JPH06308719A - ペリクル - Google Patents
ペリクルInfo
- Publication number
- JPH06308719A JPH06308719A JP9581293A JP9581293A JPH06308719A JP H06308719 A JPH06308719 A JP H06308719A JP 9581293 A JP9581293 A JP 9581293A JP 9581293 A JP9581293 A JP 9581293A JP H06308719 A JPH06308719 A JP H06308719A
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- JP
- Japan
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- pellicle
- separator
- foreign matter
- foil
- conductive material
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- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 本発明はペリクル膜への異物の付着、特に
は輸送時におけるセパレーターからのペリクル膜への異
物の付着を防止したペリクルの提供を目的とするもので
ある。 【構成】 本発明のペリクルは、ペリクルのマスク基
板への固着用の粘着剤用のセパレーターを導電性物質、
特には金属箔からなるものとしてなることを特徴とする
ものである。
は輸送時におけるセパレーターからのペリクル膜への異
物の付着を防止したペリクルの提供を目的とするもので
ある。 【構成】 本発明のペリクルは、ペリクルのマスク基
板への固着用の粘着剤用のセパレーターを導電性物質、
特には金属箔からなるものとしてなることを特徴とする
ものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はペリクル、特にはＬＳ
Ｉ、超ＬＳＩなどの半導体装置あるいは液晶表示板を製
造する際のゴミよけとして使用される、実質的に 500nm
以下の光を用いる露光方式におけるペリクルに関するも
のである。
Ｉ、超ＬＳＩなどの半導体装置あるいは液晶表示板を製
造する際のゴミよけとして使用される、実質的に 500nm
以下の光を用いる露光方式におけるペリクルに関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】ＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体装置ある
いは液晶表示板などの製造においては、半導体ウェハー
あるいは液晶用原版に光を照射してパターニングを作成
するのであるが、この場合に用いる露光原版にゴミが付
着していると、このゴミが光を吸収したり、光を曲げて
しまうため、転写したパターニングが変形したり、エッ
ジががさついたものとなるほか、白地が黒く汚れたりし
て、寸法、品質、外観などが損なわれ、半導体装置や液
晶表示板などの性能や製造歩留りの低下を来たすという
問題があった。このため、これらの作業は通常クリーン
ルームで行われているが、このクリーンルーム内でも露
光原版を常に清浄に保つことが難しいので、これには露
光原版の表面にゴミよけのための露光用の光をよく通過
させるペリクルを貼着する方式が行なわれている。
いは液晶表示板などの製造においては、半導体ウェハー
あるいは液晶用原版に光を照射してパターニングを作成
するのであるが、この場合に用いる露光原版にゴミが付
着していると、このゴミが光を吸収したり、光を曲げて
しまうため、転写したパターニングが変形したり、エッ
ジががさついたものとなるほか、白地が黒く汚れたりし
て、寸法、品質、外観などが損なわれ、半導体装置や液
晶表示板などの性能や製造歩留りの低下を来たすという
問題があった。このため、これらの作業は通常クリーン
ルームで行われているが、このクリーンルーム内でも露
光原版を常に清浄に保つことが難しいので、これには露
光原版の表面にゴミよけのための露光用の光をよく通過
させるペリクルを貼着する方式が行なわれている。
【０００３】この場合、ゴミは露光原版の表面上には直
接付着せず、ペリクル上に付着するため、リソグラフィ
ー時に焦点を露光原版のパターン上に合わせておけば、
ペリクル上のゴミは転写に無関係となるのであるが、こ
