WO2019102795A1 - 保管装置 - Google Patents

Abstract

保管装置は、ハウジングと、ベーススタンド（１１）と、レチクル保管棚（３１）と、モータ（８１）と、を備える。ベーススタンド（１１）は、ハウジング内に配置され、当該ハウジングに対して位置が固定される。レチクル保管棚（３１）は、上下方向に延びる回転軸（１５）を介してベーススタンド（１１）に連結され、回転軸（１５）を中心としてベーススタンド（１１）に対して相対的に回転する。モータ（８１）は、回転軸（１５）を回転させる。ベーススタンド（１１）は、電力を非接触で伝送する送電部（１４）を備える。レチクル保管棚（３１）は、回転棚（３２）と、検出装置（３３）と、受電部（３４）と、を備える。回転棚（３２）には、レチクルが配置される。検出装置（３３）は、回転棚（３２）と一体的に回転するように配置され、電力により駆動される。受電部（３４）は、送電部（１４）から伝送された電力を検出装置（３３）に供給する。

Description

保管装置

　本発明は、主として、回転棚を備える保管装置に関する。

　従来から、半導体製造に供されるレチクル等を保管するための保管装置が知られている。特許文献１は、この種の保管装置を開示する。

　特許文献１の保存装置は、ウェハ、レチクル等の対象物を保存するための少なくとも１つの閉鎖された区域を形成するハウジングを備える。ハウジングの内側には対象物保存装置が配置される。対象物保存装置は、上下に平行に配列された多数の環状棚を有している。対象物保存装置には、垂直な回転軸の周りの回転運動を実現するための手段が備えられる。対象物保存装置は、多数の保存モジュールから成る。対象物保存装置内に配置された保存モジュールが対象物ハンドリング装置の到達位置内に入るように、当該対象物保存装置が電気駆動装置によって回転される。対象物ハンドリング装置により、保存モジュール内に保存される対象物が取り扱われる。

特表２００９－５４５１４１号公報

　例えば、レチクル等の対象物の品質管理のために、対象物保存装置内に各種センサやカメラ等の装置を配置したいという要望がある。しかし、上記特許文献１の構成においては、対象物保存装置の外部に設けられた電源からセンサ等に電力を供給しようとする場合、対象物保存装置が回転するため、給電ケーブルのよじれが発生してしまう。

　本発明は以上の事情に鑑みてされたものであり、その目的は、回転棚の回転を確保しながら、回転棚に配置される装置に電力を供給できる保管装置を提供することにある。

課題を解決するための手段及び効果

　本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段とその効果を説明する。

　本発明の観点によれば、物品を保管するための保管装置に関する以下の構成が提供される。即ち、この保管装置は、ハウジングと、固定部と、回転部と、回転軸駆動部と、を備える。前記固定部は、前記ハウジング内に配置され、当該ハウジングに対して位置が固定される。前記回転部は、上下方向に延びる回転軸を介して前記固定部に連結され、前記回転軸を中心として前記固定部に対して相対的に回転する。前記回転軸駆動部は、前記回転軸を回転させる。前記固定部は、電力を非接触で伝送する送電部を備える。前記回転部は、回転棚と、電力駆動装置と、受電部と、を備える。前記回転棚には、前記物品が配置される。前記電力駆動装置は、前記回転棚と一体的に回転するように配置され、電力により駆動される。前記受電部は、前記送電部から伝送された電力を前記電力駆動装置に供給する。

　これにより、必要に応じて回転部とともに回転する電力駆動装置へのワイヤレス給電を実現することができる。

　前記の保管装置においては、以下の構成とすることが好ましい。即ち、前記送電部は、支持体と、導電体と、を備える。前記支持体は、前記回転軸の外周の少なくとも一部を取り囲む。前記導電体は、前記支持体が延びる方向に沿って当該支持体に配置される。前記受電部は、導電部材を巻いて形成されたコイルを備える。前記送電部の前記導電体に電流を流すことによって発生する磁界により、前記受電部の前記コイルに誘導電流を発生させる。

　これにより、簡単な構成で、非接触給電を実現することができる。

　前記の保管装置においては、前記導電体は、プリント基板の回路パターンにより構成することができる。

　この場合、低コストで、コンパクトな送電部を構成することができる。

　前記の保管装置においては、以下の構成とすることもできる。即ち、前記支持体は、周方向に延びるように形成された導電体案内部を備える。前記導電体は、前記導電体案内部に沿って配置されている。

