成可以流通氣體的排氣凹部，所以即使在另一端與平坦面接觸的場合，在排氣凹部內的氣體還是可以流通。因此，在與密封面相反側上不用形成不需要的密封面。此外，在彈性裝置和環狀帽緣部接觸的部分為值線的場合，以此線狀接觸部分做為彈性面，而以此現狀接觸部分的徑做為「彈性面的外徑」。
本發明更提出一種逆止閥，其裝入到用來收納基板的基板收納容器的容器本體的貫通孔中，以控制對基板收納容器內外之氣體的流通。以容器本體的內部側做為前端側。逆止閥包括：圓筒狀殼體，裝配在貫通孔中；閥體，收容在殼體內；以及固定環，裝配在殼體的後端側，可相對於殼體做相對旋轉，並且從後方將殼體固定到容器本體上。殼體更包括：第一殼體，配置在前端側；第二殼體，前端部插入第一殼體內，且安裝在第一殼體上。第一殼體更包括：固定片，從後端部往後側突出；固定爪，形成在固定片的後端部，以固定固定環。固定環更包括：側壁部，為圓筒狀且裝配在第一殼體的外側；帽緣部，從側壁部向外側突出。在側壁部的內周面上，設置：導引凹部，沿軸方向延伸，以導引固定爪；緣端部，往內側突出，並且與固定片接觸；鉤部，從緣端部往周方向彎曲，並且與固定片結合。
根據這種逆止閥，容器本體的內面側做為前端側，圓筒狀的殼體具備：配置在前端側的第一殼體以及配置在後端側的第二殼體。再者，基板收納容器具備固定環，從殼體後方裝配，可對於殼體進行相對旋轉，將逆止閥固定在容器本體。藉此，因為可以利用固定環將逆止閥固定在容器本體，不需要類似以前以螺絲來固定，也不需要進行安裝扭矩的管理。另外，因為具備將固定環固定到第一殼體的固定片和固定爪，可以確實地將逆止閥固定在容器本體上。另外，固定環因為具備往外側突出的帽緣部，藉由使該帽緣部與容器本體接觸，可以穩定並固定逆止閥。另外，固定環因為在第一殼體外側所裝配的圓筒狀側壁部上具備將固定爪沿軸方向導引的導引凹部，可以將固定環平滑地裝配到第一殼體，以謀求組裝作業效率的提升。另外，在固定環側壁部的內周面上設置：可以和往內側突出之固定片接觸的緣端部，以及從該向周方向彎曲且與固定片結合的鈎部，故藉由將固定環裝配並固定到固定片上，並且使固定環對殼體旋轉，可以將固定環的鈎部與殼體的固定片結合。
較佳而言，逆止閥更包括：定位部，將第二殼體定位到第一殼體；以及結合部，使第二殼體結合到第一殼體。可以利用定位部，將第二殼體定位到第一殼體，並且可以利用結合部，使第二殼體結合到第一殼體。因此，在組裝第一殼體和第二殼體時，不需要類似以前的螺絲結合，可以達成組裝作業的簡化。
根據本發明的話，可以提供一種逆止閥和具備該逆止閥的基板收納容器，其無安裝扭矩之管理的必要性，並且達到組裝作業的簡化。
為讓本發明之上述內容能更明顯易懂，下文特舉一較佳實施例，並配合所附圖式，作詳細說明如下：
以下參考圖面來說明本發明之基板收納容器以及逆止閥的實施例。本實施例的基板收納容器具備做為逆止閥的供氣閥和排氣閥。另外，在圖式的說明中，相同或相當的元件賦予相同的符號，並省略重複的說明。第1圖繪示本發明實施例之具備供氣閥和排氣閥的基板收納容器的分解立體圖，第2圖為第1圖所示之基板收納容器的底面圖。
第1圖所示的基板收納容器1是例如是被使用作為對多數枚(如25、26枚)之口徑300mm(約12英吋)的半導體晶圓(基板，未繪出)進行收納、運送、搬運、保管等的基板收納容器。此基板收納容器是所謂的前開箱式(front open box type)容器，具備收納基板的容器本體2和設置在容器本體2之覆蓋開口部的蓋體4。另外，在本說明書中，將形成開口部的面(蓋體4所配置的面)定為「容器本體2的前面」，定出使用表示「前」、「後」、「左」、「右」等方向的用語。
容器本體2做成箱型，在圖示左側面上形成開口部，以進出基板。容器本體2彼此相對的一對側壁2a的內面上，分別設置支持部，在上下方向上水平並列地支持住多數個基板。另外，參考圖3，在容器本體2的底壁2c上，形成多數個(在本實施例是2個)貫通孔2d，以貫通內外。在這些貫通孔2d的周緣上，以圓筒狀的肋10往下方突出的方式來形成。另外，在容器本體2的頂板上，設置天板搬運用的機械把手2b。
蓋體4是透過對容器本體2和蓋體4間進行密封的密封用氣門，閉鎖住開口部。此蓋體4內藏有閂鎖機構，其固定在容器本體2的開口部上。在蓋體4的正面側(基板收納容器的外面側)上，形成操作孔4a，用以插入操作匙，以操作閂鎖機構。將操作匙插入此操作孔4a，使之旋轉±90度，可以使閂鎖機構的固定爪從蓋體4往容器本體2側進出。插入操作匙並且逆時鐘轉90度，從閂鎖機構的固定爪往容器本體2側突出並固定的位置，進入蓋體4側，藉此成為可以將蓋體4從容器本體2取出的狀態。另一方面，在將蓋體4安裝到容器本體2的場合，將固定爪進入內部的狀態的蓋體4安裝到容器本體2，使操作匙順時鐘轉90度，讓閂鎖機構的固定爪突出，藉此可以讓蓋體4固定到容器本體2。另外，在蓋體4的背面側(基板收納容器的外面側)上，設置保持器，以在上下方向上水平地並列支持多數個基板。
如圖2所示，底板7固定在容器本體2的底壁2c(底部)的外面側上。此底板7從外面側覆蓋底壁2c，並具有 定位部材7a，對基板收納容器1所適用的加工裝置等進行定位。另外，底板7上形成開口7b，以使供氣閥8、排氣閥9暴露到外部。此開口7b形成在與容器本體2的貫通孔2d相對應的位置上。
另外，如上所述，基板收納容器1具備供氣閥8和排氣閥9，以控制對容器本體2內外之氣體流通。這些供氣閥8和排氣閥9是置換基板收納容器1內之氣體時所使用的。供氣閥8的功能是做為將氣體供給到內部時所使用的供給側開關閥。排氣閥9的功能是做為將氣體排放到外部時所使用的排放側開關閥。
