JP2010238878A - 搬送室 - Google Patents
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Abstract
【課題】、組み立ての自由度が高く、メンテナンス作業等の容易化を図ることができる搬送室を提供すること。
【解決手段】少なくとも処理室が接続される複数の側壁を有する筐体51と、筐体51の上部開口を塞ぐ蓋部材52とを具備し、蓋部材52は、筐体51内の搬送装置をメンテナンスするための開口73が設けられた固定蓋71と、固定蓋71の開口73を開閉可能に設けられた開閉蓋72とを有し、開閉蓋72は、上面が平坦であるとともに、内部に空間77を有し、空間77内に、筐体51内部の検出動作を行うセンサー80が取り付けられてユニット化されている。
【選択図】図4
【解決手段】少なくとも処理室が接続される複数の側壁を有する筐体51と、筐体51の上部開口を塞ぐ蓋部材52とを具備し、蓋部材52は、筐体51内の搬送装置をメンテナンスするための開口73が設けられた固定蓋71と、固定蓋71の開口73を開閉可能に設けられた開閉蓋72とを有し、開閉蓋72は、上面が平坦であるとともに、内部に空間77を有し、空間77内に、筐体51内部の検出動作を行うセンサー80が取り付けられてユニット化されている。
【選択図】図4
Description
本発明は、例えば半導体ウエハ等の被処理体に例えば真空処理を施すための処理室を備えたマルチチャンバ処理システムにおいて処理室に基板を搬送する搬送室に関する。
半導体デバイスの製造工程においては、被処理基板である半導体ウエハ(以下、単にウエハと記す)に対し、成膜処理やエッチング処理等の真空雰囲気で行われる真空処理が多用されている。最近では、このような真空処理の効率化の観点、および酸化やコンタミネーション等の汚染を抑制する観点から、複数の真空処理室を真空に保持された搬送室に連結し、この搬送室に設けられた搬送装置により各真空処理ユニットにウエハを搬送可能としたクラスターツール型のマルチチャンバタイプの真空処理システムが注目されている(例えば特許文献1)。
このようなマルチチャンバ処理システムにおいては、大気中に置かれているウエハカセットからロードロック室にウエハを搬送し、ロードロック室を真空状態にした後、搬送室に設けられた搬送装置の搬送アームによりロードロック室からウエハを受け取って各真空処理室にウエハを搬送するようになっており、搬送装置の搬送アーム上のウエハの有無やウエハの位置等を検出するための多数のセンサーが必要である。搬送室の組み立てにおいては、その筐体に搬送装置等を組み込んだ後、筐体に蓋を取り付け、その後、その蓋の上にこれらセンサーを取り付けている。
しかしながら、このように蓋を取り付けた後にセンサーを取り付けるようにすると組み立ての順序が決まってしまい、組み立ての効率が悪い。また、メンテナンス等のため、蓋の上に作業者が乗ることがあるが、その際にセンサーや配線が作業の妨げとなることがある。
本発明はかかる事情に鑑みてなされたものであって、組み立ての自由度が高く、メンテナンス作業等の容易化を図ることができる搬送室を提供することを目的とする。
上記課題を解決するため、本発明は、被処理体に処理を施すための処理室を備えたマルチチャンバ処理システムにおいて前記処理室に基板を搬送する搬送装置が配置された搬送室であって、少なくとも前記処理室が接続される複数の側壁を有する筐体と、筐体の上部開口を塞ぐ蓋部材とを具備し、前記蓋部材の少なくとも一部は、上面が平坦であるとともに、内部に空間を有し、前記空間内に、前記筐体内部の検出動作を行うセンサーが取り付けられてユニット化されていることを特徴とする搬送室を提供する。
本発明において、前記蓋部材は、前記センサーの配線を一括して接続する電気的インターフェースを有することが好ましい。
また、前記蓋部材は、前記筐体内の前記搬送装置をメンテナンスするための開口が設けられた固定蓋と、前記固定蓋の開口を開閉可能に設けられた開閉蓋とを有し、前記開閉蓋は、上面が平坦であるとともに、内部に空間を有し、前記空間内に、前記筐体内部の検出動作を行うセンサーが取り付けられてユニット化されている構成とすることが好ましい。
このような構成において、前記開閉蓋は、前記センサーの配線を一括して接続する電気的インターフェースを有することが好ましい。また、前記固定蓋には、前記開閉蓋を収容する前記開閉蓋と同じ高さの凹部が開閉蓋に対応する大きさで形成されている構成とすることができる。また、前記固定蓋上の前記開閉蓋の周囲部分に、前記開閉蓋と同じ高さを有する高さ調整部材が設けられている構成とすることもできる。この場合に、前記高さ調整部材は内部に空間を有し、その空間にセンサーが設けられている構成とすることができる。
