JPH10207041A

JPH10207041A - ペリクル

Info

Publication number: JPH10207041A
Application number: JP1169697A
Authority: JP
Inventors: Masahiro Kondo; 正浩近藤
Original assignee: Mitsui Chemicals Inc
Current assignee: Mitsui Chemicals Inc
Priority date: 1997-01-24
Filing date: 1997-01-24
Publication date: 1998-08-07

Abstract

(57)【要約】【課題】ペリクルに塵埃等の異物が付着することを防
止することを課題とする。【解決手段】ペリクル枠の一方の開口部にペリクル膜
が張設されたペリクルに、さらに、（１）ペリクル枠の
他方の開口部側の端面に設けられる接着手段と、（２）
前記接着手段に取り付けられ、前記接着手段から剥離さ
せることができるライナーとを設け、前記接着手段およ
びライナーのうち少なくとも一方が制電性材料からなる
ものとする。制電性材料としては、帯電防止剤を配合し
た合成樹脂や表面を制電加工した材料等を用いることが
できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はペリクルに関し、詳
しくは、帯電を防ぐことで異物の付着を防止するペリク
ルに関する。

【０００２】

【従来の技術】フォトリソグラフィ工程では、ガラス板
表面にクロム等の蒸着膜で回路パターンを形成したフォ
トマスクやレチクル（以下「マスク」という）を使用
し、レジストを塗布したシリコンウエハー上にその回路
パターンを露光により転写する作業が行われる。この工
程ではマスク上の回路パターンに塵埃等の異物が付着し
た状態で露光が行われると、ウエハー上にも上記異物が
転写されて不良製品のウエハーとなってしまう。特に、
露光をステッパーで行う場合には、ウエハー上に形成さ
れる全てのチップが不良となる可能性が高くなり、マス
クの回路パターンへの異物の付着は大きな問題となる。
そこで、露光用の光をよく通過させるペリクルを装着
し、マスクに塵埃が付着するのを防止している。

【０００３】一般にペリクルは、アルミニウム製のペリ
クル枠の一方の開口部にニトロセルロース等からなる透
明の膜を張設してなるものであり、他方の開口部側の端
面に両面テープ等の接着手段を設けてマスク上に取り付
けられるようになっている。これによれば、外部から異
物の侵入を防ぐことができ、また仮に膜上に異物が付着
するようなことがあっても露光時にはピンボケの状態で
転写されるため問題は生じにくい。

【０００４】しかし、ペリクル内側に塵埃等の異物が付
着してしまうと、ペリクルをマスクに装着した後にその
異物が脱落してしまうことがある。また、ペリクル枠の
表面の素材が振動等により一部崩れて異物発生の原因と
なることもある。

【０００５】そこで、ペリクル膜やペリクル枠の内側に
異物が付着しないようにし、また異物がペリクル枠等か
ら異物が脱落しないように様々な工夫がなされている。
例えば、ペリクル枠の内面に予め粘着性物質等を塗布し
防塵膜を形成すること（特開昭６４−４８０６２号）、
ペリクル膜の内面に粘着性物質層を形成すること（特開
平１−１２０５５５号）、ペリクル枠の全面に有機ポリ
マー等を塗布して平滑処理すること（特開平６−３０１
１９９号、特開平７−４３８９２号）等の手段が知られ
ている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上記の手段はペリクル
に塵埃が付着することを防ぎ、また異物が脱落するのを
防ぐためにある程度有効な手段である。

【０００７】しかし、ペリクルで問題となる異物は極め
て微細なものであり、望ましくはこのような異物が１つ
も付着しないようにしなければならない。そこで、ペリ
クルに起因して異物が生じることを防ぐさらなる手段が
求められていた。そのため、特に、ペリクルに異物が付
着することを防止する手段が求められていた。

【０００８】

【課題を解決するための手段】一般にペリクルには、ペ
リクル膜が張設された面とは反対側の面のペリクル枠の
端面に接着手段が設けられ、この接着手段を介してペリ
クルはマスクに取り付けられる。接着手段としては接着
材料を塗布して接着層を形成させたり接着テープを備え
る等の手段がある。また、ペリクルをマスクに取り付け
る前は接着手段にはこれを覆うライナーが備えられてお
り、ペリクルをマスクに取り付ける時にライナーをはが
す。

