JP2012208158A - ペリクル収納方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ペリクルを収納した容器をクリーン仕様の第一の袋に入れてその口を閉じ、次いでこれを帯電防止機能を有する第二の袋に入れてその口を閉じ、更に帯電防止機能を有する第三の袋に入れて密閉することを特徴とするペリクル収納方法である。
【選択図】 図1
Description
前記クリーン仕様の袋は、少なくとも清浄度1000以下のクリーンルーム内で製造された清浄度管理のされたものであり、前記帯電防止機能を有する袋は、少なくとも9.9×1011Ω/cm2以下の表面抵抗で帯電防止特性を有する。なお、前記密閉作業が清浄度1以上のクリーンルーム内において行われる。
図1において、ペリクル1を内部に収めたペリクル容器2が、クリーン仕様の第一袋3に収められ、その外側に帯電防止機能を有する第二袋4に収められ、さらにその外側に帯電防止機能を有する第三袋5に収められている。
本発明で使用される袋は、寸法に関しては、ペリクルの収納容器(ケース)を収納でき、かつ内部に収納する袋を外側の袋が収納できるサイズであれば、特に制限はない。厚さに関しては、各袋の口を閉じる際に、例えば、熱シールによって閉じる場合、軟化しすぎて破れたり切れたりすることが無いように、ある程度の厚さがあることが好ましい。逆に、融着しにくいほどに厚いと密閉がうまくできないことがあるため、厚さとしては、50〜200μmのものが好ましい。
従って、搬入するクリーンルームのクリーン度に応じて、この第三袋は、第四の袋、第五の袋等へと、さらに収納する袋を増やしても良い。
第四袋以降の袋についても同様である。
先ず、厚さ70μmのクリーン仕様の第一袋に、ペリクルを収納したペリクル容器を袋の最奥部まで入れ、袋の口を熱シールによって閉じた。次に、厚さ70μmの帯電防止袋である第二袋に、ペリクル容器を収めた第一袋を入れ、袋の口を熱シールで閉じた。
最後に、このものを厚さ100μmの帯電防止袋である第三袋に入れて、袋の口を熱シールで閉じた。これをクッション材を入れたダンボール箱に収納し、密閉して振動試験機に載せ、10Hz、上下方向に1Gの加速度で24時間振動を与えた。
また、収納容器を開いて製品(ペリクル)を上記方法にて検査したが、特に製品表面に付着物は無かった。
参考例1は、第一袋、第二袋に厚さ70μmのクリーン仕様の袋を使用し、第三袋には、厚さ100μmの帯電防止袋を使用した。参考例2は、第一袋、第二袋、第三袋のいずれにも厚さ70μmのクリーン仕様の袋を使用した。これ以外は、実施例1と同様にして袋の口を熱シールして24時間の振動試験を行った後、クリーンルーム内で開封し、収納容器を開いて製品(ペリクル)を取出し、クリーンルーム内の暗室にて30万ルクスの集光ランプによって検査したところ、いずれも製品上に異物の増加が認められた。この結果を、実施例1の結果と共にまとめて表1に示した。
第一袋として、厚さ70μmの帯電防止袋を使用し、第二袋、第三袋には、帯電防止袋又はクリーン袋を適宜組み合わせて使用した以外は、実施例1と同じ構成で試験を行った(表1参照)。このものをクリーンルーム内に持ち込み、開封したところ、第一袋、第二袋、第三袋の何れの表面にも白く帯電防止剤と思われるものがブリードアウトしていた。
さらに、容器表面にも白い粉状のものが付着していることが確認された。クリーンルーム内の暗室にて30万ルクスの集光ランプによって検査したが、容器表面に白い粉状の付着物があった。また、収納容器を開いて製品を上記方法にて検査したが、付着異物があり、顕微IR分光分析によってこの付着物が第一袋に含有される帯電防止剤と同じ成分であることが確認された。この結果は、表1にまとめて示した。
従来行われていた帯電防止袋のみを使用した例であり、厚さ100μmの帯電防止袋にペリクルを収納したペリクル容器を入れ、袋の口を熱シールによって閉じた後、実施例1と同様にして、24時間の振動試験後、クリーンルーム内で開封し、収納容器を開いて製品(ペリクル)を取出し、クリーンルーム内の暗室にて30万ルクスの集光ランプによって検査したところ、製品上に異物の増加が認められた。この結果を、上記実施例、参考例の結果と共に表1に示した。
2:ペリクル容器、
3:(クリーン仕様の)第一袋、
4:(帯電防止袋からなる)第二袋、
5:(帯電防止袋からなる)第三袋。
Claims (4)
- ペリクルを収納した容器をクリーン仕様の第一の袋に入れてその口を閉じ、次いでこれを帯電防止機能を有する第二の袋に入れてその口を閉じ、更に帯電防止機能を有する第三の袋に入れて密閉することを特徴とするペリクル収納方法。
- 前記クリーン仕様の袋が、少なくとも清浄度1000以下のクリーンルーム内で製造された清浄度管理のされたものである請求項1に記載のペリクル収納方法。
- 前記帯電防止機能を有する袋が、少なくとも9.9×1011Ω/cm2以下の表面抵抗で帯電防止特性を有する請求項1に記載のペリクル収納方法。
- 前記密閉作業が清浄度1以上のクリーンルーム内において行われる請求項1に記載のペリクル収納方法。
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