KR100764939B1 - 컨베이어 요소의 저장 및 버퍼 시스템 - Google Patents

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KR100764939B1 KR1020037000028A KR20037000028A KR100764939B1 KR 100764939 B1 KR100764939 B1 KR 100764939B1 KR 1020037000028 A KR1020037000028 A KR 1020037000028A KR 20037000028 A KR20037000028 A KR 20037000028A KR 100764939 B1 KR100764939 B1 KR 100764939B1
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쟈콥 블래트너
루디 페데리치
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브룩스-피알아이 오토메이션(스윗질랜드) 게엠베하
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Abstract

본 발명은 웨이퍼(9) 등을 저장하기 위한 SMIF 박스, FOUP 포드(8), 카셋트(7) 같은 콘베이너를 위한 이송 유닛에 대한 저장 및 버퍼 시스템(12)에 관련되는데, 상기 시스템은 콘베이어 라인(13)을 따라 배열된 여러개의 콘베이어 요소(1)로 구성되며, 콘베이어 요소(1)는 인접한 콘베이어 요소(1)에 대한 상대적인 이송 위치를 유지하면서 이송라인(13) 옆, 위, 아래에 대해서 수평으로 작동하는 최소한 하나의 저장라인(14)에 배열된다. 시스템은 또한 최소한 하나의 콘베이어 요소(1)과 함께 회전(17) 장치로 구성되는데, 콘테이너(7,8)는 콘베이어 라인(13)에서 저장라인(14)까지 수평으로, 혹은 그 반대로 이송될 수 있다.

Description

컨베이어 요소의 저장 및 버퍼 시스템{STORAGE AND BUFFER SYSTEM WITH CONVEYOR ELEMENTS}
본 발명은 청구항 제 1 항에의 전제부에 나와 있는 것 같이 카트리지, FOUP 포드(pod), 혹은 웨이퍼를 고정시키기 위한 SMIF 박스 같이 콘베이어 라인을 따라 배열된 여러개의 콘베이어 요소로 구성된 콘테이너를 위한 전송시설을 연결하기 위한 저장 및 버퍼 시스템에 관련된다.
IC 혹은 평면 스크린 같은 반도체 요소를 제조하는 동안, 실리콘 웨이퍼 혹은 유리 플레이트(glass plate)는 여러개의 처리단계(코팅, 세척, 건조 등등)를 거쳐 연속적으로 처리된다. 세척이나 처리된 기판의 표면에 먼지나 불순물이 달라붙지 않게 하는 것이 중요하다. 이러한 오염물질로 인해 기판에 발생된 결점은 많은 양의 생산물이 폐기된다. 광학렌즈 컴퓨터용 저장디스크를 코팅하는데 오염물질이 전혀 없는 환경이 중요하다.
공정설비는 이러한 목적에 부합하는 청정 혹은 완전무균실에 있게 되고, 선호적으로 이송시스템에 의해 서로 연결되어 기판이 오염되지 않고 잘 이송되도록 한다. 이러한 경우 카셋트, 랙 같은 저장 콘테이너가 이용될 수 있으며 기판은 선호적으로 수평이나 수직으로 배열된다.
그러나 만약 공정설비가 청정도가 낮은 곳에 있게 되면, 청정실 내부를 둘러쌓는 하우징을 갖는다. 이러한 공정설비 또한 선호적으로 이동 시스템에 의해 서로 연결되어 기판에 오염물질이 적게 발생되고 안정적으로 이송되도록 한다. 이러한 경우 FOUP 포드(앞부분이 개방된 단일형 포드), 혹은 SMIF(Standard Mechanical Interface) 박스 같은 막혀있는 콘테이너가 웨이퍼 등의 기판을 고정시키기 위해 사용된다. 상기 콘테이너에서 기판은 선호적으로 수직 혹은 수평으로 배열된다. 이러한 콘테이너는 종래의 기술로 이미 잘 알려져 있으며, 후드(hood)가 들어올려지거나 기저부가 낮아지고(SMIF) 혹은 사이드 도어가 이동(FOUP)되어서 공정설비 내부에 있을 때에만 열린다.
종래의 기술은 미국 미들섹스 제네럴 인더스트리(Middlesex General Industries, Inc) 사의 CLEAN-DRIVE®라는 상표로 판매되는 이송시스템을 공지한다.