【０００９】ところが、ペリクル枠やペリクル膜に帯電
防止の処理を施してあってもライナーを接着手段からは
がす際に、接着手段またはライナーに剥離帯電が生じ、
この際に異物を引き寄せてしまう。

【００１０】以上の観点から本発明者は、ペリクルに異
物が付着のを防ぐために次のような手段を採った。すな
わち、本発明は、ペリクル枠の一方の開口部にペリクル
膜が張設されたペリクルであって、さらに、（１）ペリ
クル枠の他方の開口部側の端面に設けられる接着手段
と、（２）前記接着手段に取り付けられ、前記接着手段
から剥離させることができるライナーと、を有し、前記
接着手段およびライナーのうち少なくとも一方が制電性
材料からなることを特徴とするペリクルである。

【００１１】また、本発明のペリクルにおいては、前記
制電性材料の表面固有抵抗が１０¹⁴Ω以下であることが
好ましい。また、本発明のペリクルにおいては、前記接
着手段が練込型帯電防止剤を含む制電性材料からなるこ
とが好ましい。

【００１２】また、本発明のペリクルにおいては、前記
ライナーがその表面を塗布型帯電防止剤を含むコーティ
ング材料でコーティングされた制電性材料からなること
が好ましい。また、練込型帯電防止剤を練り込んで制電
性材料からなるライナーとしてもよい。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明を図面とともに詳細
に説明する。

【００１４】＜本発明のペリクル＞本発明のペリクル１
は、ペリクル枠３の一方の開口部にペリクル膜２が張設
される。本発明に用いられるペリクル枠３は、通常ペリ
クル枠として用いられているものでよい。ペリクル枠３
としては、アルミニウム合金、ステンレス、ポリエチレ
ン、アルマイト処理した黒色アルミニウム等からなるペ
リクル枠が挙げられる。また、これらのペリクル枠の表
面全体を非晶系フッ素ポリマー等でコーティングしたも
のを用いてもよい。これらのなかでも好ましくは、アル
ミニウム合金、アルマイト処理した黒色アルミニウム等
からなるペリクル枠が挙げられる。

【００１５】本発明においてペリクル膜２として用いら
れる薄膜は、通常ペリクル膜として用いられているもの
でよい。例えば、ペリクル膜２として用いられる薄膜と
しては、ニトロセルロース、エチルセルロース、酢酸セ
ルロース、プロピオン酸セルロース、プルラン化合物、
非晶性フッ素系重合体、シリコーン変性ポリビニルアル
コール等からなるものが挙げられ、これらのなかでも好
ましくは、ニトロセルロース、酢酸セルロース、非晶性
フッ素系重合体等が挙げられる。薄膜がペリクル枠３の
一方の開口部に張設されて、ペリクル膜２が形成され
る。ペリクル膜２は、例えば膜接着材６によりペリクル
枠３に固定することができる。

【００１６】本発明のペリクル１は、接着手段５とライ
ナー４とを有し、少なくとも一方が制電性材料からな
る。接着手段５とライナー４のうち少なくとも一方が制
電性材料からなるものであれば、ライナー４をペリクル
１から剥離させる際に生じる帯電の量を十分に低減し異
物がペリクルに付着することを防止できるが、双方を制
電性材料からなるものとすればより効果的である。

【００１７】制電性材料は導電性を有する材料であり、
導電性の低い物質であっても帯電防止剤を配合すること
により制電性材料として用いることができる。なお、制
電性材料には帯電防止剤の他、耐光性安定剤、耐熱性安
定剤等を配合してもよい。

【００１８】また、本発明に用いる制電性材料は、制電
性を有するコーティング材料で表面をコーティングする
等の制電加工を施された材料であってもよい。制電性材
料は、その表面固有抵抗が好ましくは１０¹⁴Ω以下、特
に好ましくは５×１０¹³Ω以下であるものが好適であ
る。

【００１９】本発明のペリクル１では、ペリクル枠３の
一方の開口部にペリクル膜２が張設されており、ペリク
ル枠３の他方の開口部側の端面に接着手段５が設けられ
る。言い換えれば、接着手段５は、ペリクル膜２が張設
された面とは反対側の面のペリクル枠３の端面に設けら
れる。接着手段５はペリクル１をマスクに固着すること
ができる手段であればよく、例えば接着材料を塗布して
ペリクル枠３に接着層を形成して接着手段５としてもよ
いし、また、接着材料をポリエステル製フィルム等に塗
布して接着テープとしペリクル枠３に備え付けて接着手
段５としてもよい。接着材料は、接着性のある合成樹脂
（以下「ベースポリマー」という）を含むものが好まし
い。ベースポリマーとして好ましくは、エチレン酢酸ビ
ニル共重合体、ブチルメタクリル樹脂、ポリスチレン、
スチレン−ブチレン共重合体、ポリイソブチレン等が挙
げられ、特に好ましくはスチレン−ブチレン共重合体等
が挙げられる。