　この場合、簡単な構成で送電部を形成することができる。

　前記の保管装置においては、前記送電部は、前記導電体と前記受電部とが対面する側とは反対側に設けられた磁性シートを備えることが好ましい。

　これにより、磁性シートがバックヨークとして機能して、通電された導電体が発生する磁束を受電部側へ集中させることができる。この結果、コンパクトな構成で、送電部における送電効率を向上することができる。

　前記の保管装置においては、前記導電体と前記磁性シートとの間に、他の部材が配置されるか、又は、隙間が形成されていることが好ましい。

　これにより、導電体と磁性シートとの間を適度に離すことができるので、導電体が発生する磁束が受電部と反対側へ流れるのを抑制することができる。

　前記の保管装置においては、前記導電体と前記磁性シートとの間に、非磁性体からなる板状部材が配置されていることが好ましい。

　これにより、コンパクトな構成で、導電体が発生する磁束が受電部と反対側へ流れるのを効果的に低減することができる。

　前記の保管装置においては、以下の構成とすることが好ましい。即ち、この保管装置は、前記回転軸を中心とした円周上に配置された少なくとも２つの前記受電部を備える。前記送電部は、前記受電部の回転軌跡と向き合うように配置される。前記回転軸と平行な方向で見たとき、前記送電部は、前記回転軸の周方向に沿った開口部を有する円弧状に形成され、少なくとも１つの前記受電部と常に重なるように配置される。

　これにより、送電部を小型化できるとともに、安定した非接触給電を実現することができる。

　前記の保管装置においては、以下の構成とすることが好ましい。即ち、前記開口部は、前記回転軸を通過させることが可能な大きさに形成される。前記送電部は、前記回転軸の外周側に着脱可能に取り付けられている。

　これにより、送電部の取付け／取外しが容易になって、メンテナンス作業性が向上する。

　前記の保管装置においては、前記電力駆動装置は、温度センサ、湿度センサ、気体成分検出器、及びカメラのうち少なくとも１つを含むことが好ましい。

　これにより、電力駆動装置を利用して、回転棚内の保管状態等に関する情報を容易に得ることができる。

本発明の第１実施形態に係る保管装置の外観を示す斜視図。 保管装置の正面図。 保管装置の平面図。 ハウジング内のレチクル保管部及びその駆動のための構成を詳細に示す部分断面斜視図。 送電部の構成を示す斜視図。 送電部及び受電部の構成を示す断面図。 受電部の構成を示す斜視図。 非接触給電構造を示す部分平面図。 図８の状態から回転棚が回転した様子を示す部分平面図。 第２実施形態の非接触給電構造を示す部分平面図。 第２実施形態の多層基板の回路パターンの構成を示す斜視図。 第２実施形態の送電部及び受電部の構成を示す断面図。

　次に、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。図１は、本発明の一実施形態に係る保管装置１００の外観を示す斜視図である。図２は、保管装置１００の正面図である。図３は、保管装置１００の平面図である。図４は、ハウジング１内のレチクル保管棚３１及びその駆動のための構成を詳細に示す部分断面斜視図である。

　図１に示す第１実施形態の保管装置１００は、半導体工場や液晶工場等のクリーンルーム内に設置され、半導体や液晶基板の露光用のレチクル（物品）を保管するために用いられる。この保管装置１００は、図１から図３まで（例えば、図２）に示すように、主として、ハウジング１と、ベーススタンド（固定部）１１と、レチクル保管棚（回転部）３１と、ケース保管棚５１と、モータ（回転軸駆動部）８１と、を備えている。

　ハウジング１は、例えば金属板によって、中空の略直方体状に構成されている。ハウジング１の内部には、外部に対する気密が保たれた保管空間が形成されている。

　保管装置１００は図略のパージ装置を備え、このパージ装置は、ハウジング１の内部の保管空間にパージガスを充填することで、収容されるレチクルの汚染を防止することができる。パージガスとしては、例えば、清浄で乾燥した空気、及び、窒素ガスが考えられるが、これらに限定されない。

　ベーススタンド１１は、図２に示すように保管空間内の下部に配置され、ハウジング１に固定されている。ベーススタンド１１は、図４に示すように、支持ケース１２と、送電部１４と、を備える。

　支持ケース１２は、その軸線を上下方向に向けた中空の円筒状に構成されている。支持ケース１２は、その上端部が閉鎖された形状となっている。支持ケース１２の上面の中央部には、上方に鉛直に延びる回転軸１５が、その軸線を中心として回転可能に支持されている。