또한 상기 회사는 ERECT-A-LINE®이라는 상표로 이송 시스템을 판매한다. 이러한 종료의 이송 시스템은 WO-A 99/15445에 공지되어 있다. 이러한 설비는 표준화된 콘베이어 요소로 구성되어 있다. 이러한 콘베이어 요소는 고정된 상태로 장착되며 서로 평행하며 일정한 거리로 떨어진 두 개의 바(bar)를 갖는데, 여러개의 동시회전 롤(co-rotating roll)이 배열되어 있으며, 이 롤은 각각 수평축에 대해서 회전하고, 바에 대해서 직각이다. 상기 롤은 수평 상단의 접선면을 갖고, 웨이퍼 등의 기판을 고정시키기 위해 카셋트, FOUP 포드 혹은 SMIF 박스 같은 형태의 콘테이너는 마찰 구동으로 이송될 수 있다. 두 가지 형태의 임시 저장 시스템(버퍼- buffer)는 ERECT-A-LINE 이송 시스템과 더불어 "하드(hard)" 버퍼와 "소프트(soft)" 버퍼로 잘 알려져 있다. 하드버퍼는 콘베이어 라인에 있는 콘테이너의 이송을 차단한다. 콘테이너의 이송이 차단될 때, 마찰 드라이브를 일으키는 롤은 계속 회전하고, 그 결과 콘테이너에 위험해질 수 있으며, 콘테이너가 개방되어 있을 때 내용물이 오염될 수 있다. 만약 소프트 버퍼(soft buffering®은 Middlesex의 상표)가 사용되면, 구동된 롤 혹은 콘베이어 요소는 정지하여 콘테이너와 이러한 콘테이너를 지지하는 롤 사이에 마멸이 없다.
이러한 이송 시스템은 성공적인 것으로 판명되었다. 그러나 제한된 양의 저장 및 버퍼 시스템을 갖고 있는데, 상기 시스템은 웨이퍼 등의 기판을 고정시키기 위한 카셋트, FOUP 포드 혹은 SMIF 박스 같은 많은 콘테이너가 다른 콘테이너들의 이동이 방해받지 않고 고정되도록 한다.
미국 특허(US-A 5,957,648)는 두 개의 독립적인 로딩 오프닝(loading opening)과 함께 웨이퍼 카셋트를 처리, 이송 및 저장하기 위한 자동장치를 공지하는데, 상기 오프닝은 수직 이송장치에 연결되어 있다. 수평 이송장치는 두 개의 수직 이송장치 사이에 맞춰져 있다.
그러나 상기 특허의 자동장치는 두개의 수직 이송장치와 수평 이송 장치, 두 개의 로딩 오프닝 사이의 상호작용이 복합하며, 정해진 공간을 사용하지 않아서 본 발명이 해결해야할 여러 가지 결점을 발생시킨다.
본 발명의 목적은 종래의 기술에서 발생되는 문제점을 해결하는 저장 시스템 및 버퍼 시스템을 제안하는 것이다.
상기목적은 청구항 제 1 항에 의해 달성되는데, 상기 청구항은 웨이퍼를 고정시키기 위한 SMIF 박스 혹은 FOUP 포드, 카셋트 같은 콘테이너를 위한 이동 설비장치에 대한 저장 및 버퍼 시스템을 제안하는데, 콘베이어 라인을 따라 배열된 여러개의 콘베이어 요소로 구성된다. 본 발명을 따르는 저장 및 버퍼 시스템에서 콘베이어 요소는 다음번 콘베이어 요소에 대해서 이송위치를 유지하기 위해 이송 설비장치의 콘베이어 라인 옆, 위 혹은 아래로 연장된 최소한 수평으로 펼쳐진 저장라인에 놓인다. 수평 레지스터에 놓인 여러개의 저장 라인으로 구성된다. 또한 본 발명을 따라서 최소한 하나의 콘베이어 요소를 갖는 회전장치로 구성되는데, 콘테이너가 수평으로 콘베이어 라인에서 저장라인으로, 혹은 그 반대로 이송될 수 있다. 본 발명의 한 관점은 전술된 본 발명의 기본 개념을 다라서 저장 및 버퍼 시스템을 갖는 이송 설비장치를 제안하며, 이송 설비장치는 고정 위치에 장착되고, 평행하게 서로 떨어져 있는 두 개의 종방향 바를 갖는 콘베이어 요소로 구성되며, 공동으로 회전하는 롤이 배열되는데, 롤은 바에 대해서 직각인 수평축에 대해서 회전하며, 수평의 상단 접선면을 갖는다. 또한 본 발명은 전술된 본 발명의 기본 개념을 따라서 저장 및 버퍼 시스템을 구성하기 위한 콘베이어 요소의 사용을 제안하는데, 콘베이어 요소는 고정 위치에 장착되며, 공동으로 회전하는 여러개의 롤이 배열되고 서로 일정한 거리로 떨어져 있으며 평행하게 배열된 두 개의 종방향 바를 포함하는데, 롤은 바와 직각인 수평축에 대해서 회전하며, 수평 상단의 접선면을 갖고, 웨이퍼 같은 것들을 고정시키기 위한 SMIF 박스, FOUP 로프, 혹은 카셋트 같은 콘테이너는 마찰 구동으로 이송될 수 있다.
