KR100847670B1 - 마스크 박스용 조성물 및 이를 이용하여 제조된 마스크박스 - Google Patents

마스크 박스용 조성물 및 이를 이용하여 제조된 마스크박스 Download PDF

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Abstract

본 발명에 의한 마스크 박스용 조성물 및 이를 이용하여 제조된 마스크 박스에 관한 것으로서, 반도체제조에 사용되는 마스크를 보관 또는 운반함에 사용되는 박스의 원재료로 사용되는 수지조성물의 함량과 성분을 조절하여 마스크에서 발생되는 아웃가스 발생량을 최소화하기 위해 제공되는 것이다.
마스크, 포토마스크, 패킹박스, 아웃가스

Description

마스크 박스용 조성물 및 이를 이용하여 제조된 마스크 박스{Composition for mask box and mask box using thereof}
도 1은 본 발명에 따른 마스크 박스용 조성물에 의해 제조된 마스크 박스의 분해 사시도
본 발명은 마스크 박스용 조성물 및 이를 이용하여 제조된 마스크 박스에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 올레핀 공중합체 70 내지 95중량%와; 고유 정전기 소산성 중합체 혼합물 15 내지 35중량%를 포함하는 주제 100중량%와; 상기 주제 100중량부에 있어서 1 내지 3중량%를 포함하는 가소제를 포함하여 이루어진 조성물과 상기 조성물을 이용한 마스크 박스에 관한 것이다.
반도체 집적회로의 고집적화에 따라 패턴의 크기가 작게는 45nm 정도까지 줄어들고 있는 것이 현실이다. 이러한 최소선폭 구현을 위해서는 고성능의 포토마스크가 필요하며, 이러한 고성능의 포토마스크 제작을 위해서는 그 원재료인 마스크의 중요성이 크게 대두되고 있다.
이러한 마스크는 패턴이 노광되기 전 상태인 마스크를 보관하는데 사용되는 것이며, 그 과정에서 마스크의 품질이 저하되지 아니하도록 해야한다.
그동안, 마스크의 보관 및 운반의 과정에서 마스크에 손상을 주는 많은 환경적 요소에 대한 수많은 개선책들이 제시되었다. 여기에는 보관, 운송 도중의 압력, 기온변화, 차량의 흔들림에 의한 파손, 마스크 박스 내로의 이물질 유입 등이 있으며, 이러한 문제점들은 마스크 박스의 기구적인 설계에 의해 대부분 해결되었다.
그러나, 마스크의 품질 특성에 가장 큰 영향을 미치며, 마스크 박스에 의해 야기되는 가장 큰 불량 원인이 되었던 아웃가스 및 정전기에 대한 문제는 해결이 쉽지 아니한 상태이며, 반도체 제조업체에서 이에 대한 자체 규제를 엄격하게 하고 있어, 이에 대한 대책이 시급한 실정이다.
상기 대책을 마련하기 위한 수단으로서, 종래의 마스크 제조를 위한 원료 조성물은 단순히 PP, PC, PE, HDPE, LDPE, PET, 올레핀, BAYON series, ABS, 아크릴 등 일반적인 고분자를 적절하게 혼용하여 왔다.
그런 결과, 정전 소산성(static disipative) 등의 특성을 갖추기 어렵고, 특히 아웃가스가 다량 발생되는 문제점이 제기되어왔다.
본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 마스크 박스의 재질과 함량을 선택, 조절하여 정전기를 방지하고, 마스크에 유해한 가스 및 이온화 오염을 방지하기 위하여 올레핀 공중합체와 IDP를 이용하여 합성된 조 성물 및 이를 통해 제조된 마스크 박스를 제공하는 것이다.
본 발명에 따른 마스크 박스용 조성물은 주제와 가소제를 포함하며,상기 주제 100중량%는 올레핀 공중합체 70 내지 85중량%와; 고유 소산성 중합체 혼합물 15 내지 35중량%를 포함하며, 상기 가소제는 주제 100중량부에 있어서, 1 내지 3중량부를 포함하여 구성된다.
