JPH08110631A - ペリクル収納容器 - Google Patents
ペリクル収納容器Info
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- JPH08110631A JPH08110631A JP24582394A JP24582394A JPH08110631A JP H08110631 A JPH08110631 A JP H08110631A JP 24582394 A JP24582394 A JP 24582394A JP 24582394 A JP24582394 A JP 24582394A JP H08110631 A JPH08110631 A JP H08110631A
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- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】本発明は、収納するペリクル膜に、異物等が付
着しないようにすると共に、ペリクル膜の汚損を防止し
て歩留りを向上させることのできるペリクル収納容器を
提供する。 【構成】このペリクル収納容器は、中央部に環状フレー
ムに装着されたペリクルを載置する容器本体と、ペリク
ルを被覆・保持すると共に容器本体と互いに周縁部で嵌
合係止する蓋体とからなるペリクル収納容器であって、
その材料が親水性ポリマーを樹脂中に分散させた帯電防
止樹脂からなるものである。
着しないようにすると共に、ペリクル膜の汚損を防止し
て歩留りを向上させることのできるペリクル収納容器を
提供する。 【構成】このペリクル収納容器は、中央部に環状フレー
ムに装着されたペリクルを載置する容器本体と、ペリク
ルを被覆・保持すると共に容器本体と互いに周縁部で嵌
合係止する蓋体とからなるペリクル収納容器であって、
その材料が親水性ポリマーを樹脂中に分散させた帯電防
止樹脂からなるものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はＩＣやＬＳＩの製造に際
して使用されるフォトマスクやレチクル（以下、マスク
と総称する）の表面への異物の付着を防止するために使
用される、ペリクルを収納するためのペリクル収納容器
に関するものである。
して使用されるフォトマスクやレチクル（以下、マスク
と総称する）の表面への異物の付着を防止するために使
用される、ペリクルを収納するためのペリクル収納容器
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体の製造工程においては、マスク上
に描かれた回路パターンを紫外線によりウェーハ上に転
写する際、マスク上に異物が僅かでも存在していると回
路パターンと共にウェーハに転写されて欠陥を生ずる。
このような欠陥を防ぐには、マスク上に異物が存在しな
いようにしなければならない。このために開発されたの
がペリクルと呼ばれる防塵膜である。ペリクルはニトロ
セルロース等により形成された、厚さが数μm から数十
μmのものである。このようなペリクルは通常アルミニ
ウム等からなるペリクルフレームの上表面に接着され、
マスク上に装着することによりマスクへの異物の付着を
防ぐことが可能となる。このペリクルは高透過性であ
り、ペリクル上に異物が存在しても、転写する際には紫
外線の焦点位置がずれるため、ウェーハ上に転写される
ことはないが、ペリクルはマスクへの異物付着を防ぐ目
的で使用されるので、ペリクル自体にも異物の付着して
いないことが要求される。このため、輸送等に際して
は、ペリクルをペリクル収納容器に密閉して収容しペリ
クルへの異物の付着を防止している。
に描かれた回路パターンを紫外線によりウェーハ上に転
写する際、マスク上に異物が僅かでも存在していると回
路パターンと共にウェーハに転写されて欠陥を生ずる。
このような欠陥を防ぐには、マスク上に異物が存在しな
いようにしなければならない。このために開発されたの
がペリクルと呼ばれる防塵膜である。ペリクルはニトロ
セルロース等により形成された、厚さが数μm から数十
μmのものである。このようなペリクルは通常アルミニ
ウム等からなるペリクルフレームの上表面に接着され、
マスク上に装着することによりマスクへの異物の付着を