또 다른 특징은 종속항에 나타나있다.
본 발명은 웨이퍼를 고정시키기 위한 카셋트, FOUP 포드, SMIF 박스 혹은 레티클(rericle) 같이 공간을 적게 차지하는 콘테이너에 대한 이송 설비장치와 관련된 저장 및 버퍼 시스템의 설치를 가능하게 한다. 또한 본 발명을 따르는 저장 및 버퍼 시스템은 많은 양의 콘테이너를 이송 시스템으로부터 이송하고 다시 주어진 시간에 되돌아가게 한다.
본 발명은 도면을 참고로 더 자세히 설명될 것이다.
도 1은 미국 Middlesex General Industries, Inc. 사에서 제조한 종래의 콘베이어 요소를 도시하는데, 도 1A는 수직 단면도이고, 도 1B는 평면도.
도 2는 서로의 이송위치를 유지하도록 배열된 콘베이어 요소의 수평 레지스터의 이론상 배열을 도시함.
도 3은 여러개의 저장라인이 본 발명의 한가지 관점을 따라 수직 레지스터에 배열된 저장 시스템의 평면도.
도 4는 한가지 실시예를 따라서 여러개의 저장라인이 수평 레지스터에 배열된 저장 및 버퍼 시스템의 평면도.
도 5는 또 다른 실시예를 따라서 여러개의 저장라인이 수직 및 수평 레지스터로 배열된 저장 및 버퍼 시스템의 평면도.
도 6은 또 다른 실시예를 따라 본 발명의 저장 및 버퍼 시스템의 평면도.
* 부호 설명 *
1 : 콘베이어 요소 2 : 종방향 바
4,4' : 롤 5,5' : 수평축
6 : 접선면 7 : 카셋트
9 : 웨이퍼 12 : 저장 및 버퍼 시스템.
13 : 콘베이어 라인 14 : 저장라인
15 : 하우징 16 : 리프트 장치
도 1은 ERECT-A-LINE®라는 이름으로 미들섹스 제너럴 인터스트리(Middlesex General Industries, Inc.)에서 시판되는 종래의 콘베이어 요소를 도시한다. 도 1A은 이러한 형식의 콘베이어 요소(1)를 통해 본 수직단면도. 이러한 형태의 콘베이어 요소는 각각 고정된 위치에 장착되고, 서로 일정한 거리에서 평행하게 배열된 두 개의 종방향 바(2)를 갖는다. 콘베이어 요소(1)는 선호적으로 두 개의 종방향 바(2)를 연결하는 요크(yoke) 형태의 수단에 의해 기저부(도시 안됨)에 고정된다. 바(2)에 대해서 직각인 수평축(5,5')에 대해서 회전할 수 있는 여러개의 롤(4,4')은 종방향 바(2)에 각각 배열되어 있다. 상기 롤은 구동롤(driven roll)(4)(구동 샤프트(5)에 놓이고 약간 직경이 크게 도시됨) 혹은 동시회전 롤(4')(직경이 더 작음)로 설계되며, 공통적으로 수평 상단의 접선면(6)을 갖는다. 웨이퍼(9)등을 고정 시키기 위한 SMIF박스, FOUP 포드 혹은 카셋트(7) 같은 콘테이너는 상기 접선면(6)(본 발명에서 원하는 것과 다른 치수를 갖을 수 있는 롤(4,4')의 직경에 관계없이)에 놓일 수 있고 마찰구동 수단에 의해 이송될 수 있다.
또한 공개 팜플렛 WO 99/15445(출원인-Middlesex General Indutries, Inc.)에서 볼 수 있듯이 사용될 어댑터 장치(도시 안됨)에 대해서 콘테이너(7,8)는 롤(4,4')의 상단 접선면(6)에 놓일 수 있고 그 위에서 이송될 수 있다. 상기 어댑터 장치는 선호적으로 한 측면으로 설계되어, 특정한 형식의 콘테이너를 안정적으로 수용할 수 있도록 되어 있다. 상기 어댑터 수단은 클립핑되거나, 접착, 나사조임 혹은 다른 방식으로 콘테이너에 고정된다. 반대쪽에서 어댑터 수단은 롤(4,4')의 상단 접선면(6)과 최적으로 일치하고 안내 및 이송되도록 설계되었다. 그러나 도 1에 도시된 바와 같이 WO 99/15445에 대한 대안으로써 콘테이너가 롤(4,4') 위에 직접 놓여서 롤에 의해 안정적으로 안내 및 이송될 수 있도록 콘베이어 요소(1)를 설계할 수 있다는 것이다.