接著，說明供氣閥8和排氣閥9(以下在指供氣閥8和排氣閥9兩者的場合，均稱違逆止閥8、9)。第3圖繪示第1圖的供氣閥的分解立體圖。第4圖繪示關閉狀態的供氣閥的剖面圖。第5圖繪示開啟狀態的供氣閥的剖面圖。第6圖繪示第3圖中殼體的側面圖。第7圖繪示第6圖之殼體的平面圖。第8圖繪示第6圖所示之殼體的底面圖。第9圖為顯示固定環在固定狀態之殼體的底面圖。圖10顯示固定環在非固定狀態之殼體的底面圖。圖11繪示第3圖之閥體的側面圖。圖12繪示第1圖之排氣閥的分解立體圖。第13圖繪示關閉狀態的排氣閥的剖面圖。第14圖繪示開啟狀態的排氣閥的剖面圖。第15圖繪示第12圖之閥體的側面圖。另外，在供氣閥8和排氣閥9的說明中，以容器本體2的內面側做為前端側。
如第3圖至第6圖和第12圖至第14圖所示一般， 逆止閥8、9具備圓筒狀的殼體11。此殼體11具備固定筒(第一殼體)12和閥體收納筒(第二殼體)14，其中固定筒12配置在前端側並且固定在底壁2c上，閥體收納筒14配置在後端側以收納閥體13、23。閥體收納筒14對於供氣閥為收納閥體13，對於排氣閥9則收納閥體23。殼體11除了閥體13、23外，還收納圓形濾器15、鎖住濾器15的濾器壓扣16、賦予閥體13、23彈性恢復力的壓縮線圈彈簧(彈性力施加裝置)17、○型環18、21。另外，逆止閥8、9具備將殼體11固定在容器本體2上的固定環19。此外，供氣閥8和排氣閥9的差異點是在於閥體13、23的不同，以及○型環18、閥體13、23以及壓縮線圈彈簧17的配置是相反的。
固定筒12做成圓筒狀，且如第7圖所示，在固定筒12的其中一端部(前端部)上，形成由格子狀的窗框12a圍繞成的多數個窗格。該些格子狀窗框12a所形成的其中一端部是配置在容器本體2的內面側。在供氣閥8，通過該些窗格，氣體流入容器本體2內；在排氣閥9，則通過該些窗格，氣體流出容器本體2外。另外，在固定筒12的其中一端部上，往外側突出的帽緣部12b形成在整周上。
另外，在固定筒12之圓筒狀側壁12c的內周面上，如第3、6、8與12圖所示，形成多數個固定凹部12d。此固定凹部12d與閥體收納筒14之後述的固定突起(固定部)14b結合。另外，在側壁12c的外面，沿著帽緣部12b的根部，形成溝部12f，以安裝○型環20。
另外，在固定筒12的側壁的12c的其他端部(後端部)上，形成多數個定位凹部(缺口)12e。此定位凹部12e是以從側壁12c的後端向前凹的方式來形成。
另外，在固定筒12之側壁12c的其他端部上，形成向後方突出的多數個(本實施例為4個)固定片12g。固定片12g在周緣方向上以等間隔配置。其次，在此固定片12g的後端，設置往徑方向外側突出的固定爪12i。固定片12g具有可撓性，固定爪12i從內側固定柱固定環19。
濾器15配置在固定筒12內的其中一端部側，為防止對容器本體2內的污染物質侵入。做為濾器15，可以舉出例如是由四氟化乙烯、聚酯繊維、多孔質鐵氟籠膜(商品名稱：多孔直氟素樹脂膜)、玻璃纖維等所形成的分子過濾濾器、在活性碳纖維等濾材上加入化學吸收劑的化學濾器。此外，濾器15可以使用一枚，也可以使用多數枚。另外，也可以使用多數種類的濾器15。例如，利用組合分子過濾濾器和化學濾器，可以防止容器本體2內之基板的微粒污染，除此之外也可以防止有機氣體造成的污染。
濾器壓扣16具有圓盤部16a以及從該園盤部16a往外側(後方)延伸的圓筒部16b。此圓盤部16a與濾器15的大小大致相同，相對於固定筒12的窗框12a將濾器15往內側押壓。另外，圓盤部16a和圓筒部16b配置在同軸上，在圓盤部16a之圓筒部16b的根部上，形成多數個貫通孔16c，其貫通圓盤部16a的板厚方向。通過殼體11內的氣體則通過貫通孔16c。另外，圓筒部16b的內部為 封閉，且氣體無法通過的結構。
如第11圖和第15圖所示，閥體13、23做成圓柱狀，並且在其中一端面13a、23a上，形成環狀的溝部，以裝配○形環18。在裝配於閥體13、23的狀態下，○形環18是由閥體13、23的其中一端面13a、23a向外側突出。通過此○形環18，形成環狀的密封面18a。在閥體13、23的另一端面13b、23b上，可讓氣體流通的排氣凹部13c、23c設置在徑方向。
另外，在閥體13、23的周面上，形成往外側突出的環狀帽緣部13e、23e。此環狀帽緣部13e、23e的其他端部13b、23b側的面形成由壓縮線圈彈簧17所提供恢復力的環狀彈性面13f、23f。閥體13、23、壓縮線圈彈簧17、○型環18大致配置在同軸L上，環狀彈性面13f、23f的外徑D1大於環狀密封面21a的外徑D2。
另外，在閥體13、23的周面上，往環狀帽緣部13e、23e突出的導肋(guide rib)13g、23g，在周緣方向上等間隔地設置多數個。導肋13g、23g以與閥體13、23的周面和環狀帽緣部13e、23e交錯的方式來形成；由側面來看，構成三角形，並且以從其他端部13b、23b側向環狀帽緣部13e、23e，在徑方向越大的方式來設置。利用此導肋13g、23g，可以導引壓縮線圈彈簧17，故壓縮線圈彈簧17與閥體13很容易配置在同軸上。
另外，在閥體13，圓形開口部13d以從其他端部13b在軸方向延伸的方式來形成。濾器壓扣16的圓筒部16b 插入開口部13d中。另一方面，在閥體23，圓形開口部23d以從其中一端部23a在軸方向延伸的方式來形成。濾器壓扣16的圓筒部16b插入開口部23d中。這些閥體13、23裝配在濾器壓扣16的圓筒部16b中，構成可以在軸方向L上滑動的結構。
閥體收納筒14做成圓筒狀，並設計成可收容閥體13、23的大小。如第4圖至第6圖以及第14圖至第15圖所示，在其中一端部外側的周緣部，形成落差部以裝配○型環。另外，閥體收納筒14具有折返突緣部14a，其從其中一端部(前端部)折返，並且在固定筒12內周面上跨越整圈並接觸。亦即，折返突緣部14a插入到固定筒12內，折返突緣部14a的外周面與固定筒12的側壁12c內周面接觸。