또한, 상기 올레핀 공중합체는 하나 이상의 폴리 사이클릭 올레핀 단량체 및 하나 이상의 아크릴 1-올레핀 단량체, 하나 이상의 에틸렌 단량체, 하나 이상의 프로필렌 단량체로부터 얻어지며, 올레핀 공중합체 100중량%에 대하여 상기 폴리 사이클릭 올레핀 단량체는 40 내지 70중량%, 상기 아크릴 1-올레핀은 20 내지 40중량%, 상기 에틸렌 단량체는 1 내지 5중량%, 상기 프로필렌 단량체는 1 내지 5중량%로 이루어진다.
또한 상기 고유소산성 중합체 혼합물은 열가소성 폴리우레탄, 폴리에테르 아미드, 폴리에테르 에스테르, 에틸렌옥사이드와 프로필렌 옥사이드의 공중합체, 에틸렌 옥사이드와 에피클로로하이드린의 공중합체 중 적어도 하나를 포함하는 것이 바람직하다.
여기서, 상기 고유 소산성 중합체 혼합물은 1X106 내지 lX1012 ohm/스퀘어의 표면 저항을 갖는 것이 정전기 방지 특성 구현을 위하여 바람직하다.
아울러, 상기 가소제는 아세틸 트리부틸 시트레이트; 아세틸 트리에틸 시트레이트; p-tert-부틸페닐 살리실레이트; 부틸 스테아레이트; 부틸프탈릴 부틸 글리콜레이트; 디부틸 세바케이트; 디-(2-에틸헥실) 프탈레이트; 디에틸 프탈레이트; 디이소부틸아디페이트; 디이소옥틸 프탈레이트; 디페닐-2-에틸헥실 포스페이트; 에폭시화 대두유; 에틸프탈릴 에틸 글리콜레이트;글리세롤 모노올레에이트; 모노이소프로필 시트레이트; 모노-, 디- 및 트리스테아릴 시트레이트; 트리아세틴 (글리세롤트리아세테이트); 트리에틸 시트레이트; 및 3-(2-크세노일)-1,2-에폭시프로판 중 적어도 하나를 포함하는 것이 바람직하며, 상기 폴리카보네이트는 주제 100중량부에 있어서, 30 내지 50중량부인 것이 바람직하다.
여기서, 상기 마스크 박스용 조성물은, 카본 블랙을 더 포함하며, 상기 카본블랙은 주제 100중량부에 있어서, 1 내지 5중량부인 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 마스크 박스는 상기 조성물에 의해 사출성형법으로 제조된다.
아울러, 상기 카본블랙을 더 포함하는 조성물로써 본 발명에 따른 마스크 박스의 몸체를 제조한다.
또한, 상기 마스크 박스의 아웃가스 및 이온발생량의 총합은 1.0 ppmv 미만인 것이 바람직하다.
또한, 상기 마스크 박스의 유기오염은 1,500ng/g미만이며, 산화질소계 및 산화황계 이온 발생량은 20ppb 미만이며, 메탈 발생량은 1ppb 미만이며, 파티클 발생 은 1,000ea/ml 미만이며, 대전 특성은 마찰전 150V 미만, 마찰 후 250V 미만인 것이 바람직하다.
이하, 본 발명에 따른 마스크 박스용 조성물의 구성에 대하여 살펴보기로 한다.
먼저, 본 발명에 따른 마스크 박스의 구성에 대하여 도 1을 통하여 알아보기로 한다.
도 1에 도시된 바와 같이, 마스크 박스는 상부커버(100), 카세트(200), 하부몸체(300), 쿠션(400)으로 구성된다.
상기 카세트(200) 부위의 홈에 마스크를 삽입하고 나서, 각각 카세트(200) 하부에 자체로 장착되고 상부커버(100)에 별도로 장착할 수 있는 쿠션(400)을 이용하여 삽입된 마스크를 고정, 안정화시킴으로써 보관, 운반이 가능하도록 한다.
본 발명에 따른 상기 마스크 박스 제조를 위해 사용되는 조성물은 상기 마스크 박스 자체에서 발생되는 정전기를 방지하고, 마스크에 크나큰 손상을 주는 아웃가스나 이온화 오염을 방지하기 위하여 수많은 연구를 통해 얻어진 결과물이다. 상기 조성물은 상술한 마스크 박스의 전체적인 구성요소에 대하여 모두 적용된다. 다만, 상기 하부몸체(300)는 검은색의 색채를 입히기 위해 카본블랙을 더 포함하고 있는 차이점이 있을 뿐이다.
