KR101419561B1

KR101419561B1 - 기판 수납 용기 및 역지 밸브

Info

Publication number: KR101419561B1
Application number: KR1020097000597A
Authority: KR
Inventors: 요시노리 사토
Original assignee: 신에츠 폴리머 가부시키가이샤
Priority date: 2006-09-04
Filing date: 2007-07-23
Publication date: 2014-07-14
Also published as: EP2068356A1; EP2068356A4; JP2008066330A; CN101467241A; KR20090060259A; CN101467241B; US8091592B2; TWI409903B; EP2068356B1; WO2008029557A1; JP4800155B2; TW200816349A; US20090266441A1

Abstract

역지 밸브 (8) 는 후단측에 장착되어 하우징 (11) 에 대하여 상대 회전 가능하게 됨과 함께, 하우징 (11) 을 후방으로부터 용기 본체 (2) 에 고정시키는 고정 링 (19) 을 구비하고 있다. 이 고정 링 (19) 을 후방으로부터 밀어 넣음으로써 하우징 (11) 을 용이하게 고정시킬 수 있다. 이와 같은 고정 링 (19) 을 구비함으로써, 종전과 같은 나사에 의한 결합 부분을 없앨 수 있다. 이로써, 조임 토크의 관리를 필요로 하지 않고, 조립 작업의 간소화를 도모할 수 있다.

기판, 용기, 역지, 밸브

Description

기판 수납 용기 및 역지 밸브{BOARD STORAGE CONTAINER AND CHECK VALVE}

본 발명은 반도체 웨이퍼, 마스크 유리 등의 정밀 기판 등을 수납하여, 수송, 반송, 보관 등에 사용되는 기판 수납 용기, 및 기판 수납 용기에 장착되는 역지 밸브에 관한 것이다.

최근, 반도체 부품의 미세화나 배선의 협피치화가 진행되고 있다. 이 때문에, 반도체 웨이퍼 (정밀 기판) 를 수납하는 기판 수납 용기에는 정밀 기판의 오염을 방지하기 위해서 높은 밀폐성과 취급의 자동화가 요구되고 있다. 이와 같은 기판 수납 용기에서는 가스 퍼지시에 이용되는 역지 밸브를 구비한 것이 알려져 있다 (예를 들어 특허 문헌 1 ∼ 3 참조).

도 16 은 종래의 기판 수납 용기에 있어서의 역지 밸브를 나타내는 분해 사시도이다. 도 16 에 나타내는 바와 같이, 종래의 기판 수납 용기에서는 기판을 수납하는 용기 본체의 벽체 (51) 에 관통공 (51a) 이 형성되고, 이 관통공 (51a) 에 가스 퍼지시에 이용되는 역지 밸브 (52) 가 장착되어 있다. 이 역지 밸브 (52) 는 원고리상 시일면을 갖는 밸브체 (53) 와, 이 밸브체 (53) 를 수용하는 원통상 하우징 (54) 을 구비하고 있다. 이 하우징 (54) 은 용기 본체의 내면측에 배치되는 유지 통 (55) 과, 용기 본체의 외면측에 배치되는 고정 통 (56) 을 갖고, 유지 통 (55) 의 외면측, 고정 통 (56) 의 내면측에는 나사부 (55a, 56a) 가 형성되어 있다. 그리고, 벽체 (51) 를 사이에 끼우듯이 유지 통 (55) 및 고정 통 (56) 을 배치하고, 서로 나사 결합함으로써, 하우징 (54) 을 형성시킴과 함께 벽체에 고정되어 있다.

특허 문헌 1 : 일본 공개특허공보 2004-146676호

특허 문헌 2 : 일본 공개특허공보 2004-179449호

특허 문헌 3 : 일본 공개특허공보 2002-521189호

발명의 개시

발명이 해결하고자 하는 과제

그러나, 상기 특허 문헌 1 및 2 에 기재된 종래 기술에서는 역지 밸브의 조립시에 유지 통 (55) 및 고정 통 (56) 을 서로 나사 결합하기 때문에, 조립 작업이 복잡하여, 조립 작업의 간소화가 요구되고 있다. 또한, 역지 밸브는 나사 결합에 의해 용기 본체에 장착되어 있기 때문에, 조임 토크의 관리를 할 필요가 있는데, 이 조임 토크의 관리가 번거롭다는 문제가 있었다.

본 발명은 이와 같은 과제를 해결하기 위해서 이루어진 것으로서, 조임 토크 관리의 필요성이 없고, 조립 작업의 간소화를 도모한 역지 밸브 및 역지 밸브를 구비한 기판 수납 용기를 제공하는 것을 목적으로 한다.

과제를 해결하기 위한 수단

본 발명에 의한 기판 수납 용기는 기판을 수납하는 용기 본체와, 원통상 하우징 및 하우징 내에 배치된 밸브체를 갖고 용기 본체 내외에 대한 기체의 유통을 제어하는 역지 밸브를 구비하고, 하우징이 용기 본체의 관통공에 장입되는 기판 수납 용기에 있어서, 용기 본체의 내부측을 선단측으로 하고, 역지 밸브는 후단측에 장착되어 하우징에 대하여 상대 회전 가능하게 됨과 함께, 하우징을 후방으로부터 용기 본체에 고정시키는 고정 링을 구비하고, 하우징은 선단측에 배치되는 제 1 하우징과, 선단부가 제 1 하우징 내에 삽입되어, 제 1 하우징에 장착되는 제 2 하우징을 구비하고, 제 1 하우징은 후단부로부터 후방으로 돌출되는 고정편과, 고정편의 후단부에 형성되어 고정 링을 고정시키는 고정 갈고리를 구비하고, 고정 링은 상기 제 1 하우징의 외측에 장착되는 원통상 측벽부와, 상기 측벽부로부터 외방으로 돌출되는 플랜지부를 구비하고, 상기 측벽부의 내주면에는 축 방향으로 연장되어 상기 고정 갈고리를 안내하는 안내 오목부와, 내방으로 돌출되어 상기 고정편과 맞닿을 수 있게 된 둘레 고정부와, 상기 둘레 고정부로부터 둘레 방향으로 굴곡되어 상기 고정편에 걸리는 훅부가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.

이와 같은 기판 수납 용기에 의하면, 용기 본체의 내면측을 선단측으로 하고, 용기 본체 내외에 대한 기체의 유통을 제어하는 역지 밸브를 구비하고, 이 역지 밸브의 하우징은 선단측에 배치되는 제 1 하우징과, 후단측에 배치되는 제 2 하우징을 구비하고 있다. 또한, 기판 수납 용기는 하우징의 후방으로부터 장착되어 하우징에 대하여 상대 회전 가능하게 되고, 역지 밸브를 용기 본체에 고정시키기 위한 고정 링을 구비하고 있다. 이로써, 고정 링에 의해, 역지 밸브를 용기 본체에 고정시킬 수 있기 때문에, 종전과 같이 나사에 의해 고정시킬 필요가 없어, 조임 토크의 관리를 할 필요가 없다. 또한, 고정 링을 제 1 하우징에 고정시키기 위한 고정편 및 고정 갈고리를 구비하고 있기 때문에, 고정 링을 밀어 넣음으로써, 역지 밸브를 확실하게 용기 본체에 고정시킬 수 있다. 또한, 고정 링은 외방으로 돌출되는 플랜지부를 구비하고 있기 때문에, 이 플랜지부를 용기 본체에 맞닿게 함으로써, 역지 밸브를 안정적으로 고정시킬 수 있게 된다. 또한, 고정 링은 제 1 하우징의 외측에 장착되는 원통상 측벽부에, 고정 갈고리를 축 방향으로 안내하는 안내 오목부를 구비하고 있기 때문에, 고정 링을 원활하게 제 1 하우징에 장착할 수 있어 조립 작업 효율의 향상을 도모할 수 있다. 또한, 고정 링의 측벽부의 내주면에는 내방으로 돌출되어 고정편과 맞닿을 수 있게 된 둘레 고정부와, 둘레 고정부로부터 둘레 방향으로 굴곡되어 고정편에 걸리는 훅부가 형성되어 있기 때문에, 고정 링을 고정편에 장착하고 고정 링을 하우징에 대하여 회전시킴으로써, 고정 링의 훅부를 하우징의 고정편에 걸 수 있다.