另外，如第6圖所示，在折返突緣部14a的外周面上，在與固定筒12的固定凹部12d對應的位置上，設置固定突起14b(參考第6圖)。固定突起14b由折返突緣部14a向外側突出，可與固定凹部12d結合。藉由固定筒12的固定凹部12d以及閥體收納筒14的固定突起14b，構成本發明的固定部，其使閥體收納筒14固定到固定筒12上。
另外，如第8圖所示，在折返突緣部14a的後端部設置定位凸部14c，其結合到固定筒12的定位凹部12e。定位凸部14c由側面來看是做成L型，而且從折返突緣14a的後端部往後方突出，且由其後端向外側突出。藉由 固定筒12的定位凹部12e以及閥體收納筒14的定位凸部14c，構成本發明的定位部，以進行閥體收納筒14對固定筒12的定位。
在閥體收納筒14的另一端部上，形成往內側突出的帽緣部14d。此帽緣部14d的內面為平坦面。在閥體收納筒14的另一端面，被帽緣部14d圍繞的開口部是氣體通過的通氣口14e。在供氣閥8，通過該通氣口14e，氣體流入到殼體11內；在排氣閥9，通過該通氣口14e，氣體流出於殼體11外。
如第3圖至第5圖所示，固定環19具有圓筒狀側壁部19a以及從該側壁部19a之後端往外側突出的帽緣部19b。此側壁部19a的內徑比固定筒12之側壁12c的外徑大。側壁部19a可裝配在固定筒12的側壁12c的外側。固定環19為從後方裝配到固定筒12。
如第9圖和第10圖所示，在側壁部19a的內面，形成導引凹部19c，其當固定環19裝配到固定筒12上時，導引固定爪12i。導引凹部19c在對應固定爪12i的位置，沿著軸方向延伸。另外，導引凹部19c在固定環19的後端附近，具有傾斜面。此傾斜面隨著往後方，往內側傾斜。當將固定環19裝配在固定筒12時，固定爪12i被導引凹部19c引導，傾斜面與固定爪12i接觸，藉此固定片12g在內側撓曲。當固定抓12i通過傾斜面，固定爪12i變成從固定環19的後端突出的狀態，固定片12g則復原。此時，固定環19成為被固定爪12i由內側固定的狀態，固 定環19之往後方的移動被限制住。另外，在第10圖中，導引凹部19c配置在與固定爪12i重疊的位置上。
如第4圖和第5圖所示，帽緣部19b是以和固定筒12的帽緣部12b相對的方式橫跨整周來形成。此固定環19的帽緣部19b和固定筒12的帽緣部12b藉由挾住容器本體2的底壁2c和肋10，得以將殼體11固定在容器本體2上。
另外，如第9圖和第10圖所示，固定環19具有緣端部19d，其向內側突出並且可與固定片12g接觸。緣端部19d做成板狀，設置多數個，以與固定筒12的固定片12g相對應。在將固定環19裝著於固定筒12上並使其在周方向(在本實施例為右方向)上旋轉的場合，固定片12g和緣端部19d接觸，可以限制住對固定環19之周方向的移動。
另外，固定環19具有鉤部19e，其從緣端部19d向周方向(本實施例為左方向)彎曲，而與固定片12g結合。鉤部19e做成板狀，從緣端部19d的端部彎曲，沿周方向延伸。鉤部19e具有突部，其在周方向上的大小做成與固定片12g的寬度相對應。並且可由內側和固定片12結合。在固定環19與固定筒12結合的狀態，固定片12g在徑方向上被側壁部19a和鉤部19e所挾持，而在周方向上被緣端部19d和鉤部19e所挾持。
另外，逆止閥8、9的材質例如是巨碳酸酯、聚苯乙烯、聚乙烯、環烯烴聚合物、聚甲醛、聚醚醯亞胺等之樹 脂，較佳是從這些樹之中適當地選擇以形成逆止閥8、9。另外，構成殼體11的固定筒12和閥體收納筒14較佳是由透明樹脂所形成，以便得以確認內部狀況。另外，○形環18、20、21的材質例如是三聚氰胺樹脂橡膠、異戊二烯橡膠、丁基橡膠、矽橡膠、氟素橡膠等的橡膠、聚酯系熱可塑性彈性體、聚烯烴系彈性體等的各種熱可塑性彈性體。另外，壓縮線圈彈簧17的材質例如是不鏽鋼等的金屬、樹脂等。在應用金屬製的壓縮線圈彈簧17的場合，為了防止金屬成分對容器本體2內的污染，較佳是在金屬的表面上施加使用PEEK等之樹脂成分的鍍膜、使用彈性體的鍍膜、類鑽石鍍膜等。
接著，說明這種結構之基板收納容器1的供氣閥8和排氣閥的組裝。首先，將固定筒12的另一端部側(固定爪12i側)朝向上方，將濾器15、濾器壓扣16插入固定筒12內。
接著，在供氣閥8，將裝配有壓縮線圈彈簧17和○形環18的閥體13配置到濾器壓扣16上。具體來說，將壓縮線圈彈簧17配置在濾器壓扣16和閥體13之間，將濾器壓扣16的圓筒部16b插入到閥體13的開口部13d內。
另一方面，在排氣閥9，將裝備有○形環18的閥體23、壓縮彈簧線圈17配置在濾器壓扣16上。具體來說，使濾器壓扣16的圓筒部16b插入到閥體23的開口部23d，從閥體23的拎一端部23b側裝配壓縮線圈彈簧17。
接著，準備裝配有○型環21的閥體收納筒14，裝配到固定筒12。具體來說，如第6圖所示，閥體收納筒14的定位凸部14c對準固定筒12的定位凹部12e，將閥體收納筒14押入固定筒12，將閥體收納筒14的固定突起14b嵌入固定筒12的固定凹部12d。閥體收納筒14的折返突緣14a之外周面成為與固定筒12之側壁12c的內周面接觸的狀態。另外，濾器15、濾器壓扣16的圓盤部16a藉由閥體收納筒14的其中一端部，押觸到固定筒12的窗框12a而固定之。
如第4圖所示，供氣閥8成以下狀態，壓縮線圈彈簧17的一端部與濾器壓扣16的圓盤部16a接觸，壓縮線圈彈簧17的另一端部與閥體13的環狀帽緣部13b接觸。閥體13由壓縮線圈彈簧17賦予恢復力，裝配在閥體13的○型環18與閥體收納筒14的帽緣部14d內面接觸。○型環18的密封面形成為大於通氣口14e的外徑，以圍繞閥體收納筒14的通氣口14e。藉此，可以維持容器本體2的密閉狀態。
