JPH08198377A - マスク保護装置の収納ケース - Google Patents
マスク保護装置の収納ケースInfo
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- JPH08198377A JPH08198377A JP689295A JP689295A JPH08198377A JP H08198377 A JPH08198377 A JP H08198377A JP 689295 A JP689295 A JP 689295A JP 689295 A JP689295 A JP 689295A JP H08198377 A JPH08198377 A JP H08198377A
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- lid
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Abstract
(57)【要約】
【目 的】 ペリクルを納める収納ケースに導電性を持
たせてペリクル膜の帯電量を小さくし、膜面への異物の
付着を少なくする。 【構 成】 ペリクルが装着される底蓋と、上蓋よりな
る収納ケースにおいて、底蓋をセラミック繊維を混入し
たポリプロピレン樹脂、上蓋を導電性樹脂で成形し、各
樹脂の表面固有抵抗を１０13Ω以下とする。
たせてペリクル膜の帯電量を小さくし、膜面への異物の
付着を少なくする。 【構 成】 ペリクルが装着される底蓋と、上蓋よりな
る収納ケースにおいて、底蓋をセラミック繊維を混入し
たポリプロピレン樹脂、上蓋を導電性樹脂で成形し、各
樹脂の表面固有抵抗を１０13Ω以下とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＬＳＩなど集積回路の
製造工程において、マスクやレチクル（以下「マスク」
という）に塵埃等が付着するのを防止する目的で用いら
れるマスク保護装置（以下「ペリクル」という）を収納
するケースに関する。
製造工程において、マスクやレチクル（以下「マスク」
という）に塵埃等が付着するのを防止する目的で用いら
れるマスク保護装置（以下「ペリクル」という）を収納
するケースに関する。
【０００２】
【従来技術】集積回路の製造工程におけるフォトリソグ
ラフィ工程では、マスク上に塵埃等が付着すると、これ
が半導体ウェハに投影され、不良製品となりがちであ
る。この問題を解消し、マスク上に異物が付着するのを
防止するため、マスクパターンを囲う大きさの枠の一側
面に透明な薄膜（以下「ペリクル膜」という）を張設
し、他側端面を基板上に粘着テープ等の接着手段により
接着してマスクをペリクル膜により一定の間隔を存して
覆うようにしたペリクルが供されるようになった。
ラフィ工程では、マスク上に塵埃等が付着すると、これ
が半導体ウェハに投影され、不良製品となりがちであ
る。この問題を解消し、マスク上に異物が付着するのを
防止するため、マスクパターンを囲う大きさの枠の一側
面に透明な薄膜（以下「ペリクル膜」という）を張設
し、他側端面を基板上に粘着テープ等の接着手段により
接着してマスクをペリクル膜により一定の間隔を存して
覆うようにしたペリクルが供されるようになった。
【０００３】こうしたペリクルは、異物の付着を最小限
に抑える必要があることから、製造時には異物の混入防
止対策を実施したり、静電気の除去を実施し、また出荷
時には収納ケースに入れられ、収納ケースは更に一つ一
つ内袋に入れられたのち、通常１０個程度重ねて外袋に
入れられ、ついで段ボールに納めて梱包され、輸送ない
し保管されている。
に抑える必要があることから、製造時には異物の混入防
止対策を実施したり、静電気の除去を実施し、また出荷
時には収納ケースに入れられ、収納ケースは更に一つ一