여기서, 역지 밸브는 제 1 하우징에 대하여 제 2 하우징을 위치 결정하는 위치 결정부와, 제 1 하우징에 대하여 제 2 하우징을 거는 걸림부를 추가로 구비하는 것이 바람직하다. 이로써, 위치 결정부에 의해 제 2 하우징을 제 1 하우징에 대하여 위치 결정할 수 있고, 걸림부에 의해 제 2 하우징을 제 1 하우징에 대하여 걸 수 있다. 그 때문에, 제 1 하우징 및 제 2 하우징의 조립시에 종전과 같이 나사 결합할 필요가 없어, 조립 작업의 간소화를 도모할 수 있다.

또한, 제 2 하우징은 선단부측으로부터 되꺾여 제 1 하우징의 내주면에 전체 둘레에 걸쳐서 맞닿는 되꺾임 플랜지부를 구비하고, 걸림부는 제 1 하우징의 내주면에 형성된 걸림 오목부와, 제 2 하우징의 되꺾임 플랜지부에 형성되고 걸림 오목부에 걸어 맞추는 걸림 돌기를 갖는 것이 바람직하다. 이로써, 제 1 하우징에 대하여, 제 2 하우징을 밀어 넣음으로써, 제 1 하우징의 내주면에 형성된 걸림 오목부와, 제 2 하우징의 되꺾임 플랜지부에 형성된 걸림 돌기를 걸어 맞출 수 있다. 따라서, 조립 작업의 간소화를 도모할 수 있게 된다.

또한, 위치 결정부는 제 1 하우징의 후단에 형성된 위치 결정용 오목부와, 제 2 하우징의 되꺾임 플랜지부에 형성되고 위치 결정용 오목부에 걸어 맞추는 위치 결정용 볼록부를 구비하고 있는 것이 바람직하다. 이로써, 제 1 하우징의 후단에 형성된 위치 결정 오목부와, 제 2 하우징의 되꺾임 플랜지부에 형성된 위치 결정 볼록부에 의해, 제 1 하우징에 대한 제 2 하우징의 위치 결정을 실시할 수 있다.

또한, 밸브체는 원주상을 이루고, 고리상 시일면이 형성된 일방의 단부와, 탄성 지지 수단에 의해 탄성 지지되는 고리상 탄성 지지면이 형성된 고리상 플랜지부와, 기체의 유통을 가능하게 하는 가스 추출 오목부가 직경 방향으로 형성된 타방의 단부를 구비하고, 고리상 시일면 및 고리상 탄성 지지면은 대략 동심으로 되고, 고리상 탄성 지지면의 외경은 고리상 시일면의 외경 이상인 것이 바람직하다. 이로써, 탄성 지지 수단에 의해 탄성 지지되는 고리상 탄성 지지면의 외경이, 밸브체의 고리상 시일면의 외경 이상이기 때문에, 밸브체의 경사를 방지하여 확실하게 기체를 시일할 수 있다. 또한, 시일면이 형성된 일방의 단부와는 반대측의 타방 단부에, 기체의 유통을 가능하게 하는 가스 추출 오목부가 직경 방향으로 형성되어 있기 때문에, 타방의 단부가 평탄면에 접촉한 경우에 있어서도 가스 추출 오목부 내에 있어서의 기체의 유통이 가능해진다. 따라서, 시일면과 반대측에서 불필요한 시일면이 형성되는 경우가 없다. 또한, 탄성 지지 수단과 고리상 플랜지부가 접촉하고 있는 부분이 선상인 경우, 이 선상의 접촉 부분을 탄성 지지면으로 하고, 이 선상의 접촉 부분의 직경을 「탄성 지지면의 외경」으로 한다.

또한, 본 발명에 의한 역지 밸브는 기판을 수납하는 기판 수납 용기의 용기 본체의 관통공에 장입되고, 기판 수납 용기 내외에 대한 기체의 유통을 제어하는 역지 밸브에 있어서, 용기 본체의 내부측을 선단측으로 하고, 관통공에 장착되는 원통상 하우징과, 하우징 내에 수용된 밸브체와, 하우징의 후단측에 장착되어 하우징에 대하여 상대 회전 가능하게 됨과 함께, 하우징을 후방으로부터 용기 본체에 고정시키는 고정 링을 구비하고, 하우징은 선단측에 배치되는 제 1 하우징과, 선단부가 제 1 하우징 내에 삽입되어, 제 1 하우징에 장착되는 제 2 하우징을 구비하고, 제 1 하우징은 후단부로부터 후방으로 돌출되는 고정편과, 고정편의 후단부에 형성되어 고정 링을 고정시키는 고정 갈고리를 구비하고, 고정 링은 제 1 하우징의 외측에 장착되는 원통상 측벽부와, 측벽부로부터 외방으로 돌출되는 플랜지부를 구비하고, 측벽부의 내주면에는 축 방향으로 연장되어 고정 갈고리를 안내하는 안내 오목부와, 내방으로 돌출되어 고정편과 맞닿을 수 있게 된 둘레 고정부와, 둘레 고정부로부터 둘레 방향으로 굴곡되어 고정편에 걸리는 훅부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.

이와 같은 역지 밸브에 의하면, 용기 본체의 내면측을 선단측으로 하고, 원통상 하우징은 선단측에 배치되는 제 1 하우징과, 후단측에 배치되는 제 2 하우징을 구비하고 있다. 추가로, 역지 밸브는 하우징의 후방으로부터 장착되어 하우징에 대하여 상대 회전 가능하게 되고 하우징을 용기 본체에 고정시키기 위한 고정 링을 구비하고 있다. 이로써, 고정 링에 의해, 역지 밸브를 용기 본체에 고정시킬 수 있기 때문에, 종전과 같이 나사에 의해 고정시킬 필요가 없어, 조임 토크의 관리를 할 필요가 없다. 또한, 고정 링을 제 1 하우징에 고정시키기 위한 고정편 및 고정 갈고리를 구비하고 있기 때문에, 역지 밸브를 확실하게 용기 본체에 고정시킬 수 있다. 또한, 고정 링은 외방으로 돌출되는 플랜지부를 구비하고 있기 때문에, 이 플랜지부를 용기 본체에 맞닿게 함으로써, 역지 밸브를 안정적으로 고정시킬 수 있게 된다. 또한, 고정 링은 제 1 하우징의 외측에 장착되는 원통상 측벽부에, 고정 갈고리를 축 방향으로 안내하는 안내 오목부를 구비하고 있기 때문에, 고정 링을 원활하게 제 1 하우징에 장착할 수 있어, 조립 작업 효율의 향상을 도모할 수 있다. 또한, 고정 링의 측벽부의 내주면에는 내방으로 돌출되어 고정편과 맞닿을 수 있게 된 둘레 고정부와, 둘레 고정부로부터 둘레 방향으로 굴곡되어 고정편에 걸리는 훅부가 형성되어 있기 때문에, 고정 링을 고정편에 장착하고 고정 링을 하우징에 대하여 회전시킴으로써, 고정 링의 훅부를 하우징의 고정편에 걸 수 있다.

발명의 효과

본 발명에 의하면, 조임 토크 관리의 필요성이 없어, 조립 작업의 간소화가 도모된 역지 밸브 및 역지 밸브를 구비한 기판 수납 용기를 제공할 수 있다.

도 1 은 본 발명의 실시형태에 관련된 급기 밸브 및 배기 밸브를 구비한 기판 수납 용기를 나타내는 분해 사시도이다.

도 2 는 도 1 에 나타내는 기판 수납 용기의 저면도이다.

도 3 은 도 1 중의 급기 밸브를 나타내는 분해 사시도이다.

도 4 는 닫힘 상태의 급기 밸브를 나타내는 단면도이다.

도 5 는 열림 상태의 급기 밸브를 나타내는 단면도이다.

도 6 은 도 3 중의 하우징의 측면도이다.

도 7 은 도 6 에 나타내는 하우징의 평면도이다.

도 8 은 도 6 에 나타내는 하우징의 저면도이다.

도 9 는 고정 링이 걸린 상태의 하우징을 나타내는 저면도이다.

도 10 은 고정 링이 걸려 있지 않은 상태의 하우징을 나타내는 저면도이다.

도 11 은 도 3 중의 밸브체를 나타내는 측면도이다.

도 12 는 도 1 중의 배기 밸브를 나타내는 분해 사시도이다.

도 13 은 닫힘 상태의 배기 밸브를 나타내는 단면도이다.