另一方面，在排氣閥9，如第13圖所示，壓縮線圈彈簧17的一端部與閥體23的環狀帽緣部23b接觸，壓縮線圈彈簧17的另一端部與閥體收納筒14的帽緣部14d內面接觸。閥體23藉由壓縮線圈彈簧17而被賦予恢復力，裝配在閥體23上的○型環12與濾器壓扣16的圓盤部16b接觸。○型環18的密封面形成為大於多數個貫通孔16c的外側，以圍繞濾器壓扣16之多數個貫通孔16c 的外側。藉此，可以維持容器本體2的密閉狀態。
在此，排氣閥9的通氣口14e可以形成為大於排氣閥8之通氣口14e。藉此，可以容易地區分攻氣閥8和排氣閥9。另外，通氣口14e沒有被密封面閉鎖的排氣閥9，因為清洗時清洗液會侵入閥體收納筒14內，藉由做大通氣口14e，清洗後的去除水分和乾燥效率得以提高。
接著說明殼體11對容器本體2的固定。首先，如第4圖、第5圖、第13圖和第14圖所示，將○型環20裝配在固定筒12的溝部12f。接著，將固定筒12裝配在容器本體2的底壁2c的貫通孔2d中。具體來說，將固定筒12的另一端部由容器本體2的內面側插入到貫通孔2d。之後，使固定筒12的帽緣部12b接觸到貫通孔2d的周緣。此時，固定筒12之固定爪12i成為從肋10向外側突出的狀態。
接著，將固定環19從容器本體2的外面側裝配到固定筒12的固定爪12i。具體來說，如第10圖所示，將固定環19的導引凹部19c配置到與固定筒12之固定爪12i對應的位置上，並且將固定環19押入到固定筒12。固定爪12i是由導引凹部19c所導引，並與固定環19之帽緣部19b的內側周緣結合。接著，使固定環19相對於固定筒12做相對旋轉，使固定筒12之固定片12g與固定環19的緣端部19d接觸。在此狀態下，固定環19之鉤部19e結合到固定片12g，固定環19的移動便被限制住。於是成為固定環19的帽緣部19b和肋10的端部接觸的狀態。 亦即，藉由固定筒12的帽緣部12b和固定環19的帽緣部19b，挾住容器本體2的底壁2c以及肋10，而殼體11便確切地固定到容器本體2上。以此方式，因為使用固定環19，將殼體11固定到容器本體2上，故不需要類似以前利用螺絲來固定，也不需要進行安裝扭矩的管理。
接著說明供氣閥8的動作。在平時，供氣閥8是如第4圖所示，閥體13押觸於閥體收納筒14的帽緣部14d，成為關閉狀態。當供應氣體到容器本體2內的時候，藉由氣體的壓力，閥體13抵抗壓縮線圈彈簧17而移動，如第5圖所示，供氣閥8成為開啟狀態。供給到容器本體2內的氣體是經由供氣口14e，流入殼體11內，並通過濾器壓扣16的貫通孔16c、濾器15。被濾器15去除雜質的氣體，通過固定筒12的窗，而提供到容器本體2內。當供給的氣體壓力降低，閥體13會因壓縮線圈彈簧所賦予的恢復力而移動，供氣閥8成為關閉狀態。
接著，說明排氣閥9的動作。在平常，如第13圖所示，排氣閥9之閥體23押壓在濾器壓扣16的圓盤部16a，成為關閉狀態。當氣體排出容器本體2外時，利用氣體的壓力，閥體23抵抗壓縮線圈彈簧17而移動，而如第14圖所示一般，排氣閥9成為開啟狀態。排放到容器本體2外的氣體經由固定筒12的窗，通過濾器15和濾器壓扣16的貫通孔16c。通過貫通孔16c的氣體流入閥體收納筒14內，經由通氣口14e排出。當容器本體2內的氣體壓力下降，閥體23藉由壓縮線圈彈簧賦予彈性而移動，排 氣閥9成為關閉狀態。
在這種基板收納容器1，因為具備供氣閥8和排氣閥9，可以進行較好的排氣。另外，供氣閥8和排氣閥9的殼體11具備固定筒12和閥體收納筒14，這些固定筒12和閥體收納筒14具有定位凹部12e和定位凸部14c。因此，可以容易地進行相對於固定筒12之體收納筒14的定位，且可以效率良好的組合供氣閥8及排氣閥9。另外，因為固定筒12和閥體收納筒14具備固定凹部12d和固定突起14b，可以將閥體收納筒14係止於固定筒12。藉此，不需要像以前的方式，以螺絲來結合殼體11。此外，基板收納容器1的供氣閥8和排氣閥9因為使用固定環19，得以將殼體11固定在容器本體2，所以不需要像以前的方式，以螺絲來固定。因此，由於不需要像以前利用螺絲來結合，故不需要進行安裝扭矩的管理。結果，達到組裝作業的簡化。
另外，固定筒12因為具備用來固定固定環19的固定片12g和固定爪12i，所以可以確實地將固定環19固定在固定筒12。另外，固定環19因為具備往外側突出的帽緣部19b，藉由使帽緣部19b和容器本體2的貫通孔2d的周緣接觸，殼體11得以穩定且固定在容器本體2上。另外，因為固定環19的側壁部19a的內周面上設置引導固定爪12i移動的導引凹部19c，故可以將固定環19平順地裝配在固定筒12上。通過此方式，可以讓組裝作業的效率更進一步地提升。另外，在固定環19的側壁部19a 的內周面上，因為設置有向內側突出且可與固定片12g接觸的緣端部19d，以及由緣端部19d沿周緣向彎曲且固定於固定片12g的鉤部19e，故藉由將固定環19裝配在固定片12g上，使固定環19對固定筒12旋轉，可以讓固定環19的鉤部19e固定在固定筒12的固定片12g。
另外，因為由壓縮線圈彈簧17所賦予彈性的環狀彈性面13f、23f的外徑D1大於閥體13、23的環狀密封面18a的外徑D2，故可以防止閥體13、23的傾斜，並且可確實地密封住氣體。此外，因為與形成密封面18a的其中一端部13a、23a相反側的另一端部13b、23b上，沿徑方向形成可讓氣體流通的排氣凹部13c、23c，故在其他端部13b和濾器壓扣16的圓盤部16a接觸的場合，即使是另一端部23b和閥體收納筒14的帽緣部14b接觸的場合，也可以藉由排氣凹部13c、23c，使氣體得以流通。因此，可以防止在與密封面18a的相反側上形成不需要的密封面。
上面依據實施例來具體說明本發明，但是本發明並不侷限在上述實施例。在上述實施例中，本發明的基板收納容器的收納物做為基板，但是所收納的基板並不限定在半導體晶圓，也可以是光罩玻璃等的其他基板。