つ内袋に入れられたのち、通常１０個程度重ねて外袋に
入れられ、ついで段ボールに納めて梱包され、輸送ない
し保管されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ペリクルは上述するよ
うに、収納ケースに入れられたのち、内袋及び外袋に入
れられ、ついで段ボールに梱包されて出荷され輸送され
るが、輸送時の荷動きによって再帯電したり、納入後、
非除電環境下で段ボールから袋を、袋から収納ケース
を、収納ケースからペリクルをそれぞれ取り出す際、或
いはまた気流のある場所に放置した場合、再帯電しがち
で、本発明者らの実験によると、帯電したペリクルをそ
のまゝ放置しておいても帯電レベルの低下は少なく、異
物の静電気による付着を招くこと、ペリクル膜の帯電量
と、膜面に付着した異物の数には相関性があることなど
が分かった。
うに、収納ケースに入れられたのち、内袋及び外袋に入
れられ、ついで段ボールに梱包されて出荷され輸送され
るが、輸送時の荷動きによって再帯電したり、納入後、
非除電環境下で段ボールから袋を、袋から収納ケース
を、収納ケースからペリクルをそれぞれ取り出す際、或
いはまた気流のある場所に放置した場合、再帯電しがち
で、本発明者らの実験によると、帯電したペリクルをそ
のまゝ放置しておいても帯電レベルの低下は少なく、異
物の静電気による付着を招くこと、ペリクル膜の帯電量
と、膜面に付着した異物の数には相関性があることなど
が分かった。
【０００５】図１は、膜帯電量と膜面に付着した異物の
数との関係を示すもので、異物の数は膜の帯電量を測定
後、ペリクルを一旦ケースに納めてから再度取出し、帯
電量測定後に膜面に付着した１０μｍ以上の異物を目視
により数えたものである。同図に見られるように、膜の
帯電量が３ＫＶ位までは異物が殆ど付着しないか、付着
してもエアブローで除去することができたが、膜の帯電
量が５ＫＶ以上になると、ペリクルのほゞ全数に大きな
異物が付着し、エアブローしても動き廻るだけで膜から
離れなかった。
数との関係を示すもので、異物の数は膜の帯電量を測定
後、ペリクルを一旦ケースに納めてから再度取出し、帯
電量測定後に膜面に付着した１０μｍ以上の異物を目視
により数えたものである。同図に見られるように、膜の
帯電量が３ＫＶ位までは異物が殆ど付着しないか、付着
してもエアブローで除去することができたが、膜の帯電
量が５ＫＶ以上になると、ペリクルのほゞ全数に大きな
異物が付着し、エアブローしても動き廻るだけで膜から
離れなかった。
【０００６】次に本発明者らは、ペリクル膜の帯電量と
収納ケースの帯電量との相関関係について調べたとこ
ろ、ケースの帯電量が大きくなると、ペリクル膜の帯電
量も高くなる傾向があることを確認した。そこで本発明
者らは、ペリクル膜の帯電量を最小限にするため、収納
ケースや収納ケースを納める包装袋に導電性を持たせる
ことを考え、その場合のペリクル膜の帯電量について更
に実験を重ねた結果、収納ケースに導電性を持たせれ
ば、包装袋の帯電し易さはケース及びペリクルに殆ど影
響を与えず、ペリクルの帯電量を小さくするうえで、き
わめて有効であることを見い出した。
収納ケースの帯電量との相関関係について調べたとこ
ろ、ケースの帯電量が大きくなると、ペリクル膜の帯電
量も高くなる傾向があることを確認した。そこで本発明
者らは、ペリクル膜の帯電量を最小限にするため、収納
ケースや収納ケースを納める包装袋に導電性を持たせる
ことを考え、その場合のペリクル膜の帯電量について更
に実験を重ねた結果、収納ケースに導電性を持たせれ
ば、包装袋の帯電し易さはケース及びペリクルに殆ど影
響を与えず、ペリクルの帯電量を小さくするうえで、き
わめて有効であることを見い出した。
【０００７】収納ケースに導電性を持たせるには、収納