도 14 는 열림 상태의 배기 밸브를 나타내는 단면도이다.

도 15 는 도 12 중의 밸브체를 나타내는 측면도이다.

도 16 은 종래의 기판 수납 용기에 있어서의 역지 밸브를 나타내는 분해 사시도이다.

부호의 설명

1 : 기판 수납 용기 2 : 용기 본체

2d : 용기 본체의 관통공 8 : 급기 밸브 (역지 밸브)

9 : 배기 밸브 (역지 밸브) 11 : 하우징

12 : 고정 통 (제 1 하우징) 12d : 걸림 오목부 (걸림부)

12e : 위치 결정용 오목부 (위치 결정부)

12g : 고정편 12i : 고정 갈고리

13, 23 : 밸브체 13a, 23a : 밸브체의 일방 단부

13b, 23b : 밸브체의 타방 단부 13c, 23c : 가스 추출 오목부

13e, 23e : 고리상 플랜지부 13f, 23f : 탄성 지지면

14 : 밸브체 수납통 (제 2 하우징) 14a : 되꺾임 플랜지부

14b : 걸림 돌기 (걸림부)

14c : 위치 결정 볼록부 (위치 결정부)

17 : 압축 코일 스프링 (탄성 지지 수단)

18a : 고리상 시일면 19 : 고정 링

19a : 측벽부 19b : 플랜지부

19c : 안내 오목부 19d : 둘레 고정부

19e : 훅부

발명을 실시하기 위한 최선의 형태

이하, 본 발명에 의한 기판 수납 용기 및 역지 밸브의 바람직한 실시형태에 대하여 도면을 참조하면서 설명한다. 본 실시형태의 기판 수납 용기는 역지 밸브로서 급기 밸브 및 배기 밸브를 구비하고 있다. 또한, 도면의 설명에 있어서, 동일 또는 상당 요소에는 동일한 부호를 부여하고, 중복되는 설명은 생략한다. 도 1 은 본 발명의 실시형태에 관련된 급기 밸브 및 배기 밸브를 구비한 기판 수납 용기를 나타내는 분해 사시도, 도 2 는 도 1 에 나타내는 기판 수납 용기의 저면도이다.

도 1 에 나타내는 기판 수납 용기 (1) 는 예를 들어 구경이 300㎜ (약 12 인치) 인 반도체 웨이퍼 (기판 ; 도시 생략) 를 복수 장 (예를 들어 25, 26 장) 수용하여, 수송, 반송, 보관 등에 사용되는 기판 수납 용기이다. 이 기판 수납 용기 (1) 는 이른바 프론트 오픈 박스 타입으로서, 기판을 수납하는 용기 본체 (2) 와, 이 용기 본체 (2) 에 형성된 개구부를 덮는 덮개체 (4) 를 구비하고 있다. 또한, 본 명세서에 있어서, 개구부가 형성된 면 (덮개체 (4) 가 배치된 면) 을 「용기 본체 (2) 의 전면」이라고 정하고, 「전」「후」「좌」「우」등의 방향을 나타내는 용어를 사용하기로 한다.

용기 본체 (2) 는 상자형을 이루고, 도시 좌측 면에는 기판을 넣고 빼는 개구부가 형성되어 있다. 용기 본체 (2) 의 대향하는 1 쌍의 측벽 (2a) 의 내면에는 복수의 기판을 상하 방향으로 수평으로 늘어놓고 지지하는 지지부가 각각 형성되어 있다. 또한, 용기 본체 (2) 의 저벽 (2c) 에는 내외를 관통하는 복수 (본 실시형태에서는 2 개) 의 관통공 (2d) 이 형성되어 있다 (도 3 참조). 이들 관통공 (2d) 의 둘레 가장자리에는 원통형 리브 (10) 가 하방으로 돌출되도록 형성되어 있다. 또한, 용기 본체 (2) 의 천판에는 천정 반송용 로보틱 핸들 (2b) 이 설치되어 있다.

덮개체 (4) 는 용기 본체 (2) 와 덮개체 (4) 사이를 밀봉하는 시일용 개스킷을 통해 개구부를 폐쇄하는 것이다. 이 덮개체 (4) 는 용기 본체 (2) 의 개구부에 걸리는 래치 기구를 내장하고 있다. 덮개체 (4) 의 정면측 (기판 수납 용기의 외면측) 에는 래치 기구를 조작하기 위한 조작 키가 삽입되는 조작 구멍 (4a) 이 형성되어 있다. 이 조작 구멍 (4a) 에 조작 키를 삽입하여 ±90 도 회전시킴으로써, 래치 기구의 걸림 갈고리를 덮개체 (4) 로부터 용기 본체 (2) 측으로 출몰시킬 수 있다. 조작 키를 삽입하고 반시계 방향으로 90 도 회전시켜, 래치 기구의 걸림 갈고리를 용기 본체 (2) 측으로 돌출되어 걸려 있는 위치로부터 덮개체 (4) 측으로 몰입시킴으로써, 덮개체 (4) 를 용기 본체 (2) 로부터 떼어낼 수 있는 상태로 할 수 있다. 한편, 덮개체 (4) 를 용기 본체 (2) 에 장착하는 경우에는 걸림 갈고리가 내부에 몰입된 상태의 덮개체 (4) 를 용기 본체 (2) 에 장착하고, 조작 키를 시계 방향으로 90 도 회전시켜, 래치 기구의 걸림 갈고리를 돌출시 킴으로써, 덮개체 (4) 를 용기 본체 (2) 에 걸 수 있다. 또한, 덮개체 (4) 의 배면측 (기판 수납 용기의 외면측) 에는 복수의 기판을 상하 방향으로 수평으로 늘어놓고 지지하는 리테이너가 형성되어 있다.

도 2 에 나타내는 바와 같이 용기 본체 (2) 의 저벽 (2c) (저부) 의 외면측에는 보텀 플레이트 (7) 가 고정되어 있다. 이 보텀 플레이트 (7) 는 저벽 (2c) 을 외면측으로부터 덮는 것으로, 기판 수납 용기 (1) 가 적용되는 가공 장치 등에 대한 위치 결정을 실시하는 위치 결정 부재 (7a) 를 갖고 있다. 또한, 보텀 플레이트 (7) 에는 급기 밸브 (8), 배기 밸브 (9) 를 외부에 노출시키는 개구 (7b) 가 형성되어 있다. 이 개구 (7b) 는 용기 본체 (2) 의 관통공 (2d) 에 대응하는 위치에 형성되어 있다.

또한, 기판 수납 용기 (1) 는 상기 서술한 바와 같이, 용기 본체 (2) 의 내외에 대한 기체의 유통을 제어하는 급기 밸브 (8) 및 배기 밸브 (9) 를 구비하고 있다. 이들 급기 밸브 (8) 및 배기 밸브 (9) 는 기판 수납 용기 (1) 내의 기체를 치환할 때에 이용되는 것으로, 급기 밸브 (8) 는 내부에 기체를 공급할 때에 이용되는 공급측 개폐 밸브로서 기능하고, 배기 밸브 (9) 는 외부에 기체를 배출할 때에 이용되는 배출측 개폐 밸브로서 기능하는 것이다.

다음으로, 급기 밸브 (8) 및 배기 밸브 (9) (이하, 급기 밸브 (8) 및 배기 밸브 (9) 의 양방을 가리키는 경우에는 역지 밸브 (8, 9) 라고 한다) 에 대하여 설명한다. 도 3 은 도 1 중의 급기 밸브를 나타내는 분해 사시도, 도 4 는 닫힘 상태의 급기 밸브를 나타내는 단면도, 도 5 는 열림 상태의 급기 밸브를 나타내는 단면도, 도 6 은 도 3 중의 하우징의 측면도, 도 7 은 도 6 에 나타내는 하우징의 평면도, 도 8 은 도 6 에 나타내는 하우징의 저면도, 도 9 는 고정 링이 걸린 상태의 하우징을 나타내는 저면도, 도 10 은 고정 링이 걸려 있지 않은 상태의 하우징을 나타내는 저면도, 도 11 은 도 3 중의 밸브체를 나타내는 측면도, 도 12 는 도 1 중의 배기 밸브를 나타내는 분해 사시도, 도 13 은 닫힘 상태의 배기 밸브를 나타내는 단면도, 도 14 는 열림 상태의 배기 밸브를 나타내는 단면도, 도 15 는 도 12 중의 밸브체를 나타내는 측면도이다. 한편, 급기 밸브 (8) 및 배기 밸브 (9) 의 설명에 있어서, 용기 본체 (2) 의 내면측을 선단측으로 한다.

