JP2017103418A - 基板収納容器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体ウェーハ収納用の容器本体と、容器本体の開口した正面2を閉鎖する蓋体10と、容器本体の正面2と蓋体10の間に介在されてシールする変形可能なガスケット20とを備え、容器本体の正面2内周に蓋体10用の段差受面7が形成された基板収納容器であり、ガスケット20は、蓋体10の取付溝13に嵌入される基材部21と、基材部21から突出して取付溝13内面に接触する固定用の嵌合リブ23と、基材部21から突出して容器本体の段差受面7に接触するシール片29とを含み、基材部21が拡幅に形成されて容器本体の正面2を蓋体10が閉鎖する場合に基材部21の少なくとも外周縁22が容器本体の段差受面7に対向可能とされ、シール片29が幅方向外側に先細りに突出する。
【選択図】図4
Description
しかしながら、この方法の場合、蓋体10の過剰な圧入を規制することができるものの、蓋体10の裏面周縁部にストッパ30を設ける必要があるので、蓋体10やその成形用の金型の構造が複雑になるという問題が新たに生じる。
しかしながら、この方法の場合、嵌合リブ23Aの形状を均一化することはできるものの、嵌合リブ23Aの先端部27AをR形状に形成するので、嵌合リブ23Aが肉厚となる。
ガスケットは、蓋体の取付溝に嵌め入れられる基材部と、この基材部から突き出て取付溝の内面に接触する固定用の嵌合突起と、基材部から突き出て容器本体の開口部内周の段差受面に接触するシール片とを含み、基材部が拡幅に形成されて容器本体の開口部を蓋体が閉鎖する場合に基材部の少なくとも周縁が容器本体の開口部内周の段差受面に対向可能とされ、シール片が幅方向外側に先細りに突出することを特徴としている。
ガスケットの基材部から嵌合突起の第一、第三の傾斜辺の接続部分までの高さが0.3〜3.0mmであることが好ましい。
各表面プレート14は、縦長の板に形成され、補強用や取付用のリブ、螺子孔等が複数配設されており、蓋本体11の正面側方に覆着される。この表面プレート14には、施錠機構16用の操作孔15がそれぞれ穿孔される。
2 正面(開口部)
3 周縁部(開口部周縁)
6 内周部(開口部内周)
7 段差受面
10 蓋体
13 取付溝
20 ガスケット
21 基材部
22 外周縁(周縁)
23 嵌合リブ(嵌合突起)
24 第一の傾斜辺
25 第二の傾斜辺
26 第三の傾斜辺
27 先端部
28 接触突起
29 シール片
30 ストッパ
θ1 第一、第三の傾斜辺の形成する角度
θ2 第一の傾斜辺と第二の傾斜辺の延長線とが形成する角度
Claims (4)
- 基板を収納可能な容器本体と、この容器本体の開口部を閉鎖する蓋体と、容器本体の開口部と蓋体との間に介在されてシールする変形可能なガスケットとを備え、容器本体の開口部周縁が幅方向外側に屈曲することにより、容器本体の開口部内周に蓋体用の段差受面が形成され、蓋体に、ガスケット用の取付溝が形成された基板収納容器であって、
ガスケットは、蓋体の取付溝に嵌め入れられる基材部と、この基材部から突き出て取付溝の内面に接触する固定用の嵌合突起と、基材部から突き出て容器本体の開口部内周の段差受面に接触するシール片とを含み、基材部が拡幅に形成されて容器本体の開口部を蓋体が閉鎖する場合に基材部の少なくとも周縁が容器本体の開口部内周の段差受面に対向可能とされ、シール片が幅方向外側に先細りに突出することを特徴とする基板収納容器。 - ガスケットの基材部における容器本体の開口部内周の段差受面に対向する対向面と反対側の面に、取付溝の内面に接触する接触突起が形成される請求項1記載の基板収納容器。
- ガスケットの嵌合突起は、基材部から突き出て基材部の取付溝に対する反嵌め入れ方向に傾斜する第一の傾斜辺と、基材部から第一の傾斜辺方向に突き出る第二の傾斜辺と、この第二の傾斜辺から傾きながら伸びて第一の傾斜辺の先端部に接続される第三の傾斜辺とを含み、第一、第三の傾斜辺の形成する角度が、第一の傾斜辺と第二の傾斜辺の延長線とが形成する角度よりも大きくされ、
ガスケットの基材部から嵌合突起の第一、第三の傾斜辺の接続部分までの高さが0.3〜3.0mmである請求項1又は2記載の基板収納容器。 - ガスケットの嵌合突起の第一、第三の傾斜辺の形成する角度が45°〜135°の範囲である請求項3記載の基板収納容器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2015237599A JP6576811B2 (ja) | 2015-12-04 | 2015-12-04 | 基板収納容器 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2015237599A JP6576811B2 (ja) | 2015-12-04 | 2015-12-04 | 基板収納容器 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2017103418A true JP2017103418A (ja) | 2017-06-08 |
JP6576811B2 JP6576811B2 (ja) | 2019-09-18 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
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JP (1) | JP6576811B2 (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002068364A (ja) * | 2000-06-13 | 2002-03-08 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | シール部材、密封容器及びそのシール方法 |
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JP2014116490A (ja) * | 2012-12-11 | 2014-06-26 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 基板収納容器 |
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2015
- 2015-12-04 JP JP2015237599A patent/JP6576811B2/ja active Active
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