另外，在上述實施例中，其結構具備底板7，但是也可以是不具備底板7的結構。
另外，在上述實施例中，使用壓縮線圈彈簧17做為彈性裝置，但是也可以使用如板彈簧、源於各種熱可塑性 彈性體的各種橡膠等。另外，不鏽鋼和樹脂等可舉做為板彈簧材質的例子。
另外，在上述實施例中，環狀彈性面的外徑D1大於環狀密封面18a的外徑D2，但也可以是彈性面的外徑D1小於密封面18a的外徑D2。但是，彈性面的外徑D1超過密封面18a的外徑D2是較佳的。
本發明提供一種逆止閥和具備該逆止閥的基板收納容器，其無安裝扭矩之管理的必要性，並且達到組裝作業的簡化。
綜上所述，雖然本發明已以一較佳實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明。本發明所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作各種之更動與潤飾。因此，本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。
1‧‧‧基板收納容器
2‧‧‧容器本體
2a．．．側壁
2c．．．底壁
2d．．．貫通孔
4．．．蓋體
4a．．．操作孔
7．．．底板
7a．．．定位部材
7b．．．開口
8．．．供氣閥(逆止閥)
9．．．排氣閥(逆止閥)
10．．．肋
11．．．殼體
12．．．固定筒(第一殼體)
12a．．．窗框
12b．．．帽緣部
12c．．．側壁
12d．．．固定凹部
12e．．．定位凹部(缺口)
12f．．．溝部
12g．．．固定片
12i．．．固定爪
13、23．．．閥體
13a、23a．．．端面
13b、23b．．．其他端部
13c、23c．．．排氣凹部
13e、23e．．．環狀帽緣部
13f、23f．．．彈性面
13g、23g．．．導肋
14．．．閥體收納筒(第二殼體)
14a．．．折返突緣部
14b．．．固定突起(固定部)
14c．．．定位凸部
14d．．．帽緣部
14e．．．通氣口
15．．．圓形濾器
16．．．濾器壓扣
16a．．．圓盤部
16b．．．圓筒部
16c．．．貫通孔
17．．．壓縮線圈彈簧
18、20、21．．．O型環
18a．．．密封面
19．．．固定環
19a．．．側壁部
19b．．．帽緣部
19c．．．導引凹部
19d．．．緣端部
19e．．．鉤部
51‧‧‧壁體
51a‧‧‧貫通孔
52‧‧‧逆止閥
53‧‧‧閥體
54‧‧‧殼體
55‧‧‧保持筒
56‧‧‧固定筒
55a、56a‧‧‧螺絲部
第1圖繪示本發明實施例之具備供氣閥和排氣閥的基板收納容器的分解立體圖。
第2圖繪示第1圖之基板收納容器的底面圖。
第3圖繪示第1圖中供氣閥的分解立體圖。
第4圖繪示關閉狀態下之供氣閥的剖面圖。
第5圖繪示開啟狀態下之供氣閥的剖面圖。
第6圖繪示第3圖中殼體的側面圖。
第7圖繪示第6圖所示之殼體的平面圖。
第8圖繪示第6圖所示之殼體的底面圖。
第9圖繪示固定環在結合狀態下之殼體的底面圖。
第10圖繪示固定環不在結合狀態下之殼體的底面圖。
第11圖繪示第3圖中閥體的側示圖。
第12圖繪示第1圖中排氣閥的分解立體圖。
第13圖繪示關閉狀態下的排氣閥的剖面圖。
第14圖繪示開啟狀態下的排氣閥的剖面圖。
第15圖繪示的12圖中閥體的側面圖。
第16圖繪示在習知基板收納容器之逆止閥的分解立體圖。
2c．．．底壁
2d．．．貫通孔
8．．．供氣閥(逆止閥)
10．．．肋
11．．．殼體
12．．．固定筒(第一殼體)
12b．．．帽緣部
12d．．．固定凹部
12e．．．定位凹部(缺口)
12f．．．溝部
12g．．．固定片
12i．．．固定爪
13．．．閥體
14．．．閥體收納筒(第二殼體)
14a．．．折返突緣部
14b．．．固定突起(固定部)
14c．．．定位凸部
14e．．．通氣口
15‧‧‧圓形濾器
16‧‧‧濾器壓扣
16a‧‧‧圓盤部
16b‧‧‧圓筒部
16c‧‧‧貫通孔
17‧‧‧壓縮線圈彈簧
18、20、21‧‧‧○型環
19‧‧‧固定環
19a‧‧‧側壁部
19b‧‧‧帽緣部
19d‧‧‧緣端部
19e‧‧‧鉤部

Claims (11)

  1. 一種基板收納容器，具備一容器本體，收納一基板；以及一逆止閥，具有圓筒狀的一殼體和配置在該殼體內的閥體，控制對該容器本體之內外的氣體流通，其中該殼體裝入到該容器本體的一貫通孔中，其特徵在於：以該容器本體的一內部側做為一前端側；該逆止閥具備一固定環，其中固定環裝配在後端側且相對於該殼體進行相對旋轉，並且從後側將該殼體固定到該容器本體上；該殼體更包括：一第一殼體，配置在該前端側；一第二殼體，前端部插入該第一殼體內，且安裝在該第一殼體上，其中該第一殼體更包括：一固定片，從後端部往後側突出；一固定爪，形成在該固定片的後端部，以固定一固定環；其中該固定環更包括：一側壁部，為圓筒狀且裝配在該第一殼體的外側；一帽緣部，從該側壁部向外側突出；其中在該側壁部的內周面上，設置：一導引凹部，沿軸方向延伸，以導引該固定爪；一緣端部，往內側突出，並且與該固定片接觸；一鉤部，從該緣端部往周方向彎曲，並且與該固定片 結合；其中該逆止閥更包括：一定位部，將該第二殼體定位到該第一殼體；及一結合部，使該第二殼體結合到該第一殼體；其中該定位部更包括：一定位凹部，形成在該第一殼體的後端；以及一定位凸部，形成在該第二殼體的折返突緣部，並且與該定位凹部結合。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之基板收納容器，其中該第二殼體更包括：一折返突緣部，由前端部側折返，接觸到該第一殼體的內周面的整個周緣，其中該結合部更包括：一固定凹部，形成在該第一殼體的內周面上；以及一固定突起，形成在該第二殼體的該折返突緣部上，並與該固定凹部結合。
