TW393695B - A transporting device - Google Patents

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經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 五、發明說明（π) 用之線網·一般，如透明玻璃板等的場合，亦可確實地檢出 原板之有無。 在原板收納容器沿垂直方向收納複數原板的場合，最 好能具有檢出鼷於原板之垂直方商1¾位置檢出手段，依此 ，可得知原板之有無，亦可正確地求得原板之位置。 在以上構成之搬送装置，随1端面檢出手段之檢出结 果而安装控制搬送之控制手段，依此可正確無誤地進行原 板之搬送。又，依此方式而被搬送之上述原板，其表面具 有被形成模型之線網，於此埸合，處理装置係由曝光於基 板上之線網模型之像的曝光装置所形成。 - 又，有關與上述相異之另一本發明的搬送装置方面， 因原板收納容器可随驀原板之收納枚數而有不同大小，且 具有檢出原板收納容器大小之檢出手段，而可顒懕所使用 之原板收納容器之大小而控制搬送。 在原板收纳容器係順懕原板之收纳枚數，垂直方向之 長度不同所構成的場合，檢出手段雖可K垂直方向不同長 度為準而檢出原板收納容器之大小，此係在將原板K垂直 方向重曼而收纳於原板收纳容器的場合，故«蕩收納原板 枚數而致收納容器之高度有所差別。 [画面簡單說明] 、〔圈1]傜表示具備原板搬送装置之曝光装置的容器 内部構造之立骽圓。 〔圖2〕係表示圖1之收納分離部件之内部構造之平 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -HI — — — — ·11111111 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 A7 B7五、發明説明（/ ) 〔發明所雇之技術領域] % v/本發明係有翮搬送裝置，特別是藺於搬送線網、遮典/ I零¥原板（露光原板）之搬送装置。 在曝光裝置（Stepper)方面，於線網表面所形成之模型 *在將具有塗佈感光劑之晶圓上曝光，進行晶圓之回路模 型形成作業。但，對於此種裝置，在晶圓上不論重複多少 層》回路模型係被曝光形成，必須使用複數種類之媒網K 形成複數種類之模型，一逢依次交換複數種類之線網一邊 進行曝光動作。 如此，為了能一邊有效率地將複數種類之線網交換一 邊使用，由習知已提出各種搬送装置以使有效率地將原板 (線網等）搬送。其中之一例即如特開平7-321179號公報 所揭示的搬送装置•此搬送装置係安装於曝光裝置内，於 進行由收納一枚或數枚原板之收納器之原板的搬出入的同 時，將K如搬出入之原板於曝光處理台之間而搬送之。 但，如此之搬送裝置係預先將原板（基板）收納於收 納容器內並將收納原板之動作分開*並且，於可將複數之 原板收納之收納容器之場合，若非於預先知道將原板收納 之位置的狀態，則無法搬送原板。因此•習知係由操作員 預先確認收納容器内，原板之有無及位置*收納容納之種 類（可收纳幾枚之原板）等。在自動搬送之場合，操作貝 係進行指定原板之位置等等之原板搬送指示。 〔發明欲解決之課題] -4- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） A7 B7 一 - —— —_ — _ _ — __ 五、發明説明（ι) 但，若因操作員的疏忽而進行實際上由空的位置將原 板搬出之指示，則會造成搬送裝置係由空的位置將原板搬 出之搬送錯誤，因而發生装置的動作及生產工程的停止等 .問題。反之，實際上原板已經進入之位置而判斷為空的， 於是指示將原板搬入此位置，則原板會與已經進入之原板 相撞，因而發生昂貴的原板之損傷問題。 更進一步言之，於開始自動搬送之後，操作員將如原 板收納容器交換後之場合，於交換前之收納容器係空的位 置上，不論是交換後之容器内原板被收納*若κ原板搬入 位置指定為收納位置（本來係空的位置）*則已經被收納 之原板會與搬入之原板相撞*因而發生原板損傷之問題。 又，取代如此由操作貝來確認原板之有無等動作，雖 考慮到安裝光感應器κ判別容器内是杏有原板之自動確認 等方法，但由於形成原板之線網係石英等透明材質之平板 狀部材（石英玻璃板）及光會穿透線網之因素，即U吏甩 光感懕器，亦有難Μ判別原板之有無的問題。 