　送電部１４は、支持ケース１２の上面に取り付けられている。送電部１４は、レチクル保管棚３１が備える後述の受電部３４に対して、電力を非接触で伝送することができる。なお、送電部１４の構成の詳細については後述する。

　レチクル保管棚３１は、多数のレチクルを保管する。図４に示すように、レチクル保管棚３１は、回転棚３２と、検出装置（電力駆動装置）３３と、受電部３４と、を備える。レチクル保管棚３１は、ベーススタンド１１より高い位置に配置され、回転軸１５の回転に伴って回転するように構成されている。

　回転棚３２は、上下方向に隙間をあけて並べて配置された複数の棚板３７を備える。それぞれの棚板３７は、中空のリング状に形成されている。棚板３７は、回転軸１５に対して放射状に固定された複数の支持ビーム３８によって、回転軸１５に取り付けられている。支持ビーム３８は、１つの棚板３７につき例えば８つ配置され、周方向に等しい間隔をあけて並べて配置されている。回転軸１５が後述のモータ８１によって回転駆動されることにより、複数の棚板３７が同時に回転する。これにより、回転棚３２が所望の向きとなるように回転位相を変更することができる。回転軸１５は正逆に回転できる。

　図３に示すように、複数の保管エリア３９が、それぞれの棚板３７の上側の保管スペースを周方向で複数に分割するように定められている。図示しないが、それぞれの保管エリア３９において、中空の略箱状に形成されたレチクル保管モジュールが棚板３７に載せられている。レチクル保管モジュールには、レチクルが上下方向に並べた状態で保管されている。それぞれのレチクルは、レチクル保管モジュールから必要に応じて出したり入れたりすることができる。

　回転棚３２を適宜回転させることにより、特定のレチクル保管モジュールが配置された保管エリア３９の回転位相を、後述のレチクル搬送装置７６がアクセス可能な回転位相と合わせるように、棚板３７の位置を調整することができる。これにより、レチクル搬送装置７６を用いて、所望のレチクルをレチクル保管モジュールに収容したり取り出したりすることができる。

　図４に示す検出装置３３は、例えば棚板３７に固定されており、レチクル保管棚３１における温度、湿度やレチクル保管モジュールの姿勢等の保管状態に関する情報を取得することができる。検出装置３３の例としては、公知の温度センサ、湿度センサ、カメラ、及び気体成分検出器等が考えられるが、これに限定されない。検出装置３３が回転棚３２に配置される位置及び数は、事情に応じて任意に定めることができる。検出装置３３は、回転棚３２の回転に伴って、当該回転棚３２と一体的に回転する。検出装置３３は、受電部３４からケーブル３５を介して供給される電力により駆動される。

　検出装置３３は、検出した情報を、保管装置１００の外部に配置された装置等（例えば、図１に示す端末装置９１）に無線通信により送信する。無線通信は、例えば無線ＬＡＮ等の公知の規格に従って行うことができる。この構成により、保管装置１００の管理者は、レチクル保管棚３１における保管状態を外部から端末装置９１のディスプレイ等で容易に確認することができる。

　受電部３４は、図４に示すように、回転棚３２を構成する最下部の棚板３７を支持する支持ビーム３８に、下向きに取り付けられている。受電部３４は、送電部１４から非接触給電により電力を得て、ケーブル３５を介して検出装置３３に供給する。

　ケース保管棚５１は、図２に示すように、保管棚５２と、バッファ棚５３と、を備える。保管棚５２及びバッファ棚５３は、レチクルを搬送するために用いられる図略の搬送ケースを保管することができる。保管棚５２は、全体として円筒状に構成されており、図４に示すようにレチクル保管棚３１の下方に配置されている。この保管棚５２は、上下に並べて配置された複数の棚板を備えており、これらの棚板は、図示しないモータによって回転させることができる。バッファ棚５３は、図２に示すように、後述のケース開放装置６６の直上方に固定されている。このバッファ棚５３は、ケース開放装置６６での処理を待機する搬送ケースを一時的に保管する等の目的で用いられる。

　モータ８１は、例えば電動モータから構成されており、支持ケース１２の内部に固定されている。モータ８１を駆動するための電力は、図略の電源からケーブルを用いて供給される。モータ８１の駆動力は、適宜の駆動伝達機構によって回転軸１５に伝達され、これにより回転軸１５が駆動される。

　保管装置１００は、ハウジング１、レチクル保管棚３１、及びケース保管棚５１のほかに、受渡しポート６１と、ケース開放装置６６と、ケース搬送装置７１と、レチクル搬送装置７６と、を備える。