【００２０】接着手段５を制電性材料からなるものとす
る場合は、制電性を有する接着材料（以下「制電性接着
材料」という）を用いればよく、例えば上記ベースポリ
マーを含む接着材料に帯電防止剤を配合して制電性接着
材料とすること等が好ましい。ベースポリマーに配合す
る帯電防止剤としては、合成樹脂などの高分子化合物に
混合するのに適した練込型帯電防止剤が好適であり、具
体的には、カーボンブラック、グリセリン脂肪酸エステ
ル、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシ
エチレンアルキルフェニルエーテル、Ｎ，Ｎ−ビス（２
−ヒドロキシエチル）アルキルアミン、Ｎ−２−ヒドロ
キシエチル−Ｎ−２−ヒドロキシアルキルアミン、ポリ
オキシエチレンアルキルアミン、ポリオキシエチレンア
ルキルアミン脂肪酸エステル、アルキルジエタノールア
ミン、アルキルスルホン酸塩、アルキルベンゼンスルホ
ン酸塩、アルキルホスフェート等が好ましく例示され
る。

【００２１】また、一般的に親水性ポリマーは制電性を
有しており、制電性を有する親水性ポリマーも上記練込
型帯電防止剤に含まれる。さらに、親水性ポリマーの中
には帯電防止効果の持続性が特に優れたものがあり、例
えば、ポリエチレングリコール系ポリマー等が挙げら
れ、具体的に好ましくは、ポリエチレングリコール、ポ
リエチレングリコールメタクリレート共重合体、ポリ
（エチレンオキシド・プロピレンオキシド）共重合体、
ポリエチレングリコール系ポリエステルアミド、ポリ
（エピクロルヒドリン・エチレンオキシド）共重合体等
が挙げられる。

【００２２】練込型帯電防止剤は２種以上を混合して用
いてもよく、アルキルジエタノールアミンとグリセリン
脂肪酸エステルとの混合物、アルキルベンゼンスルホン
酸塩とポリエチレングリコール又は高級アルコールとの
混合物は練込型帯電防止剤として特に好ましく用いるこ
とができる。

【００２３】また、練込型帯電防止剤はベースポリマー
の種類等に応じて選択してもよい。練込型帯電防止剤
は、制電性接着材料中の含有量が好ましくは０．０５〜
１０重量％、特に好ましくは０．１〜５重量％となるよ
うに配合することが好適である。

【００２４】ライナー４は、前記接着手段５に取り付け
られ、また前記接着手段５から剥離させることができる
ようにする。すなわち、ライナー４はペリクル１をマス
クに取り付ける前の段階で前記接着手段を覆ってこれを
保護するものであり、ペリクル１をマスクに取り付ける
際にはライナー４はペリクル１から取り外される。ライ
ナー４は、ポリエチレンテレフタレート等の合成樹脂を
フィルム状にし、ペリクル枠３に設けられた接着手段５
を覆うことができる形状とすればよい。また、ライナー
４は、シリコーン系等の離型剤が表面に塗布されている
ものであってもよい。

【００２５】ライナー４を制電性材料からなるものとす
る場合は、上記ポリエチレンテレフタレート等の合成樹
脂に帯電防止剤を練り込んでもよい。またはポリエチレ
ンテレフタレート等の合成樹脂を所定の形状にしたフィ
ルムの表面に帯電防止剤を含むコーティング材料でコー
ティングしてもよい。この場合の帯電防止剤としては、
水溶液または有機溶媒に溶解してスプレー、浸漬、ロー
ル等の方法により均一に塗布するのに適した塗布型帯電
防止剤が好適である。上記練込型帯電防止剤として用い
ることができる帯電防止剤のうちでも、均一に塗布する
のに適するものは塗布型帯電防止剤として用いることも
できる。塗布型帯電防止剤として具体的にはアルキルス
ルホン酸塩、アルキルベンゼンスルホン酸塩、アルキル
アンモニウム塩、トリアルキルベンジルアンモニウム塩
等が好ましく例示され、特に好ましくはアルキルベンゼ
ンスルホン酸塩、トリアルキルベンジルアンモニウム塩
等が挙げられる。なお、コーティング材料には塗布型帯
電防止剤を２種以上を混合して用いてもよく、また前記
離型剤等を混合して用いてもよい。コーティング材料中
の塗布型帯電防止剤の含有量は、好ましくは２〜３０重
量％、特に好ましくは５〜１０重量％とする。