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 又>，原板收納容器雖具有收納一枚或數枚原板等種類 ，但*若|法判斷這些收納容器的種類，則會有無法自動 搬送的問題 ° Sit > ，若K指定安装收納數枚原板的容器之下搬送原板，則會 發生搬送錯誤及原板之間相撞而造成損傷之問題。 本發明有鑑於此等題，其目的係提供可自動地進行於 收納容器内，封原板之有無與檢出其收納位置，及收納容 -5- 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（3 ) 器種類之判別，即使無操作員等之對原板的確認，亦可搬 送之搬送装置。 '本發明特別以提供即使在將曝光裝置用之線網般之透 ，明原板收納於收納容器之場合，亦可確實地進行該原板之 有無及位置之檢出而正確地搬送為目的。 〔解決課題之手段及作用]\/ 為達成上述之目的，K表示實施例之圖圖5互相 對應而加以說明。本發明之原板搬送裝置係具有在可將原 板收納之原板收納容器（30、35)與使用該原板施以 所定的廑理之處理裝置（9 0)之間以搬送原板所構成· 檢出被原板收納容器所收納之原板端面之端面檢出手段（ 15，100)。此種原板檢出手段因係將原板之端面檢 出Μ檢出原板收納容器內原板之有無等，故即使在原板被 重複地收纳之原板收纳容器内之場合，亦可Κ該狀態確實 地檢出原板之有無，並顒利地進行原板之搬送。 又，端面檢出手段其最佳之構成係具有照射光：ί照射 . - ----— 系統（15)，接收於前述原板端面所反射的反射光之受 光糸統（15)、及當受光系統接收到反射光時，判定原 板已被收納於原板收納容器内之判定裝置（100)。於 此埸合，原板即使在如曝光裝置用之媒網及透明玻璃板等 場合，亦可確實地檢出其有麵。 在使原板收納容器上下重叠，收納數枚原板的埸合， 最佳係具有檢出有關原板上下方向位置之位置檢出手段（ -6- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4規格（2lOX297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印袈 A7 _B7_五、發明説明（f ) 15，100)。依此，可檢出K端面檢出手段而檢出原 板之有無時之位置，而且*不僅可知原板之有無，亦可正 確地求出原板之位置。 在K上構成之搬送裝置上，依端面檢出手段之檢出结 果而安裝控制搬送之控制手段。依此•可進行正確無誤之 原板搬送。 以使用此種搬送之上述原板，其表面具有形成模型之 媒網，在此場合之處理装置係將線網模型之像曝光於基板 之曝光装置（90)所形成。 又，相異於上述之有關本發明之搬送装置，係由在可 收納原板（R)之原板收纳容器（30 * 35)與使用該 原板施K所定的處理之處理裝置（9 0)之間K搬送原板 所構成，原板收納容器係随著原板之收纳枚數而有大小不 同之差別，並具有檢出原板收納容器大小之檢出手段（1 7a，17b)。依此，則可隨著所使用原板收納容器之 大小而控制搬送。 原板收納容器係在隨著原板之收納枚數，垂直方向之 畏度係不同所構成之場合，檢出手段係根據垂直方向之不 同長度而檢出原板收納容器之大小。在此將原板收納容器 K垂直方向重叠而收納原板之場合，随羞收納原板枚數而 有收納容器之不同高度的原因。 〔發明之實施形態〕 以下參歷谭面K說明本發明之最佳實施形態。圖Λ係 -7- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） I, II ^ —裝 I I 訂 · ^-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 五、發明説明 ( r ) 1 表 示 具 備 有 關 本 發 明 之 搬 送 裝 置 的 曝 光 裝 置 (Stepper)之内 1 1 部 構 造 9 於 此 所 顯 示 之 裝 置 構 成 全 體 係 安 装 在 保 持 安 靜 的 | 氣 狀 態 之 容 器 ( 未 圖 示 ) 内 0 又 t 此 圖 中 Μ 箭 頭 X ， Y 請 先 ί 閲 I » Z 所 指 示 之 方 向 9 分 別 以 X 