ケースを金属製にすることが先ず考えられるが、金属製
の収納ケースは重く、アルミで形成した場合高価とな
り、ケースから金属塵等が発生しがちである。またケー
スを樹脂製として導線を埋設するのも、ケースの製造工
程が増え、高価となりがちで、発塵の原因ともなり易
い。
ケースを金属製にすることが先ず考えられるが、金属製
の収納ケースは重く、アルミで形成した場合高価とな
り、ケースから金属塵等が発生しがちである。またケー
スを樹脂製として導線を埋設するのも、ケースの製造工
程が増え、高価となりがちで、発塵の原因ともなり易
い。
【０００８】本発明は、こうした問題を生ずることな
く、導電性を有するペリクルの収納ケースを提供するこ
とを目的とする。
く、導電性を有するペリクルの収納ケースを提供するこ
とを目的とする。
【０００９】
【課題の解決手段】本発明は、ペリクルが装着される底
蓋と、底蓋に着脱可能に取着される上蓋とよりなるペリ
クルの収納ケースにおいて、底蓋、好ましくは底蓋と上
蓋の両方を表面固有抵抗が１０13Ω以下、好ましくは１
０12Ω以下、より好ましくは１０11Ω以下の樹脂で構成
してなるものである。
蓋と、底蓋に着脱可能に取着される上蓋とよりなるペリ
クルの収納ケースにおいて、底蓋、好ましくは底蓋と上
蓋の両方を表面固有抵抗が１０13Ω以下、好ましくは１
０12Ω以下、より好ましくは１０11Ω以下の樹脂で構成
してなるものである。
【００１０】表面固有抵抗が１０13Ω以下の樹脂は、そ
の種類を問わないが、その中でいくつかを例示すれば、
次のようなものが挙げられる。その一つは、ポリエチレ
ンオキサイド系重合体を含むオレフィン重合体組成物で
ポリエチレンオキサイド系重合体の含量は、一般に０．
０１〜３０wt％であればよく、耐水性の向上したケース
を必要とする場合は、熱可塑性芳香族ポリエステルを
０．０１〜３０wt％含んでいてもよい。熱可塑性芳香族
ポリエステルとして具体的には、ポリエチレンテレフタ
レート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンオ
キサイド系重合体としては、ポリエチレングリコール、
ブチレングリコールにエチレンオキサイドを付加重合さ
せたものを挙げる事ができる。また、セラミック繊維を
混入したポリプロピレン（以下、ウイスカ入りＰ．Ｐ樹
脂という）、導電性ＡＢＳ樹脂などを挙げることがで
き、これらの樹脂の表面固有抵抗は、ポリオレフィン系
樹脂を６５重量％、芳香族ポリエステルを２５重量％、
ポリエチレンオキサイド系重合体を１０重量％含む熱可
塑性樹脂で１０10Ω、ポリオレフィン系樹脂を９０重量
％、芳香族ポリエステルを７重量％、ポリエチレンオキ
サイド系重合体を３重量％含む熱可塑性樹脂で１０
11Ω、ポリオレフィン系重合体を９０重量％、ポリエチ
レンオキサイド系重合体を１０重量％含む熱可塑性樹脂
で１０11Ω、ポリオレフィン系重合体を５５重量％、芳
香族ポリエステルを３５重量％、ポリエチレンオキサイ
ド系重合体を１０重量％含む熱可塑性樹脂で１０11Ω、
ＡＢＳ系導電性樹脂（東レ株式会社製、商品名「トヨラ
ックパレル」品番ＹＭ−２０１）で１０11Ω、クレハ化
学株式会社製の商品名「バイヨン」、品番ＹＭ２０１の
導電性樹脂で１０11Ω、ウイスカ入りＰ．Ｐ樹脂で１０
11Ωのオーダである。
の種類を問わないが、その中でいくつかを例示すれば、
次のようなものが挙げられる。その一つは、ポリエチレ
ンオキサイド系重合体を含むオレフィン重合体組成物で
ポリエチレンオキサイド系重合体の含量は、一般に０．
０１〜３０wt％であればよく、耐水性の向上したケース
を必要とする場合は、熱可塑性芳香族ポリエステルを
０．０１〜３０wt％含んでいてもよい。熱可塑性芳香族
ポリエステルとして具体的には、ポリエチレンテレフタ