본 발명의 주제로 사용되는 올레핀 공중합체와 고유 소산성 중합체 혼합물은, 전자의 경우 투명도와 소정의 굴절률을 갖추어 마스크의 품질에 영향을 주지 않고, 아웃가스가 거의 발생하지 아니하도록 함량을 조절하여 구성되었고, 후자의 경우에는 필러(filler)로서 사용되며, 정전기 방지 특성을 부여하기 위해 채택하였다.
먼저, 본 발명에서 주제의 구성성분으로 사용되는 올레핀 공중합체는 단량체의 총량에 대하여, 40 내지 70중량%의 하나 이상의 폴리사이클릭 올레핀<화학식 Ⅰ> 또는 <화학식 Ⅱ>와, 20 내지 40중량%의 하나 이상의 아크릴 1-올레핀<화학식 Ⅲ>, 각각 1 내지 5중량%의 하나 이상의 에틸렌, 하나 이상의 프로필렌 의 중합에 의해 제조된다. 이러한 조합은 보호 커버의 특성으로서의 탄성과 아울러, 아웃가스, 이온 배출량을 최소화하기 위한 조합이다.
상기 탄성 부여수단으로 사용되는 에틸렌, 프로필렌 단량체는 탄성 폴리올레핀계 중합체로, 결정화도가 약 3 ％ 내지 약 40 ％ 사이, 또는 약 5 ％ 내지 약 30 ％ 사이, 또는 약 15 ％ 내지 약 25 ％ 사이이며, 이로써 탄성 스트랜드를 제자리에 유지시키고 조성물 사이를 접착 결합시키기 위해 채용하였다. 이로써 조성물에 적절한 탄성을 부여하고 기타 조성물과의 접착 결합력의 향상을 꾀하였다.
또한, 상기 폴리사이클릭 올레핀과, 아크릴 1-올레핀의 화학식은 아래와 같다.
<화학식 Ⅰ>
Figure 112007033260836-pat00001
<화학식 Ⅱ>
Figure 112007033260836-pat00002
<화학식 Ⅲ>
Figure 112007033260836-pat00003
본 발명의 또 다른 주제성분으로 사용되는 고유 소산성 폴리머(Inherently Dissipative Polymer: IDP)는 1 x 10 내지 1 x 1012 ohm/sqare의 고유 체적 저항을 갖는 폴리에테르 탄성중합체의 부류이다. 상기 예는 폴리에틸렌 옥사이드-기재 폴리에테르 우레탄, 폴리에테르 아미드및 폴리에테르 에스테르, 및 에틸렌 옥사이드/프로필렌 옥사이드 또는 에틸렌 옥사이드/에피클로로하이드린과 같은 에틸렌 옥사이드의 공중합체를 포함한다. IDP는 플라스틱에 정전 소산성(static disipative)(1 x 105 내지 1 x 1012 ohm/sqare 범위의 표면 및 체적 저항)을 부여할 정도의 충분한 수준의 전도성을 제공하는 수단으로서 다른 열가소성물과 혼합되어 사용된다.
배합 폴리머로서 활용되는 적합한 전형적인 또는 통상적인 열가소성폴리우레탄(TPU)는 말단에 하이드록실을 갖는 폴리에스테르 중간체, 또는 바람직하게는 말단에 하이드록실을 갖는 폴리에테르; 하나 이상의 폴리이소시아네이트; 및 하나 이상의 사슬 연장제의 반응에 의해 제조된다. 말단에 하이드록실을 갖는 폴리에스테르 중간체 폴리머는 일반적으로는 약 300 내지 약 10,000의 수 평균 분자량 및 바 람직하게는 약 500 내지 약 5,000의 수 평균 분자량을 갖는 선형폴리에스테르이다. 분자량은 말단 작용기의 측정에 의해 결정된다. 폴리머는 ⅰ) 하나 이상의 글리콜을 하나 이상의 디카르복실산 또는 안하이드라이드로 에스테르화 반응에 의해 또는 ⅱ) 에스테르교환 반응, 다시 말해, 하나 이상의 글리콜을 디카르복실산의 에스테르로 반응에 의해 생산된다. 산과 글리콜의 1 몰 초과 몰 비는 일반적으로 바람직하고 그 결과 다수의 말단 하이드록실기를 갖는 선형 사슬을 수득한다.