方 向 、 Y 方 向 Z 方 向 而 說 讀 背 1 面 I 明 之 0 之 注 1 j 意 I 此 曝 光 裝 置 基 本 上 係 將 安 裝 於 基 座 1 上 之 線 網 收 納 % 事 項 1 I • 再 統 1 0 線 網 搬 送 糸 統 5 0 及 曝 光 糸 統 9 0 安 装 於 未 圖 填 寫 本 裝 示 之 防 振 台 上 所 構 成 0 頁 1 I 圖 5 係 表 示 本 曝 光 裝 置 之 構 成 之 方 塊 圖 0 控 制 裝 置 1 1 1 0 0 係 負 責 控 制 本 曝 光 裝 置 全 體 特 別 是 控 制 曝 光 % 統 9 1 1 0 線 網搬 送 % 統 5 0 及 線 網 收 納 % 統 0 又 9 媒 網 收 納 糸 訂 1 | 统 1 0 偽 將 後 述 之 上 下 移 動 櫬 構 1 2 、 線 網 收 纳 判 別 感 應 器 1 5 及 容 器 大 小 檢 出 感 應 器 1 7 a 1 7 b 之 輸 出 供 1 給 於 控 制 裝 置 1 0 0 0 1 回 到 1 線 網 收 納 系 統 1 0 具 有 將 在 基 座 1 上 之 X *1' 方 向 所 定 間 隔 並 列 安 装 3 個 收 納 分 離 部 件 1. 1 及 在 該 1 I 部 件 1 I 上 各 別 安 裝 可 η 由 裝 卸 之 收 納 容 器 3 0 3 5 0 1 1 \ 又 於 EHJ 圖 最 刖 側 之 收 納 分 雜 部件 1 1 係 安 裝 於 用 來 檢 出 線 1 1 網 R 上 之 異 物 的 異 物 檢 査 裝 置 4 0 上 0 1 1 收 納 容 器 3 0 3 5 係 可 收 容 一 枚 或 數 枚 線 網 R 之 容 1 I 器 « 該 媒 網 R 係 由 所 定 之 模 型 而 形 成 之 透 明 玻 瑀 板 所 形 成 I 1 I 〇 就 本 例 而 -a- % 其 係 使 用 可 收 容 6 枚 媒 網 R 之 收 納 容 器 3 1 1 0 與 可 收 容 枚 線 網 R 收 納 容 8 - 器 3 5 之 2 種 類 0 又 $ 收 納 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家揉率（CNS > A4規格（210X297公釐） 經濟部中央橾準局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（& ) 容器30、35並不須使用將線網R —枚一枚地密封之盒 子（即線網盒）為媒介，而一般地將媒網R收納之。又， 不k是收納容器30或3 5，其可完全地對收納分離部件 ,1 1作可自由裝卸之安裝。 如圈4所示*收納容器30係由底板3 1、安裝於該 底板31上之保持棚33、及覆蓋該保持棚33而可自由 裝卸地安裝於底板31之蓋子32所構成。蓋子32係以 未圔示之鎖機構而與底板3 1為可能鎖嵌合。在保持棚3 3安装有六段之棚，各棚如圓所示，形成可將線網R插入 保持之。 收納容器35雖與收納容器30之構成相同*該容器 之保持棚係安装一段之棚*並可保持一枚之線網R。因此 *收納容器35之整體高度係低於收納容器30。又，本 例雖僅使用一枚及六枚用之收納容器，但亦可使用除此而 外之收容枚數之線網容器，在此場合，隨羞收納枚數之不 同，其整體高度亦有所差別。 收納分離部件1 1之上面安裝有將收納容器30、3 5收容保持之安裝部，於該安裝部安裝有為了將底板3 1 及保持棚3 3收容於内部之開口。安裝部係具有解除於此 處所安装之收納容器之蓋子與底板之鋇的機構。又*在部 件1 1内係如圖2 (僅表示部件1 1内部構造之平面圖） 所示·上下移動機構1 2係安裝於後部側，由此上下移動 機構1 2來支撐被解除蓋子與底板之鎖的底板3 1及其上 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度通用中國固家橾準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部中央標準局貝工消費合作杜印製 A7 ______B7__ 五、發明説明（1 ) 面之保持棚33，如圃3所示，可使其在部件1 1内移動 (下動）。又，此時蓋子32保持被安裝於安裝部之狀態 不‘動。 