역지 밸브 (8, 9) 는 도 3 ∼ 도 6, 도 12 ∼ 도 14 에 나타내는 바와 같이, 원통상 하우징 (11) 을 구비하고 있다. 이 하우징 (11) 은 선단측에 배치되어 저벽 (2c) 에 고정되는 고정 통 (제 1 하우징) (12) 과, 후단측에 배치되어 밸브체 (13, 23) 를 수납하는 밸브체 수납 통 (제 2 하우징) (14) 을 구비하고 있다. 밸브체 수납 통 (14) 은 급기 밸브 (8) 에서는 밸브체 (13) 를 수납하고, 배기 밸브 (9) 에서는 밸브체 (23) 를 수납한다. 하우징 (11) 은 밸브체 (13, 23) 외에, 원형 필터 (15), 이 필터 (15) 를 누르는 필터 누름부 (16), 밸브체 (13, 23) 를 탄성 지지하는 압축 코일 스프링 (탄성 지지 수단) (17), O 링 (18, 21) 을 수납하고 있다. 또한, 역지 밸브 (8, 9) 는 하우징 (11) 을 용기 본체 (2) 에 고정시키기 위한 고정 링 (19) 을 구비하고 있다. 또한, 급기 밸브 (8) 와 배기 밸브 (9) 가 상이한 점은 밸브체 (13, 23) 가 상이한 점과, O 링 (18), 밸브체 (13, 23), 압축 코일 스프링 (17) 의 배치가 반대로 되는 점이다.

고정 통 (12) 은 원통상을 이루고, 고정 통 (12) 의 일방 단부 (선단부) 에는 도 7 에 나타내는 바와 같이, 격자상 창틀 (12a) 에 의해 둘러싸인 복수의 창이 형성되어 있다. 이 격자상 창틀 (12a) 이 형성된 일방의 단부가 용기 본체 (2) 의 내면측에 배치된다. 급기 밸브 (8) 에서는 이 창을 통과하여 기체가 용기 본체 (2) 내로 유입되고, 배기 밸브 (9) 에서는 이 창을 통과하여 기체가 용기 본체 (2) 외로 유출된다. 또한, 고정 통 (12) 의 일방 단부에는 외방으로 돌출되는 플랜지부 (12b) 가 전체 둘레에 걸쳐서 형성되어 있다.

또한, 고정 통 (12) 의 원통상 측벽 (12c) 의 내주면에는 도 3, 도 6, 도 8 및 도 12 에 나타내는 바와 같이, 복수의 걸림 오목부 (12d) 가 형성되어 있다. 그리고, 이 걸림 오목부 (12d) 가, 밸브체 수납 통 (14) 의 후술하는 걸림 돌기 (걸림부) (14b) 와 걸어 맞추어진다. 또한, 측벽 (12c) 의 외면에는 플랜지부 (12b) 의 근원을 따라, O 링 (20) 을 장착하기 위한 홈부 (12f) 가 형성되어 있다.

또한, 고정 통 (12) 의 측벽 (12c) 의 타방 단부 (후단부) 에는 복수의 위치 결정용 오목부 (절결) (12e) 가 형성되어 있다. 이 위치 결정 오목부 (12e) 는 측벽 (12c) 의 후단으로부터 전방으로 움푹 패이게 형성되어 있다.

또한, 고정 통 (12) 의 측벽 (12c) 의 타방 단부에는 후방으로 돌출되는 복수 (본 실시형태에서는 4 개) 의 고정편 (12g) 이 형성되어 있다. 이 고정편 (12g) 은 둘레 방향에 있어서 등간격으로 배치되어 있다. 또한, 이 고정편 (12g) 의 후단에는 직경 방향의 외방으로 돌출되는 고정 갈고리 (12i) 가 형성되어 있다. 고정편 (12g) 은 가요성을 갖고, 고정 갈고리 (12i) 는 내방으로부터 고 정 링 (19) 을 거는 것이다.

필터 (15) 는 고정 통 (12) 내의 일방 단부측에 배치되고, 용기 본체 (2) 내에 대한 오염 물질의 침입을 방지하는 것이다. 필터 (15) 로는 예를 들어 4불화에틸렌, 폴리에스테르 섬유, 다공질 테플론막 (등록 상표, 상품명, 다공질 불소 수지막), 유리 섬유 등에 의해 형성되는 분자 여과 필터, 활성 탄소 섬유 등의 여과재에 화학 흡착제를 담지시킨 케미컬 필터를 들 수 있다. 또한, 필터 (15) 를 1 장 사용해도 되고, 복수 장 사용해도 된다. 또한, 복수 종류의 필터 (15) 를 사용해도 된다. 예를 들어 분자 여과 필터와 케미컬 필터를 조합함으로써, 용기 본체 (2) 내의 기판의 파티클 오염을 방지할 수 있고, 추가로, 유기 가스에 의한 오염을 방지할 수 있다.

필터 누름부 (16) 는 원반부 (16a) 와, 이 원반부 (16a) 로부터 외방 (후방) 으로 연장되는 원통부 (16b) 를 갖고 있다. 이 원반부 (16a) 는 필터 (15) 와 대략 동일한 크기로 되고, 필터 (15) 를 고정 통 (12) 의 창틀 (12a) 에 대하여 내방으로부터 가압하는 것이다. 또한, 원반부 (16a) 와 원통부 (16b) 는 동 축 상에 배치되고, 원반부 (16a) 에 있어서의 원통부 (16b) 의 부착 부분에는 원반부 (16a) 의 판두께 방향으로 관통하는 복수의 관통공 (16c) 이 형성되어 있다. 그리고, 하우징 (11) 내를 통과하는 기체는 관통공 (16c) 을 통과한다. 또한, 원통부 (16b) 의 내부는 닫혀서, 기체의 통과가 불가능한 구성으로 되어 있다.

밸브체 (13, 23) 는 도 11 및 도 15 에 나타내는 바와 같이 원주상을 이루고, 일방의 단면 (13a, 23a) 에는 고리상 홈부가 형성되고 O 링 (18) 이 장착되어 있다. O 링 (18) 은 밸브체 (13, 23) 에 장착된 상태에 있어서, 밸브체 (13, 23) 의 일방의 단면 (13a, 23a) 보다 외방으로 돌출되어 있다. 이 O 링 (18) 에 의해 고리상 시일면 (18a) 이 형성된다. 밸브체 (13, 23) 의 타방의 단면 (13b, 23b) 에는 기체의 유통을 가능하게 하는 가스 추출 오목부 (13c, 23c) 가 직경 방향으로 형성되어 있다.

또한, 밸브체 (13, 23) 의 둘레면에는 외방으로 돌출되는 고리상 플랜지부 (13e, 23e) 가 형성되어 있다. 이 고리상 플랜지부 (13e, 23e) 의 타방 단부 (13b, 23b) 측의 면이, 압축 코일 스프링 (17) 에 의해 탄성 지지되는 고리상 탄성 지지면 (13f, 23f) 을 형성하고 있다. 그리고, 밸브체 (13, 23), 압축 코일 스프링 (17), O 링 (18) 은 대략 동 축 L 상에 배치되고, 고리상 탄성 지지면 (13f, 23f) 의 외경 D1 은 고리상 시일면 (21a) 의 외경 D2 보다 큰 직경으로 되어 있다.

또한, 밸브체 (13, 23) 의 둘레면에는 고리상 플랜지부 (13e, 23e) 를 향해 돌출되는 가이드 리브 (13g, 23g) 가 둘레 방향에 있어서 등간격이 되도록 복수 형성되어 있다. 이 가이드 리브 (13g, 23g) 는 밸브체 (13, 23) 의 둘레면 및 고리상 플랜지부 (13e) 와 교차하도록 형성되고, 측면에서 볼 때 삼각형을 이루고, 타방의 단부 (13b, 23b) 측으로부터 고리상 플랜지부 (13e, 23e) 를 향해 직경 방향으로 커지도록 설치되어 있다. 이 가이드 리브 (13g, 23g) 에 의해, 압축 코일 스프링 (17) 을 안내할 수 있기 때문에, 압축 코일 스프링 (17) 을 밸브체 (13) 와 동 축 상에 배치시키기 쉬워진다.

