JP4903893B2 - 薄板支持容器用蓋体 - Google Patents
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Description
(1) 上記実施形態では、ウエハ押え15のV字型溝48の下側面48Aを大きくする態様として、傾斜角度を緩やかにして面積を大きくしたが、この下側面48Aの傾斜角度を変えずに面積を大きくしてもよい。容器本体12を横にして半導体ウエハ11が載置板片29に載置された状態で、下側面48Aの下端部が半導体ウエハ11よりも下側に位置して半導体ウエハ11をすくい上げることができるように下側面48Aを大きくする態様であればよく、このように形成された下側面48Aすべてが本発明に含まれる。
Claims (6)
- 内部に薄板を複数枚収納して搬送される薄板支持容器の容器本体を塞ぐ薄板支持容器用蓋体であって、
上記容器本体内に収納された複数の薄板を個別に支持するための薄板押えを備え、
当該薄板押えが、蓋体裏面側に固定される2つの基端支持部と、上記薄板の周縁に沿って複数個配設されて当該薄板に直接に当接される当接片と、上記各基端支持部にそれぞれ支持されて上記複数の当接片のうち両端の当接片の外側端を支持する2つの弾性支持板部と、上記各当接片の間を互いに連接して各当接片を支持する連接支持板部と、当該連接支持板部の上記蓋体裏面に沿うズレを防止して上記蓋体裏面に垂直な方向の変動を許容する支持用部材とを各薄板毎に備え、
上記支持用部材が、上記各連接支持板部を上記蓋体裏面に垂直な方向の変動を許容した状態で上記蓋体裏面に沿ってズレないように個別に支持する支持用リブを備えて構成されたことを特徴とする薄板支持容器用蓋体。 - 請求項1に記載の薄板支持容器用蓋体において、
上記支持用リブが、上記各連接支持板部の間にそれぞれ設けられて上記各連接支持板部を個別に仕切ることで、上記各連接支持板部をその幅方向両側から直接的に支持して、間接的に上記各当接片を、上記薄板の周方向と直交する方向にずれないように支持する仕切り板片を備えたことを特徴とする薄板支持容器用蓋体。 - 請求項1に記載の薄板支持容器用蓋体において、
上記支持用リブが、上記各連接支持板部を上記薄板の周方向にずれないように直接的に支持して、間接的に上記各当接片を上記薄板の周方向にずれないように支持する支持板片を備えたことを特徴とする薄板支持容器用蓋体。 - 請求項1に記載の薄板支持容器用蓋体において、
上記当接片が、上記薄板の周縁に沿って複数個配設されると共に並列に複数配設されて上記複数の薄板にそれぞれ直接に当接され、
上記並列の各当接片が、その両側に位置するものに比べて中央側に位置するものを上記薄板側へ隆起させて配設されたことを特徴とする薄板支持容器用蓋体。 - 請求項4に記載の薄板支持容器用蓋体において、
上記蓋体裏面側に設けられ上記各連接支持板部に当接して当該各連接支持板部を支持する支持用凸条を備え、
当該支持用凸条を、両側に位置する上記当接片に比べて中央側に位置する上記当接片を上記薄板側へ隆起させるように形成されたことを特徴とする薄板支持容器用蓋体。 - 請求項4に記載の薄板支持容器用蓋体において、
上記各当接片を支持する各連接支持板部が、両側に位置する上記当接片に比べて中央側に位置する上記当接片を上記薄板側へ隆起させるように、形成されたことを特徴とする薄板支持容器用蓋体。
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