JP5673806B2 - 自動倉庫 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施の形態1に係る自動倉庫の一例であるクリーンストッカ100の概略構成図である。クリーンストッカ100は、図1に示されるように、保管棚110と、ロードポート120と、移載装置130と、第1及び第2のシールド140、150と、昇降ガイド160と、清浄処理部(ファンフィルタユニット:FFU)170とを主に備える。このクリーンストッカ100は、半導体工場又は液晶工場などのクリーンルーム内に設置されるものであり、半導体又は液晶基板の露光用のレチクル(荷物)と、レチクルを収納するポッド(ケース)とが別々に保管される。
図12は、本発明の実施の形態1に係る自動倉庫の一例であるクリーンストッカ100の概略構成図である。なお、実施の形態1との共通点の説明は省略し、相違点を中心に説明する。
110 保管棚
110a レチクルチャンバー
111 内側カバー
111a,112a,132 開口部
112 外側カバー
113 出し入れ口
120 ロードポート
121 出し入れ空間
122 係止部
123 載置部
130 移載装置
131 保持空間
133 スライドフォーク
140 第1のシールド
141 円筒部
142 第1の開口部
143 第2の開口部
144 第3の開口部
150 第2のシールド
151 連通孔
160 昇降ガイド
170 清浄処理部
200 ポッド
210 カバー
220 ドア
221 突起
230 レチクル
Claims (4)
- 荷物をケースに収納して入出庫する自動倉庫であって、
複数の前記荷物を保管する保管棚と、
前記ケースを保持し、保持された前記ケースに対して前記荷物を出し入れするための出し入れ空間を有するロードポートと、
前記荷物を保持するための空間であって、清浄状態に保たれている保持空間を有し、前記保持空間と前記保管棚及び前記出し入れ空間に保持された前記ケースとの間で前記荷物を移載する移載装置と、
前記保持空間を閉鎖し、前記移載装置と一体となって移動する第1のシールドとを備え、
前記ロードポートは、前記移載装置の前記保持空間と前記出し入れ空間とが連通するように、前記移載装置と一体となって移動し、
前記第1のシールドは、連通する前記保持空間及び前記出し入れ空間を閉鎖することによって、連通する前記保持空間及び前記出し入れ空間を清浄状態に保つ
自動倉庫。 - 荷物をケースに収納して入出庫する自動倉庫であって、
複数の前記荷物を保管する保管棚と、
前記ケースを保持し、保持された前記ケースに対して前記荷物を出し入れするための出し入れ空間を有するロードポートと、
前記荷物を保持するための空間であって、清浄状態に保たれている保持空間を有し、前記保持空間と前記保管棚及び前記出し入れ空間に保持された前記ケースとの間で前記荷物を移載する移載装置と、
前記保持空間を閉鎖し、前記移載装置と一体となって移動する第1のシールドとを備え、
前記第1のシールドは、内部に前記移載装置を旋回可能な状態で収容する円筒部と、前記円筒部の側面の前記ロードポートに対面する位置に第1の開口部と、前記円筒部の側面の前記保管棚に対面する位置に第2の開口部とを備え、
前記移載装置は、
前記保持空間の開口部と前記第1の開口部とが対面する位置まで旋回した状態で、前記保持空間と前記ロードポートとの間で前記荷物を移載し、
前記保持空間の開口部と前記第2の開口部とが対面する位置まで旋回した状態で、前記保持空間と前記保管棚との間で前記荷物を移載し、
前記保持空間の開口部と前記円筒部の内側壁面とが対面する位置まで旋回し、前記保持空間が閉鎖された状態で前記第1のシールドと一体となって移動する
自動倉庫。 - 前記移載装置は、さらに、前記円筒部の内部で上下方向に移動可能であり、
前記円筒部の内部で旋回するのに先立って、前記保持空間の開口部と前記第1及び第2の開口部とが対面しない位置まで上昇又は降下する
請求項2に記載の自動倉庫。 - 該自動倉庫は、さらに、前記円筒部の外側壁面に取り付けられて、前記移載装置及び前記第1のシールドと一体となって移動すると共に、前記保管棚に対面する位置に移動したときに、前記保管棚の前記荷物の出し入れ口を閉鎖する第2のシールドを備え、
前記第2のシールドは、前記第1のシールドの前記第2の開口部と、前記保管棚の出し入れ口のうち前記荷物を移載する部分のみとを選択的に連通させる連通孔を備える
請求項2又は3に記載の自動倉庫。
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