평면도(도 1B)에 도시된 바와 같이 콘베이어 요소(1)의 두 개의 종방향 바(2)를 볼 수가 있는데 서로 평행하게 연장되어 있으며 서로 거리가 떨어져 있다. 두 개의 구동롤(4) 및 하나의 동시회전 롤(4')은 왼쪽 종방향 바(2)의 내부측면에 도시되었다. 세 개의 동시회전 롤(4')은 오른쪽 종방향 바(2)의 반대쪽 내부측면에 나타나 있다. 도 1B에 도시된 도면을 따라서 선호적으로 각각의 종방향 바(2)의 몇 개의 롤만이 모터로 구성된다. 롤(4,4')의 거리는(D)로 표시되었다. 구동롤(4) 사이의 거리는 (A)로 표시되었다. 구동롤과 동시회전 롤 사이 혹은 두 개의 동시회전 롤 사이의 거리는 (E)로 표시되었다. 거리(D)는 이송방향(11)에 가로횡단으로 측정되고, 거리(A,E)는 이송방향(11)에 평행하게 측정된다. 콘테이너(7,8)나 어댑터 수단을 이송시키는데 필요한 유효 구조적 폭 혹은 길이는 최대 거리(A)에 대한 하나의 표준인데, 선호적으로 (E)의 정수배이다. 특히 자동화 설비에서 콘테이너(7,8) 혹은 어댑터 수단이 최소한 하나의 구동롤(4)에 아무 때나 아무 위치로 안착되는 것이 매우 중요하다. 선호적으로 거리(A)는 구조적 길이의 약 1/2이고, 거리(D)는 부품(7,8)을 이송시키기에 효율적인 구조적 폭의 약 90-95%이다.
구동롤(4)에 반대로 놓인 동시회전 롤(4')은 연결축(도시 안됨)을 통해 구동롤에 연결되어서 마찬가지로 구동롤이 되도록 한다. 이러한 목적으로 서로 연결된 두 개의 롤 직경은 선호적으로 동일하게 선택된다. 한 측면에 드라이브를 배열하여 필요한 모터의 개수를 감소시키는데, 특히 전기로 작동하고, 소형화되며, 낮은 오염도를 나타내는 스텝퍼 모터(stepper motor)가 선호된다. 또한 전체 콘베이어 요소(1)는 이러한 방식으로 단순화 된다.
도 1A에 카셋트(7)에 저장되고 이송된 웨이퍼(9)는 수직으로 도시되었다. FOUP 포드(8)에 수평으로 놓인 웨이퍼는 도시되지 않았다. 반대로 도 1B는 FOUP 포드에 수평으로 놓인 웨이퍼(9)를 도시하는데, 카셋트(7)에 이송 혹은 저장된 웨이퍼는 도시되지 않았다.
도 2는 서로에 대한 이송위치를 유지하고 저장 및 버퍼 시스템(12)을 형성하도록 배열된 콘베이어 요소(1)의 기본적인 수평 레지스터 배열을 도시한다. 이러한 이론적인 배열은 만약 90°(90°,180°,270°,360°)의 정수배 만큼 회전하게 되 면, 각각의 콘베이어 요소(1)가 가장 가까운 것들에 대해서 배열되는 것을 기초로 한다. 이로 인해 콘베이어 라인(13)의 형태가 종방향(이 경우에서는 네 개의 콘베이어 요소에 대해서), 혹은 가로횡단(이 경우에서는 두 개의 콘베이어 요소에 대해서) 연장된다. 두 개의 콘베이어 요소 사이의 이송위치는 이러한 콘베이어의 종방향 바(2)가 서로 평행이고 롤(4,4')(이송방향(11)에 평행) 사이의 거리(A 혹은 E)가 두 개의 콘베이어 요소 사이 및 콘베이어 요소(1) 내에서 거의 동일할 때 유지되거나 이러한 위치가 도달된다.