レート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンオ
キサイド系重合体としては、ポリエチレングリコール、
ブチレングリコールにエチレンオキサイドを付加重合さ
せたものを挙げる事ができる。また、セラミック繊維を
混入したポリプロピレン（以下、ウイスカ入りＰ．Ｐ樹
脂という）、導電性ＡＢＳ樹脂などを挙げることがで
き、これらの樹脂の表面固有抵抗は、ポリオレフィン系
樹脂を６５重量％、芳香族ポリエステルを２５重量％、
ポリエチレンオキサイド系重合体を１０重量％含む熱可
塑性樹脂で１０10Ω、ポリオレフィン系樹脂を９０重量
％、芳香族ポリエステルを７重量％、ポリエチレンオキ
サイド系重合体を３重量％含む熱可塑性樹脂で１０
11Ω、ポリオレフィン系重合体を９０重量％、ポリエチ
レンオキサイド系重合体を１０重量％含む熱可塑性樹脂
で１０11Ω、ポリオレフィン系重合体を５５重量％、芳
香族ポリエステルを３５重量％、ポリエチレンオキサイ
ド系重合体を１０重量％含む熱可塑性樹脂で１０11Ω、
ＡＢＳ系導電性樹脂（東レ株式会社製、商品名「トヨラ
ックパレル」品番ＹＭ−２０１）で１０11Ω、クレハ化
学株式会社製の商品名「バイヨン」、品番ＹＭ２０１の
導電性樹脂で１０11Ω、ウイスカ入りＰ．Ｐ樹脂で１０
11Ωのオーダである。
【００１１】
【実施例】本実施例及び比較例で使用した樹脂の表面固
有抵抗は次の通りである。 東レ株式会社製ＡＢＳ系導電性樹脂（商品名「トヨラックパレル」） ２．６×１０10Ω クレハ化学株式会社製導電製樹脂（商品名「バイヨン」）１．５×１０10Ω ウイスカ入りＰ．Ｐ樹脂 ２．５×１０12Ω 三菱モンサント化成株式会社製ＡＢＳ樹脂（商品名「タフレックス」） ４．２×１０16Ω 三井石油化学工業株式会社製ポリプロピレン（商品名「ハイポール」） １．７×１０16Ω 上記樹脂の表面固有抵抗はＪＩＳ Ｋ ６９１−１９７
９に準じて次のようにして測定した。
有抵抗は次の通りである。 東レ株式会社製ＡＢＳ系導電性樹脂（商品名「トヨラックパレル」） ２．６×１０10Ω クレハ化学株式会社製導電製樹脂（商品名「バイヨン」）１．５×１０10Ω ウイスカ入りＰ．Ｐ樹脂 ２．５×１０12Ω 三菱モンサント化成株式会社製ＡＢＳ樹脂（商品名「タフレックス」） ４．２×１０16Ω 三井石油化学工業株式会社製ポリプロピレン（商品名「ハイポール」） １．７×１０16Ω 上記樹脂の表面固有抵抗はＪＩＳ Ｋ ６９１−１９７
９に準じて次のようにして測定した。
【００１２】厚さ２〜３mmの樹脂シートより１０cm角の
試験片を打抜き、その両面に錫箔を貼って試料を作成し
た。その後温度２３℃、相対湿度５０±２％において４
８時間以上放置したのち、図２に示すように、絶縁物１
上の対向電極２の上に上記試料３を載せ、更にその上に
主電極４と環状の保護電極５を同心円状にして載せ、タ
ケダ理研株式会社製の振動容量型エレクトロメータ（Ｔ
Ｒ８４１１）で、規定電圧Ｅs を５００Ｖに設定し、電
流値ＩX を読み取った。そしてこれよりＲX をＲX ＝Ｅ
s ／ＩX より求め、表面固有抵抗Ωを次式より算出し
た。
試験片を打抜き、その両面に錫箔を貼って試料を作成し
た。その後温度２３℃、相対湿度５０±２％において４
８時間以上放置したのち、図２に示すように、絶縁物１
上の対向電極２の上に上記試料３を載せ、更にその上に
主電極４と環状の保護電極５を同心円状にして載せ、タ
ケダ理研株式会社製の振動容量型エレクトロメータ（Ｔ
Ｒ８４１１）で、規定電圧Ｅs を５００Ｖに設定し、電
流値ＩX を読み取った。そしてこれよりＲX をＲX ＝Ｅ
s ／ＩX より求め、表面固有抵抗Ωを次式より算出し
た。
【００１３】δs ＝ＲX πｒo ／Ｄ ここで、ｒo は主電極４と保護電極５の平均直径６．０