のペリクル膜は通常、光を良く通過させるニトロセルロ
ース、酢酸セルロース、変性ポリビニルアルコール、フ
ッ素系ポリマーなどからなる透明なペリクル膜をアルミ
ニウム合金、ステンレス、ポリエチレンなどからなるペ
リクル枠の上部にペリクル膜の良溶媒を塗布し、風乾し
て接着する（特開昭58-219,023号公報参照）か、アクリ
ル樹脂やエポキシ樹脂などの接着剤で接着し（米国特許
第 4,861,402号明細書、特公昭63-27,707 号公報参
照）、さらにはペリクル枠の下部には露光原版が装着さ
れるために、ポリブテン樹脂、ポリ酢酸ビニル樹脂、ア
クリル樹脂などからなる粘着層、および粘着層の保護を
目的とした離型層（セパレーター）が構成されている。
接付着せず、ペリクル上に付着するため、リソグラフィ
ー時に焦点を露光原版のパターン上に合わせておけば、
ペリクル上のゴミは転写に無関係となるのであるが、こ
のペリクル膜は通常、光を良く通過させるニトロセルロ
ース、酢酸セルロース、変性ポリビニルアルコール、フ
ッ素系ポリマーなどからなる透明なペリクル膜をアルミ
ニウム合金、ステンレス、ポリエチレンなどからなるペ
リクル枠の上部にペリクル膜の良溶媒を塗布し、風乾し
て接着する（特開昭58-219,023号公報参照）か、アクリ
ル樹脂やエポキシ樹脂などの接着剤で接着し（米国特許
第 4,861,402号明細書、特公昭63-27,707 号公報参
照）、さらにはペリクル枠の下部には露光原版が装着さ
れるために、ポリブテン樹脂、ポリ酢酸ビニル樹脂、ア
クリル樹脂などからなる粘着層、および粘着層の保護を
目的とした離型層（セパレーター）が構成されている。
【０００４】そして、このペリクルは通常は金属また樹
脂製のペリルク枠の一端面にペリクル膜を接着剤で張設
し、ペリクル枠の他の端面に粘着層を形成し、その粘着
層を離型性を有するシート状材料（セパレーターと称す
る）で保護した構造体になっており、このペリクルを使
用するときには離型性を有するシート状材料（セパレー
ター）を剥離して除去したのち、露出した粘着層をフォ
トマスク（レチクルとも称する）の所定位置に圧着して
ペリクルをフォトマスクに固定することが行なわれるの
であるが、このペリクルを製造し出荷するときにはペリ
クル膜の異常のないことを確認後に、ペリクルを所定の
容器に収納し、異物が混入しないように厳重に包装、梱
包が行なわれる。
脂製のペリルク枠の一端面にペリクル膜を接着剤で張設
し、ペリクル枠の他の端面に粘着層を形成し、その粘着
層を離型性を有するシート状材料（セパレーターと称す
る）で保護した構造体になっており、このペリクルを使
用するときには離型性を有するシート状材料（セパレー
ター）を剥離して除去したのち、露出した粘着層をフォ
トマスク（レチクルとも称する）の所定位置に圧着して
ペリクルをフォトマスクに固定することが行なわれるの
であるが、このペリクルを製造し出荷するときにはペリ
クル膜の異常のないことを確認後に、ペリクルを所定の
容器に収納し、異物が混入しないように厳重に包装、梱
包が行なわれる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このペリクル
についてはこれを目的地に輸送後に、包装、梱包を解い
てペリクルを取り出してペリクル膜の異物の有無を確認
すると異物の発生している場合があるし、容器からペリ
クルを取り出す際にも異物が発生し易いという問題点が
ある。この原因は、トラックや鉄道、飛行機による輸送
時および荷物の積みおろし時の振動や衝撃により、ペリ
クル膜以外のところに潜在していた異物がペリクル膜に
付着するためと考えられているが、この異物が潜在する
場所としては一般に用いられているプラスチック製の離
型性シート状材料（以下プラスチック製セパレーターと
いう）があり、このプラスチック製セパレーターは絶縁
体であるために静電気が発生しやすく、そのため異物が
付着しやすいし、これはまた比重が 1.0以下と軽く、純
水中での洗浄もやりずらいという不利をもっている。
についてはこれを目的地に輸送後に、包装、梱包を解い
てペリクルを取り出してペリクル膜の異物の有無を確認
すると異物の発生している場合があるし、容器からペリ
クルを取り出す際にも異物が発生し易いという問題点が
ある。この原因は、トラックや鉄道、飛行機による輸送
時および荷物の積みおろし時の振動や衝撃により、ペリ
クル膜以外のところに潜在していた異物がペリクル膜に
付着するためと考えられているが、この異物が潜在する
場所としては一般に用いられているプラスチック製の離