防ぐことが可能となる。このペリクルは高透過性であ
り、ペリクル上に異物が存在しても、転写する際には紫
外線の焦点位置がずれるため、ウェーハ上に転写される
ことはないが、ペリクルはマスクへの異物付着を防ぐ目
的で使用されるので、ペリクル自体にも異物の付着して
いないことが要求される。このため、輸送等に際して
は、ペリクルをペリクル収納容器に密閉して収容しペリ
クルへの異物の付着を防止している。
【０００３】このようなペリクル収納容器としては、図
１および図２に例示したものが知られている。すなわ
ち、これらの図において、10は容器本体、20は蓋体、30
は環状フレーム31に装着されたペリクルである。容器本
体10は、周縁部に上方に突出するリブからなる嵌合部11
が一体に設けられ、中央部に環状フレーム31と対応した
大きさの長方形状の載置部12が下側に凹部12ａを形成し
て上方へ膨出して設けられ、この載置部12の上部周縁に
は複数の係止片13が間隔をおいて突設されている。他
方、蓋体20は、周縁部に断面Ｕ字状に上方に屈曲した嵌
合部21があって、この嵌合部21の内側、中央部との間に
は中央部より一段下がった段差状の押え部22が角環状に
形成されている。このペリクル収納容器は、環状フレー
ム31に装着されたペリクル30を容器本体10の載置部12上
に係止片13の内側で載置し、容器本体10の嵌合部11に蓋
体21の嵌合部21を嵌入・係止させると共に、蓋体20の押
え部22により環状フレーム31を押えて、がたつきを防止
している。なお、19は容器本体10の裏面（外面）に一体
形成された脚部である。
１および図２に例示したものが知られている。すなわ
ち、これらの図において、10は容器本体、20は蓋体、30
は環状フレーム31に装着されたペリクルである。容器本
体10は、周縁部に上方に突出するリブからなる嵌合部11
が一体に設けられ、中央部に環状フレーム31と対応した
大きさの長方形状の載置部12が下側に凹部12ａを形成し
て上方へ膨出して設けられ、この載置部12の上部周縁に
は複数の係止片13が間隔をおいて突設されている。他
方、蓋体20は、周縁部に断面Ｕ字状に上方に屈曲した嵌
合部21があって、この嵌合部21の内側、中央部との間に
は中央部より一段下がった段差状の押え部22が角環状に
形成されている。このペリクル収納容器は、環状フレー
ム31に装着されたペリクル30を容器本体10の載置部12上
に係止片13の内側で載置し、容器本体10の嵌合部11に蓋
体21の嵌合部21を嵌入・係止させると共に、蓋体20の押
え部22により環状フレーム31を押えて、がたつきを防止
している。なお、19は容器本体10の裏面（外面）に一体
形成された脚部である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ペリク
ル収納容器の容器本体10と蓋体20の材料は、それ自体に
も異物が付着しないようにするため、帶電防止機能を有
することが求められる。この帶電防止方法としては、従
来から界面活性剤（帶電防止剤）を内部添加（練り込
み）するか、表面塗布する方法がある。しかし、これら
の方法では布拭き・水洗い等により帶電防止効果が失わ
れ易いだけでなく、経時で界面活性剤が表面に溶出（ブ
リード）し、この溶出物でペリクルが汚染されるという
問題がある。半永久的に帶電防止効果を持続させること
のできる方法として、カーボンブラックを添加する方法
がある。しかし、この方法によれば帶電防止効果の持続
性はよいものの、粉塵が発生し易くペリクル膜へ付着す
る恐れがある。したがって、本発明の目的は、収納する
ペリクル膜に異物等が付着しないようにすると共に、ペ
リクル膜の汚損を防止して歩留りを向上させることので
きるペリクル収納容器を提供することにある。
ル収納容器の容器本体10と蓋体20の材料は、それ自体に
も異物が付着しないようにするため、帶電防止機能を有
することが求められる。この帶電防止方法としては、従
来から界面活性剤（帶電防止剤）を内部添加（練り込
み）するか、表面塗布する方法がある。しかし、これら
の方法では布拭き・水洗い等により帶電防止効果が失わ
れ易いだけでなく、経時で界面活性剤が表面に溶出（ブ
リード）し、この溶出物でペリクルが汚染されるという
問題がある。半永久的に帶電防止効果を持続させること