  3. 如申請專利範圍第1項至第2項任一項所述之基板收納容器，其中該閥體做成圓柱狀，並且包括：一端部，形成有一環狀密封面；一環狀帽緣部，形成一環狀彈性面，該彈性面是藉由一彈性裝置來賦予恢復力；以及另一端部，在徑方向上形成有一排氣凹部，可流通該氣體； 其中該環狀密封面和該環狀彈性面大致上同心，該環狀彈性面的外徑大於等於該環狀密封面的外徑。
  4. 如申請專利範圍第3項所述之基板收納容器，其中該閥體做成圓柱狀，並且包括：一端部，形成有一環狀密封面；一環狀帽緣部，形成一環狀彈性面，該彈性面是藉由一彈性裝置來賦予恢復力；以及另一端部，在徑方向上形成有一排氣凹部，可流通該氣體；其中該環狀密封面和該環狀彈性面大致上同心，該環狀彈性面的外徑大於等於該環狀密封面的外徑。
  5. 如申請專利範圍第1項所述之基板收納容器，其中該閥體收納於該第一殼體及該第二殼體內。
  6. 如申請專利範圍第1項所述之基板收納容器，其中該逆止閥透過該第一殼體之該固定爪與該固定環之該鉤部的結合而固定該容器本體。
  7. 如申請專利範圍第1項所述之基板收納容器，其中該第二殼體具有一折返突緣部，該折返突緣部在該第一殼體之內周面上跨越整圈並接觸；該第一殼體及該第二殼體透過形成於該折返突緣部的該結合部與該第一殼體之內周面之該結合部的結合而安裝。
  8. 一種逆止閥，裝入到用來收納一基板的一基板收納容器的一容器本體的一貫通孔中，以控制對該基板收納容器內外之氣體的流通，其特徵在於：以該容器本體的一內部側做為一前端側；該逆止閥包括：一圓筒狀殼體，裝配在該貫通孔中；一閥體，收容在該殼體內；以及一固定環，裝配在該殼體的後端側，可相對於該殼體做相對旋轉，並且從後方將該殼體固定到該容器本體上；其中該殼體更包括：一第一殼體，配置在該前端側；一第二殼體，前端部插入該第一殼體內，且安裝在該第一殼體上，其中該第一殼體更包括：一固定片，從後端部往後側突出；一固定爪，形成在該固定片的後端部，以固定一固定環；其中該固定環更包括：一側壁部，為圓筒狀且裝配在該第一殼體的外側；一帽緣部，從該側壁部向外側突出；其中在該側壁部的內周面上，設置：一導引凹部，沿軸方向延伸，以導引該固定爪；一緣端部，往內側突出，並且與該固定片接觸； 一鉤部，從該緣端部往周方向彎曲，並且與該固定片結合；其中該逆止閥更包括：一定位部，將該第二殼體定位到該第一殼體；及一結合部，使該第二殼體結合到該第一殼體；其中該定位部更包括：一定位凹部，形成在該第一殼體的後端；以及一定位凸部，形成在該第二殼體的該折返突緣部，並且與該定位凹部結合。
  9. 如申請專利範圍第8項所述之逆止閥，其中該閥體收納於該第一殼體及該第二殼體內。
  10. 如申請專利範圍第8項所述之逆止閥，其中該逆止閥透過該第一殼體之該固定爪與該固定環之該鉤部的結合而固定該容器本體。
  11. 如申請專利範圍第8項所述之逆止閥，其中該第二殼體具有一折返突緣部，該折返突緣部在該第一殼體之內周面上跨越整圈並接觸；該第一殼體及該第二殼體透過形成於該折返突緣部的該結合部與該第一殼體之內周面之該結合部的結合而安裝。
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KR (1) KR101419561B1 (zh)
CN (1) CN101467241B (zh)
TW (1) TWI409903B (zh)
WO (1) WO2008029557A1 (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI686232B (zh) * 2014-11-12 2020-03-01 日商未來兒股份有限公司 氣體淨化用過濾器

Families Citing this family (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4895222B2 (ja) * 2008-03-31 2012-03-14 信越ポリマー株式会社 基板収納容器
JP4898740B2 (ja) * 2008-05-12 2012-03-21 信越ポリマー株式会社 バルブ機構及び基板収納容器
JP2011114319A (ja) * 2009-11-30 2011-06-09 Dan Takuma:Kk 気体置換装置および気体置換方法
CN103035559B (zh) * 2011-09-29 2015-04-22 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 弹性固定轮及包含其的晶圆适配器
TWM449886U (zh) * 2012-09-26 2013-04-01 Gudeng Prec Ind Co Ltd 充氣逆止閥及具有充氣逆止閥的精密元件收納裝置
US9997388B2 (en) 2012-11-20 2018-06-12 Entegris, Inc. Substrate container with purge ports
JP5960078B2 (ja) * 2013-02-20 2016-08-02 信越ポリマー株式会社 基板収納容器
JP6041699B2 (ja) * 2013-02-20 2016-12-14 信越ポリマー株式会社 基板収納容器
US9212662B2 (en) * 2013-04-29 2015-12-15 Ford Global Technologies, Llc Check valve for an engine vacuum pump