本発明によれば、蓋部材の少なくとも一部が、その上面が平坦であるとともに、内部に空間を有し、前記空間内に、前記筐体内部の検出動作を行うセンサーが取り付けられてユニット化されている。これにより、蓋部材の上面にはセンサーや配線が存在せず、しかも上面が平坦となっているので、作業者が蓋部材に乗ってメンテナンス作業をする際に妨げとなるものが存在しない。このためメンテナンス作業容易化を図ることができる。また、蓋部材の空間にセンサーをまとめて収容してユニット化しているので、従来のように蓋部材を取り付けた後にセンサーを取り付けるというような手順の拘束が存在せず、組み立ての自由度が高い。また、このようにユニット化することにより、先にセンサーを取り付けておくことができ、組み立てのリードタイムを短縮することができる。
以下、添付図面を参照して本発明の実施形態について具体的に説明する。
図1は、本発明の一実施形態に係る搬送室を有するマルチチャンバ真空処理システムの概略構造を示す水平断面図である。
図1は、本発明の一実施形態に係る搬送室を有するマルチチャンバ真空処理システムの概略構造を示す水平断面図である。
このマルチチャンバ真空処理システムは、平面形状が六角形をなし、6つの側壁を有する筐体51を備えた本実施形態に係る搬送室5を具備しており、その筐体51の4つの側壁には、ゲートバルブGを介して4つの真空処理室1、2、3、4が接続されている。そして、筐体51の上に蓋部材(図2参照)を取り付けた状態で搬送室5が構成される。搬送室5の筐体51の他の2つの側壁にはそれぞれゲートバルブG1を介してロードロック室6、7が設けられている。
これらロードロック室6、7の搬送室5と反対側には搬入出室8が設けられており、搬入出室8のロードロック室6、7と反対側には被処理基板としてのウエハWを収容可能な3つのフープ(FOUP;Front Opening Unified Pod)を取り付けるポート9、10、11が設けられている。ロードロック室6、7と搬入出室8との間には、それぞれゲートバルブG2が設けられている。
真空処理室1、2、3、4は、その中で処理プレート上にウエハWを載置した状態で所定の真空処理、例えばエッチングや成膜処理を行うようになっている。
真空処理室1〜4は、対応するゲートバルブGを開放することにより搬送室5と連通され、対応するゲートバルブGを閉じることにより搬送室5から遮断される。また、ロードロック室6,7は、ゲートバルブG1を開放することにより搬送室5に連通され、ゲートバルブG1を閉じることにより搬送室から遮断される。また、ロードロック室6,7は、ゲートバルブG2を開放することにより搬入出室8に連通され、ゲートバルブG2を閉じることにより搬入出室8から遮断される。
搬送室5内には、真空処理室1〜4、ロードロック室6,7に対して、ウエハWの搬入出を行う搬送装置12が設けられている。この搬送装置12は、搬送室5の略中央に配設されており、ベース12aと、回転および伸縮可能な回転・伸縮部13と、その先端に設けられたウエハWを支持する2つの支持アーム14a,14bとを有しており、これら2つの支持アーム14a,14bは互いに反対方向を向くように回転・伸縮部13に取り付けられている。この搬送室5内は所定の真空度に保持されるようになっている。
ロードロック室6,7は、冷却機能を有するウエハを載置するステージ41を有しており、その中を大気雰囲気と真空雰囲気との間で短時間で切替可能となっている。
搬入出室8のフープ取り付け用の3つのポート9,10、11にはそれぞれ図示しないシャッターが設けられており、これらポート9,10,11にウエハWを収容した、または空のフープFがステージSに載置された状態で直接取り付けられ、取り付けられた際にシャッターが外れて外気の侵入を防止しつつ搬入出室8と連通するようになっている。また、搬入出室8の側面にはアライメントチャンバ15が設けられており、そこでウエハWのアライメントが行われる。
搬入出室8内には、フープFに対するウエハWの搬入出およびロードロック室6,7に対する半導体ウエハWの搬入出を行う搬送装置16が設けられている。この搬送装置16は、多関節アーム構造を有しており、フープFの配列方向に沿ってレール18上を走行可能となっていて、その先端の支持アーム17上にウエハWを載せてその搬送を行う。
このマルチチャンバ真空処理システムは、各構成部を制御するマイクロプロセッサ(コンピュータ)からなる制御部30を有しており、各構成部がこの制御部30に接続されて制御される構成となっている。
次に、以上のように構成されるマルチチャンバ真空処理システムの動作について簡単に説明する。
まず、搬送装置16により搬入出室8に接続されたフープFからウエハWを取り出し、ロードロック室6(または7)に搬入する。このとき、ロードロック室6(または7)内を大気雰囲気にした後、ゲートバルブG2を開放してウエハWをその中に搬入し、ステージ41上に載置する。