　受渡しポート６１は、図１に示すように、上部ポート６２と、下部ポート６３と、を備える。

　上部ポート６２は、ハウジング１の前部のやや上方に配置されている。上部ポート６２には、上面を開放可能な２つの開口６２ａ，６２ｂが形成されている。保管装置１００は、この開口６２ａ，６２ｂを介して、図略の天井搬送車等との間で、レチクルを収容した搬送ケースの受渡しを行うことができる。

　下部ポート６３は、ハウジング１の前部において、上部ポート６２の下方に配置されている。下部ポート６３には、上面を開放可能な２つの開口６３ａ，６３ｂが形成されている。保管装置１００は、この開口６３ａ，６３ｂを介して、作業者又はロボット等との間で搬送ケースの受渡しを行うことができる。

　受渡しポート６１に搬送された搬送ケースは、ケース搬送装置７１によって、ケース開放装置６６又はケース保管棚５１に搬送される。

　ケース開放装置６６は、上記保管空間に配置されており、搬送ケースを開放して、内部のレチクルを取出し可能な状態とすることができる。

　ケース搬送装置７１は、図３に示すように、上記保管空間において、受渡しポート６１に近い側に配置されている。ケース搬送装置７１は、例えば、ハンド７２と、２つのアーム７３，７４と、を有する多関節型アームロボットとして構成されている。また、ケース搬送装置７１は、図示しないモータが駆動されることにより、上下方向に移動することができる。

　ケース搬送装置７１は、必要に応じて昇降しながらハンド７２及びアーム７３，７４を動作させることで、上部ポート６２又は下部ポート６３と、ケース開放装置６６と、ケース保管棚５１と、の間で搬送ケースを搬送することができる。

　レチクル搬送装置７６は、図３に示すように、上記保管空間において、平面視でケース開放装置６６を挟んでケース搬送装置７１と対向する位置に配置されている。レチクル搬送装置７６は、ケース搬送装置７１と同様に、ハンド７７と、２つのアーム７８，７９と、を有する多関節型アームロボットとして構成されている。また、レチクル搬送装置７６は、図示しないモータが駆動されることにより、上下方向に移動することができる。

　レチクル搬送装置７６は、必要に応じて昇降しながらハンド７７及びアーム７８，７９を動作させることで、ケース開放装置６６と、レチクル保管棚３１と、の間で、レチクルを搬送することができる。

　続いて、レチクル保管棚３１に配置された検出装置３３に電力を供給する非接触給電構造について、図４から図９までを参照して詳細に説明する。図５は、送電部１４の構成を示す斜視図である。図６は、送電部１４及び受電部３４の構成を示す断面図である。図７は、受電部３４の構成を示す斜視図である。図８は、非接触給電構造を示す部分平面図である。図９は、図８の状態から回転棚３２が回転した様子を示す部分平面図である。なお、図８及び図９においては、回転棚３２において棚板３７が取り外された状態が示されている。

　この非接触給電構造は、図４に示すように、ベーススタンド１１の支持ケース１２の上部に取り付けられた送電部１４と、レチクル保管棚３１の最も下方の支持ビーム３８に取り付けられた複数（本実施形態においては２つ）の受電部３４と、から構成されている。

　送電部１４は、図４及び図５に示すように、回転軸１５の周方向に沿った開口部１４ａを有する円弧状に形成されている。この送電部１４は、ベース板（ベース部材）２１と、巻線支持ブロック（支持体）２２と、１次コイル２３と、を備える。図４及び図５には示されていないが、図６に示すように、送電部１４は更に磁性シート３を備える。

　ベース板２１は、例えば、アルミニウム金属等の非磁性体からなる略円弧状の細長い板状に形成されている。ベース板２１は、例えば数ミリメートル程度の厚みを有する薄い板状に形成されている。ベース板２１は、図示しない固定部材（例えば、ネジ等）により、支持ケース１２の上面に着脱可能に取り付けられる。

　巻線支持ブロック２２は、ベース板２１と同様に略円弧状の細長い板状に形成され、後述の磁性シート３の上面に固定されている。巻線支持ブロック２２は、例えば、合成樹脂の射出成形によって形成されている。巻線支持ブロック２２の上面には、図５に示すように、周方向に細長く形成された２つのレール部２２ａが形成されている。