이러한 형식의 저장 및 버퍼 시스템(12)에서 저장 및 콘베이어 요소(1)인 개별의 구성요소들은 로봇이나 이와 비슷한 장치에 꼭 맞을 필요없이 설치될 수 있다. 콘테이너(7,8)를 여러 가지 저장위치로 이동시키기 위해서 로봇에서 필요한 전체 이동공간은 본 발명의 저장 및 콘베이어 요소(1) 때문에 저장공간으로 이용될 수 있다.
웨이퍼(9) 등을 저장하기 위한 SMIF 박스, FOUP 포드(8) 혹은 카셋트(7) 같은 콘테이너에 대한 이송 설비장치 같은 동일한 콘베이어 요소(1)로 구성된 이러한 형태의 저장 및 버퍼 시스템(12)은 이러한 형식의 이송 설비장치에 적합하다. 실제로 이러한 저장 및 버퍼 시스템(12)이 저장을 위해 사용될 수 없는 콘베이어 요소(1)를 포함하기 때문에, 이러한 형식의 이송 설비장치에서 이송되는 콘테이너를 임시로 저장하기 위한 초소형 버퍼를 형성한다. 본 발명을 따르는 저장 및 버퍼 시스템(12)의 콘베이어 요소(1)는 이송 설비장치의 콘베이어 라인(13) 옆, 위, 아래에 위치한 최소한 수평으로 연장된 저장라인(14)으로 연장된다.
도 3은 본 발명의 한 관점을 따라 여러개의 저장라인(14)이 수직 레지스터에 배열된 저장 및 버퍼 시스템의 평면도이다. 이송방향(11)을 따라서 저장 및 버퍼 시스템(12)의 앞쪽에 있는 이송 시스템의 마지막 콘베이어요소(1') 및 저장 및 버퍼 시스템(12) 뒤에 있는 이송 시스템의 첫 번째 콘베이어 요소(1")가 도시되었다. 콘베이어 요소, 콘테이너 등등을 보호하기 위해서 저장 및 버퍼 시스템(12)은 선호적으로 하우징(15)에 수용된다. 세 개의 콘베이어 요소(1) 이송 시스템의 콘베이어 요소(1',1")와 동일한 높이를 갖고 저장 및 버퍼 시스템(12)의 하우징(15) 내에 배열되어 콘베이어 라인(13)을 형성한다. 콘베이어 라인(13) 위쪽이나 아래쪽에 배열된 콘베이어 요소(1)(도시 안됨)는 콘베이어 라인(13)에 평행하고 수평으로 연장된 여러개의 저장라인(14)을 형성한다. 저장 라인 사이의 높이차 혹은 콘베이어 라인 옆의 저장 라인(14)과 콘베이어 라인(13) 사이의 높이차는 광범위한 종류에서 측정한 콘테이너를 선택하여 방해받지 않고 통과할 수 있는 크기로 만들어진다.
저장 및 버퍼 시스템(12)은 최소한 하나의 콘베이어 요소(1)를 갖는 리프트 장치(16)(십자가 추가로 표시됨)로 구성된다. 리프트 장치(16)는 저장 및 버퍼 시스템(12)의 콘베이어 요소(1)로 구성될 수 있는데, 콘베이어 요소(1) 보다 수평방향으로 많은 공간을 필요로하지 않는다. 그러므로 도 3에 도시된 본 발명을 따르는 저장 및 버퍼 시스템(12)의 제 1 실시예를 따라 리프트 장치(16)는 세 개의 서로 위치에 배열될 수 있다. 콘테이너는 콘베이어 라인에서 저장라인까지 수직으로 이동할 수 있으며 리프트 장치에 의해 반대로 이동할 수 있다.
도 4는 본 발명을 따르는 저장 및 버퍼 시스템의 평면도이다. 본 발명의 시 시예를 따라서 여러개의 저장라인이 수평 레지스터에 배열된다. 이송방향(11)을 따라 저장 및 버퍼 시스템(12)의 전방에 있는 이송시스템의 콘베이어 요소(1') 및 저장 및 버퍼 시스템(12) 뒤에 있는 이송시스템의 첫 번째 콘베이어 요소(1")가 또한 도시되었다. 저장 및 버퍼 시스템(12)은 선호적으로 하우징(15)에 수용된다. 저장 및 버퍼 시스템(12)의 하우징(15) 안에서 이송 시스템의 콘베이어 요소(1',1")와 동일한 높이로 배열된 세 개의 콘베이어 요소(1)는 콘베이어 라인(13)을 형성한다. 콘베이어 라인(13) 바로 옆에 있는 콘베이어 요소(1)는 콘베이어 라인(13)에 평행하게 수평으로 연장된 두 개의 저장 라인(14)을 형성한다.
