JP2005089048A - トレイ搬送システム - Google Patents
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Abstract
【構成】 リフターとチャックとを備えた積層保管装置12にトレイをコンベヤで搬入し、チャックを下降させて、積層保管するトレイ群の最下段にトレイを1枚追加する。目的のトレイを切り出す場合、コンベヤ14を退避させて、それよりも下側のトレイをリフター18上へ移し替える。ついでチャックを下降させ、目的のトレイをコンベヤ14上へ載置するように、チャックするトレイを変更する。
【効果】 トレイを積層保管した際に、任意のトレイを切り出すことができる。
【選択図】 図6
Description
請求項2,3の発明での追加の課題は、積層保管装置の具体的な構成を提供することにある。
・ コンベヤ14,14上のトレイを、トレイ群60の最下段に追加する、
・ トレイ群60,61を合体させる、
・ トレイ群60中の任意のトレイをコンベヤ14,14上に載置する、などの動作ができる。またトレイ群61から任意のトレイをコンベヤ4上へ送り出す場合、リフター18を上昇させて、トレイ群60,61を合体し、目的のトレイの1段上のトレイをチャック16でチャックした後、リフター18を下降させて、目的のトレイをチャック群61の最上段からコンベヤ14へと移し替えればよい。
4 コンベヤ
6 ステーション
7 コンベヤ
8 ローラコンベヤ付きリフター
10 コンベヤ
12,74 積層保管装置
14 コンベヤ
15 シリンダ
16 チャック
18 リフター
20 転換台
22,24 コンベヤ
30,90 トレイ
31 載置部
32 開口
34 搬送支持部
35,95 積層支持部
36 壁
37 突起
38 フォーク挿入口
39 脱落防止壁
40 突起
41 下壁
42 ガラス基板
44,45 ローラ
50,70 支柱
52,72 チャック駆動部
60,61 トレイ群
Claims (3)
- トレイ搬送用のコンベヤと積層保管装置とを組み合わせたシステムにおいて、
積層保管装置には、トレイを積層して前記コンベヤの搬送面よりも高い位置に保管するためのチャックと、積層保管したトレイ中の目的のトレイよりも低い段のトレイを、目的のトレイのコンベヤへの移載と干渉しない位置へ退避させるための移動手段、とを設けたことを特徴とする、トレイ搬送システム。 - 前記移動手段は、前記低い段のトレイを、前記コンベヤ上に排出するようにしたことを特徴とする、請求項1のトレイ搬送システム。
- 積層保管装置では、前記コンベヤの搬送面よりも低い位置にリフターを設けると共に、積層保管装置内のコンベヤをトレイの搬送方向の左右に退避させるための退避手段を設けて、前記低い段のトレイを前記リフターにより、前記コンベヤの搬送面よりも下側に退避させるようにしたことを特徴とする、請求項1のトレイ搬送システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003322704A JP4269222B2 (ja) | 2003-09-16 | 2003-09-16 | トレイ搬送システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003322704A JP4269222B2 (ja) | 2003-09-16 | 2003-09-16 | トレイ搬送システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005089048A true JP2005089048A (ja) | 2005-04-07 |
JP4269222B2 JP4269222B2 (ja) | 2009-05-27 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Country Status (1)
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JP (1) | JP4269222B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007186319A (ja) * | 2006-01-16 | 2007-07-26 | Murata Mach Ltd | 搬送システム |
JP2007191239A (ja) * | 2006-01-17 | 2007-08-02 | Murata Mach Ltd | トレイ搬送システム |
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2003
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007186319A (ja) * | 2006-01-16 | 2007-07-26 | Murata Mach Ltd | 搬送システム |
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JP4569478B2 (ja) * | 2006-01-17 | 2010-10-27 | 村田機械株式会社 | トレイ搬送システム |
KR101003722B1 (ko) * | 2006-01-17 | 2010-12-24 | 무라타 기카이 가부시키가이샤 | 트레이 반송 시스템 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP4269222B2 (ja) | 2009-05-27 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120306 Year of fee payment: 3 |
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FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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