　それぞれのレール部２２ａは、上側（受電部３４に近い側）を開放させた凹溝として構成され、円弧状に形成された巻線支持ブロック２２の周方向全体にわたって形成されている。この凹溝には、１次コイル２３を収容することができる。２つのレール部２２ａは、同心円弧状に配置されている。これにより、巻線支持ブロック２２の上面において、内周側のレール部２２ａと、外周側のレール部２２ａと、の間に、相対的に凸となった円弧状の凸部（導電体案内部）２５が形成される。

　１次コイル２３は、電気の良導体である細長いリッツ線（導電体）２７を、レール部２２ａに沿って巻き付けることで形成されている。具体的には、図５に示すように、リッツ線２７を、１つのレール部２２ａに沿って巻線支持ブロック２２の周方向一端側から他端側に向かって配置した後、当該他端側で折り返して、他のレール部２２ａに沿って配置して前記一端側で再び折り返す。このように、リッツ線２７を２つのレール部２２ａに交互に配置しながら凸部２５に複数回周回させることで、１次コイル２３が形成されている。この１次コイル２３には、図示しないインバータから交流電流を流すことができる。

　本実施形態において、リッツ線２７は、上下方向で複数の層をなすように、かつ、各層において凸部２５の周囲を複数周回するように巻かれている。これにより、コンパクトな構成で強い磁束を発生させることができる。

　開口部１４ａは、回転軸１５を通過させることが可能な大きさに形成されている。詳細には、ベース板２１の両端の直線距離が、回転軸１５の直径と略等しくなるように形成されている。これにより、開口部１４ａを介して、回転軸１５を送電部１４の内側に入れたり、外側に出したりすることができる。この結果、送電部１４の取付け／取外しが容易となるので、メンテナンス性が向上する。また、既存の保管装置に送電部１４を後付け的に設置することも容易である。

　磁性シート３は、ベース板２１と同様に略円弧状の細長いシート状に形成され、ベース板２１の上面に固定されている。磁性シート３は、適宜の磁性体によりなり、薄いシート状に形成されている。磁性シート３の厚みは、例えば１ミリメートル以下とすることができる。

　磁性シート３は、図６に示すように、１次コイル２３とベース板２１との間に介在するように、巻線支持ブロック２２の下方かつベース板２１の上方に設けられている。

　このように設けられた磁性シート３は、バックヨークとして機能し、通電する１次コイル２３で発生する磁束が下側へ漏れるのを抑制して、上方へ集中させることができる。この結果、受電部３４側に強い磁界を発生させることができる。また、磁性シート３による磁束遮断効果により、ベース板２１で発生する渦電流を抑制することができる。よって、ベース板２１における渦電流損を抑制することができ、送電部１４の送電効率を向上することができる。

　１次コイル２３と磁性シート３との間には、巻線支持ブロック２２（具体的には、レール部２２ａの底部に相当する部分）が配置されている。当該部分は、ある程度の厚みを有するように形成されることが好ましい。図６に示すように、レール部２２ａの内底面から巻線支持ブロック２２の底面までの長さＬ１は、例えば数ミリメートルとすることが考えられる。１次コイル２３と磁性シート３との間は、当該長さＬ１だけ離れて配置されることになる。

　受電部３４は、下側から見た斜視図である図７に示すように、ベースブロック（ベース部材）４１と、磁気コア４２と、２次コイル４３と、を備えている。

　ベースブロック４１は、例えば樹脂等により形成されている。磁気コア４２は、例えばフェライトコアからなり、ベースブロック４１の下部に固定されている。磁気コア４２は横向きＥ字状に形成されており、その下面には、下向きに開放された２つの直線状の凹溝４２ａが形成されている。この磁気コア４２に電線（導電部材）４７を巻き付けることにより、２次コイル４３が形成されている。

　ベースブロック４１の下面には、巻線ガイド部材４４が固定されている。図７では巻線ガイド部材４４が１つだけ示されているが、巻線ガイド部材４４は、凹溝４２ａの長手方向において、磁気コア４２の両側の端部にそれぞれ配置されている。それぞれの巻線ガイド部材４４は、折返しガイド４５を備える。この折返しガイド４５には、２次コイル４３を構成する電線４７を巻き掛けることができる。

　２次コイル４３は、それぞれの凹溝４２ａに対応して配置されている。具体的には、図７に示すように、磁気コア４２において電線４７を凹溝４２ａの部分に巻き付けることで、２次コイル４３が形成されている。

　以上の構成で、送電部１４の１次コイル２３に交流電流を流すと、送電部１４と上下方向で向き合う受電部３４において、２次コイル４３に誘導電流が流れる。これにより、送電部１４から受電部３４へ非接触で給電することができる。