저장 및 버퍼 시스템(12)은 최소한 하나의 콘베이어 요소(1)를 갖는 세 개의 회전장치(17)(회전 방향 화살표로 추가로 표시됨)로 구성된다. 회전장치(17)는 저장 및 버퍼 시스템(12)의 바람직한 콘베이어 요소(1)로 구성될 수 있으며, 콘베이어 요소(1) 보다 수평방향으로 공간을 덜 차지한다. 그러므로 도 4에 도시된 본 발명을 따르는 저장 및 버퍼 시스템(12)의 실시예를 따라서 회전장치(17)는 세 가지 서로 다른 위치에 배열될 수 있다. 콘테이너는 콘베이어 라인(13)에서 저장라인(14)까지 수평방향으로 전송될 수 있으며, 회전장치를 이용하여 반대로(수평 레지스터에서 세 개 이상의 저장 라인의 경우-도시 안됨) 이송될 수 있다.
선호적으로 이송위치가 90°의 정수배 만큼의 회전각도를 수용할 있도록 콘베이어 요소(1)에 대해서 회전장치를 배열하는 것이 가능하다.
도 5는 본 발명을 따르는 저장 및 버퍼 시스템의 평면도이다. 본 발명의 또 다른 실시예를 따라서 여러개의 저장라인이 수직 및 수평 레지스터에 배열된다. 상 기 실시예는 전술된 특징들을 조합하며 리프트 장치 및 회전장치(십자표시와 회전 화살표 표시가 추가됨)로 동시에 설계된 요소(16,17)에 배열된 콘베이어 요소(1)로 구성되는 것을 특징으로 한다.
또 다른 실시예를 따라서 모든 저장 라인(14)은 선호적으로 콘베이어 라인(13)에 평행하게 연장된다. 또한 선호적으로 콘베이어 라인 한 부분에 대해서 리프트 장치 및 회전장치 그리고 저장라인은 공통 하우징(15)에 배열된다.
이전의 설명에 대한 대안으로써 본 발명의 저장 및 버퍼 시스템은 하나의 평면 혹은 서로 다른 평면에서 서로 교차될 수 있는 여러개의 콘베이어 라인(13) 및/혹은 저장라인(14)으로 구성될 수 있다. 도 3-5에 도시된 바와 같이 여러개의 수직 혹은 수평 레지스터를 제공할 수 있다.
마찬가지로 도 2-5에 도시된 도면에 대한 대안으로써 회전각도는 60° 등의 적합한 갑이 될 수 있는데, 저장라인이 콘베이어 라인까지 평행하게 더 이상 연장되지 않지만 콘베이어 라인에 대해서 최소 90°까지 연장될 수 있다. 여러개의 저장 레벨을 갖고 원형 혹은 반원형 기본 외곽선을 갖는 타워(tower)를 형성하여, 하나의 레벨에 속한 콘베이어 요소들이 조합된 리프트/회전 장치에 대해서 별모양으로 배열되어, 도 5에 도시된 실시예의 변형체(이러한 변형체는 도시 안되었음)를 나타낸다. 웨이퍼등을 저장하기 위한 SMIF 박스, FOUP 포드 혹은 카셋트 같은 콘테이너를 위한 이송 설비장치의 코너위치에 있는 공간이 종종 좋지 않게 이용된다. 이러한 형식의 타워는 이러한 콘테이너의 위치에서 공간을 절약하는 방식으로 이러한 형태의 콘테이너에대한 저장 및 버퍼 시스템을 설치할 수 있다.
도 6은 본 발명을 따르는 저장 및 버퍼 시스템(12)의 평면도이다. 회전장치(17)가 각 코너에 배열되는 것이 선호적인데, 저장 및 버퍼 시스템 내에서 "원형 써킷(roundabout circuit)" 형태의 콘테이너가 가능하도록 한다. 또한 개개의 회전장치(17) 혹은 여러개의 회전장치(17)가 리프트 장치(16)로 설계되어, 저장 및 버퍼 시스템(12) 내에서 콘테이너가 최대로 움직일 수 있도록 한다. 그러므로 콘테이너가 수평으로 180° 회전하던지 재결합될 수 있다. 클로저 도어(closure door)가 이송방향의 전방 혹은 후방을 향하도록 방향이 정해진 것처럼 콘테이너는 필요조건에 따라 최적의 방향을 향할 수 있다. 그러므로 본 발명의 또 다른 실시예를 따르는 저장 및 버퍼 시스템은 콘테이너가 개별의 처리 스테이션으로 방출되는 콘테이너 중앙 관리자로 사용될 수 있다.
