JP2008030914A - クリーンストッカと物品の保管方法 - Google Patents
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Abstract
【構成】 クリーンストッカ2内の上部にレチクル用回転棚4を、下部にポッド用回転棚6を配置し、下向きにクリーンガスを供給する。ストッカ2内をポッド搬送装置8とレチクル搬送装置10とを昇降させ、ロードポート18〜21とポッドオープナー12並びにポッド用回転棚6をポッド搬送装置8で接続する。ポッドオープナー12とレチクル用回転棚4間をレチクル搬送装置10で接続する。
【効果】 レチクルとポッドを多数コンパクトに保管でき、特にレチクルをクリーンに保管できる。
【選択図】 図1
Description
請求項2,3の発明での追加の課題は、多数の物品とその容器をさらにコンパクトに保管することにある。
請求項4の発明での追加の課題は、物品を収納した容器を効率的に入出庫できるようにすることにある。
この発明での他の課題は、多数の物品とその容器とをコンパクトにかつクリーンに保管して入出庫する方法を提供することにある。
また好ましくは、前記容器搬送装置が容器を搬送できる位置に、容器を収納するための固定の棚を、前記容器の保管棚とは別に設ける。
ここで物品の保管棚と容器の保管棚の一側に、開閉装置を挟んで物品搬送装置と容器搬送装置とを対向配置すると、これらの搬送装置をさらにコンパクトに配置できる。特に、これらの搬送装置を搬送装置本体とその昇降手段とで構成すると、容器や物品の回転棚をそれぞれ上下多段とし、かつ開閉装置とこれらの棚との高さレベルが異なっても、容易に容器や物品を搬送できる。
(1) クリーンガス供給部16からレチクル用回転棚4を介してポッド用回転棚6へクリーンガスを供給することにより、レチクル用回転棚4内の雰囲気を特にクリーンに保つことができる。
(2) ポッド用回転棚6には保管レチクルの数よりも少ない数のポッドを保管すればよいので、レチクル用回転棚4で多数のレチクルを効率的かつコンパクトに保管できる。
(3) 回転棚4,6を用いると、搬送装置8,10は棚4,6の全面に対して物品や容器の出し入れを行う必要がなく、搬送装置8,10が使用するスペースをコンパクトにできる。
(4) 上下に重ねた回転棚4,6の一側にポッドオープナー12を挟んで搬送装置8,10を設けることにより、コンパクトな空間で、ロードポートからポッド用回転棚までの範囲でポッドを搬送でき、またポッドオープナーとレチクル用回転棚との間でレチクルを搬送できる。
4 レチクル用回転棚
6 ポッド用回転棚
8 ポッド搬送装置
10 レチクル搬送装置
9,11 昇降ガイド
12 ポッドオープナー
14,15 ポッド用固定棚
16 クリーンガス供給部
18,19 天井走行車用ロードポート
20,21 地上側ロードポート
22 端末
24 ケーシング
26 ポッド
28 フランジ
30 ブロック
31 段
32,34 駆動部
36,38 ガス流路
40,41 関節
42,44 ハンド
46 クリーンガス供給路
Claims (5)
- 物品を容器に収納して入出庫口から入出庫すると共に、クリーンストッカ内にクリーンガスのダウンフローを設けるクリーンストッカにおいて、
容器に対して物品を出し入れするための開閉装置を設けると共に、
容器から取り出した物品の保管棚を上側に、容器の保管棚を下側に、平面視で重なるように上下に重ねて配置し、
さらに前記開閉装置と入出庫口及び容器の保管棚の間で容器を搬送するための容器搬送装置と、
前記開閉装置と物品の保管棚の間で物品を搬送するための物品搬送装置とを設けたことを特徴とする、クリーンストッカ。 - 前記物品の保管棚と容器の保管棚は、各々互いに独立して水平回転自在な回転式の棚であることを特徴とする、請求項1のクリーンストッカ。
- 前記物品の保管棚と容器の保管棚の一側に、前記開閉装置を挟んで前記物品搬送装置と容器搬送装置を対向配置したことを特徴とする、請求項2のクリーンストッカ。
- 前記容器搬送装置が容器を搬送できる位置に、容器を収納するための固定の棚を、前記容器の保管棚とは別に設けたことを特徴とする、請求項2のクリーンストッカ。
- 物品を容器に収納して入出庫口から入出庫すると共に、クリーンガスのダウンフローを設けて物品をクリーンに保管する方法において、
入出庫口から入出庫する容器に対して開閉装置で物品を出し入れし、
物品の保管棚を上側に、容器の保管棚を下側に、平面視で重なるように上下に重ねて配置して、クリーンガスを物品の保管棚側から容器の保管棚側への順で供給し、
容器を搬送するための容器搬送装置と物品を搬送するための物品搬送装置とを設けて、開閉装置と入出庫口及び容器の保管棚の間で容器を容器搬送装置により搬送すると共に、物品の保管棚と開閉装置の間で物品を物品搬送装置により搬送することを特徴とする、物品の保管方法。
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