型性シート状材料（以下プラスチック製セパレーターと
いう）があり、このプラスチック製セパレーターは絶縁
体であるために静電気が発生しやすく、そのため異物が
付着しやすいし、これはまた比重が 1.0以下と軽く、純
水中での洗浄もやりずらいという不利をもっている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明はこのような不
利、欠点を解決したペリクルに関するものであり、これ
はペリクルのマスク基板への固定用の粘着剤用のセパレ
ーターを導電性物質からなるものとしてなることを特徴
とするものである。
利、欠点を解決したペリクルに関するものであり、これ
はペリクルのマスク基板への固定用の粘着剤用のセパレ
ーターを導電性物質からなるものとしてなることを特徴
とするものである。
【０００７】すなわち、本発明者らはペリクルへの異物
の付着を防止する方法について種々検討した結果、ペリ
クルに使用されるセパレーターを導電性物質で作られた
ものとすれば静電気の発生が防止されるので、ここへの
異物の付着が防止され、したがってこのセパレーターか
らの異物がペリクルに付着することがなくなるというこ
とを見出し、このセパレーター構成材料の種類などにつ
いての研究を進め、これについてはこれを金属箔とすれ
ばこのものは表面が平滑で、超音波洗浄によるダメージ
も受けにくいものになるということを確認して本発明を
完成させた。以下にこれをさらに詳述する。
の付着を防止する方法について種々検討した結果、ペリ
クルに使用されるセパレーターを導電性物質で作られた
ものとすれば静電気の発生が防止されるので、ここへの
異物の付着が防止され、したがってこのセパレーターか
らの異物がペリクルに付着することがなくなるというこ
とを見出し、このセパレーター構成材料の種類などにつ
いての研究を進め、これについてはこれを金属箔とすれ
ばこのものは表面が平滑で、超音波洗浄によるダメージ
も受けにくいものになるということを確認して本発明を
完成させた。以下にこれをさらに詳述する。
【０００８】
【作用】本発明はペリクルに関するものであり、これは
前記したようにペリクルのマスク基板への固定用の粘着
剤用のセパレーターを導電性物質からなるものとしてな
ることを特徴とするものであるが、これによればセパレ
ーターに静電気が発生しなくなるのでここに異物の付着
することがなくなり、結果においてセパレーターからペ
リクル膜、ペリクル枠への異物の付着がなくなるという
有利性が与えられる。
前記したようにペリクルのマスク基板への固定用の粘着
剤用のセパレーターを導電性物質からなるものとしてな
ることを特徴とするものであるが、これによればセパレ
ーターに静電気が発生しなくなるのでここに異物の付着
することがなくなり、結果においてセパレーターからペ
リクル膜、ペリクル枠への異物の付着がなくなるという
有利性が与えられる。
【０００９】本発明のペリクルは、ペリクルをマスク基
板に固定するための粘着剤用のセパレーターが従来公知
の絶縁性材料、例えばプラスチックスからなるものとす
ると静電気により異物が付着し易かったのであるが、こ
のセパレーターを導電性物質からなるものとすると、こ
のものはこれが他の物質と接触し、こすれてもここに静
電気が発生することがなくなるので、従来この静電気に
よって吸着されていた異物の付着がなくなり、したがっ
てこのセパレーターに付着した異物が輸送などの異動時
などにペリクル膜、ペリクル枠などに付着してこれを汚
染するということがなくなるという有利性が与えられ
る。
板に固定するための粘着剤用のセパレーターが従来公知
の絶縁性材料、例えばプラスチックスからなるものとす
ると静電気により異物が付着し易かったのであるが、こ
のセパレーターを導電性物質からなるものとすると、こ
のものはこれが他の物質と接触し、こすれてもここに静
電気が発生することがなくなるので、従来この静電気に
よって吸着されていた異物の付着がなくなり、したがっ
てこのセパレーターに付着した異物が輸送などの異動時
などにペリクル膜、ペリクル枠などに付着してこれを汚
染するということがなくなるという有利性が与えられ
る。
【００１０】本発明におけるセパレーターを構成する導
電性物質は静電気の発生を防止するということからは導
電性であればどのようなものであってもよく、これは例
えば導電性付与剤としての金属粉、カーボンブラックな
どを配合したプラスチックで作られたものであってもよ
いが、これは表面が平滑で、超音波洗浄などによるダメ
ージを受け難く、洗浄も容易である金属箔とすることが
よい。
