CN2327664Y - 附有标准机械介面之晶圆运送装置 - Google Patents
附有标准机械介面之晶圆运送装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN2327664Y CN2327664Y CN 97214771 CN97214771U CN2327664Y CN 2327664 Y CN2327664 Y CN 2327664Y CN 97214771 CN97214771 CN 97214771 CN 97214771 U CN97214771 U CN 97214771U CN 2327664 Y CN2327664 Y CN 2327664Y
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- jaw
- mounting table
- slide block
- slide rail
- upper bracket
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title abstract 6
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 55
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims description 19
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 claims description 8
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 7
- 241000202814 Cochliomyia hominivorax Species 0.000 claims description 3
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 10
- 238000013461 design Methods 0.000 abstract description 6
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 17
- 230000009471 action Effects 0.000 description 9
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 7
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 208000006011 Stroke Diseases 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- 101000873785 Homo sapiens mRNA-decapping enzyme 1A Proteins 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 102100035856 mRNA-decapping enzyme 1A Human genes 0.000 description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 230000005012 migration Effects 0.000 description 2
- 238000013508 migration Methods 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 1
- 230000000750 progressive effect Effects 0.000 description 1
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
一种附有标准机械介面的晶圆运送装置,其主要包括用于将晶圆盒与运送容器脱离并可升高可动护罩,以便可使夹爪保持在良好的无尘等级环境中及有充分的运动空间的放置台升降机构;用于使夹爪升降至定点以抓取晶圆盒的夹爪垂直升降机构;用于利用倍行程设计将夹爪上的晶圆盒运送至定点的夹爪水平移动机构;用于将晶圆在盒内归位的夹爪摆动机构。
Description
本实用新型尤指其提供一种在确保无尘的品质下，可有效缩小晶圆运送装置占地面积，以提高室内空间利用之附有标准机械介面之晶圆运送装置。
按，在制造半导体的过程中，由于不同的加工步骤，矽晶片必需在不同的加工设备间运送，为了确保运送时矽晶片的品质，因此愈来愈多的运送工作都是使用标准的运送容器，即所谓的标准机械介面(Standard Mechanical Interface)技术(SMIF)，亦即将晶圆盒由底部穿孔之运送容器内套入，并使两者扣合，如此即可确保晶圆盒在封闭容器空间内，而可直接提握运送容器到加工定点，因此利用SMIF之技术，可以有效确保晶片的良率，并由于晶圆保持在容器的密闭空间内，故无需提高无尘室之无尘等级。在晶圆盒利用运送容器运送到加工定点后，接着即为将晶圆盒取出并运送至加工设备上，其首先必需将晶圆盒由运送容器内取出，接着就是移动晶圆盒，目前已有各不同的方法可以完成晶盒的移动，大部分均系利用机械手臂来达成所需的动作；例如请参阅图1，该装置之晶圆盒1系利用夹爪2固定在线性运动元件3上，运动元件3由固定件4承载，藉由驱动源5在固定件4上两个点间做直线运动，其缺点在于运送路线长，而运送路线即机械手臂所占的空间，所以此型之机械手臂所需占地的面积较大。请参阅图2，另一种则系利用可升降之线性载台6来承载一机械手臂7，机械手臂7可作旋转运动，而将晶圆盒8自承载台9抓取移动至加工设备，其缺点乃在于机械手臂7所需旋转空间较大，并且在机械手臂7旋转同时，线性载台6必需配合升降，但在配合动作中需考虑到晶圆盒8的水平稳定性，因此，其各部元件搭配动作精确度必需相当准确，如此不但空间较大的问题依然存在，投入的设备成本也较高。