【００２６】＜本発明のペリクルの作製＞本発明のペリ
クル１は、ペリクル枠３の一方の開口部側の端面に接着
手段５を設け、接着手段５を覆うようにしてライナー４
を取り付けた後、ペリクル枠３の他方の開口部にペリク
ル膜２を張設して作製することができ、接着手段５およ
びライナー４のうち少なくとも一方に上記制電性材料を
用いること以外は、通常の方法にしたがって作製するこ
とができる。

【００２７】例えば、制電性材料からなる接着手段５を
有するペリクル１を作製するには次のように作製する。
まずベースポリマーを加熱溶融し、これに練込型帯電防
止剤を加えて撹拌し制電性接着材料を得る。制電性接着
材料をペリクル枠３の端面に塗布し、接着層を形成す
る。これにライナーを備え付け、ペリクル膜を張設し
て、制電性材料からなる接着手段５を有するペリクル１
とすることができる。

【００２８】また、制電性材料からなるライナー４を有
するペリクル１を作製するには例えば次のように作製す
る。まずエステル又はケトン系、水等の溶媒に塗布型帯
電防止剤と離型剤とを加えて撹拌しコーティング材料を
得る。このコーティング材料を、合成樹脂等のフィルム
の表面にスプレー、浸漬、ロール等の方法によりコーテ
ィングして制電性材料からなるライナー４を得る。ライ
ナー４をペリクル枠３に設けられた接着手段５を覆うよ
うに取り付ける。このペリクル枠にペリクル膜を張設し
て、制電性材料からなるライナー４を有するペリクル１
を得ることができる。

【００２９】また、上記制電性接着材料および制電性材
料からなるライナーを双方用いることで接着手段５とラ
イナー４の双方が制電性材料からなるペリクル１とする
ことができる。

【００３０】

【実施例】

【００３１】

【実施例１】ポリスチレン−ブチレン共重合体（アサヒ
タックＡ−１３１、旭化学合成社製）を２００℃に加熱
溶融し、これに練込型帯電防止剤としてカーボンブラッ
クを、含有量が１．０重量％となるように加えて撹拌し
制電性接着材料を得た。この制電性接着材料の表面固有
抵抗を、振動容量型エレクトロメーター（アドバンテス
ト社製）により測定したところ７．２×１０¹³Ωであっ
た。

【００３２】この制電性接着材料をペリクル膜が張設さ
れる面とは反対側のペリクル枠の端面に溶融ドラムを付
したノズルを介して塗布した。引き続きシリコーン系離
型剤を含むコーティング材料を表面にコーティングした
ポリエチレンテレフタレート（以下、「ポリエチレンテ
レフタレート」は「ＰＥＴ」という）製ライナーを前記
接着層を覆うようにしてペリクル枠に取り付けた。この
ペリクル枠にペリクル膜を張設して本発明のペリクルを
得た。

【００３３】

【実施例２】ポリスチレン−ブチレン共重合体（アサヒ
タックＡ−１３１）に、練込型帯電防止剤としてグリセ
リン脂肪酸エステルを、含有量が０．３重量％となるよ
うに配合した制電性接着材料を用い、それ以外は実施例
１と同様にして本発明のペリクルを得た。なお、実施例
１と同様に表面固有抵抗を測定したところ、制電性接着
材料の表面固有抵抗は５×１０¹²Ωであった。

【００３４】

【実施例３】ポリスチレン−ブチレン共重合体（アサヒ
タックＡ−１３１）を２００℃に加熱溶融して、ペリク
ル膜が張設される面とは反対側のペリクル枠の端面に溶
融ドラムを付したノズルを介して塗布した。塗布後、室
温下に放置して冷却し接着層を形成した。

