JP2013074012A - 板状体の検出装置とケースポート及び保管装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 板状体の正面を塞がずに、かつ光源と受光素子とを備えている投受光センサを用いて、板状体を確実に検出する。
【構成】 検出装置は板状体が所定位置に存在するか否かを検出する。検出装置は、板状体の一側面へ向けて斜めにスポット状の検出光を投光する光源と反射光を受光する受光素子とを備えている投受光センサと、投受光センサから見て板状体よりも遠方にあり、かつ板状体が存在しない場合、検出光を拡散反射する拡散反射部と、投受光センサへ入射する反射光の所定の強度以下であることから、板状体を検出する検出部、とを備えている。板状体の側面が透明の場合、板状体の側面へ入射した検出光は板状体の内部で複数回反射し投受光センサとは異なる方向へ出射し、板状体の側面が鏡面状の反射面の場合、板状体の側面へ検出光は斜めに入射して投受光センサとは異なる方向へ正反射する。
【選択図】 図4
Description
この発明の他の課題は、このような検出装置を備えたケースポート及び保管装置を提供することにある。
前記板状体の一側面へ向けて斜めにスポット状の検出光を投光する光源と、反射光を受光する受光素子とを備えている投受光センサと、
投受光センサから見て板状体よりも遠方にあり、かつ板状体が存在しない場合の検出光の光路上にある拡散反射部、とを備え、
板状体の側面が透明の場合、板状体の側面へ入射した検出光は板状体の内部で複数回反射し投受光センサとは異なる方向へ出射し、板状体の側面が鏡面状の反射面の場合、板状体の側面へ検出光は斜めに入射して投受光センサとは異なる方向へ正反射するように、投受光センサが配置されていることを特徴とする。
ケースの収納部とこの発明の検出装置とを備え、
検出装置の投受光センサは、ケースの開口部からケースの内部へ斜めに検出光が入射するように配置され、
ケースの内側の左右の側面で、板状体が存在しない場合にケースの開口から入射した検出光が入射する位置に、前記拡散反射部が設けられていることを特徴とする。
前記板状体をケースから取り出した状態で保管する保管部と、
前記ケースポートのケースから板状体を出し入れする移載部と、
検出装置の検出部による判定に基づいて移載部を制御する制御部、とをさらに備えていることを特徴とする。
4 ケースポート
6 ロードポート
8 回転棚
10 レチクル移載装置
12 ポッド移載装置
13,14 昇降ガイド
15,16 ターンテーブル
17,18 アーム
19,20 ハンド
22 ポッドオープナー
24 ポッド棚
26 コントローラ
27,28 操作パネル
30 ケース装填部
32 移載装置
33 昇降ガイド
34 昇降台
35 ハンド
36 検出装置
37 支持体
38 レチクル置場
39 扉
40 ケース
41 蓋
42 開口部
43 拡散反射部
44 レチクル
50 レーザ
52 受光素子
54 検出部
L1〜L3 光路
P1〜P7 点
S1〜S3 側面
Claims (4)
- 板状体が所定位置に存在するか否かを検出する検出装置であって、
前記板状体の一側面へ向けて斜めにスポット状の検出光を投光する光源と、反射光を受光する受光素子とを備えている投受光センサと、
投受光センサから見て板状体よりも遠方にあり、かつ板状体が存在しない場合、検出光を拡散反射する拡散反射部と、
投受光センサへ入射する反射光の所定の強度以下であることから、板状体を検出する検出部、とを備え、
板状体の側面が透明の場合、板状体の側面へ入射した検出光は板状体の内部で複数回反射し投受光センサとは異なる方向へ出射し、板状体の側面が鏡面状の反射面の場合、板状体の側面へ検出光は斜めに入射して投受光センサとは異なる方向へ正反射するように、投受光センサが配置されていることを特徴とする、板状体の検出装置。 - 前記板状体を収納しかつ正面に板状体の移載用の開口部を備えているケースを保管するケースポートであって、
ケースの収納部と請求項1の検出装置とを備え、
検出装置の投受光センサは、ケースの開口部からケースの内部へ斜めに検出光が入射するように配置され、
ケースの内側の左右の側面で、板状体が存在しない場合にケースの開口から入射した検出光が入射する位置に、前記拡散反射部が設けられていることを特徴とする、ケースポート。 - 透明な板状体の内部へ入射した検出光が、検出光の光路に沿って板状体の開口部側の次の側面へ臨界角よりも大きな角度で入射するように、検出装置の投受光センサが配置されていることを特徴とする、請求項2のケースポート。
- 請求項2または3のケースポートを備えた保管装置であって、
前記板状体をケースから取り出した状態で保管する保管部と、
前記ケースポートのケースから板状体を出し入れする移載部と、
検出装置の検出部による判定に基づいて移載部を制御する制御部、とをさらに備えていることを特徴とする、保管装置。
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