のできる方法として、カーボンブラックを添加する方法
がある。しかし、この方法によれば帶電防止効果の持続
性はよいものの、粉塵が発生し易くペリクル膜へ付着す
る恐れがある。したがって、本発明の目的は、収納する
ペリクル膜に異物等が付着しないようにすると共に、ペ
リクル膜の汚損を防止して歩留りを向上させることので
きるペリクル収納容器を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明によるペリクル収
納容器は、中央部に環状フレームに装着されたペリクル
を載置する容器本体と、ペリクルを被覆・保持すると共
に容器本体と互いに周縁部で嵌合係止する蓋体とからな
るペリクル収納容器であって、その材料が親水性ポリマ
ーを樹脂中に分散させた帯電防止樹脂からなることを特
徴とするものであり、とくには材料がＡＢＳ樹脂または
アクリル樹脂をベースとした樹脂中に親水性ポリマーを
分散させた帯電防止樹脂からなることを好適とするもの
である。
納容器は、中央部に環状フレームに装着されたペリクル
を載置する容器本体と、ペリクルを被覆・保持すると共
に容器本体と互いに周縁部で嵌合係止する蓋体とからな
るペリクル収納容器であって、その材料が親水性ポリマ
ーを樹脂中に分散させた帯電防止樹脂からなることを特
徴とするものであり、とくには材料がＡＢＳ樹脂または
アクリル樹脂をベースとした樹脂中に親水性ポリマーを
分散させた帯電防止樹脂からなることを好適とするもの
である。
【０００６】以下、本発明を詳細に説明する。本発明の
帯電防止樹脂に用いられる親水性ポリマーは、高分子固
体電解質（固体状態で高イオン導電率を有する物質の
内、有機高分子からなるもの）であり、一般的にはポリ
エチレングリコール成分を有するポリマーが主であり、
具体的にはポリエチレングリコールメタクリレート共重
合体、ポリ（エチレンオキシド・プロピレンオキシド）
共重合体、ポリエチレングリコール系ポリエステルアミ
ド、ポリ（エピクロルヒドリン・エチレンオキシド）共
重合体などが挙げられる。これらを含んだ帯電防止樹脂
は界面活性剤を用いたものと比較して揮発性、滲出性、
湿度依存性が少なく、カーボンブラックなどの充填剤に
見られるような剥れ落ちるといった欠点がない。しか
も、帯電防止効果は半永久的に持続するなどの特徴を持
っている。これは各種熱可塑性樹脂に上記親水性ポリマ
ーを配合して調製されるが、通常の帯電防止としては表
面抵抗値で１×1010〜1012Ω程度が求められるので、他
の物性変化も考慮して配合割合を決定するのが好まし
い。
帯電防止樹脂に用いられる親水性ポリマーは、高分子固
体電解質（固体状態で高イオン導電率を有する物質の
内、有機高分子からなるもの）であり、一般的にはポリ
エチレングリコール成分を有するポリマーが主であり、
具体的にはポリエチレングリコールメタクリレート共重
合体、ポリ（エチレンオキシド・プロピレンオキシド）
共重合体、ポリエチレングリコール系ポリエステルアミ
ド、ポリ（エピクロルヒドリン・エチレンオキシド）共
重合体などが挙げられる。これらを含んだ帯電防止樹脂
は界面活性剤を用いたものと比較して揮発性、滲出性、
湿度依存性が少なく、カーボンブラックなどの充填剤に
見られるような剥れ落ちるといった欠点がない。しか
も、帯電防止効果は半永久的に持続するなどの特徴を持
っている。これは各種熱可塑性樹脂に上記親水性ポリマ
ーを配合して調製されるが、通常の帯電防止としては表
面抵抗値で１×1010〜1012Ω程度が求められるので、他
の物性変化も考慮して配合割合を決定するのが好まし
い。
【０００７】
【作 用】本発明のペリクル収納容器によれば、上記容
器本体と蓋体の材料が、親水性ポリマーをポリマーアロ
イ技術を用いてマトリックス樹脂中に分散させたタイプ
の帯電防止樹脂であるため、静電気的な粉塵の付着防止
効果が長期間持続して得られ、また材料自体から帯電防
止剤が滲み出したり、カーボンが剥れ落ちたりしてペリ
クル膜を汚染することがない。さらに、ベース樹脂にア
クリル系等の透明樹脂を使用した場合には、透明性も保
たれ、開封せずに収納物を確認することも容易になる。
器本体と蓋体の材料が、親水性ポリマーをポリマーアロ
イ技術を用いてマトリックス樹脂中に分散させたタイプ
の帯電防止樹脂であるため、静電気的な粉塵の付着防止