또한, 밸브체 (13) 에는 원형의 개구부 (13d) 가 타방의 단부 (13b) 로부터 축 방향으로 연장되도록 형성되어 있다. 이 개구부 (13d) 에, 필터 누름부 (16) 의 원통부 (16b) 가 삽입된다. 한편, 밸브체 (23) 에는 원형의 개구부 (23d) 가 일방의 단부 (23a) 로부터 축 방향으로 연장되도록 형성되어 있다. 이 개구부 (23d) 에 필터 누름부 (16) 의 원통부 (16b) 가 삽입된다. 이들 밸브체 (13, 23) 는 필터 누름부 (16) 의 원통부 (16b) 에 장착되어, 축 방향 L 으로 슬라이딩 가능한 구성으로 되어 있다.

밸브체 수납 통 (14) 은 원통상을 이루고, 밸브체 (13, 23) 를 수용할 수 있는 크기로 되어 있다. 일방의 단부의 외측 둘레 가장자리부에는 도 4 ∼ 도 6, 도 14 및 도 15 에 나타내는 바와 같이, O 링 (21) 이 장착되는 단차부가 형성되어 있다. 또한, 밸브체 수납 통 (14) 은 일방의 단부 (선단부) 로부터 되꺾여 고정 통 (12) 의 내주면에 전체 둘레에 걸쳐서 맞닿는 되꺾임 플랜지부 (14a) 를 갖고 있다. 즉, 되꺾임 플랜지부 (14a) 가 고정 통 (12) 내에 삽입되어, 되꺾임 플랜지부 (14a) 의 외주면이 고정 통 (12) 의 측벽 (12c) 의 내주면에 맞닿는다.

또한, 되꺾임 플랜지부 (14a) 의 외주면에는 도 6 에 나타내는 바와 같이, 고정 통 (12) 의 걸림 오목부 (12d) 에 대응하는 위치에 걸림 돌기 (14b) 가 형성되어 있다 (도 6 참조). 이 걸림 돌기 (14b) 는 되꺾임 플랜지부 (14a) 로부터 외방으로 돌출되고, 걸림 오목부 (12d) 에 걸어 맞출 수 있는 구성으로 되어 있다. 고정 통 (12) 의 걸림 오목부 (12d) 와, 밸브체 수납 통 (14) 의 걸림 돌기 (14b) 에 의해, 고정 통 (12) 에 대하여 밸브체 수납 통 (14) 을 거는 본 발명의 걸림부를 구성하고 있다.

또한, 되꺾임 플랜지부 (14a) 의 후단부에는 도 8 에 나타내는 바와 같이, 고정 통 (12) 의 위치 결정용 오목부 (12e) 에 걸어 맞추는 위치 결정 볼록부 (14c) 가 형성되어 있다. 이 위치 결정 볼록부 (14c) 는 측면에서 볼 때 L 자상을 이루고, 되꺾임 플랜지부 (14a) 의 후단부로부터 후방으로 돌출됨과 함께 그 후단으로부터 외방으로 돌출되어 있다. 고정 통 (12) 의 위치 결정용 오목부 (12e) 와, 밸브체 수납 통 (14) 의 위치 결정 볼록부 (14c) 에 의해, 고정 통 (12) 에 대하여 밸브체 수납 통 (14) 의 위치 결정을 실시하는 본 발명의 위치 결정부를 구성하고 있다.

밸브체 수납 통 (14) 의 타방 단부에는 내방으로 돌출되는 플랜지부 (14d) 가 형성되어 있다. 이 플랜지부 (14d) 의 내면은 평탄면으로 되어 있다. 밸브체 수납 통 (14) 의 타방 단부에 있어서, 플랜지부 (14d) 에 의해 둘러싸인 개구부가 기체가 통과하는 통기구 (14e) 가 된다. 급기 밸브 (8) 에서는 이 통기구 (14e) 를 통과하여 기체가 하우징 (11) 내로 유입되고, 배기 밸브 (9) 에서는 이 통기구 (14e) 를 통과하여 기체가 하우징 (11) 외로 유출된다.

고정 링 (19) 은 도 3 ∼ 도 5 에 나타내는 바와 같이, 원통상 측벽부 (19a) 와, 이 측벽부 (19a) 의 후단으로부터 외방으로 돌출되는 플랜지부 (19b) 를 갖고 있다. 이 측벽부 (19a) 의 내경은 고정 통 (12) 의 측벽 (12c) 의 외경보다 약간 크게 되어, 측벽부 (19a) 는 고정 통 (12) 의 측벽 (12c) 의 외측에 장착할 수 있는 구성으로 되어 있다. 이 고정 링 (19) 은 후방으로부터 고정 통 (12) 에 장착되는 것이다.

측벽부 (19a) 의 내면에는 도 9 및 도 10 에 나타내는 바와 같이, 고정 링 (19) 을 고정 통 (12) 에 장착할 때에, 고정 갈고리 (12i) 를 안내하는 안내 오목부 (19c) 가 형성되어 있다. 안내 오목부 (19c) 는 고정 갈고리 (12i) 에 대응하는 위치에서 축 방향으로 연장되어 있다. 또한, 안내 오목부 (19c) 는 고정 링 (19) 의 후단 근방에 있어서 경사면을 갖고 있다. 이 경사면은 후방을 향함에 따라서, 내방으로 경사져 있다. 고정 링 (19) 을 고정 통 (12) 에 장착할 때에는 고정 갈고리 (12i) 는 안내 오목부 (19c) 에 의해 안내되어, 경사면과 고정 갈고리 (12i) 가 접촉함으로써, 고정편 (12g) 이 내방으로 휜다. 고정 갈고리 (12i) 가 경사면을 통과하면, 고정 갈고리 (12i) 가 고정 링 (19) 의 후단으로부터 돌출된 상태가 되고, 고정편 (12g) 이 복원된다. 이 때, 고정 링 (19) 은 고정 갈고리 (12i) 에 의해 내방으로부터 걸린 상태가 되어, 고정 링 (19) 의 후방으로의 이동이 구속된다. 또한, 도 10 에 있어서, 안내 오목부 (19c) 는 고정 갈고리 (12i) 와 중첩되는 위치에 배치되어 있다.

플랜지부 (19b) 는 도 4 및 도 5 에 나타내는 바와 같이, 고정 통 (12) 의 플랜지부 (12b) 와 대향하도록 전체 둘레에 걸쳐서 형성되어 있다. 이 고정 링 (19) 의 플랜지부 (12b) 와 고정 통 (12) 의 플랜지부 (12b) 가, 용기 본체 (2) 의 저벽 (2c), 리브 (10) 를 사이에 끼움으로써, 하우징 (11) 을 용기 본체 (2) 에 고정시킬 수 있다.

또한, 고정 링 (19) 은 도 9 및 도 10 에 나타내는 바와 같이, 내방으로 돌출되어 고정편 (12g) 과 맞닿을 수 있게 된 둘레 고정부 (19d) 를 갖고 있다. 둘레 고정부 (19d) 는 판상을 이루고, 고정 통 (12) 의 고정편 (12g) 에 대응하도록 복수 형성되어 있다. 고정 링 (19) 을 고정 통 (12) 에 장착하고, 둘레 방향 (본 실시형태에서는 우방향) 으로 회전시킨 경우에, 고정편 (12g) 과 둘레 고정부 (19d) 가 맞닿아, 고정 링 (19) 의 둘레 방향으로의 이동을 구속시킬 수 있다.

또한, 고정 링 (19) 은 둘레 고정부 (19d) 로부터 둘레 방향 (본 실시형태에서는 좌방향) 으로 굴곡되어 고정편 (12g) 에 걸리는 훅부 (19e) 를 갖고 있다. 훅부 (19e) 는 판상을 이루고, 둘레 고정부 (19d) 의 단부로부터 굴곡되어 둘레 방향으로 연장되어 있다. 훅부 (19e) 는 둘레 방향에 있어서, 고정편 (12g) 의 폭에 대응하는 크기로 되고, 내방으로부터 고정편 (12) 을 걸 수 있는 돌출부를 갖고 있다. 고정 링 (19) 이 고정 통 (12) 에 걸린 상태에서는 고정편 (12g) 은 직경 방향에 있어서, 측벽부 (19a) 와 훅부 (19e) 에 의해 사이에 끼워지고, 둘레 방향에 있어서, 둘레 고정부 (19d) 와 훅부 (19e) 에 의해 사이에 끼워져 있다.