　本実施形態の非接触給電構造において、送電部１４は、図８に示すように、回転軸１５の外周を囲むように、支持ケース１２の上面に固定されている。一方、２つの受電部３４は、回転軸１５を中心として互いに位相が１８０°異なる位置で、その長手方向が送電部１４の１次コイル２３（言い換えれば、受電部３４の回転軌跡である円）の接線方向に平行になるように、レチクル保管棚３１の支持ビーム３８に下向きに取り付けられる。

　送電部１４は円弧状に形成されており、その中心角は１８０°より少し大きい角度に定められている。これにより、回転軸１５を通過させることが可能な大きな開口部１４ａを、送電部１４に形成している。また、このように送電部１４に開口部１４ａを形成しても、図８及び図９に示すように、送電部１４は、少なくとも何れか１つの受電部３４と上下方向で常に対面して電力を伝送することができる。これにより、回転棚３２の回転位相にかかわらず、非接触給電を安定して行うことができる。

　図４に示す検出装置３３は、当該２つの受電部３４の両方に対し、ケーブル３５により電気的に接続されている。なお、受電部３４が出力する交流電流は、整流器３６によって直流に変換される。整流器３６は、回転軸１５とともに回転するように取り付けられている。図４には整流器３６を支持ビーム３８に取り付けた例が示されているが、整流器３６の位置は適宜変更することができる。これにより、検出装置３３に対して、何れか１つの受電部３４から電力を供給することができる。このように、互いに相対回転するベーススタンド１１と回転棚３２との間に非接触給電構造が配置されるので、回転棚３２が回転しても電線をよじれさせることなく、検出装置３３に対して電力を安定して供給することができる。

　以上に説明したように、本実施形態の保管装置１００は、ハウジング１と、ベーススタンド１１と、レチクル保管棚３１と、モータ８１と、を備える。ベーススタンド１１は、ハウジング１内に配置され、当該ハウジング１に対して位置が固定される。レチクル保管棚３１は、上下方向に延びる回転軸１５を介してベーススタンド１１に連結され、回転軸１５を中心としてベーススタンド１１に対して相対的に回転する。モータ８１は、回転軸１５を回転させる。ベーススタンド１１は、電力を非接触で伝送する送電部１４を備える。レチクル保管棚３１は、回転棚３２と、検出装置３３と、受電部３４と、を備える。回転棚３２には、レチクルが配置される。検出装置３３は、回転棚３２と一体的に回転するように配置され、電力により駆動される。受電部３４は、送電部１４から伝送された電力を検出装置３３に供給する。

　これにより、回転するレチクル保管棚３１に配置された検出装置３３へのワイヤレス給電を実現することができる。

　また、本実施形態の保管装置１００において、送電部１４は、巻線支持ブロック２２と、リッツ線２７と、を備える。巻線支持ブロック２２は、回転軸１５の外周の一部を取り囲む。リッツ線２７は、巻線支持ブロック２２が延びる方向に沿って当該巻線支持ブロック２２に配置される。受電部３４は、電線４７を巻いて形成された２次コイル４３を備える。送電部１４のリッツ線２７に電流を流すことによって発生する磁界により、受電部３４の２次コイル４３に誘導電流を発生させる。

　これにより、簡単な構成で、非接触給電を実現することができる。

　また、本実施形態の保管装置１００において、巻線支持ブロック２２は、周方向に延びるように形成された凸部２５を備える。リッツ線２７は、凸部２５に沿って配置されている。

　これにより、簡単な構成で送電部１４を構成することができる。

　また、本実施形態の保管装置１００において、送電部１４は、リッツ線２７と受電部３４とが対面する側とは反対側に設けられた磁性シート３を備える。

　これにより、磁性シートがバックヨークとして機能して、通電されたリッツ線２７が発生する磁束を受電部３４側へ集中させることができる。この結果、コンパクトな構成で、送電部１４における送電効率を向上することができる。

　また、本実施形態の保管装置１００において、リッツ線２７と磁性シート３との間に、他の部材である巻線支持ブロック２２が配置される。

　これにより、リッツ線２７と磁性シート３との間を適度に離すことができるので、リッツ線２７が発生する磁束が受電部３４と反対側へ流れるのを抑制することができる。

　また、本実施形態の保管装置１００は、回転軸１５を中心とした円周上に配置された２つの受電部３４を備える。送電部１４は、受電部３４の回転軌跡と向き合うように配置される。回転軸１５と平行な方向で見るとき、送電部１４は、回転軸１５の周方向に沿った開口部１４ａを有する円弧状に形成され、少なくとも１つの受電部３４と常に重なるように配置される。