効果が長期間持続して得られ、また材料自体から帯電防
止剤が滲み出したり、カーボンが剥れ落ちたりしてペリ
クル膜を汚染することがない。さらに、ベース樹脂にア
クリル系等の透明樹脂を使用した場合には、透明性も保
たれ、開封せずに収納物を確認することも容易になる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の具体的態様を実施例および比
較例により説明する。 〔実施例〕容器本体の材料としてＡＢＳ樹脂をベースと
し親水性ポリマーを樹脂中に分散させた永久帯電防止樹
脂：ADION-A （旭化成工業社製商品名）を用いて射出成
形により容器本体を得た。この成形体の表面抵抗値は３
×1011Ωであった。なお、この容器本体は不透明で濃い
色の方がペリクル膜上の微小な付着物を確認し易いの
で、黒色の着色樹脂を使用した。つぎに、蓋体の材料と
してアクリル樹脂をベースとし親水性ポリマーを樹脂中
に分散させた永久帯電防止樹脂：BAYON （呉羽化学工業
社製商品名）を用いて射出成形により蓋体を得た。この
成形体の表面抵抗値は５×1011Ωであり、透明性も収納
物を確認するのに十分であった。上記の容器本体と蓋体
とからなるペリクル収納容器について、下記の清浄性保
持試験および揮発性確認試験によって評価した。
較例により説明する。 〔実施例〕容器本体の材料としてＡＢＳ樹脂をベースと
し親水性ポリマーを樹脂中に分散させた永久帯電防止樹
脂：ADION-A （旭化成工業社製商品名）を用いて射出成
形により容器本体を得た。この成形体の表面抵抗値は３
×1011Ωであった。なお、この容器本体は不透明で濃い
色の方がペリクル膜上の微小な付着物を確認し易いの
で、黒色の着色樹脂を使用した。つぎに、蓋体の材料と
してアクリル樹脂をベースとし親水性ポリマーを樹脂中
に分散させた永久帯電防止樹脂：BAYON （呉羽化学工業
社製商品名）を用いて射出成形により蓋体を得た。この
成形体の表面抵抗値は５×1011Ωであり、透明性も収納
物を確認するのに十分であった。上記の容器本体と蓋体
とからなるペリクル収納容器について、下記の清浄性保
持試験および揮発性確認試験によって評価した。
【０００９】（清浄性保持試験）上記ペリクル収納容器
にペリクルを収納し、振動試験機を用いて上下方向に 2
00回／分の速度で３時間振動を与えた。つぎに、ペリク
ルを容器より取り出しペリクル膜中の異物の増加を集光
ランプを用いて目視で測定したところ、異物の増加は認
められなかった。 （揮発性確認試験）ペリクル収納容器から発生する低重
合体等の揮発分によるペリクル膜汚染性を確認するため
に、上記容器にペリクルを収納し、50℃で７日間放置す
る加温処理を行った。つぎに、ペリクルを容器より取り
出してペリクル膜の紫外線透過率（光の波長： 248nm）
の変化を測定した。その結果、加温処理前後の透過率は
いずれも99.3％で変化がなく、ペリクル収納容器からの
有害揮発分の発生量は実用上問題とならないレベルであ
ることが確認された。
にペリクルを収納し、振動試験機を用いて上下方向に 2
00回／分の速度で３時間振動を与えた。つぎに、ペリク
ルを容器より取り出しペリクル膜中の異物の増加を集光
ランプを用いて目視で測定したところ、異物の増加は認
められなかった。 （揮発性確認試験）ペリクル収納容器から発生する低重
合体等の揮発分によるペリクル膜汚染性を確認するため
に、上記容器にペリクルを収納し、50℃で７日間放置す
る加温処理を行った。つぎに、ペリクルを容器より取り
出してペリクル膜の紫外線透過率（光の波長： 248nm）
の変化を測定した。その結果、加温処理前後の透過率は
いずれも99.3％で変化がなく、ペリクル収納容器からの
有害揮発分の発生量は実用上問題とならないレベルであ
ることが確認された。
【００１０】〔比較例〕比較のため、界面活性剤系の練
り込みタイプ帯電防止グレードのＡＢＳ樹脂：トヨラッ
ク ABS-500（東レ社製商品名）とアクリル系樹脂：コル
コート 515（コルコート社製商品名）を用いて、射出成
形により容器本体および蓋体を得た。両樹脂より得られ
た成形体の表面抵抗値は、それぞれ２×1013Ω、７×10
13Ωで、アクリル系樹脂ベースの場合は透明性も得られ
た。この容器本体を用いて前述の試験を行ったところ、