또한, 역지 밸브 (8, 9) 의 재질로는 예를 들어 폴리카보네이트, 폴리스티렌, 폴리에틸렌, 시클로올레핀폴리머, 폴리아세탈, 폴리에테르이미드 등의 수지를 들 수 있고, 이들 수지로부터 적절히 선택하여 역지 밸브 (8, 9) 를 형성하는 것이 바람직하다. 또한, 하우징 (11) 을 구성하는 고정 통 (12) 및 밸브체 수납 통 (14) 은 내부 상황을 확인할 수 있도록 투명한 수지에 의해 형성되는 것이 바람직하다. 또한, O 링 (18, 20, 21) 의 재질로는 예를 들어 멜라민 고무, 이소프렌 고무, 부틸 고무, 실리콘 고무, 불소 고무 등의 고무, 폴리에스테르계 열가소성 엘라스토머, 폴리올레핀계 엘라스토머 등의 각종 열가소성 엘라스토머를 들 수 있다. 또한, 압축 코일 스프링 (17) 의 재질로는 스테인리스 등의 금속, 수지 등을 들 수 있다. 금속제 압축 코일 스프링 (17) 을 적용하는 경우에는 금속 성분에 의한 용기 본체 (2) 내의 오염을 방지하기 위해서, 금속의 표면에 PEEK 등의 수지 성분을 사용한 코팅, 엘라스토머 성분을 사용한 코팅, 다이아몬드 라이크 코팅 등을 시공하는 것이 바람직하다.

다음으로, 이와 같이 구성된 기판 수납 용기 (1) 의 급기 밸브 (8), 배기 밸브 (9) 의 조립에 대하여 설명한다. 먼저, 고정 통 (12) 의 타방 단부측 (고정 갈고리 (12i) 측) 이 상방을 향하도록 하고, 고정 통 (12) 내에 필터 (15), 필터 누름부 (16) 를 삽입한다.

다음으로, 급기 밸브 (8) 에서는 압축 코일 스프링 (17), O 링 (18) 이 장착된 밸브체 (13) 를 필터 누름부 (16) 상에 배치한다. 구체적으로는 압축 코일 스프링 (17) 을 필터 누름부 (16) 와 밸브체 (13) 사이에 배치하고, 밸브체 (13) 의 개구부 (13d) 내에 필터 누름부 (16) 의 원통부 (16b) 를 삽입시킨다.

한편, 배기 밸브 (9) 에서는 O 링 (18) 이 장착된 밸브체 (23), 압축 코일 스프링 (17) 을 필터 누름부 (16) 상에 배치한다. 구체적으로는 밸브체 (23) 의 개구부 (23d) 내에 필터 누름부 (16) 의 원통부 (16b) 를 삽입시키고, 압축 코일 스프링 (17) 을 밸브체 (23) 의 타방 단부 (23b) 측으로부터 장착한다.

다음으로, O 링 (21) 이 장착된 밸브체 수납 통 (14) 을 준비하여 고정 통 (12) 에 장착한다. 구체적으로는 도 6 에 나타내는 바와 같이, 밸브체 수납 통 (14) 의 위치 결정 볼록부 (14c) 를 고정 통 (12) 의 위치 결정용 오목부 (12e) 에 맞추고, 밸브체 수납 통 (14) 을 고정 통 (12) 에 밀어 넣어, 고정 통 (12) 의 걸림 오목부 (12d) 에 밸브체 수납 통 (14) 의 걸림 돌기 (14b) 를 끼운다. 밸브체 수납 통 (14) 의 되꺾임 플랜지 (14a) 의 외주면이, 고정 통 (12) 의 측벽 (12c) 의 내주면에 맞닿은 상태가 된다. 또한, 필터 (15), 필터 누름부 (16) 의 원반부 (16a) 는 밸브체 수납 통 (14) 의 일방 단부에 의해 고정 통 (12) 의 창틀 (12a) 에 가압되어 고정된다.

급기 밸브 (8) 에서는 도 4 에 나타내는 바와 같이, 압축 코일 스프링 (17) 의 일방 단부가 필터 누름부 (16) 의 원반부 (16a) 에 맞닿고, 압축 코일 스프링 (17) 의 타방 단부가 밸브체 (13) 의 고리상 플랜지부 (13b) 에 맞닿은 상태로 되어 있다. 그리고, 밸브체 (13) 는 압축 코일 스프링 (17) 에 의해 탄성 지지되어, 밸브체 (13) 에 장착된 O 링 (18) 이 밸브체 수납 통 (14) 의 플랜지부 (14d) 의 내면으로 밀려 맞닿아 있다. O 링 (18) 에 의한 시일면은 밸브체 수납 통 (14) 의 통기구 (14e) 를 둘러싸도록, 통기구 (14e) 의 외경보다 크게 형성되어 있다. 이로써, 용기 본체 (2) 의 밀폐 상태를 유지할 수 있다.

한편, 배기 밸브 (9) 에서는 도 13 에 나타내는 바와 같이, 압축 코일 스프링 (17) 의 일방 단부가 밸브체 (23) 의 고리상 플랜지부 (23b) 에 맞닿고, 압축 코일 스프링 (17) 의 타방 단부가 밸브체 수납 통 (14) 의 플랜지부 (14d) 의 내면에 맞닿은 상태로 되어 있다. 그리고, 밸브체 (23) 는 압축 코일 스프링 (17) 에 의해 탄성 지지되어, 밸브체 (23) 에 장착된 O 링 (18) 이 필터 누름부 (16) 의 원반부 (16b) 로 밀려 맞닿아 있다. O 링 (18) 에 의한 시일면은 필터 누름부 (16) 의 복수의 관통공 (16c) 의 외측을 둘러싸도록, 복수의 관통공 (16c) 의 외측보다 크게 형성되어 있다. 이로써, 용기 본체 (2) 의 밀폐 상태를 유지할 수 있다.

여기서, 배기 밸브 (9) 의 통기구 (14e) 를 급기 밸브 (8) 의 통기구 (14e) 보다 크게 형성해 둘 수 있다. 이로써, 급기 밸브 (8) 와 배기 밸브 (9) 의 구별이 용이해진다. 또한, 통기구 (14e) 가 시일면에 의해 폐쇄되지 않는 배기 밸브 (9) 에서는 세정시에 밸브체 수납 통 (14) 내에 세정액이 침입하기 때문에, 통기구 (14e) 를 크게 해 둠으로써 세정 후의 탈수나 건조 효율을 향상시킬 수 있다.

다음으로, 하우징 (11) 의 용기 본체 (2) 에 고정에 대하여 설명한다. 먼저, 도 4, 도 5, 도 13 및 도 14 에 나타내는 바와 같이, O 링 (20) 을 고정 통 (12) 의 홈부 (12f) 에 장착한다. 다음으로, 고정 통 (12) 을 용기 본체 (2) 의 저벽 (2c) 의 관통공 (2d) 에 장착한다. 구체적으로는 고정 통 (12) 의 타방 단부를 용기 본체 (2) 의 내면측으로부터 관통공 (2d) 에 삽입한다. 그리고, 고정 통 (12) 의 플랜지부 (12) 를 관통공 (2d) 의 둘레 가장자리에 맞닿게 한다. 이 때, 고정 통 (12) 의 고정 갈고리 (12i) 는 리브 (10) 보다 외방으로 돌출된 상태로 되어 있다.

다음으로, 고정 링 (19) 을 용기 본체 (2) 의 외면측으로부터 고정 통 (12) 의 고정 갈고리 (12i) 에 장착한다. 구체적으로는 도 10 에 나타내는 바와 같이, 고정 링 (19) 의 안내 오목부 (19c) 를 고정 통 (12) 의 고정 갈고리 (12i) 에 대응하는 위치에 배치하고, 고정 링 (19) 을 고정 통 (12) 에 대하여 밀어 넣는다. 고정 갈고리 (12i) 는 안내 오목부 (19c) 에 의해 안내되어, 고정 링 (19) 의 플랜지부 (19b) 의 내측 둘레 가장자리에 걸어 맞춘다. 다음으로, 고정 링 (19) 을 고정 통 (12) 에 대하여 상대 회전시켜, 고정 통 (12) 의 고정편 (12g) 을 고정 링 (19) 의 둘레 고정부 (19d) 에 맞닿게 한다. 이 상태에서, 고정 링 (19) 의 훅부 (19e) 가 고정편 (12g) 에 걸려서 고정 링 (19) 의 이동이 구속된다. 그리고, 고정 링 (19) 의 플랜지부 (19b) 가 리브 (10) 의 단부에 맞닿은 상태가 된다. 즉, 고정 통 (12) 의 플랜지부 (12b) 와 고정 링 (19) 의 플랜지부 (19b) 에 의해, 용기 본체 (2) 의 저벽 (2c) 및 리브 (10) 를 사이에 끼우게 하여, 하우징 (11) 은 용기 본체 (2) 에 확실하게 고정된다. 이와 같이, 고정 링 (19) 을 사용하여 하우징 (11) 을 용기 본체 (2) 에 고정시키고 있기 때문에, 종전과 같이 나사에 의해 고정시킬 필요가 없어, 조임 토크의 관리를 할 필요가 없어졌다.