cmであり、Ｄは主電極４と保護電極５の間隔１．０cmで
ある。 実施例１ 収納ケースの底蓋をウイスカ入りＰ．Ｐ樹脂製、上蓋を
クレハ化学株式会社製の導電性樹脂（商品名「バイヨ
ン」以下単に「Ｂ樹脂」という）製とし、三井石油化学
工業株式会社製のペリクルＮ５２ＳＰ−ＩＣ１Ａを底蓋
に装着したのち、上蓋を取付けた収納ケースを包装用の
内袋から取出し、底蓋、上蓋及びペリクル膜の帯電量を
測定した。
cmであり、Ｄは主電極４と保護電極５の間隔１．０cmで
ある。 実施例１ 収納ケースの底蓋をウイスカ入りＰ．Ｐ樹脂製、上蓋を
クレハ化学株式会社製の導電性樹脂（商品名「バイヨ
ン」以下単に「Ｂ樹脂」という）製とし、三井石油化学
工業株式会社製のペリクルＮ５２ＳＰ−ＩＣ１Ａを底蓋
に装着したのち、上蓋を取付けた収納ケースを包装用の
内袋から取出し、底蓋、上蓋及びペリクル膜の帯電量を
測定した。
【００１４】測定は、温度２４℃、湿度５０±２％、
０．００〜０．０８ＫＶの環境下のクリーンルーム内で
ヒューグルエレクトロニクス製の静電測定器ＥＳＣＡ−
２０１を用いて行った。その結果を表１及び図３に示
す。 実施例２ 底蓋を東レ株式会社製ＡＢＳ導電製樹脂（商品名「トヨ
ラックパレル」以下、単に「導電性ＡＢＳ樹脂」とい
う）製、上蓋をＢ樹脂製とした収納ケースを用い、実施
例１と同様にして底蓋、上蓋及びペリクル膜の帯電量を
測定した。その結果を表１及び図３に示す。
０．００〜０．０８ＫＶの環境下のクリーンルーム内で
ヒューグルエレクトロニクス製の静電測定器ＥＳＣＡ−
２０１を用いて行った。その結果を表１及び図３に示
す。 実施例２ 底蓋を東レ株式会社製ＡＢＳ導電製樹脂（商品名「トヨ
ラックパレル」以下、単に「導電性ＡＢＳ樹脂」とい
う）製、上蓋をＢ樹脂製とした収納ケースを用い、実施
例１と同様にして底蓋、上蓋及びペリクル膜の帯電量を
測定した。その結果を表１及び図３に示す。
【００１５】実施例３ 底蓋及び上蓋を共にＢ樹脂製とした収納ケースを用い、
実施例１と同様にして底蓋、上蓋及びペリクル膜の帯電
量を測定した。その結果を表１及び図３に示す。 比較例１ 底蓋をウイスカ入りＰ．Ｐ樹脂製、上蓋を三井石油化学
工業株式会社製のポリプロピレン（商品名「ハイポー
ル」以下単にＰ．Ｐ樹脂という）製とした収納ケースを
用い、実施例１と同様にして底蓋、上蓋及びペリクル膜
の帯電量を測定した。その結果を表１及び図３に示す。
実施例１と同様にして底蓋、上蓋及びペリクル膜の帯電
量を測定した。その結果を表１及び図３に示す。 比較例１ 底蓋をウイスカ入りＰ．Ｐ樹脂製、上蓋を三井石油化学
工業株式会社製のポリプロピレン（商品名「ハイポー
ル」以下単にＰ．Ｐ樹脂という）製とした収納ケースを
用い、実施例１と同様にして底蓋、上蓋及びペリクル膜
の帯電量を測定した。その結果を表１及び図３に示す。
【００１６】比較例２ 底蓋をＡＢＳ樹脂製、上蓋をＰ．Ｐ樹脂製とした収納ケ
ースを用い、実施例１と同様にして底蓋、上蓋及びペリ
クル膜の帯電量を測定した。その結果を表１及び図３に
示す。 比較例３ 底蓋を三菱モンサント株式会社製のＡＢＳ樹脂（商品名
「タフレックス」以下、単に「ＡＢＳ樹脂」という）
製、上蓋をＢ樹脂製とした収納ケースを用い、実施例１
と同様にして底蓋、上蓋及びペリクル膜の帯電量を測定
した。その結果を表１及び図３に示す。
ースを用い、実施例１と同様にして底蓋、上蓋及びペリ
クル膜の帯電量を測定した。その結果を表１及び図３に
示す。 比較例３ 底蓋を三菱モンサント株式会社製のＡＢＳ樹脂（商品名
「タフレックス」以下、単に「ＡＢＳ樹脂」という）
製、上蓋をＢ樹脂製とした収納ケースを用い、実施例１
と同様にして底蓋、上蓋及びペリクル膜の帯電量を測定
した。その結果を表１及び図３に示す。
【００１７】
【表１】
【００１８】表１及び図３に見られるように、実施例１