清浄性保持試験では６インチサイズで３〜数個の異物増
加が認められ、揮発性確認試験では透過率が99.3％から
98.4％に低下した。これは実施例と比べてペリクル膜の
汚染レベルが悪いといえる。また、容器本体、蓋体共
に、カーボンブラックを練り込んだタイプの帯電防止樹
脂を用いた場合は、表面抵抗値のコントロールが難し
く、目標とする表面抵抗値１×1010〜1012Ωに対して、
成形体の測定箇所により１×105 〜1014Ωとバラツキが
大きかった。さらに、前述のようにカーボン粒子が成形
体裏面から剥れてペリクルに付着する恐れがあるほか、
透明性が失われる欠点があり、容器の外から収納物を確
認することができない欠点があった。
り込みタイプ帯電防止グレードのＡＢＳ樹脂：トヨラッ
ク ABS-500（東レ社製商品名）とアクリル系樹脂：コル
コート 515（コルコート社製商品名）を用いて、射出成
形により容器本体および蓋体を得た。両樹脂より得られ
た成形体の表面抵抗値は、それぞれ２×1013Ω、７×10
13Ωで、アクリル系樹脂ベースの場合は透明性も得られ
た。この容器本体を用いて前述の試験を行ったところ、
清浄性保持試験では６インチサイズで３〜数個の異物増
加が認められ、揮発性確認試験では透過率が99.3％から
98.4％に低下した。これは実施例と比べてペリクル膜の
汚染レベルが悪いといえる。また、容器本体、蓋体共
に、カーボンブラックを練り込んだタイプの帯電防止樹
脂を用いた場合は、表面抵抗値のコントロールが難し
く、目標とする表面抵抗値１×1010〜1012Ωに対して、
成形体の測定箇所により１×105 〜1014Ωとバラツキが
大きかった。さらに、前述のようにカーボン粒子が成形
体裏面から剥れてペリクルに付着する恐れがあるほか、
透明性が失われる欠点があり、容器の外から収納物を確
認することができない欠点があった。
【００１１】
【発明の効果】本発明のペリクル収納容器は、ベース樹
脂中に親水性ポリマーを分散させた帯電防止樹脂を用い
ているので、静電気による浮遊粉塵の付着を防止でき、
収納するベリクル膜面にこれらの異物が付着するのを防
止できる。また、この材質はベリクル膜に対する汚染性
が低く、透明性も確保されるので収納物の確認が容易で
あるなど、他の要求機能も十分に満足される。
脂中に親水性ポリマーを分散させた帯電防止樹脂を用い
ているので、静電気による浮遊粉塵の付着を防止でき、
収納するベリクル膜面にこれらの異物が付着するのを防
止できる。また、この材質はベリクル膜に対する汚染性
が低く、透明性も確保されるので収納物の確認が容易で
あるなど、他の要求機能も十分に満足される。
【図１】本発明によるペリクル収納容器の一例に係り、
図の上半部は容器本体の中央部にペリクルを上表面に接
着した環状フレームを載置したときの状態を示す平面
図、図の下半部は蓋体の平面図である。
図の上半部は容器本体の中央部にペリクルを上表面に接
着した環状フレームを載置したときの状態を示す平面
図、図の下半部は蓋体の平面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ矢視線に添う縦断面図である。
10‥容器本体、 11‥嵌合部、
12‥載置部、12ａ‥凹部、 13‥係止
片、 19‥脚部、20‥蓋体、
21‥嵌合部、 22‥押え部、30‥ペ
リクル、 31‥ペリクルフレーム。
12‥載置部、12ａ‥凹部、 13‥係止
片、 19‥脚部、20‥蓋体、
21‥嵌合部、 22‥押え部、30‥ペ
リクル、 31‥ペリクルフレーム。
Claims (2)
- 【請求項１】中央部に環状フレームに装着されたペリク
ルを載置する容器本体と、ペリクルを被覆・保持すると
共に容器本体と互いに周縁部で嵌合係止する蓋体とから
なるペリクル収納容器であって、その材料が親水性ポリ
マーを樹脂中に分散させた帯電防止樹脂からなることを
特徴とするペリクル収納容器。 - 【請求項２】材料が、ＡＢＳ樹脂またはアクリル樹脂を
ベースとした樹脂中に親水性ポリマーを分散させた帯電
防止樹脂からなる請求項１記載のペリクル収納容器。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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