WO2016002005A1 (ja) * 2014-07-01 2016-01-07 ミライアル株式会社 基板収納容器
US10388554B2 (en) * 2016-04-06 2019-08-20 Entegris, Inc. Wafer shipper with purge capability
US10923373B2 (en) * 2016-09-06 2021-02-16 Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. Substrate storage container and gas replacement unit
US11139188B2 (en) * 2017-04-28 2021-10-05 Sinfonia Technology Co., Ltd. Gas supply device, method for controlling gas supply device, load port, and semiconductor manufacturing apparatus
WO2018203384A1 (ja) * 2017-05-02 2018-11-08 ミライアル株式会社 基板収納容器
WO2019012926A1 (ja) 2017-07-14 2019-01-17 信越ポリマー株式会社 基板収納容器
CN110945434B (zh) * 2017-07-21 2022-06-21 恩特格里斯公司 具有透明窗组合件的用于固持及传送光罩的容器
TWI763002B (zh) * 2018-01-11 2022-05-01 家登精密工業股份有限公司 快拆式氣閥與使用該快拆式氣閥之基板容器及其安裝方法與拆卸方法
WO2019159369A1 (ja) 2018-02-19 2019-08-22 ミライアル株式会社 ガスパージ用ポート
JP7125000B2 (ja) * 2018-03-13 2022-08-24 信越ポリマー株式会社 基板収納容器
JP7147116B2 (ja) 2018-03-28 2022-10-05 信越ポリマー株式会社 基板収納容器
US10937677B2 (en) * 2018-04-02 2021-03-02 Bum Je WOO Wafer storage container
WO2020065968A1 (ja) * 2018-09-28 2020-04-02 ミライアル株式会社 基板収納容器
JP7334264B2 (ja) * 2019-04-26 2023-08-28 インテグリス・インコーポレーテッド 基板容器
US11205733B2 (en) 2019-07-11 2021-12-21 Ricardo Garcia Semi-transparent solar panel apparatus
WO2021020460A1 (ja) * 2019-07-30 2021-02-04 ミライアル株式会社 基板収納容器及びフィルタ部
US11104496B2 (en) * 2019-08-16 2021-08-31 Gudeng Precision Industrial Co., Ltd. Non-sealed reticle storage device
KR102662970B1 (ko) * 2019-11-08 2024-05-03 엔테그리스, 아이엔씨. 환경 제어 재료 홀더
WO2022081467A1 (en) * 2020-10-12 2022-04-21 Donaldson Company, Inc. Enclosure vent assembly
KR102314174B1 (ko) * 2021-06-10 2021-10-18 (주)상아프론테크 웨이퍼 저장 장치
TWI782689B (zh) * 2021-09-02 2022-11-01 家登精密工業股份有限公司 快拆式氣閥、具有快拆式氣閥的基板容器及快拆式氣閥的安裝和拆卸方法
KR20230143494A (ko) * 2022-04-05 2023-10-12 주식회사 삼에스코리아 웨이퍼 수납용기 및 그에 사용되는 캡 조립체

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20030047562A1 (en) * 2001-09-12 2003-03-13 Tzong-Ming Wu Air vent plug arrangement for clean container
TW200415092A (en) * 2002-10-25 2004-08-16 Shinetsu Polymer Co Substrate storage container
TW200519006A (en) * 2003-10-24 2005-06-16 Entegris Inc Substrate carrier
TW200535069A (en) * 2004-04-20 2005-11-01 Shinetsu Polymer Co Container
TW200605261A (en) * 2004-06-11 2006-02-01 Shinetsu Polymer Co Container of substrate
TW200630280A (en) * 2004-11-23 2006-09-01 Entegris Inc Wafer container with secondary wafer restraint system