收納分離部件11之前面側係開放，如圖2及圖3所 示*安裝有線網收納判別感應器1 5。線網收納判別感應 器1 5係具有照射檢出光之照射系統及檢出反射光之受光 系統所構成，由照射系統於對象物照射檢出光，K受光系 铳將由對象物所反射之反射光接收。控制装置1 0 0係K 受光器信號之有無為基礎而檢出對象物之有無。 線網R，例如，具有5时大小者之厚度約3mm，6 时大小者之厚度約6mni。因此，利用媒網端面之厚度， 照射系統係Μ斜方向將光照射於媒網R之端面，受光糸統 係接收由線網R之端面所反射之光。 線網收納判別感應器15係安裝於與藉由上下移動機 構12而移入部件1 1內之保持棚33之對面，如前所述 ，將檢出光照射於被保持櫬3 3受容保持之線網R之前端 面，並進行在保持棚3 3内是否已收容線網R之檢出。 線網R係由石英玻璃板等所形成之透明部材，為使光 可Μ透過去•雖Μ光透過型感應器Μ檢出線網之有無有些 困難，此處係使用反射型感應器*為檢出由媒網端面反射 光之有無*而可確實地檢出透明的線網R之有無。又，該 線網收納判別感應器15係於保持棚33移動路徑之途中 被安裝，藉由上下移動機構1 2而完全地將保持棚3 3下 -10- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（2丨0><297公釐） ---------•「裝一------訂--.--U--^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) A 7 __B7_ 五、發明説明（F ) 移時（有圖3所示之位置時）*線網收納判別感應器15 係由保持棚3 3上側而定位*保持棚3 3之前面側係形成 完k開放之狀慇。 控制裝置1 00係以與上下移動機構1 2之上下位置 有關之信號及來自媒網收納判別感應器之輸出信號為基準 ，而可判別保持棚33之那一棚已收納線網R，那一栅仍 是空的之狀態。 又，在本實施形態中，對於各收納容器30，35雖 安装有一個線網收訥判別感應器1 5，亦可沿垂直（上下 )方向安裝複數的線級收納判別感應器。在此場合*控制 裝置1 00係僅以禊數的镍網收納判別感應器1 5之輸出 ，即可判別出保持棚之那一棚已收納線網R，那一棚仍是 空的狀態。又，將線網收納判別感應器1 5以可動方式固 定，當線網搬送臂.52進入保持棚33時，可將媒網收納 判別感應器1 5退避到不會造成干擾之位置。 經濟部中央標準局肩工消費合作社印製 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) $，於收納分雜部件上面側安裝由發光器1 7 a及受 光器1 7b所形成之容器大小檢出感應器。該容器大小感 應器係由發光器1 7a照射檢出光於受光器1 7b上，Μ 檢出經由受光器1 7b受光之有無的光透過型感應器*使 能挟住安裝部而被安裝。又*該容器大小感應器係當收納 容器30被安裝後，雖自發光器1 7a至受光器1 7b為 止被遮蔽，安裝上收納容器35，光路1 8係被安裝在不 被遮蔽之高度位置。因此，控制裝置1 00可判斷當無法 -11- 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） 經濟部中夾標準局貝工消費合作社印製 A7 _B7 _ 五、發明説明（？） 由受光器1 7b接收到來自發光器1 7a之光時，收納容 器30係被安装；當可接收到來自發光器17a之光時， 收&容器3 5係被安装。 又，因本例僅採用收納容器30、35，雖僅安装一 組的容器大小檢出感應器，當收納容器的種類多時，可随 蘧各容器之高度而採用複數組之感應器。又，亦可採用具 有高度方向而連續之寬的光感應器。又，取代上述之光透 通型感懕器，亦可採用光反射型感應器。 線網搬送系統5 0係由具有嬢網搬送臂5 2之第1搬 送系統，具有線網搬送部件56之第2搬送系統55，及 具有裝載臂61與卸載臂62之第3搬送系統60構成。 第1搬送糸統5 1係具有對應於各收納分離部件1 1 ，共安裝3组，各媒網搬送臂52 *及當把該臂1 5K箭 頭A所示之Y方向（前後）移動時，亦往箭頭B所示之Z 方向（上下）移動之第1移動櫬構。又，在此移動路徑的 途中，安裝上線網位置修正部件53，及讀取安裝於線網 R之條型碼的第1條型碼解譆器54。 ^ 2搬送糸統5 5係具有於容器内上部將線網搬送部 件52K箭頭C所示之X方向（左右方向）移動之第2移 動機構。又，線網搬送部件5 6具有真空吸著機構，Μ真 空吸著機構而可將線網R吸著保持。 第3搬送糸統係具有使上下重叠而定位之装載臂61 及卸載臂6 2各別獨立，使其往箭頭D所示之Ζ方向移動 -12- 本纸張尺度適用中鬮國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) '裝· 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 _ _B7_五、發明説明（·。） ，注箭頭E所示之Y方向移動，更進一步Μ箭頭下所示之 Ζ方向移動之第3移動櫬構。又，Κ箭頭Ε所示之移動路 徑中*沿蕩該路徑安装讚取所搬送之線網R之條型碼之條 ，型碼解讀器6 5。 曝光系統9 0係由未圖示之照明系統、載置線網R之 媒網9 1、投影透鏡糸統92、載置晶圓W之晶圓台所構 成。在此處，於線網台9 1定位而被載置之線網R上照射 來自照明系統之光，將媒網R之模型透過投影透鏡系統而 縮小之，並照射晶圓W之所定位置。又，此曝光系統9 ◦ 之動作因與本發明無直接關連，故將其詳细說明省略。 Κ上構成之曝光裝置的動作如以下之說明。首先*將 所定之線網R收納於保持棚3 3，操作員像將底板與蓋子 鎖往之狀態的收纳容器30、35安裝於收納分離部件1 1之安裝部。又，此時事先設置檢出是否有安装好部件1 1之感應器及開翻等，最好能夠檢出是否有安裝收納容器 。到此為止係操作員之容器内之作業•該容器的門被藺而 成密閉狀態，其後操作僅由外部發出指令，依此指令，在 容器内進行藉由控制裝置100之自動搬送及暘光作業。 開始作業之指令係當於外部容器之操作員之開關操作 等發出時，控制裝置1 0 0則檢出藉由容器大小檢出感應 器1 7a、1 7b而安装於收納分離部件1 1之收納容器 的大小，並判別該容器是收納容器30或收納容器35。 其次，操作員指定收納容器之收納位置（保持棚33 -13- -----I I I---裝-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

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J Λ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4规格（210X297公釐） 經濟部中央樣準局員工消費合作社印製 A7 £7___ 五、發明説明（〖I ) 之棚位置）並發出搬送在此處所收容之線網R的指令。依 此，控制裝置1 00將在所指定之收納容器的蓋子32及 底板3 1之鎖解開，Μ上下移動櫬構1 2支持底板3 1及 保持棚33 *使其往下移動，並將Μ上這些往部件1 1内 移動。 控制裝置1 00係以上下移動機構1 2使保持棚33 往下移動時，Μ線網收納判別感應器1 5檢出在保持棚3 3之線網R之有無。又，控制装置1 00接受上下移動機 櫞1 2之輸出，檢出保持棚33之位置，使用具有幾段之 棚的保持棚，並判別該保持棚3 3之那一棚收容到線網R 。此時之控制裝置1 00，當操作員判別在指定之棚位置 並無線網R時，將此訊息顯示於未圈示之監視器上並停止 作業，Κ等待操作員之指示。 控制裝置100當操作員判定媒網R已被收容於所指 定之棚位置時，仍照常地繼續進行其搬送作業。如圖3所 示，當Κ上下移動機構1 2完全地將底板3 1及保持棚3 3往下移動時，保持棚33的前面係放開並面對第1搬送 系統5 1。在此狀態，線網搬送臂52係Κ第1移動機構 而注前移動並進入保持棚3 3內所指定之棚位置，並在搬 送臂52上收容保持媒網R。其次，搬送臂52Κ原來收 容保持線網R之狀態往後方移動，並移動至媒網位置修正 部件5 3之上為止。 此時，Μ第1條型碼解讀器54讀取媒網R之條型碼 -14- 本纸張尺度逍用中國國家標準（CNS > Α4規格（210X297公釐） 1.1------' 裝------訂--^----- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標隼局員工消费合作社印製 A7 B7五、發明説明（ ，並進行所搬送之媒網R之種類的確認及登錄。