から比較例３まで膜帯電量の低い順に並べると次のよう
になる。 実施例１＜実施例２＜実施例３＜比較例１＜比較例２＜
比較例３ 実施例４ 実施例３の収納ケースを内袋から取り出したのち、一旦
除電し、ついで非除電環境下のブース内の気流下に６時
間放置した場合の底蓋、上蓋及びペリクル膜の帯電量を
実施例１と同様にして測定した。その結果を表２及び図
４に示す。
から比較例３まで膜帯電量の低い順に並べると次のよう
になる。 実施例１＜実施例２＜実施例３＜比較例１＜比較例２＜
比較例３ 実施例４ 実施例３の収納ケースを内袋から取り出したのち、一旦
除電し、ついで非除電環境下のブース内の気流下に６時
間放置した場合の底蓋、上蓋及びペリクル膜の帯電量を
実施例１と同様にして測定した。その結果を表２及び図
４に示す。
【００１９】比較例４ 比較例３の収納ケースを実施例４と同様にして放置した
のち、上蓋及びペリクル膜の帯電量を実施例１と同様に
して測定した。その結果を表２及び図４に示す。 比較例５ 比較例２の収納ケースの放置時間を９時間とする以外は
実施例４と同様にして放置したのち、上蓋及びペリクル
膜の帯電量を実施例１と同様にして測定した。その結果
を表２及び図４に示す。
のち、上蓋及びペリクル膜の帯電量を実施例１と同様に
して測定した。その結果を表２及び図４に示す。 比較例５ 比較例２の収納ケースの放置時間を９時間とする以外は
実施例４と同様にして放置したのち、上蓋及びペリクル
膜の帯電量を実施例１と同様にして測定した。その結果
を表２及び図４に示す。
【００２０】
【表２】
【００２１】表２及び図４に見られるように、一旦除電
しても、非除電環境下で気流のある場所に放置すると、
ケース及びペリクル膜が帯電し、ペリクル膜の帯電は、
ケース帯電が高くなる程大きくなること、ケースの帯電
量は材質の帯電性が低い程小さく、また底蓋に同じＡＢ
Ｓ樹脂を使用しても、組み合わす上蓋がＰ．Ｐ樹脂のよ
うに帯電し易いと、帯電量が大きくなり、実施例４のケ
ース帯電量は０．２１ＫＶで、比較例５の１／１０以下
となった。
しても、非除電環境下で気流のある場所に放置すると、
ケース及びペリクル膜が帯電し、ペリクル膜の帯電は、
ケース帯電が高くなる程大きくなること、ケースの帯電
量は材質の帯電性が低い程小さく、また底蓋に同じＡＢ
Ｓ樹脂を使用しても、組み合わす上蓋がＰ．Ｐ樹脂のよ
うに帯電し易いと、帯電量が大きくなり、実施例４のケ
ース帯電量は０．２１ＫＶで、比較例５の１／１０以下
となった。
【００２２】実施例５ 実施例２の収納ケースを用いて、導電性を有する内袋と
導電性を有しない内袋から取り出したときの底蓋、上蓋
及びペリクル膜の帯電量を実施例１と同様にして測定し
た。その結果を表３に示す。 比較例６ 比較例３の収納ケースを用いて、導電性を有する内袋と
導電性を有しない内袋から取り出したときの底蓋、上蓋
及びペリクル膜の帯電量を実施例１と同様にして測定し
た。その結果を表３に示す。
導電性を有しない内袋から取り出したときの底蓋、上蓋
及びペリクル膜の帯電量を実施例１と同様にして測定し
た。その結果を表３に示す。 比較例６ 比較例３の収納ケースを用いて、導電性を有する内袋と
導電性を有しない内袋から取り出したときの底蓋、上蓋
及びペリクル膜の帯電量を実施例１と同様にして測定し
た。その結果を表３に示す。
【００２３】
【表３】
【００２４】表３に見られるように、内袋から収納ケー
スを取り出したとき、帯電性を有しない内袋は１６．５
３ＫＶ帯電したが、ペリクル膜の帯電は、実施例５では
非常に低く、内袋の影響を受けないのに対し、比較例６
では内袋の影響を受け高くなった。 実施例６〜９ 三井東圧化学株式会社製プロピレン・エチレン共重合体
（商品名「ノーブレンＢ１Ｓ−Ｇ」）、帝人化成株式会
社製ポリブチレンテレフタレート樹脂及び三洋化成株式