電性物質は静電気の発生を防止するということからは導
電性であればどのようなものであってもよく、これは例
えば導電性付与剤としての金属粉、カーボンブラックな
どを配合したプラスチックで作られたものであってもよ
いが、これは表面が平滑で、超音波洗浄などによるダメ
ージを受け難く、洗浄も容易である金属箔とすることが
よい。
【００１１】この金属箔としては銅箔、アルミニウム
箔、ステンレス箔などが例示され、これらは輸送テスト
の結果、いずれも異物の付着のなくなることが確認され
ているけれども、銅箔、アルミニウム箔はステンレス箔
にくらべてさびやすいという性質があり、使用中にさび
が発生すると、これが異物発生になるおそれがあるの
で、これには耐腐蝕性に強く、表面状態が変化すること
がなく、清浄のままで状態を保持できるステンレス箔と
することが最も好ましい。本発明におけるセパレーター
の形状はペリクル枠状に打ち抜いたものでもよく、これ
はペリクル枠の外寸法で打ち抜いた四角形や円形でもよ
い。この四角形や円形のセパレーターの場合は、ペリク
ル枠の粘着層と接触する領域以外の領域に粘着層を設け
ておくと、万一フレーム内壁などから飛散した異物をこ
の粘着層で固定できるために好ましい。
箔、ステンレス箔などが例示され、これらは輸送テスト
の結果、いずれも異物の付着のなくなることが確認され
ているけれども、銅箔、アルミニウム箔はステンレス箔
にくらべてさびやすいという性質があり、使用中にさび
が発生すると、これが異物発生になるおそれがあるの
で、これには耐腐蝕性に強く、表面状態が変化すること
がなく、清浄のままで状態を保持できるステンレス箔と
することが最も好ましい。本発明におけるセパレーター
の形状はペリクル枠状に打ち抜いたものでもよく、これ
はペリクル枠の外寸法で打ち抜いた四角形や円形でもよ
い。この四角形や円形のセパレーターの場合は、ペリク
ル枠の粘着層と接触する領域以外の領域に粘着層を設け
ておくと、万一フレーム内壁などから飛散した異物をこ
の粘着層で固定できるために好ましい。
【００１２】
【実施例】つぎに本発明の実施例、比較例をあげる。 実施例１〜３、比較例１ 非晶性フッ素系重合体・サイトップ［旭硝子（株）製商
品名］から作られた膜厚 8,150Åのペリクル膜を、フレ
ームの大きさが 120×98mm、幅２mm、厚さ 5.8mmの表面
をアルマイト処理したジュラルミン製のペリクル枠に、
粘着剤・ポリブテン・ＳＶ-7,000［日本石油（株）製商
品名］を厚さ約 0.5mmに塗布して粘着し、これにセパレ
ーターの離型剤として式
品名］から作られた膜厚 8,150Åのペリクル膜を、フレ
ームの大きさが 120×98mm、幅２mm、厚さ 5.8mmの表面
をアルマイト処理したジュラルミン製のペリクル枠に、
粘着剤・ポリブテン・ＳＶ-7,000［日本石油（株）製商
品名］を厚さ約 0.5mmに塗布して粘着し、これにセパレ
ーターの離型剤として式
【化１】 で示されるシリコーン離型剤を厚さが 0.5μｍとなるよ
うに塗布した。
うに塗布した。
【００１３】ついで、ここに銅箔（実施例１）、アルミ
ニウム箔（実施例２）、ステンレス箔（実施例３）およ
びポリエチレンテレフタレートフィルム（比較例１）か
らなるセパレーターを接着させてペリクルを作製し、こ
れをペリクル容器に収納して東京⇔福岡間を航空機で輸
送し、この輸送テスト終了後のペリクル膜に付着した異
物の増加を、0.5Luxの暗室に約30万Lux の集光ランプか
らの光を照射して観測したところ、つぎの表１に示した
とおりの結果が得られ、セパレーターとして導電性の金
属箔を使用した実施例１〜３のものと絶縁性のプラスチ
ックス材を用いた比較例１のものでは明らかな差が生
じ、実施例のものは比較例のものにくらべて異物の増加
を押さえる点ですぐれていることが確認された。
ニウム箔（実施例２）、ステンレス箔（実施例３）およ
びポリエチレンテレフタレートフィルム（比較例１）か
らなるセパレーターを接着させてペリクルを作製し、こ
れをペリクル容器に収納して東京⇔福岡間を航空機で輸
送し、この輸送テスト終了後のペリクル膜に付着した異
物の増加を、0.5Luxの暗室に約30万Lux の集光ランプか
らの光を照射して観測したところ、つぎの表１に示した
とおりの結果が得られ、セパレーターとして導電性の金
属箔を使用した実施例１〜３のものと絶縁性のプラスチ
ックス材を用いた比較例１のものでは明らかな差が生
じ、実施例のものは比較例のものにくらべて異物の増加
を押さえる点ですぐれていることが確認された。
【００１４】
【表１】
【００１５】