다음으로, 급기 밸브 (8) 의 동작에 대하여 설명한다. 평상시에, 급기 밸브 (8) 는 도 4 에 나타내는 바와 같이, 밸브체 (13) 가 밸브체 수납 통 (14) 의 플랜지부 (14d) 에 가압되어 닫힘 상태로 되어 있다. 그리고, 용기 본체 (2) 내에 기체를 공급할 때에는 기체의 압력에 의해 밸브체 (13) 가 압축 코일 스프링 (17) 에 저항하여 이동하여, 도 5 에 나타내는 바와 같이, 급기 밸브 (8) 는 열림 상태가 된다. 용기 본체 (2) 내에 공급되는 기체는 통기구 (14e) 를 통과하여 하우징 (11) 내로 유입되어, 필터 누름부 (16) 의 관통공 (16c), 필터 (15) 를 통 과한다. 필터 (15) 에 의해 불순물이 제거된 기체는 고정 통 (12) 의 창을 통과하여 용기 본체 (2) 내로 공급된다. 공급되는 기체의 압력이 저하되면, 밸브체 (13) 는 압축 코일 스프링 (17) 에 의해 탄성 지지되어 이동하여, 급기 밸브 (8) 는 닫힘 상태가 된다.

다음으로, 배기 밸브 (9) 의 동작에 대하여 설명한다. 평상시에, 배기 밸브 (9) 는 도 13 에 나타내는 바와 같이, 밸브체 (23) 가 필터 누름부 (16) 의 원반부 (16a) 에 가압되어 닫힘 상태로 되어 있다. 그리고, 용기 본체 (2) 외로 기체를 배출할 때에는 기체의 압력에 의해 밸브체 (23) 가 압축 코일 스프링 (17) 에 저항하여 이동하여, 도 14 에 나타내는 바와 같이, 배기 밸브 (9) 는 열림 상태가 된다. 용기 본체 (2) 외로 배출되는 기체는 고정 통 (12) 의 창을 통과하여 필터 (15), 필터 누름부 (16) 의 관통공 (16c) 을 통과한다. 관통공 (16c) 을 통과한 기체는 밸브체 수납 통 (14) 내로 유입되어, 통기구 (14e) 를 통과하여 배출된다. 용기 본체 (2) 내의 기체의 압력이 저하되면, 밸브체 (23) 는 압축 코일 스프링 (17) 에 의해 탄성 지지되어 이동하여, 배기 밸브 (9) 는 닫힘 상태가 된다.

이와 같은 기판 수납 용기 (1) 에서는 급기 밸브 (8) 및 배기 밸브 (9) 를 구비하고 있기 때문에, 바람직하게 가스 퍼지를 실시할 수 있다. 또한, 급기 밸브 (8) 및 배기 밸브 (9) 의 하우징 (11) 은 고정 통 (12) 과 밸브체 수납 통 (14) 을 구비하고, 이들 고정 통 (12) 및 밸브체 수납 통 (14) 은 위치 결정용 오목부 (12e) 및 위치 결정 볼록부 (14c) 를 갖고 있다. 이 때문에, 고정 통 (12) 에 대한 밸브체 수납 통 (14) 의 위치 결정을 용이하게 실시할 수 있어, 효율적으로 급기 밸브 (8) 및 배기 밸브 (9) 를 조립할 수 있다. 또한, 고정 통 (12) 및 밸브체 수납 통 (14) 은 걸림 오목부 (12d) 및 걸림 돌기 (14b) 를 구비하고 있기 때문에, 밸브체 수납 통 (14) 을 고정 통 (12) 에 대하여 걸 수 있다. 이로써, 종전과 같이 나사에 의해 하우징 (11) 을 결합할 필요가 없다. 또한, 기판 수납 용기 (1) 의 급기 밸브 (8) 및 배기 밸브 (9) 는 고정 링 (19) 을 사용하여 하우징 (11) 을 용기 본체 (2) 에 고정시킬 수 있기 때문에, 종전과 같이 나사에 의해 고정시킬 필요가 없다. 따라서, 종전과 같이 나사 결합할 필요가 없기 때문에, 조임 토크의 관리를 할 필요가 없다. 그 결과, 조립 작업의 간소화를 도모할 수 있다.

또한, 고정 통 (12) 은 고정 링 (19) 을 고정시키기 위한 고정편 (12g) 및 고정 갈고리 (12i) 를 구비하고 있기 때문에, 고정 링 (19) 확실하게 고정 통 (12) 에 고정시킬 수 있다. 또한, 고정 링 (19) 은 외방으로 돌출되는 플랜지부 (19b) 를 구비하고 있기 때문에, 플랜지부 (19b) 를 용기 본체 (2) 의 관통공 (2d) 의 둘레 가장자리에 맞닿게 함으로써, 하우징 (11) 이 안정적으로 용기 본체 (2) 에 고정되어 있다. 또한, 고정 링 (19) 의 측벽부 (19a) 의 내주면에는 고정 갈고리 (12i) 의 이동을 안내하는 안내 오목부 (19c) 가 형성되어 있기 때문에, 고정 링 (19) 을 순조롭게 고정 통 (12) 에 장착할 수 있다. 이로써, 조립 작업의 효율을 한층 더 향상시킬 수 있다. 또한, 고정 링 (19) 의 측벽부 (19a) 의 내주면에는 내방으로 돌출되어 고정편 (12g) 과 맞닿을 수 있게 된 둘레 고정부 (19e) 와, 둘레 고정부 (19e) 로부터 둘레 방향으로 굴곡되어 고정편 (12g) 에 걸리는 훅부 (19e) 가 형성되어 있기 때문에, 고정 링 (19) 을 고정편 (12g) 에 장착하고 고정 링 (19) 을 고정 통 (12) 에 대하여 회전시킴으로써, 고정 링 (19) 의 훅부 (19e) 를 고정 통 (12) 의 고정편 (12g) 에 걸 수 있게 되어 있다.

또한, 압축 코일 스프링 (17) 에 의해 탄성 지지되는 고리상 탄성 지지면 (13f, 23f) 의 외경 D1 이, 밸브체 (13, 23) 의 고리상 시일면 (18a) 의 외경 D2 보다 크기 때문에, 밸브체 (13, 23) 의 경사를 방지하여 확실하게 기체를 시일할 수 있다. 또한, 시일면 (18a) 이 형성된 일방의 단부 (13a, 23a) 와는 반대측의 타방의 단부 (13b, 23b) 에, 기체의 유통을 가능하게 하는 가스 추출 오목부 (13c, 23c) 가 직경 방향으로 형성되어 있기 때문에, 타방의 단부 (13b) 와 필터 누름부 (16) 의 원반부 (16a) 가 접촉한 경우, 타방의 단부 (23b) 와 밸브체 수납 통 (14) 의 플랜지부 (14b) 가 접촉한 경우에 있어서도, 가스 추출 오목부 (13c, 23c) 에 의해 기체를 유통시킬 수 있다. 따라서, 시일면 (18a) 과 반대측에서 불필요한 시일면이 형성되는 것을 방지할 수 있다.

이상, 본 발명을 그 실시형태에 기초하여 구체적으로 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니다. 상기 실시형태에 있어서, 본 발명의 기판 수납 용기에 의한 수납물을 기판으로 하고 있는데, 수납되는 기판은 반도체 웨이퍼에 한정되지 않고, 마스크 유리를 비롯한 그 밖의 기판이어도 된다.