会社製ポリエチレンオキサイド系重合体（平均分子量約
１５００）を表４の割合で配合した樹脂の表面固有抵抗
Ωを前述したと同様の方法により求めると共に、この樹
脂を用いて収納ケースの底蓋及び上蓋をそれぞれ成形し
た。そして各収納ケースの底蓋に実施例１のペリクルを
装着したのち、上蓋を取り付けた収納ケースを包装用の
内袋から取出し、それぞれペリクル膜の帯電量を実施例
１と同様の方法により測定すると共に、ペリクル膜に付
着する１０μm 以上の異物の数を目視により数えた。そ
の結果を表４に示す。
スを取り出したとき、帯電性を有しない内袋は１６．５
３ＫＶ帯電したが、ペリクル膜の帯電は、実施例５では
非常に低く、内袋の影響を受けないのに対し、比較例６
では内袋の影響を受け高くなった。 実施例６〜９ 三井東圧化学株式会社製プロピレン・エチレン共重合体
（商品名「ノーブレンＢ１Ｓ−Ｇ」）、帝人化成株式会
社製ポリブチレンテレフタレート樹脂及び三洋化成株式
会社製ポリエチレンオキサイド系重合体（平均分子量約
１５００）を表４の割合で配合した樹脂の表面固有抵抗
Ωを前述したと同様の方法により求めると共に、この樹
脂を用いて収納ケースの底蓋及び上蓋をそれぞれ成形し
た。そして各収納ケースの底蓋に実施例１のペリクルを
装着したのち、上蓋を取り付けた収納ケースを包装用の
内袋から取出し、それぞれペリクル膜の帯電量を実施例
１と同様の方法により測定すると共に、ペリクル膜に付
着する１０μm 以上の異物の数を目視により数えた。そ
の結果を表４に示す。
【００２５】比較例７、８ 三井東圧化学株式会社製プロピレン・エチレン共重合体
（商品名「ノーブレンＢ１Ｓ−Ｇ」）、帝人化成株式会
社製ポリブチレンテレフタレート樹脂及び三洋化成株式
会社製ポリエチレンオキサイド系重合体（平均分子量約
１５００）を表４の割合で配合した樹脂の表面固有抵抗
Ωを前述したと同様の方法により求めると共に、この樹
脂を用いて収納ケースの底蓋及び上蓋をそれぞれ成形し
た。そして実施例６〜９と同様、ペリクル膜の帯電量と
ペリクル膜に付着する異物の数を求めた。その結果を表
４に示す。
（商品名「ノーブレンＢ１Ｓ−Ｇ」）、帝人化成株式会
社製ポリブチレンテレフタレート樹脂及び三洋化成株式
会社製ポリエチレンオキサイド系重合体（平均分子量約
１５００）を表４の割合で配合した樹脂の表面固有抵抗
Ωを前述したと同様の方法により求めると共に、この樹
脂を用いて収納ケースの底蓋及び上蓋をそれぞれ成形し
た。そして実施例６〜９と同様、ペリクル膜の帯電量と
ペリクル膜に付着する異物の数を求めた。その結果を表
４に示す。
【００２６】
【表４】
【００２７】表４に見られるように、実施例６〜９は比
較例７、８に比べ、膜帯電量が約１／１０以下となり、
１０μm 以上のペリクル膜への異物の付着数も比較例
７、８が１５個あったのに対し、０であった。
較例７、８に比べ、膜帯電量が約１／１０以下となり、
１０μm 以上のペリクル膜への異物の付着数も比較例
７、８が１５個あったのに対し、０であった。
【００２８】
【発明の効果】本発明のマスク保護装置の収納ケースに
よれば、上蓋と底蓋のうち、少なくとも底蓋に導電性を
持たせることによって、包袋袋の帯電量の如何にかゝわ
らずペリクル膜の帯電量を少なくすることができる。
よれば、上蓋と底蓋のうち、少なくとも底蓋に導電性を
持たせることによって、包袋袋の帯電量の如何にかゝわ
らずペリクル膜の帯電量を少なくすることができる。
【図１】 ペリクル膜の帯電量と膜面に付着した異物の
数との関係を示す図。
数との関係を示す図。
【図２】 樹脂の表面固有抵抗を測定するときの状態を
示す図。
示す図。
【図３】 ペリクル膜の帯電量を示す図。
【図４】 気流下に放置した後のペリクル膜の帯電量を
示す図。
示す図。
１・・絶縁物 ２・・電極 ３・・試料