　これにより、送電部１４を小型化できるとともに、安定した非接触給電を実現することができる。

　また、本実施形態の保管装置１００において、送電部１４の開口部１４ａは、回転軸１５を通過させることが可能な大きさに形成される。送電部１４は、回転軸１５の外周側に着脱可能に取り付けられている。

　これにより、送電部１４の取付け／取外しが容易になって、メンテナンス作業性が向上する。

　また、本実施形態の保管装置１００において、検出装置３３は、温度センサ、湿度センサ、又はカメラ等として構成することができる。

　これにより、検出装置３３を利用して、回転棚３２内の保管状態等に関する情報を容易に得ることができる。

　次に、第２実施形態を説明する。図１０は、第２実施形態の送電部１４ｘを有する非接触給電構造を示す部分平面図である。図１１は、第２実施形態の多層基板２８の回路パターン２９の構成を示す斜視図である。図１２は、第２実施形態の送電部１４ｘ及び受電部３４の構成を示す側断面図である。なお、本実施形態の説明においては、前述の実施形態と同一又は類似の部材には図面に同一の符号を付し、説明を省略する場合がある。

　本実施形態の送電部１４ｘは、図１０に示すように、ベース板２１と、磁性シート３と、多層基板（プリント基板）２８と、樹脂板（板状部材）４と、から構成されている。なお、多層基板２８において、ガラス繊維等からなる基材は支持体に相当し、その基材の表面に銅箔等で形成された回路パターン２９は導電体に相当する。

　多層基板２８は、磁性シート３の上に設けられた樹脂板４の上に配置されている。本実施形態において多層基板２８は６層基板として構成されており、各層の回路パターン２９は、図１１に示すように、多層基板２８の外形の円弧に沿って往復する細長いループ状に形成されている。各層の回路パターン２９は、スルーホールを介して上側又は下側の回路パターン２９と電気的に接続される。これにより、６回巻きの１次コイルが構成される。

　樹脂板４は、図１２に示すように、多層基板２８と磁性シート３との間に介在するように、多層基板２８の下方かつベース板２１の上方に設けられている。樹脂板４は、透磁率が低い非磁性体の樹脂からなる。また、この樹脂は非導電体である。樹脂板４は、所定の厚みを有するとともに、平面視において多層基板２８と同じ形状を有する板状に形成されている。樹脂板４の厚み方向一側に磁性シート３が配置され、他側に多層基板２８が配置される。樹脂板４の厚みは、例えば数ミリメートルとすることが考えられる。

　このように、本実施形態では、第１実施形態と同様の機能を有する送電部１４ｘをプリント基板により構成することができるので、コストの低減及びコンパクトな構造を実現することができる。

　また、本実施形態では多層基板２８と磁性シート３との間に樹脂板４が配置されているので、コンパクトな構成で、回路パターン２９が発生する磁束が受電部３４と反対側へ流れるのを抑制することができる。これにより、磁性シート３でのヒステリシス損及びベース板２１での渦電流損を低減して、送電効率を向上させることができる。

　以上に本発明の好適な実施の形態を説明したが、上記の構成は例えば以下のように変更することができる。

　レチクル保管棚３１は、全体に一体として回転する構成となっているが、これに限定せず、例えば棚板３７毎に回転するように構成されても良い。この場合、それぞれの棚板３７の間に、上記の非接触給電構造を配置すれば良い。

　巻線支持ブロック２２において、凹溝状のレール部２２ａを省略して、単に凸部２５を凸状に形成する構成に変更することもできる。この場合、１次コイル２３は、凸部２５に沿うようにリッツ線２７を配置する（巻き付ける）ことにより形成される。

　送電部１４において、リッツ線２７を複数回周回させずに、１回だけ折り返しながら巻線支持ブロック２２に沿って往復するように配置しても良い。この場合も、１回巻きの１次コイル２３が形成されているということができる。

　送電部１４における１次コイル２３の巻き回数、受電部３４における２次コイル４３の巻き回数は、それぞれ適宜変更することができる。

　検出装置３３は、回転棚３２の適宜の場所、例えば支持ビーム３８に固定することもできる。

　レチクル保管棚３１に、一時的に電力を蓄えることが可能なバッテリーを備えることもできる。この場合、受電部３４から供給される電力によりバッテリーを充電し、バッテリーから検出装置３３へ電力を供給することになる。