상기 통상적인 열가소성 폴리우레탄뿐만이 아니라, 본 발명에 적용되는 하기의 TPU-IDP는 일반적으로 투명한 재질의 조성물을 얻게끔한다.
상기 언급된 바와 같이 정전기 소산제(electrostatic dissipating agent)를 함유할 수 있는 열가소성 폴리우레탄을 기재로 하는 본질적으로 소산성인 폴리머(TPU-IDP) 조성물을 사용하는 것이 요망된다. TPU-IDP 조성물은 비-장애 디이소시아네이트 및 사슬 연장제와 일반적으로는 동시에(다시 말해, 원-샷 중합 공정) 반응하는 두 개의 반응부를 가지고 있는 낮은 분자량 폴리에테르 올리고머를 포함한다.
TPU-IDP 조성물의 폴리에테르 올리고머는 일반적으로 하나 이상의 공중합가능 사이클릭 에테르 단량체로부터 얻어진다:
폴리에테르 올리고머는 호모폴리머 또는 둘 이상의 공중합가능한 단량체의 공중합체일 수 있다. 공단량체의 예는 에틸렌옥사이드, 프로필렌 옥사이드, 1,2-부틸렌 옥사이드, 에피클로로하이드린, 알릴 글리시딜 에테르, n-부틸 글리시딜 에테르, 글리시딜 아크릴레이트, 글리시딜 메타크릴레이트, 2-에틸헥실 글리시딜 에테 르, 테트라하이드로푸란, 또는 스티렌옥사이드이다.
본 발명에 따르면, 낮은 분자량 폴리에테르 올리고머 중간체 및 비-장애 디이소시아네이트는 약 100℃ 및 일반적으로는 약 120℃ 초과의 온도에서 원-샷 중합 공정으로 동시에 함께-반응되며, 여기서 반응은 발열이고 반응 온도는 약 200℃ 내지 약 285℃로 증가된다.
TPU-IDP 이외의 IDP 폴리머는 상기 언급된 것과 같이 본 발명의 배합물에서 사용될 수 있다. 폴리에테르 아미드, 폴리에테르 에스테르, 에틸렌 옥사이드와 프로필렌 옥사이드의 공중합체, 및 에틸렌 옥사이드와 에피클로로하이드린의 공중합체와 같은 IDP 폴리머가 사용될 수 있다. 상기 설명 에서 볼 수 있듯이 특별하게는 만약 투명 배합물이 요구된다면, 가장 바람직한 IDP는 TPU-IDP이다.
다음으로, 본 발명 조성물의 가소제에 대하여 알아보기로 한다.
본 발명의 배합물은 본질적으로 소산성인 열가소성 폴리우레탄(TPU-IDP) 조성물 또는 폴리머와 같은 열가소성 폴리우레탄(TPU), 올레핀 공중합체(OC)를 포함한다. 두 성분은 유사한 공정 온도를 가지고 그 결과 공정이 가능하고, 또한 유사한 굴절 지수를 가지고 그 결과, 투명하지만, 이것들은 일반적으로 부적합하고 따라서 가소제는 투명도를 제거하거나 상당량 줄어듬 없이 배합물을 안정화시키고 특성을 개선하기 위해 활용된다. 아울러, 보호 커버의 특성상, 일정한 유연성을 보유하여야 하는바, 이러한 유연성 확보를 위하여 채용하였다.
OC와 TPU-IDP의 투명한 배합물을 만들기 위한 바람직한 가소제는 아세틸 트리부틸 시트레이트; 아세틸 트리에틸 시트레이트; p-tert-부틸페닐 살리실레이트; 부틸 스테아레이트; 부틸프탈릴 부틸 글리콜레이트; 디부틸 세바케이트; 디-(2-에틸헥실) 프탈레이트; 디에틸 프탈레이트; 디이소부틸아디페이트; 디이소옥틸 프탈레이트; 디페닐-2-에틸헥실 포스페이트; 에폭시화 대두유; 에틸프탈릴 에틸 글리콜레이트;글리세롤 모노올레에이트; 모노이소프로필 시트레이트; 모노-, 디- 및 트리스테아릴 시트레이트; 트리아세틴 (글리세롤트리아세테이트); 트리에틸 시트레이트; 및 3-(2-크세노일)-1,2-에폭시프로판 중 적어도 하나를 포함하는 것이 바람직하다.