又，猓網 位置修正部件5 3為補正保持於線網搬送臂5 2之線網R 之ί呆持位置的裝置，在此處進行對於搬送臂5 2之媒網R ^之保持位置的定位（‘P realignment)。 ，在保持位置被定位後，搬送臂5 2將媒網R按原來保 持之狀態往箭頭B方向往上移動，並朝羞構成第2搬送系 統5 5之線網搬送部件5 6接近，線網R係被收付於線網 搬送部件5 6。線網搬送部件具有真空吸蓋機構，由線網 搬送臂5 2而被收附於媒網搬送部件5 6之線網R係被真 空吸盖機構所吸1並保持於線網搬送部件5 6。 第2搬送糸統係在容器内上部將媒網搬送部件5 6M 箭頭C所示之方向往X方向（左右方向）移動*並且移動 至所定中間位置為止。其次，由此將定位於所定中間位置 之線網搬送部件5 6與上下相對為止，第3搬送系統之装 載赞6 1及卸載臂62係被移動。 其次，由此而被移動於上下相對位置之裝載臂6 1係 被第3移動機構往上移動並使其接近線網搬送部件5 6 * 而將線網R收容。又，該部件56係Μ將線網R裝載於裝 載臂6 1之狀態*定位機構安裝有線網R之載置位置，在 此處亦進行定位。 如此，當線網R被收容於装載臂6 1上之後，装載蹵 6 1則依箭頭D，Ε * F之方向順序移動，媒網R係被載 置於曝光糸统90之線網台9 1上。此時，以第2條型碼 -15- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家梂準（CNS ) Λ4規格（210X297公釐） A7 _B7____ 五、發明説明（f)) 解讀器6 5謓取媒網R之條型碼，並對照確認正確的線網 R是否已被搬送。又，如Μ上所述，因係Μ部件56進行 線ΪΙ之定位，故可Κ第2條型碼解讀器6 5讀取媒網R之 條型碼，使其位置正確無誤地通遇，並可正確地讀取。 y線網R被載置於媒網台9 1之後，裝載臂6 1則退 避。其後，在媒網台9 1當線網R被正確地定位後，由來 自未圖示之照明系統之曝光用之光照射於線網R，此光係 透過投影透鏡系統9 2而照射於晶圓W *媒網R之模型係 被縮小*在晶圚W上之所定位置被曝光。 當曝光结束時，卸載臂則被移動至線網台9 1處，而 被載置於媒網台9 1上之線網R則被卸載臂6 2收附*随 羞與上述裝載臂6 1相反之路徑前進而被收附於線網搬送 部件56，更進一步，自線網搬送部件56而被收附於線 網搬送臂5 3。 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 此處，搡作員指定該線網R之返回地點K作為收納容 器保持棚之所定栅位置，依此，線網搬送臂5 2將線網R 搬回至所指定之位置。此時，即使操作員誤把別的基板已 經進入之棚位置指定為返回地點，如前述因係Μ線網收納 判別感應器1 5檢出該指定返回地點已收容了镍網R，由 未圖示之監視器上顯示該返回地點已不能返回之訊息，並 等符返回地點之訂正指令。依此，即使想收納別的線網於 已經收納镍網之棚，不用擔心會發生因線網間之碰撞而損 傷到昂貴的媒網。 -16- ^紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) Α4規*格（210x297公釐） 經濟部中央標準局貞工消費合作社印裝 A7 _B7_五、發明説明（4) 在以上所說明之本裝置，因安裝有複數之收納容器與 複數之第1搬送糸統，因可事先於半専體（1C等）製造上所 需i複數線網（原板）事先安装於半導體製造装置内*於 製造工程途中不用交換收納容器，使操作員的作業減輕， 並進一步提昇製造工程之自動化。 又*本例由於在最前側之收納分離部件1 1下側安裝 有異物檢査裝置40 *故可在將線網R搬送至媒網台9 1 之前*檢査附蓋於線網表面之異物*因而可提高生產性。 又，K線網搬送臂52自收納分離部件11所取出之線網 R係被線網搬送臂5 2所保持•並搬送至異物檢査裝置4 0內*在此處檢査異物。如此，因可Μ於第1搬送系統5 1之線網R搬送途中檢査異物，故可提高生產性。又，異 物檢査裝置40亦可分別安装於所有的收納分離部件11 之下側。 〔發明效果] 如以上之說明，依本發明，因其具有檢出收納於原板 收納容器之原板端面的端面檢出手段，該端面檢出手段檢 出原板之端面及原板收纳容器內原板之有無等，故即使在 原板被重叠地收納於原板收纳容器内之場合*亦可以該狀 態確實地檢出原板之有無，並可顚利地進行原板之搬送。 端面檢出手段係在具有當由照射系統照射•而Μ受光 系統接收在原板端面所反射之反射光時，判定原板已收納 在原板收納容器之判定装置的場合，及原板為如曝光裝置 -17- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度逋用中國國家梯準（CNS ) Α4規格（210X297公釐）