　送電部１４，１４ｘは、開口部１４ａを有しない閉じた円環状に形成されても良い。この場合、受電部３４の個数は１個であっても良い。

　送電部１４と受電部３４は、回転軸１５の軸方向で向き合う構成に代えて、径方向で向き合う構成に変更することもできる。

　送電部１４において、巻線支持ブロック２２と磁性シート３との間に樹脂板４を設けても良い。この場合、巻線支持ブロック２２を薄く形成しても良い。

　例えば小さなスペーサを用いて、巻線支持ブロック２２又は多層基板２８を、磁性シート３との間で隙間を形成するように、磁性シート３から上方に浮かせて配置しても良い。

　磁性シート３及び樹脂板４のうち少なくとも一方を省略しても良い。

　検出装置３３以外の電力駆動装置に対して、上記の送電部１４及び受電部３４を介して電力を供給することもできる。

　保管装置１００は、レチクル以外の物品、例えば半導体ウエハを保管するために用いることもできる。

　１　ハウジング
　１１　ベーススタンド（固定部）
　１４　送電部
　３１　レチクル保管棚
　３２　回転棚
　３３　検出装置（電力駆動装置）
　３４　受電部
　８１　モータ
　１００　保管装置

Claims (10)

1. 　物品を保管するための保管装置であって、
   　ハウジングと、
   　前記ハウジング内に配置され、当該ハウジングに対して位置が固定される固定部と、
   　上下方向に延びる回転軸を介して前記固定部に連結され、前記回転軸を中心として前記固定部に対して相対的に回転する回転部と、
   　前記回転軸を回転させる回転軸駆動部と、
   を備え、
   　前記固定部は、電力を非接触で伝送する送電部を備え、
   　前記回転部は、
   　前記物品が配置される回転棚と、
   　前記回転棚と一体的に回転するように配置され、電力により駆動される電力駆動装置と、
   　前記送電部から伝送された電力を前記電力駆動装置に供給する受電部と、
   を備えることを特徴とする保管装置。
2. 　請求項１に記載の保管装置であって、
   　前記送電部は、
   　前記回転軸の外周の少なくとも一部を取り囲む支持体と、
   　前記支持体が延びる方向に沿って当該支持体に配置された導電体と、
   を備え、
   　前記受電部は、導電部材を巻いて形成されたコイルを備え、
   　前記送電部の前記導電体に電流を流すことによって発生する磁界により、前記受電部の前記コイルに誘導電流を発生させることを特徴とする保管装置。
3. 　請求項２に記載の保管装置であって、
   　前記導電体は、プリント基板の回路パターンにより構成されることを特徴とする保管装置。
4. 　請求項２に記載の保管装置であって、
   　前記支持体は、周方向に延びるように形成された導電体案内部を備え、
   　前記導電体は、前記導電体案内部に沿って配置されていることを特徴とする保管装置。
5. 　請求項２から４までの何れか一項に記載の保管装置であって、
   　前記送電部は、前記導電体と前記受電部とが対面する側とは反対側に設けられた磁性シートを備えることを特徴とする保管装置。
6. 　請求項５に記載の保管装置であって、
   　前記導電体と前記磁性シートとの間に、他の部材が配置されるか、又は、隙間が形成されていることを特徴とする保管装置。
7. 　請求項６に記載の保管装置であって、
   　前記導電体と前記磁性シートとの間に、非磁性体からなる板状部材が配置されていることを特徴とする保管装置。
8. 　請求項１から７までの何れか一項に記載の保管装置であって、
   　前記回転軸を中心とした円周上に配置された少なくとも２つの前記受電部を備え、
   　前記送電部は、前記受電部の回転軌跡と向き合うように配置され、
   　前記回転軸と平行な方向で見たとき、前記送電部は、前記回転軸の周方向に沿った開口部を有する円弧状に形成され、少なくとも１つの前記受電部と常に重なるように配置されることを特徴とする保管装置。
9. 　請求項８に記載の保管装置であって、
   　前記開口部は、前記回転軸を通過させることが可能な大きさに形成され、
   　前記送電部は、前記回転軸の外周側に着脱可能に取り付けられていることを特徴とする保管装置。
10. 　請求項１から９までの何れか一項に記載の保管装置であって、
    　前記電力駆動装置は、温度センサ、湿度センサ、気体成分検出器、及びカメラのうち少なくとも１つを含むことを特徴とする保管装置。

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