본 발명에서는 이와 함께, 소정의 강도를 갖게하기 위하여 조성물로서 폴리카보네이트 (PC)를 포함한다.
상기 PC는 비스페놀 A와 포스겐의 계면 중축합 반응에 의한 용제법에 의해 합성하며, 그 함량은 주제 100중량부에 대하여 30 내지 50중량부를 함유하도록 하였다. 주제 100중량부에 30중량부 이하가 첨가된 경우에는 일정한 내충격성, 내구성을 발휘할 수 없으며, 50중량부 이상 첨가된 경우에는 아웃가스의 발생량을 늘릴 수 있는 문제점이 있다.
본 발명에 따른 마스크 박스의 하부몸체(body)는 검정색으로 마련되어 빛을 차단토록 하는 것이 마스크의 보관에 있어서 중요한 요인이라고 할 것인바, 다른 조성물에 영향을 주지 아니할 정도로 소량의 카본블랙을 첨가하여 제조하는 것이 바람직하며, 이러한 함량은 주제 100중량부에 대하여 1 내지 5중량부인 것이 가장 바람직하다.
이하, 본 발명에 따른 마스크 박스의 일부를 채취하여, 아웃가스, 이온 발생량, 표면저항에 대하여 검토하였다.
실시예 1은 전체 단량체 중량비로서, 주제 100중량% 중, 올레핀 공중합체 75중량%, TPU-IDP 23중량%, 주제 100중량부에 대하여 가소제(아세틸 트리부틸 시트레이트) 2중량부를 함유하며, 여기에 주제 100중량부에 대하여 PC 40중량부, 카본블랙 4중량부를 함유한 조성물을 사출성형하여 제조된 마스크 박스 0.5078g을 채취하여 아웃가스, 이온발생량, 표면저항을 측정하였다.
실시예 2는 전체 단량체 중량비로서, 주제 100중량% 중, 올레핀 공중합체 80중량%, TPU-IDP 18중량%, 주제 100중량부에 대하여 가소제(아세틸 트리부틸 시트레이트) 2중량부를 함유하며, 여기에 주제 100중량부에 대하여 PC 45중량부, 카본블랙 3중량부를 함유한 조성물을 사출성형하여 제조된 마스크 박스 0.5078g을 채취하여 아웃가스, 이온발생량, 표면저항을 측정하였다.
실시예 3은 전체 단량체 중량비로서, 주제 100중량% 중, 올레핀 공중합체 85중량%, TPU-IDP 14중량%, 주제 100중량부에 대하여 가소제(아세틸 트리부틸 시트레이트) 1중량부를 함유하며, 여기에 주제 100중량부에 대하여 PC 30중량부, 카본블랙 2중량부를 함유한 조성물을 사출성형하여 제조된 마스크 박스 0.5078g을 채취하여 아웃가스, 이온발생량, 표면저항을 측정하였다.
비교예 1은 전체 단량체 중량비로서, 주제 100중량% 중, 올레핀 공중합체 40중량%, TPU-IDP 55중량%, 주제 100중량부에 대하여 가소제(아세틸 트리부틸 시트레이트) 5중량부를 함유하며, 여기에 주제 100중량부에 대하여 PC 30중량부, 카본블 랙 2중량부를 함유한 조성물을 사출성형하여 제조된 마스크 박스 0.5078g을 채취하여 아웃가스, 이온발생량, 표면저항을 측정하였다.
비교예 2는 전체 단량체 중량비로서 주제 100중량% 중, 올레핀 공중합체 95중량%, TPU-IDP 5중량%를 함유하며, 여기에 주제 100중량부에 대하여 PC 30중량부, 카본블랙 2중량부를 함유한 조성물을 사출성형하여 제조된 마스크 박스 0.5078g을 채취하여 아웃가스, 이온발생량, 표면저항을 측정하였다.
비교예 3은 일반적인 마스크용 박스 재질로서 PC 40중량%, PP 30중량%, 올레핀 공중합체 30중량%로 구성된 조성물을 이용하여 생성된 마스크 박스 0.5078g을 채취하여 아웃가스, 이온발생량, 표면저항을 측정하였다.
이하, 아웃가스, 이온발생량, 표면저항 측정방법에 대하여 설명하기로 한다.