そして、そのロードロック室内を搬送室5に対応する圧力になるまで真空排気し、ゲートバルブG1を開放して搬送装置12の支持アーム14aまたは14bによりウエハWを受け取って、いずれかの真空処理室のゲートバルブGを開いてその中にウエハWを搬入し、ウエハWに対して所定の真空処理を行う。
真空処理が終了した時点で、ゲートバルブGを開放し、搬送装置12の支持アーム14aまたは14bが対応する真空処理室からウエハWを搬出し、ロードロック室6または7のゲートバルブG1を開放し、そのロードロック室内にウエハを搬入し、冷却機能を有するステージ41上に載置してウエハWを冷却する。
冷却終了後、搬出する際には、そのロードロック室にパージガスを流してその中を大気圧にし、ゲートバルブG2を開けてウエハWを搬送装置16の支持アーム17により大気雰囲気の搬入出室8に取り出し、フープFに収納する。
次に、本実施形態に係る搬送室5について詳細に説明する。図2は搬送室5を示す斜視図、図3は搬送室5の筐体51を示す平面図、図4は図2のIV-IV線による断面図である。
搬送室5は平面形状が六角形をなす筐体51と、筐体51の上部開口を塞ぐように筐体51に取り付けられる蓋部材52とを有している。
筐体51は、底壁61と6つの側壁62とを有しており、底壁61には搬送装置12を取り付けるための孔63が形成されている。側壁62には、ウエハWを搬入出するための搬入出口64が設けられている。
蓋部材52は、側壁62の上面に直接取り付けられ、搬送装置12をメンテナンスするための開口73(図4参照)を有する固定蓋71と、開口73を開閉するための開閉蓋72とを有している。また、固定蓋71には開閉蓋72を開閉するためのヒンジ機構78が取り付けられ、開閉蓋72はヒンジ機構78の軸に取り付けられており、開閉蓋72は、その軸の周りを鉛直面内で回動することにより開閉動作を行うようになっている。
開閉蓋72は、下板74、上板75、およびこれらの間の側板76が組み立てられて形成されており、内部が空間77となっており、上面は平坦である。開閉蓋72の内部の空間77には、多数の例えば光学式のセンサー80が取り付けられており、これらセンサー80の配線81は、2箇所の電気的インターフェース82に一括して接続されている。これら電気的インターフェース82には、電源からのケーブル83が接続され、センサー80へはこの電気的インターフェース82を介して給電されるようになっている。これにより配線を極めてシンプルにすることができる。
このように構成された搬送室5は、センサーや配線が開閉蓋72の中に収容されており、蓋部材52の上面にはセンサーや配線が存在せず、しかも上面が平坦となっているので、作業者が蓋部材52に乗ってメンテナンス作業をする際に妨げとなるものが存在しない。このためメンテナンス作業容易化を図ることができる。
また、開閉蓋72は、その中にセンサーおよび配線をまとめて収容してユニット化しているので、従来のように蓋部材を取り付けた後にセンサーを取り付けるというような手順の拘束が存在せず、組み立ての自由度が高い。また、このようにユニット化することにより、先にセンサーを取り付けておくことができ、組み立てのリードタイムを短縮することができる。
なお、本発明は上記実施形態に限定されることなく、種々の変形が可能である。例えば、上記実施形態では、蓋部材52の固定蓋71と開閉蓋72との間に段差が存在するが、図5に示すように、固定蓋71に開閉蓋72を収容する開閉蓋と同じ高さの凹部71aを開閉蓋72に対応する大きさで形成するか、または図6に示すように、固定蓋71上の開閉蓋72の周囲部分に、開閉蓋72と同じ高さを有する高さ調整部材85を設けることにより、このような段差をほぼなくすことができ、メンテナンスの容易性をより高めることができる。また、高さ調整部材85を内部に空間を形成した中空構造にすることにより、開閉蓋72の周囲にセンサーを配置しなければならない場合にもその中にセンサーを配置して、メンテナンス性をより高めることができる。さらに、蓋部材の開閉が不要な場合には、図7に示すように、全体が中空構造で空間86にセンサー80が設けられてユニット化された蓋部材52′を設けるようにすることができる。
また、本発明の搬送室が適用されるマルチチャンバ処理システムとして、真空処理室を4つ、ロードロック室を2つ設けたものを例にとって説明したが、これらの数に限定されるものではない。また、真空処理システムに限るものでもない。
さらに、被処理体についても、半導体ウエハに限らず、FPD用ガラス基板などの他のものを対象にすることができる。
1〜4;真空処理室
5;搬送室
5a,6a,7a;筐体
6,7;ロードロック室
8;搬入出室
12,16;搬送装置
30;制御部
41;ステージ
51;筐体
52;蓋部材
61;底壁
62;側壁
63;孔
64;搬入出口
71;固定蓋
71a;凹部
72;開閉蓋
73;開口
77,86;空間
78;ヒンジ機構
80;センサー
81;配線