본 발명을 따라 저장 및 버퍼 시스템을 자동으로 작동시키기 위해서 콘베이어 요소는 선호적으로 감지장치(광벽-light barrier, 바코드 판독기, 전자기 및 전기유도 감지장치 등등)로 구성되는데, 개별의 콘베이어 요소(1)에 대한 현재의 위치 혹은 저장 라인(14)이나 콘베이어 라인(13) 내에서의 위치가 감지될 수 있다. 그래서 가각의 콘테이너 위치, 방향등을 기록할 수 있다. 선호적으로 저장 및 버퍼 시스템이 감지장치에 의해 기록되는 데이터를 처리하기 위한 데이터 처리 장치(도시 안됨)로 구성되며, 리프트 장치 및 회전장치, 모터구동 롤에 대해서 드라이브를 제어하기 위한 데이터 처리장치로 구성된다.
만약 이송될 콘테이너 및 콘베이어(1)의 설계가 가능하다면, 기판이 역방향으로 거스르지 않는다면, 전술된 것에 대한 대안으로써 모든 콘베이어 라인(13) 및 저장라인(14)이 수평위치에서 벗어나지 않게 된다. 도면에서 도시된 동일한 요소는항상 동일한 번호나 기호로 표시된다. 본 발명의 저장 및 버퍼 시스템의 또 다른 이점은 다음과 같다.
웨이퍼 등이 고정되는 SMIF 박스, FOUP 포드 혹은 카셋트 같은 이송 콘테이너를 위한 이송 설비장치를 개발하고 제조하는 새로운 방안을 제안하는 것이 가능하다. 서로 떨어져 있고 평행하게 배열된 두 개의 종방향 바와 함께 콘베이어 요소로 구성되며, 상기 각각의 바는 바에 대해서 직각인 수평축에 대해서 회전하고 공통적인 수평 상단의 접선면을 갖는 여러개의 롤이 배열되어 있으며, 웨이퍼 등을 고정시키기 위한 레티클, SMIF 박스, FOUP 포드, 카셋트 등의 콘테이너는 마찰 구동 수단에 의해 놓이거나 이송될 수 있다. 이러한 형식의 이송 설비장치는 서로에 대한 이송위치를 유지하기 위해서 이송 설비의 콘베이어 라인 옆, 위, 혹은 아래로 연장된 최소한 하나의 수평 저장라인에 콘베이어 요소가 배열되는 것을 특징으로 한다.
이송 설비장치의 수조에 사용된 동일한 구성요소는 본 발명의 저장 및 버퍼 시스템의 구조에 대해서도 사용될 수 있다.

Claims (13)

  1. 웨이퍼 등을 고정시키기 위한 SMIF박스, FOUP 포드(7), 혹은 카셋트 같은 콘테이너를 위한 이송 설비장치에 대한 저장 및 버퍼 시스템은, 콘베이어 라인(13)을 따라 배열된 여러개의 콘베이어 요소(1)로 구성되며,
    콘베이어 요소(1)는 다음번 콘베이어 요소(1)에 대한 이송위치를 유지시키기 위해서 이송 설비장치의 콘베이어 라인(13) 옆, 위, 혹은 아래로 연장된 최소한 하나의 수평 저장라인(14)에 배열되는데 있어서,
    콘베이어 라인(13) 옆으로 연장된 최소한 하나의 저장라인(14)으로 구성되며,
    최소한 하나의 콘베이어 요소(1)와 함께 회전장치(17)로 구성되는데, 콘테이너는 콘베이어 라인(13)에서부터 저장라인(14)까지 수평방향으로, 혹은 그 반대로 이송될 수 있는 것을 특징으로 하는 저장 및 버퍼 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서, 수평 레지스터로 배열된 여러개의 저장라인(14)으로 구성되는 것을 특징으로 하는 저장 및 버퍼 시스템.
  3. 제 1 항 혹은 제 2 항에 있어서, 시스템은 최소한 하나의 콘베이어 요소(1)를 갖는 리프트장치(16)로 구성되며, 콘테이너는 콘베이어 라인(13)에서부터 저장라인(14)까지, 혹은 그 반대로 수직으로 이동할 수 있는 것을 특징으로 하는 저장 및 버퍼 시스템.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 한 항에 있어서, 수직 레지스터에 배열된 여러개의 저장라인(14)으로 구성되는 것을 특징으로 하는 저장 및 버퍼 시스템.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 한 항에 있어서, 콘베이어 요소(1)에 대해서 이송위치가 90°의 정수배 만큼의 회전각도를 수용할 수 있도록 회전장치(17)가 배열될 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 저장 및 버퍼 시스템.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 한 항에 있어서, 최소한 하나의 리프트 장치(16)는 동시에 회전장치(17)로 설계되는 것을 특징으로 하는 저장 및 버퍼 시스템.