1. 아웃가스 측정
Dynamic Headspace GC/MS 분석 방법으로, 세정된 샘플 용기에 제조된 마스크 박스 0.5078g을 채취하여 열을 가하면서 발생되는 아웃가스를 측정하였으며, 측정 대상은 트리페닐 포스페이트, 포스핀 옥사이드, 2,4-비스(1,1-3디메틸에틸)페놀, 2,6-(1,1-디메틸에틸)-4-메틸페놀, 클로로벤젠, 헥산 등이다.(μg/g, ppmv) 특히, BHT(Butylate Hydroxy Toluene) 발생이 되는지 여부에 관심을 두고 측정하였다.
2. 이온발생량 측정
IC(Ionic chromatography) 분석 방법으로, 미디어 엠버병(Media amber bottel)에 제조된 마스크 박스 0.5078g을 채취하여 넣고, 증류수(DI water) 20ml를 주입하여 이온 검출을 위해 121℃ 온도 하에서 20분 간 유지시키는 Autoclave 처리를 하고, 상기 미디어 엠버병에서 상기 샘플을 주사기로 17 내지 20ml를 취하여 실린더 필터로 필터링하여 미리 세정하여 준비된 샘플 용기에 주입시킨 후, 샘플에서 방출되는 이온을 검출함으로써 측정하였으며, 음이온으로서 F-,Cl-, NO3 -, SO4 -, PO4 -배출량, 양이온으로서 Ca+, K+, Li+, Mg+, NH4 +, Na+의 배출량을 측정하였다.(μg/g, ppmv)
3. 표면저항 측정
ASTM D-257(50% R.H.)에 의하여 측정하였다.(Ω/sqare)
상기 실시예 1 내지 3과 비교예 1 및 2의 결과는 아래 표 1에 나타내고 있다.
<표 1>
실시예 1 실시예 2 실시예 3 비교예 1 비교예 2
아웃가스발생량 (μg/g) 0.215 0.314 0.473 1.375 2.012
이온발생량 (μg/g) 0.026 0.028 0.021 0.042 0.049
표면저항 (Ω/sqare) 2.0X1010 1.5X1012 4.2X1013 6.0X1016 1.5X1020
상기 <표 1>에서 알 수 있는 바와 같이, 본 발명에 의한 실시예에서 비교예에 비하여 아웃가스, 이온발생량이 월등하게 적게 발생되는 점을 알 수 있고, 적은 표면저항을 갖고 있어 정전기 발생을 최소화시킴을 알 수 있다.
아래 표 2에서는 상기 실시예 1의 아웃가스 발생량을 구체적으로 나타내었다. 표 2에서 알 수 있는 바와 같이, BHT(Butylate Hydroxy Toluene)가 전혀 검출되지 아니함을 확인할 수 있다.
<표 2>
아웃가스의 성분 발생량(μg/g)
트리페닐포스페이트 미발생
포스핀 옥사이드 미발생
2,4-비스(1,1-3디메틸에틸)페놀 미발생
2,6-(1,1-디메틸에틸)-4-메틸페놀 미발생
클로로벤젠 미발생
헥 산 0.057
기 타 0.158
TOTAL 0.215
아울러, 유기오염, NOx, SOx 등의 이온 오염, 메탈 발생량, 파티클 발진량, 대전 특성에 대하여 상기의 아웃가스, 이온발생량, 표면저항 측정방법과 동일 선상에서 측정하였는바, 상기 실시예 1에 대한 상기 측정 데이터에 대한 측정자료는 아래 <표3>에 도시한 바와 같다.
<표 3>
유기 오염 소 계 300ng/g
실록산, 실란 10ng/g
엑시드 70ng/g
BHT -
기 타 220ng/g
이온발생 소 계 8 ppb
NOx 5ppb
SOx 0.005ppb
메탈발생 소 계 0.5ppb
파티클 발진 LPC 400ea/ml
대전 특성 마찰 전 112V
마찰 후 153V
본 발명에 따른 마스크 박스용 조성물 및 이를 이용하여 제조된 마스크 박스에 의하면, 마스크를 안전하게 운반, 보관할 수 있음은 물론이고, 종래에 마스크 박스에서 배출되어 마스크의 품질에 치명적인 영향을 주었던 이온, 아웃가스를 최소화하며, 표면저항을 1X106 내지 lX1012 ohm/스퀘어로 조절하여 정전기 발생을 방지할 수 있으며, 포토마스크 보호를 위하여 일정한 탄성 및 유연성을 갖춘 마스크 박스를 제공할 수 있다.