【発明の効果】本発明はペリクルに関するものであり、
これは前記したようにペリクルのマスク基板への固定用
の粘着剤用のセパレーターを導電性物質、特には金属箔
からなるものとしてなることを特徴とするものである
が、このもはセパレーターが導電性物質からなるもので
静電気の発生がないので、静電気による異物の吸着がな
くなり、したがってセパレーターからペリクル膜への異
物の付着がなくなるし、特にこれを金属箔とすればこれ
が表面で平滑で超音波洗浄などによる洗浄も容易となる
ので、さらに異物の付着がなくなるという有利性が与え
られる。
これは前記したようにペリクルのマスク基板への固定用
の粘着剤用のセパレーターを導電性物質、特には金属箔
からなるものとしてなることを特徴とするものである
が、このもはセパレーターが導電性物質からなるもので
静電気の発生がないので、静電気による異物の吸着がな
くなり、したがってセパレーターからペリクル膜への異
物の付着がなくなるし、特にこれを金属箔とすればこれ
が表面で平滑で超音波洗浄などによる洗浄も容易となる
ので、さらに異物の付着がなくなるという有利性が与え
られる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 川口栄 群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越化 学工業株式会社精密機能材料研究所内 (72)発明者 樫田周 群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越化 学工業株式会社精密機能材料研究所内 (72)発明者 久保田 芳宏 群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越化 学工業株式会社精密機能材料研究所内
Claims (2)
- 【請求項１】ペリクルのマスク基板への固定用の粘着剤
用のセパレーターを導電性物質からなるものとしてなる
ことを特徴とするペリクル。 - 【請求項２】導電性物質が金属箔である請求項１に記載
したペリクル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9581293A JP2855045B2 (ja) | 1993-04-22 | 1993-04-22 | ペリクル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9581293A JP2855045B2 (ja) | 1993-04-22 | 1993-04-22 | ペリクル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06308719A true JPH06308719A (ja) | 1994-11-04 |
| JP2855045B2 JP2855045B2 (ja) | 1999-02-10 |
Family
ID=14147843
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9581293A Expired - Fee Related JP2855045B2 (ja) | 1993-04-22 | 1993-04-22 | ペリクル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2855045B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021184068A (ja) * | 2020-05-22 | 2021-12-02 | 旭化成株式会社 | ペリクルケース、保持ユニットおよび剥離フィルム |
-
1993
- 1993-04-22 JP JP9581293A patent/JP2855045B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021184068A (ja) * | 2020-05-22 | 2021-12-02 | 旭化成株式会社 | ペリクルケース、保持ユニットおよび剥離フィルム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2855045B2 (ja) | 1999-02-10 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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