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0320506B1 (en) * 1987-06-25 1993-02-24 Masco Corporation Of Indiana A reversible bottom valve cartridge with an orienting mechanism
US5810062A (en) * 1996-07-12 1998-09-22 Asyst Technologies, Inc. Two stage valve for charging and/or vacuum relief of pods
US5879458A (en) * 1996-09-13 1999-03-09 Semifab Incorporated Molecular contamination control system
JP3167970B2 (ja) * 1997-10-13 2001-05-21 ティーディーケイ株式会社 クリーンボックス、クリーン搬送方法及び装置
US6319297B1 (en) * 1998-03-27 2001-11-20 Asyst Technologies, Inc. Modular SMIF pod breather, adsorbent, and purge cartridges
US6164664A (en) 1998-03-27 2000-12-26 Asyst Technologies, Inc. Kinematic coupling compatible passive interface seal
US6187182B1 (en) 1998-07-31 2001-02-13 Semifab Incorporated Filter cartridge assembly for a gas purging system
US7503343B2 (en) * 2002-04-30 2009-03-17 Eaton Corporation Siphonable check valve and method of making same
JP4201583B2 (ja) * 2002-11-28 2008-12-24 信越ポリマー株式会社 基板収納容器
JP4204302B2 (ja) 2002-10-25 2009-01-07 信越ポリマー株式会社 収納容器
JP4253620B2 (ja) * 2003-09-30 2009-04-15 株式会社パイオラックス 樹脂燃料タンク取付け用バルブ
US7201276B2 (en) * 2003-11-07 2007-04-10 Entegris, Inc. Front opening substrate container with bottom plate
JP4007359B2 (ja) * 2004-10-21 2007-11-14 オムロン株式会社 電気回路収納用容器

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20030047562A1 (en) * 2001-09-12 2003-03-13 Tzong-Ming Wu Air vent plug arrangement for clean container
TW200415092A (en) * 2002-10-25 2004-08-16 Shinetsu Polymer Co Substrate storage container
US20050077204A1 (en) * 2002-10-25 2005-04-14 Atsushi Sumi Substrate storage container
TW200519006A (en) * 2003-10-24 2005-06-16 Entegris Inc Substrate carrier
TW200535069A (en) * 2004-04-20 2005-11-01 Shinetsu Polymer Co Container
TW200605261A (en) * 2004-06-11 2006-02-01 Shinetsu Polymer Co Container of substrate
TW200630280A (en) * 2004-11-23 2006-09-01 Entegris Inc Wafer container with secondary wafer restraint system

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI686232B (zh) * 2014-11-12 2020-03-01 日商未來兒股份有限公司 氣體淨化用過濾器

Also Published As

Publication number Publication date
EP2068356A1 (en) 2009-06-10
EP2068356A4 (en) 2010-11-24
US20090266441A1 (en) 2009-10-29
WO2008029557A1 (en) 2008-03-13
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US8091592B2 (en) 2012-01-10
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TW200816349A (en) 2008-04-01

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