經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 五、發明說明（π) 用之線網·一般，如透明玻璃板等的場合，亦可確實地檢出 原板之有無。 在原板收納容器沿垂直方向收納複數原板的場合，最 好能具有檢出鼷於原板之垂直方商1¾位置檢出手段，依此 ，可得知原板之有無，亦可正確地求得原板之位置。 在以上構成之搬送装置，随1端面檢出手段之檢出结 果而安装控制搬送之控制手段，依此可正確無誤地進行原 板之搬送。又，依此方式而被搬送之上述原板，其表面具 有被形成模型之線網，於此埸合，處理装置係由曝光於基 板上之線網模型之像的曝光装置所形成。 - 又，有關與上述相異之另一本發明的搬送装置方面， 因原板收納容器可随驀原板之收納枚數而有不同大小，且 具有檢出原板收納容器大小之檢出手段，而可顒懕所使用 之原板收納容器之大小而控制搬送。 在原板收纳容器係順懕原板之收纳枚數，垂直方向之 長度不同所構成的場合，檢出手段雖可K垂直方向不同長 度為準而檢出原板收納容器之大小，此係在將原板K垂直 方向重曼而收纳於原板收纳容器的場合，故«蕩收納原板 枚數而致收納容器之高度有所差別。 [画面簡單說明] 、〔圈1]傜表示具備原板搬送装置之曝光装置的容器 内部構造之立骽圓。 〔圖2〕係表示圖1之收納分離部件之内部構造之平 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -HI — — — — ·11111111 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） A7 五、 發明說明（β) 面圈。-〔圈3]係收納分離部件之背面醒。〔圈4〕係表示可收納嬢網之收纳容器之正面截面圔 0〔圖5〕係表示曝光裝置之控制糸統之方塊圈。 〔符號說明〕 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 1 0 線 網 收 納 糸 統 1 1 收 纳 分 雕 部 件 1 5 媒 網 收 納 判 別 1 7 ； i 、 1 7 b 容 3 0 、3 5 收 納 容 3 1 底 板 3 2 蓋 子 3 3 ' 保 持 棚 4 0 異 物 檢 査 装 置 5 0 線 網 m 送 % 統 5 1 第 1 搬 送 系 統 5 2 線 網 搬 送 臂 5 5 第 2 搬 送 系 統 5 6 媒 網 搬 送 部 件 6 0 第 3 搬 送 % 統 6 1 装 載 留 6 2 卸 載 臂 -19- 本紙張尺度適用t國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意Ϋ項再填寫本頁) A7 ___B7 五、發明說明（β) 9 0 曝·光系統 9 1 線網台 9 2 投影透鏡系統 R 線網 W 晶圓 I ----------11^..1- ----- 訂-------- γ· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）

Claims (1)

1. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 1 ·· 一種搬送裝置，具有：在可將原板收納之原板收 纳装置與使用該原板並施以所定的斑理装置之間，搬送該 原板之搬送部，其特徼係·· 前述原板收纳装置設有具備置前述原板的載置面之 原板收納容器；及 Μ非接觸方式檢出大致與載置於前述原板收納容器之 載置面之前述原板的載置面垂直相交之側面之端面檢出手 段。 ， 2 *如申諝專利範圔第1項所述之搬送裝置，其中， 前述端面檢出手段具有：照射光之照射系統、接收反射於 前述原板端面之反射光之受光系统、及當該受光糸統接收 到前述反射光時，判定前述原板已收纳於前述原板收納器 内之判別装置。 