【００３５】水−アセトン混合溶媒に、アルキルベンゼ
ンスルホン酸塩を２重量％、シリコーン系離型剤を２重
量％となるように配合して撹拌してコーティング材料を
得た。このコーティング材料をＰＥＴ製のライナーの表
面に吹き塗装してコーティングをした。コーティングを
施されたライナーを、前記接着層を覆うようにしてペリ
クル枠に取り付けた。このペリクル枠にペリクル膜を張
設して本発明のペリクルを得た。なお、コーティングを
施されたライナーの表面固有抵抗を振動容量型エレクト
ロメーターにより測定したところ１．９×１０¹³Ωであ
った。

【００３６】

【実施例４】実施例１で用いた制電性接着材料を２００
℃に加熱溶融してペリクル膜が張設される面とは反対側
のペリクル枠の端面に塗布し、制電性接着材料からなる
接着層を形成した。実施例３で用いたコーティングを施
されたライナーを前記接着層を覆うようにしてペリクル
枠に備え付けた。このペリクル枠にペリクル膜を張設し
て本発明のペリクルを得た。

【００３７】

【実施例５】剥離帯電量の測定−１実施例１〜４で得た本発明のペリクルを用いて、ライナ
ーを剥がした際の剥離帯電量を測定した。剥離帯電量
は、ヒューグルエレクトロニクス社製のＥＳＣＡ−２０
３を用いて、ライナーをペリクル枠から剥がした直後
に、ライナー及び接着層から５ｃｍの距離で測定した。

【００３８】比較例として、スチレン−ブチレン共重合
体を接着材料として接着層を形成し、かつ、酢酸エチル
にシリコーン系離型剤を２重量％となるように配合した
コーティング材料をＰＥＴ製フィルムにコーティングし
たライナーを有するペリクルを用いた。

【００３９】結果を表１に示す。

【００４０】

【表１】

【００４１】

【実施例６】剥離帯電量の測定−２実施例１に示したペリクルにおいて、制電性接着材料中
のカーボンブラックの含有量を、それぞれ無添加、０．
５重量％、１．０重量％、１．５重量％としたものをそ
れぞれ用意し実施例５と同様にして剥離帯電量の測定を
行った。結果を表２に示す。

【００４２】

【表２】

【００４３】

【発明の効果】本発明のペリクルによれば、ライナーを
ペリクルからはがす際に剥離帯電が生じにくく、塵埃等
の異物がペリクルに付着することを防止することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のペリクルの斜視図

【図２】本発明のペリクルの側方断面図

【符号の説明】

１・・ペリクル２・・ペリクル膜３・・ペリクル枠４・・ライナー５・・接着手段６・・膜接着材

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ペリクル枠の一方の開口部にペリクル膜
が張設されたペリクルであって、さらに、（１）ペリク
ル枠の他方の開口部側の端面に設けられる接着手段と、
（２）前記接着手段に取り付けられ、前記接着手段から
剥離させることができるライナーと、を有し、前記接着
手段およびライナーのうち少なくとも一方が制電性材料
からなることを特徴とするペリクル。
【請求項２】前記制電性材料が、表面固有抵抗１０¹⁴
Ω以下の制電性材料であることを特徴とする請求項１に
記載のペリクル。
【請求項３】前記接着手段が、練込型帯電防止剤を含
む制電性材料からなることを特徴とする請求項１または
２に記載のペリクル。
【請求項４】前記練込型帯電防止剤が、カーボンブラ
ック、グリセリン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレン
アルキルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルフェニ
ルエーテル、Ｎ，Ｎ−ビス（２−ヒドロキシエチル）ア
ルキルアミン、Ｎ−２−ヒドロキシエチル−Ｎ−２−ヒ
ドロキシアルキルアミン、ポリオキシエチレンアルキル
アミン、ポリオキシエチレンアルキルアミン脂肪酸エス
テル、アルキルジエタノールアミン、アルキルスルホン
酸塩、アルキルベンゼンスルホン酸塩、アルキルホスフ
ェートから選ばれることを特徴とする請求項３に記載の
ペリクル。
【請求項５】前記ライナーが、その表面を塗布型帯電
防止剤を含むコーティング材料でコーティングされた制
電性材料からなることを特徴とする請求項１〜４のいず
れかに記載のペリクル。
【請求項６】前記塗布型帯電防止剤が、アルキルベン
ゼンスルホン酸塩、トリアルキルベンジルアンモニウム
塩から選ばれることを特徴とする請求項５に記載のペリ
クル。