  7. 상기한 중 어느 한 항에 있어서, 모든 저장라인(14)은 콘베이어 라인(13)까지 평행으로 연장되며, 콘베이어 라인(13)의 한 부분, 모든 리프트 장치(16) 및 회전장치(17) 및 저장라인(14)은 공통 하우징(15)에 배열되는 것을 특징으로 하는 저장 및 버퍼 시스템.
  8. 상기항들 중 어느 한 항에 있어서, 콘베이어 요소(1)는 고정된 위치에 장착되고 두 개의 종방향 바(2)를 갖는데, 상기 바는 서로 평행하게 떨어져 있고, 바(2)에 직각한 수평축(5,5')에 대해서 회전하고 공통의 수평상단 접선면(6)을 갖 는 여러개의 구동 혹은 동시회전 롤(4,4')이 배열되며, 이러한 형식의 콘테이너(7,8)는 마찰구동 수단에 의해 배치 및 이송될 수 있는 것을 특징으로 하는 저장 및 버퍼 시스템.
  9. 제 8 항에 있어서, 저장 및 버퍼 시스템(12)은 어댑터 장치로 구성되며, 콘테이너(7,8)는 롤(4,4')의 상단 접선면(6)에 놓일 수 있고 그 위에서 이송될 수 있는 것을 특징으로 하는 저장 및 버퍼 시스템.
  10. 제 8 항 혹은 제 9 항에 중 한 한에 있어서, 저장 및 버퍼 시스템(12)은 감지장치로 구성되는데, 각각의 콘베이어 요소(1)에 대한 혹은 저장라인(14) 내의 위치에 대한 콘테이너(7,8)의 현재 위치가 기록될 수 있는 것을 특징으로 하는 저장 및 버퍼 시스템.
  11. 제 10 항에 있어서, 저장 및 버퍼 시스템(12)은 모터구동 롤(4), 리프트 장치(16) 및 회전장치(17)에 대한 드라이브를 제어 및 처리하고, 감지장치에 의해 기록된 데이터를 처리하기 위한 데이터 처리장치로 구성되는 것을 특징으로 하는 저장 및 버퍼 시스템.
  12. 웨이퍼(9) 등을 고정시키기 위한 SMIF 박스, FOUP 포드(8), 카셋트 같은 콘테이너를 이송시키기 위한 이송 설비장치는 두 개의 종방향 바(2)를 갖으며 고정 위치에 장착되는 콘베이어 요소(1)로 구성되는데, 상기 바는 서로 떨어져 평행하게 배열되어 있으며, 여러개의 구동 혹은 동시회전 롤(4,4')이 배열되는데, 상기 롤은 바(2)에 대해서 직각인 수평 바(5,5')에 대해서 회전하며, 공통의 수평 상단 접선면(6)을 갖는데 있어서, 이송 설비장치는 청구항 제 1 항 내지 제 11항 중 하나 이상의 항을 따르는 저장 및 버퍼 시스템(12)으로 구성되는데, 콘베이어 요소(1)는 인접한 콘베이어 요소(1)에 대해서 이송 위치를 유지시키도록 이송 설비장치의 콘베이어 라인(13) 옆, 위 혹은 아래로 연장된 최소한 하나의 수평 저장라인(14)에 배열되는 것을 특징으로 하는 이송 설비장치.
  13. 제 1 항 내지 제 11 항 중 하나 이상의 항에 있어서, 저장 및 버퍼 시스템(12)을 구성하기 위한 콘베이어 요소(1)의 사용에 있어서, 콘베이어 요소(1)는 두 개의 종방향 바(2)를 갖으며 고정 위치에 장착되며, 상기 바는 서로 평행하게 떨어져 있으며, 여러개의 구동 혹은 동시회전 롤(4,4')이 배열되는데, 상기 롤은 바(2)에 수직인 수평축(5,5')에 대해서 회전하고, 공통의 수평 상단 접선면(6)을 갖는데, 웨이퍼(9) 등을 고정시키기 위한 SMIF 박스, FOUP 포드(8) 혹은 카셋트(7) 같은 콘베이어는 마찰 구동 장치에 의해 이송 및 배열될 수 있는 것을 특징으로 하는 콘베이어 요소.
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