４・・主電極 ５・・保護電極
４・・主電極 ５・・保護電極
Claims (3)
- 【請求項１】 ペリクルが装着される底蓋と、底蓋に着
脱可能に取着される上蓋とよりなるペリクルの収納ケー
スにおいて、上蓋と底蓋のうち、少なくとも底蓋の表面
固有抵抗を１０13Ω以下の樹脂で構成したことを特徴と
する収納ケース。 - 【請求項２】 樹脂の表面固有抵抗を１０12Ω以下とし
た請求項１記載のマスク保護装置の収納ケース。 - 【請求項３】 樹脂の表面固有抵抗を１０11Ω以下とし
た請求項１記載のマスク保護装置の収納ケース。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP689295A JPH08198377A (ja) | 1995-01-20 | 1995-01-20 | マスク保護装置の収納ケース |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP689295A JPH08198377A (ja) | 1995-01-20 | 1995-01-20 | マスク保護装置の収納ケース |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08198377A true JPH08198377A (ja) | 1996-08-06 |
Family
ID=11650886
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP689295A Pending JPH08198377A (ja) | 1995-01-20 | 1995-01-20 | マスク保護装置の収納ケース |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08198377A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005173556A (ja) * | 2003-11-18 | 2005-06-30 | Net Plastic:Kk | 大型精密シート状（半）製品用密封容器 |
| JP2007328226A (ja) * | 2006-06-09 | 2007-12-20 | Shin Etsu Chem Co Ltd | ペリクル収納容器及びその製造方法 |
| KR100847670B1 (ko) * | 2007-05-03 | 2008-07-23 | 비아이 이엠티 주식회사 | 마스크 박스용 조성물 및 이를 이용하여 제조된 마스크박스 |
-
1995
- 1995-01-20 JP JP689295A patent/JPH08198377A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005173556A (ja) * | 2003-11-18 | 2005-06-30 | Net Plastic:Kk | 大型精密シート状（半）製品用密封容器 |
| JP4675601B2 (ja) * | 2003-11-18 | 2011-04-27 | 株式会社 ネットプラスチック | 大型精密シート状製品および半製品用密封容器 |
| JP2007328226A (ja) * | 2006-06-09 | 2007-12-20 | Shin Etsu Chem Co Ltd | ペリクル収納容器及びその製造方法 |
| KR100847670B1 (ko) * | 2007-05-03 | 2008-07-23 | 비아이 이엠티 주식회사 | 마스크 박스용 조성물 및 이를 이용하여 제조된 마스크박스 |
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