Claims (11)

  1. 정전기 방지와 아웃가스 배출 및 이온화 오염을 최소화하도록 주제와 가소제를 포함하는 마스크 박스용 조성물에 있어서,
    상기 주제 100중량%는
    올레핀 공중합체 70 내지 85중량%와;
    고유 소산성 중합체 혼합물 15 내지 35중량%를 포함하며,
    상기 가소제는 주제 100중량부에 있어서, 1 내지 3중량부를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 박스용 조성물.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 올레핀 공중합체는 하나 이상의 폴리사이클릭 올레핀 단량체, 하나 이상의 아크릴 1-올레핀 단량체, 하나 이상의 에틸렌 단량체 및 하나 이상의 프로필렌 단량체로부터 얻어지며,
    올레핀 공중합체 100중량%에 대하여 상기 폴리 사이클릭 올레핀 단량체는 40 내지 70중량%, 상기 아크릴 1-올레핀은 20 내지 40중량%, 상기 에틸렌 단량체는 5 내지 10중량%,상기 프로필렌 단량체는 1 내지 5중량%로 것을 특징으로 하는 마스크 박스용 조성물.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 고유 소산성 중합체 혼합물은 열가소성 폴리우레탄, 폴리에테르 아미드, 폴리에테르 에스테르, 에틸렌옥사이드와 프로필렌 옥사이드의 공중합체, 에틸렌 옥사이드와 에피클로로하이드린의 공중합체 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 박스용 조성물.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 고유 소산성 중합체 혼합물은 1X106 내지 lX1012 ohm/스퀘어의 표면 저항을 갖는 것을 특징으로 하는 마스크 박스용 조성물.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 가소제는 아세틸 트리부틸 시트레이트; 아세틸 트리에틸 시트레이트; p-tert-부틸페닐 살리실레이트; 부틸 스테아레이트; 부틸프탈릴 부틸 글리콜레이트; 디부틸 세바케이트; 디-(2-에틸헥실) 프탈레이트; 디에틸 프탈레이트; 디이소부틸아디페이트; 디이소옥틸 프탈레이트; 디페닐-2-에틸헥실 포스페이트; 에폭시화 대두유; 에틸프탈릴 에틸 글리콜레이트;글리세롤 모노올레에이트; 모노이소프로필 시트레이트; 모노-, 디- 및 트리스테아릴 시트레이트; 트리아세틴 (글리세롤트리아세테이트); 트리에틸 시트레이트; 및 3-(2-크세노일)-1,2-에폭시프로판 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 박스용 조성물.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 마스크 박스용 조성물은, 폴리카보네이트를 더 포함하며,
    상기 폴리카보네이트는 주제 100중량부에 있어서, 30 내지 50중량부인 것을 특징으로 하는 마스크 박스용 조성물.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 마스크 박스용 조성물은, 카본 블랙을 더 포함하며,
    상기 카본블랙은 주제 100중량부에 있어서, 1 내지 5중량부인 것을 특징으로 하는 마스크 박스용 조성물.
  8. 제 1 항 내지 제 6항 중 어느 한 항에 따른 조성물에 의하여 사출성형법으로 제조된 마스크 박스.
  9. 제 7항에 따른 조성물에 의하여 사출성형법으로 제조된 마스크 박스의 몸체.
  10. 제 8항에 있어서,
    상기 마스크 박스의 아웃가스 및 이온발생량의 총합은 1.0 ppmv 미만인 것을 특징으로 하는 마스크 박스.
  11. 제 8항에 있어서,
    상기 마스크 박스의 유기오염은 1,500ng/g미만이며, 산화질소계 및 산화황계 이온 발생량은 20ppb 미만이며, 메탈 발생량은 1ppb 미만이며, 파티클 발생은 1,000ea/ml 미만이며, 대전 특성은 마찰전 150V 미만, 마찰 후 250V 미만인 것을 특징으로 하는 마스크 박스.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH08198377A (ja) * 1995-01-20 1996-08-06 Mitsui Petrochem Ind Ltd マスク保護装置の収納ケース
JP2006267179A (ja) 2005-03-22 2006-10-05 Shin Etsu Chem Co Ltd ペリクル収納容器

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