82;電気的インターフェース
85;高さ調整部材
G,G1,G2;ゲートバルブ
W;ウエハ
5;搬送室
5a,6a,7a;筐体
6,7;ロードロック室
8;搬入出室
12,16;搬送装置
30;制御部
41;ステージ
51;筐体
52;蓋部材
61;底壁
62;側壁
63;孔
64;搬入出口
71;固定蓋
71a;凹部
72;開閉蓋
73;開口
77,86;空間
78;ヒンジ機構
80;センサー
81;配線
82;電気的インターフェース
85;高さ調整部材
G,G1,G2;ゲートバルブ
W;ウエハ
Claims (7)
- 被処理体に処理を施すための処理室を備えたマルチチャンバ処理システムにおいて前記処理室に基板を搬送する搬送装置が配置された搬送室であって、
少なくとも前記処理室が接続される複数の側壁を有する筐体と、筐体の上部開口を塞ぐ蓋部材とを具備し、
前記蓋部材の少なくとも一部は、上面が平坦であるとともに、内部に空間を有し、前記空間内に、前記筐体内部の検出動作を行うセンサーが取り付けられてユニット化されていることを特徴とする搬送室。 - 前記蓋部材は、前記センサーの配線を一括して接続する電気的インターフェースを有することを特徴とする請求項1に記載の搬送室。
- 前記蓋部材は、前記筐体内の前記搬送装置をメンテナンスするための開口が設けられた固定蓋と、前記固定蓋の開口を開閉可能に設けられた開閉蓋とを有し、
前記開閉蓋は、上面が平坦であるとともに、内部に空間を有し、前記空間内に、前記筐体内部の検出動作を行うセンサーが取り付けられてユニット化されていることを特徴とする請求項1に記載の搬送室。 - 前記開閉蓋は、前記センサーの配線を一括して接続する電気的インターフェースを有することを特徴とする請求項3に記載の搬送室。
- 前記固定蓋には、前記開閉蓋を収容する前記開閉蓋と同じ高さの凹部が開閉蓋に対応する大きさで形成されていることを特徴とする請求項3または請求項4に記載の搬送室。
- 前記固定蓋上の前記開閉蓋の周囲部分に、前記開閉蓋と同じ高さを有する高さ調整部材が設けられていることを特徴とする請求項3または請求項4に記載の搬送室。
- 前記高さ調整部材は内部に空間を有し、その空間にセンサーが設けられていることを特徴とする請求項6に記載の搬送室。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009084667A JP2010238878A (ja) | 2009-03-31 | 2009-03-31 | 搬送室 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009084667A JP2010238878A (ja) | 2009-03-31 | 2009-03-31 | 搬送室 |
Publications (1)
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2009084667A Pending JP2010238878A (ja) | 2009-03-31 | 2009-03-31 | 搬送室 |
Country Status (1)
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JP (1) | JP2010238878A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9824905B2 (en) | 2013-12-13 | 2017-11-21 | Toshiba Memory Corporation | Semiconductor manufacturing device and semiconductor manufacturing method |
US9884422B2 (en) | 2014-05-07 | 2018-02-06 | Seiko Epson Corporation | Robot |
-
2009
- 2009-03-31 JP JP2009084667A patent/JP2010238878A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US9824905B2 (en) | 2013-12-13 | 2017-11-21 | Toshiba Memory Corporation | Semiconductor manufacturing device and semiconductor manufacturing method |
US9884422B2 (en) | 2014-05-07 | 2018-02-06 | Seiko Epson Corporation | Robot |
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