3·如申請專利範圍第1項或第2項所述之搬送裝置 ，其中，前述原板收納容器係沿蕩垂直方向將原板Κ複數 收納之，具有檢出有闞前逑原板之前述垂直方向位置之位 置檢出手段。 4 *如申請專利範圍第1項所述之搬送裝置，其中* 具有Κ前述端面檢出手段之檢出结果而控制前述搬送之控 制手段。 、5 ·如申請專利範圃第1項所述之播送裝置*其中， 前述原板係由模型所形成之線網，前述處理装置係將前述 線網模型之像曝光於基板上之曝光装置。 (請先閲讀背面之注意事項再φ本頁) -裝· 訂 本紙張尺度逍用中國國家揉準（CNS ) Α4規格（210X297公釐）

   經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 1 ·· 一種搬送裝置，具有：在可將原板收納之原板收 纳装置與使用該原板並施以所定的斑理装置之間，搬送該 原板之搬送部，其特徼係·· 前述原板收纳装置設有具備置前述原板的載置面之 原板收納容器；及 Μ非接觸方式檢出大致與載置於前述原板收納容器之 載置面之前述原板的載置面垂直相交之側面之端面檢出手 段。 ， 2 *如申諝專利範圔第1項所述之搬送裝置，其中， 前述端面檢出手段具有：照射光之照射系統、接收反射於 前述原板端面之反射光之受光系统、及當該受光糸統接收 到前述反射光時，判定前述原板已收纳於前述原板收納器 内之判別装置。 3·如申請專利範圍第1項或第2項所述之搬送裝置 ，其中，前述原板收納容器係沿蕩垂直方向將原板Κ複數 收納之，具有檢出有闞前逑原板之前述垂直方向位置之位 置檢出手段。 4 *如申請專利範圍第1項所述之搬送裝置，其中* 具有Κ前述端面檢出手段之檢出结果而控制前述搬送之控 制手段。 、5 ·如申請專利範圃第1項所述之播送裝置*其中， 前述原板係由模型所形成之線網，前述處理装置係將前述 線網模型之像曝光於基板上之曝光装置。 (請先閲讀背面之注意事項再φ本頁) -裝· 訂 本紙張尺度逍用中國國家揉準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 申請專利範圍 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 、6 ··—種搬送裝置，具有：在可將原板收納之原板收 納装置與使用該原板並施K所定的處理装置之間，搬送該 原板之搬送部，其特徴係： 前述原板收納装置具有對懕於前述原板之收纳枚數而 大小不同之原板收納容器；及 檢出不同大小之前述原板收纳容器之檢出手段。 7 ·如申請專利範園第6項所述之搬送装置，其中， 前述原板收納容器係對應於前述原板之收纳枚数，其垂直 方向之長度不同，前逑檢出手段係根據不同的前述垂直方 向長度以檢出前述原板收納容器之大小。 号，·如申請專利範圍第6項或第7項所述之搬送装置 ，其中，具有Κ前述檢出手段之檢出结果而控制前逑搬送 之控制手段。 9 ·如申諸專利範困第1項所述之搬送装置，其中， 前述原板收纳装置具有載置前述原板收納容器，並與前述 搬送部互相協力蓮作之第1部件。 1V0 ·如申請專利範疆第9項所述之搬送裝置，其中 ，前述第1部件具有在前述原板收納容器與前述第1部件 之間搬送前述原板之搬送機檐。 1U ♦如申請專利範圃第1項所述之播送裝置*其中 ，前述端面檢出手段為反射型之感懕器。 1\2 ♦如申請專利範画第6項所述之搬送装置•其中 ，前述原板收纳装置具有載罝前述原板收納容器，並與笳 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度逋用中國國家梂準（仁奶）八4规格（2丨0><297公#) 393695 is D8 六、申請專利範圍 述搬送部互相協力運作之第1部件。 13 ♦如申請專利範園第1 2項所述之搬送装置，其 中’前述第1部件具有在前逑原板收納容器與前述第1部 件之間搛送前述原板之搬送櫬構。 14 ♦如申請專利範圃第6項所述之搬送裝置*其中 *前述檢出手段係K非接觸方式檢出前述原板收納容器之 大小的非接觸感應器。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局貝工消費合作社印製 -3- 本紙度逋用中國國未梂準（CNS ) Λ4规格（210X297公釐）