또한, 상기 실시형태에서는 보텀 플레이트 (7) 를 구비하는 구성으로 하고 있지만, 보텀 플레이트 (7) 를 구비하지 않는 구성이어도 된다.

또한, 상기 실시형태에서는 탄성 지지 수단으로서 압축 코일 스프링 (17) 을 사용하고 있지만, 예를 들어 판 스프링이나, 각종 열가소성 엘라스토머를 비롯한 각종 고무를 사용해도 된다. 또한, 판 스프링의 재질로는 스테인리스나 수지 등을 들 수 있다.

또한, 상기 실시형태에서는 고리상 탄성 지지면의 외경 D1 이 고리상 시일면 (18a) 의 외경 D2 보다 크게 되어 있지만, 탄성 지지면의 외경 D1 이 시일면의 외경 D2 보다 작아도 된다.

단, 탄성 지지면의 외경 D1 이 시일면의 외경 D2 이상인 것이 바람직하다.

본 발명은 조임 토크의 관리의 필요성이 없고, 조립 작업의 간소화를 도모한 역지 밸브 및 역지 밸브를 구비한 기판 수납 용기를 제공한다.

Claims

기판을 수납하는 용기 본체와, 원통상 하우징 및 상기 하우징 내에 배치된 밸브체를 갖고 상기 용기 본체 내외에 대한 기체의 유통을 제어하는 역지 밸브를 구비하고, 상기 하우징이 상기 용기 본체의 관통공에 장입되는 기판 수납 용기에 있어서,

상기 용기 본체의 내부측을 선단측으로 하고,

상기 역지 밸브는 후단측에 장착되고 상기 하우징에 대하여 상대 회전 가능하게 됨과 함께, 상기 하우징을 후방으로부터 상기 용기 본체에 고정시키는 고정 링을 구비하고,

상기 하우징은,

선단측에 배치되는 제 1 하우징과,

선단부가 상기 제 1 하우징 내에 삽입되어, 상기 제 1 하우징에 장착되는 제 2 하우징을 구비하고,

상기 제 1 하우징은,

후단부로부터 후방으로 돌출되는 고정편과,

상기 고정편의 후단부에 형성되어 고정 링을 고정시키는 고정 갈고리를 구비하고,

상기 고정 링은,

상기 제 1 하우징의 외측에 장착되는 원통상 측벽부와,

상기 측벽부로부터 외방으로 돌출되는 플랜지부를 구비하고,

상기 측벽부의 내주면에는

축 방향으로 연장되어 상기 고정 갈고리를 안내하는 안내 오목부와,

내방으로 돌출되어 상기 고정편과 맞닿을 수 있게 된 둘레 고정부와,

상기 둘레 고정부로부터 둘레 방향으로 굴곡되어 상기 고정편에 걸리는 훅부가 형성되어 있고,

상기 역지 밸브는,

상기 제 1 하우징에 대하여 상기 제 2 하우징을 위치 결정하는 위치 결정부와,

상기 제 1 하우징에 대하여 상기 제 2 하우징을 거는 걸림부를 추가로 구비하고,

상기 위치 결정부는,

상기 제 1 하우징의 후단에 형성된 위치 결정용 오목부와,

상기 제 2 하우징의 되꺾임 플랜지부에 형성되어 상기 위치 결정용 오목부에 걸어 맞추는 위치 결정용 볼록부를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 기판 수납 용기.
삭제
제 1 항에 있어서,

상기 제 2 하우징은,

선단부측으로부터 되꺾여 상기 제 1 하우징의 내주면에 전체 둘레에 걸쳐서 맞닿는 되꺾임 플랜지부를 구비하고,

상기 걸림부는,

상기 제 1 하우징의 내주면에 형성된 걸림 오목부와,

상기 제 2 하우징의 되꺾임 플랜지부에 형성되고 상기 걸림 오목부에 걸어 맞추는 걸림 돌기를 갖는 것을 특징으로 하는 기판 수납 용기.
삭제
제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,

상기 밸브체는 원주상을 이루고,

고리상 시일면이 형성된 일방의 단부와,

탄성 지지 수단에 의해 탄성 지지되는 고리상 탄성 지지면이 형성된 고리상 플랜지부와,

상기 기체의 유통을 가능하게 하는 가스 추출 오목부가 직경 방향으로 형성된 타방의 단부를 구비하고,

상기 고리상 시일면 및 상기 고리상 탄성 지지면은 동심으로 되고, 상기 고리상 탄성 지지면의 외경은 상기 고리상 시일면의 외경 이상인 것을 특징으로 하는 기판 수납 용기.
기판을 수납하는 기판 수납 용기의 용기 본체의 관통공에 장입되고, 상기 기판 수납 용기 내외에 대한 기체의 유통을 제어하는 역지 밸브에 있어서,

상기 용기 본체의 내부측을 선단측으로 하고,

상기 관통공에 장착되는 원통상 하우징과,

상기 하우징 내에 수용된 밸브체와,

상기 하우징의 후단측에 장착되고 상기 하우징에 대하여 상대 회전 가능하게 됨과 함께, 상기 하우징을 후방으로부터 상기 용기 본체에 고정시키는 고정 링을 구비하고,

상기 하우징은,

선단측에 배치되는 제 1 하우징과,

선단부가 상기 제 1 하우징 내에 삽입되어, 상기 제 1 하우징에 장착되는 제 2 하우징을 구비하고,

상기 제 1 하우징은,

후단부로부터 후방으로 돌출되는 고정편과,

상기 고정편의 후단부에 형성되어 고정 링을 고정시키는 고정 갈고리를 구비하고,

상기 고정 링은,

상기 제 1 하우징의 외측에 장착되는 원통상 측벽부와,

상기 측벽부로부터 외방으로 돌출되는 플랜지부를 구비하고,

상기 측벽부의 내주면에는

축 방향으로 연장되어 상기 고정 갈고리를 안내하는 안내 오목부와,

내방으로 돌출되어 상기 고정편과 맞닿을 수 있게 된 둘레 고정부와,

상기 둘레 고정부로부터 둘레 방향으로 굴곡되어 상기 고정편에 걸리는 훅부가 형성되고,

상기 제 1 하우징에 대하여 상기 제 2 하우징을 위치 결정하는 위치 결정부와,

상기 제 1 하우징에 대하여 상기 제 2 하우징을 거는 걸림부를 추가로 구비하고

상기 위치 결정부는,

상기 제 1 하우징의 후단에 형성된 위치 결정용 오목부와,

상기 제 2 하우징의 되꺾임 플랜지부에 형성되어 상기 위치 결정용 오목부에 걸어 맞추는 위치 결정용 볼록부를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 역지 밸브.
삭제
제 1 항에 있어서,

상기 밸브체는 상기 제 1 및 제 2 하우징 내에 수용되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 수납 용기.
제 1 항에 있어서,

상기 역지 밸브는, 상기 제 1 하우징의 상기 고정 갈고리와 상기 고정 링의 상기 훅부가 걸어 맞추어짐으로써 용기 본체에 고정되는 것을 특징으로 하는 기판 수납 용기.
제 1 항에 있어서,

상기 제 2 하우징은, 상기 제 1 하우징의 내주면의 전체 둘레에 걸쳐서 맞닿는 되꺾임 플랜지부를 갖고 있고,

상기 제 1 및 제 2 하우징은, 상기 되꺾임 플랜지부에 형성된 상기 걸림부와 상기 제 1 하우징의 내주면의 상기 걸림부가 걸어 맞추어짐으로써 장착되는 것을 특징으로 하는 기판 수납 용기.
제 6 항에 있어서,

상기 밸브체는 상기 제 1 및 제 2 하우징 내에 수용되어 있는 것을 특징으로 하는 역지 밸브.
제 6 항에 있어서,

상기 제 1 하우징의 상기 고정 갈고리와 상기 고정 링의 상기 훅부가 걸어 맞추어짐으로써 용기 본체에 고정되는 것을 특징으로 하는 역지 밸브.
제 6 항에 있어서,

상기 제 2 하우징은, 상기 제 1 하우징의 내주면의 전체 둘레에 걸쳐서 맞닿는 되꺾임 플랜지부를 갖고 있고,

상기 제 1 및 제 2 하우징은, 상기 되꺾임 플랜지부에 형성된 상기 걸림부와 상기 제 1 하우징의 내주면의 상기 걸림부가 걸어 맞추어짐으로써 장착되는 것을 특징으로 하는 역지 밸브.