鉴此，本实用新型的目的在于克服上述缺点而提供一种附有标准机械介面的晶圆运送装置，其在确保无尘的品质下，透过确动的线性机构，不但可降低设备成本并可缩小装置占地面积。
为达到上述目的而提供的一种附有标准机械介面之晶圆运送装置，主要由放置台升降机构、夹爪垂直升降机构、夹爪水平移动机构及夹爪摆动机构所组成；其中，该放置台升降机构包括一个放置台，该放置台设有一个具有一个开启装置的固定台座，该放置台的一侧连结于一个线性滑轨上的一个滑块上，该滑块与一驱动源相连接并由其驱动；该机构还包括一个外护罩，在该外护罩内具有一个ㄈ型可动护罩，该可动护罩连结于放置台的周侧；该夹爪垂直升降机构包括一个与夹爪相连结的升降支架，该升降支架与一个在一个线性滑轨内的滑块相连结，该滑块与一驱动源相连结并由其驱动；该夹爪水平移动机构包括一个装设于上述升降支架上的线性滑轨，该线性滑轨上的滑块连结一个下支架，该下支架上另设有一个皮带轮组，该皮带轮组的皮带的一端利用一夹紧块固定在该线性滑轨上，该皮带的另一端利用另一个夹紧块与一个上支架相连结，该上支架由在该下支架上设置的另一个线性滑轨来支撑，该滑块与一驱动源相连结并由其驱动；该夹爪摆动机构设置在上述上支架上，它包括设置在该上支架一侧上的一个驱动源，该驱动源连动于设置在该上支架另一侧上的蜗杆-蜗轮机构，其蜗轮则以一个传动轴连结于夹爪。本实用新型主要系利用放置台下方自动开启装置先将运送容器与晶圆盒脱离扣合状态，此时放置台升降机构上升并顶推运送容器上升，而晶圆盒则仍保持在原位置，在放置台升降的同时，可动护罩亦同上升，而可保持晶圆盒在与运送容器分开后仍处于无尘的保护空间内，并提供夹爪充份的运动空间；夹爪垂直升降机构利用线性滑轨的移动，将夹爪升降至定点以抓取晶圆盒；水平移动机构利用倍行程的机构设计，可将晶圆盒水平移动至相对于固定座之两倍距离的水平运送行程，透过倍行程的设计可有效缩小机械手臂在装置外部运动时所需的空间，亦即运送装置运动时所需的占地面积，而晶圆在盒内于移动时因震动可能会造成些微的移位，故辅以夹爪摆动机构可将夹爪上之晶圆盒翻摆一定角度以令其归位，而可完成晶圆运送至加工设备上，在完成晶圆的加工后，利用上述的机构，亦可将晶圆盒运送回放置台再与运送容器扣合，以进行下一阶段的加工运送；藉由本实用新型的设计，即可确保在无尘的品质下，进行晶圆的运送，且可有效缩小装置作动所需的占地面积来提高无尘室空间的利用，并以确动的线性机构作动，可降低设备成本。
为对本实用新型有进一步的了解，兹例举一较佳实施例，并配合图式说明如后：
图1：习式晶圆盒运送装置(一)之示意图。
图2：习式晶圆盒运送装置(二)之示意图。
图3-1：本实用新型放置台升降机构之前视图。
图3-2：本实用新型放置台升降机构之侧视图。
图3-3：本实用新型放置台升降机构之俯视图。
图4：本实用新型放置台上升前之外观示意图。
图5：本实用新型放置台上升后之外观示意图。
图6-1：本实用新型夹爪垂直升降机构之前视图。
图6-2：本实用新型夹爪垂直升降机构之侧视图。
图7-1：本实用新型夹爪水平移动机构之前视图。
图7-2：本实用新型夹爪水平移动机构之侧视图。
图8-1：本实用新型夹爪摆动机构之前视图。
图8-2：本实用新型夹爪摆动机构之俯视图。
图8-3：图8-1之B-B剖视图。
图9：本实用新型夹爪垂直升降、水平移动及摆动机构之外观示意图。
图10：本实用新型晶圆盒移送至加工设备之动作时序图。
图11：本实用新型晶圆盒自加工设备取回至放置台之动作时序图。
请参阅图3-1，图3-2，图3-3，图4及图5，本实用新型之放置台升降机构其放置台10中央具有一固定台座11，放置台10一侧系与一固定架12a连结，而此固定架12a则连结于线性滑轨13a之滑块14a上，而该滑块14a则由一驱动马达15带动上下，另在一侧以L型板12连结于一导引滑轨13之滑块14上，而此一滑轨13则固定于一固定梁44上，如此可增加放置台10升降时的稳定性，在外护罩16内具有一ㄈ型可动护罩17，该可动护罩17则连结于放置台10周侧，当操作人员将内装有晶圆盒18之运送容器19放置于放置台10上时，放置台下方即有自动开启装置(其为习用技术，在此不予赞述)会将运送容器19与晶圆盒18脱离扣合状态，当马达15驱动滑块14a上升时，滑块14a带动放置台10以及可动护罩17上升，由于放置台10具有一抵顶座20，而在上升时抵顶座20会同时将运送容器19顶推上升(如图3-1、图3-2虚线部分及图5)，晶圆盒18则仍留置于原固定台座11上，因此由放置台10、可动护罩17与外护罩16等即可形成较大空间，且ㄈ型可动护罩17上升后，开口侧脱离与外护罩16重叠即使一侧形成一开口状，以供夹爪水平伸出，使得夹爪能有充份的空间运动，以运送晶圆盒18至晶圆加工设备中，由于晶圆盒18脱离运送容器19时，其仍在可动护罩17的保护下，而维持在具有良好无尘等级的封闭空间内，故无尘室无需提高其无尘等级。请参阅图6-1，图6-2及图9，本实用新型在放置台10上升后，夹爪21即开始进行垂直升降及水平移动的动作，该夹爪21之垂直升降机构系利用一马达22驱动一线性滑轨23内之滑块24移动，该滑块24连结一夹爪21之升降支架25，而可由马达22带动夹爪21作垂直升降的运动，以使夹爪21升降到定点抓取晶圆盒18。请参阅图6-1、图6-2、图7-1、图7-2及图9，本实用新型之水平移动机构主要系利用皮带、皮带轮与滑轨之固定关系，在不增加机构之尺寸下，加大夹爪21运动之行程设计，其在升降支架25上横设有一线性滑轨26，其滑块27则连结一下支架28，该下支架28上另固设有一组皮带29与具有相同齿数之皮带轮30、31，皮带29的一端利用夹紧块32固定于线性滑轨26上，皮带的另一端则利用夹紧块33与上支架34连结，该上支架34则系由下支架28上之线性滑轨35所支撑，当马达36带动以螺杆37传动之滑块27移动时，下支架28及其上之皮带轮组随著滑块27移动相同距离，同时下支架28亦连动上支架34移动相同距离，另由于夹紧块32相对于滑轨26是固定不动的，因此在下支架28移动时，皮带29将由夹紧块32拉动，在皮带29及皮带轮30、31之传动下，透过夹紧块33将可拉引上支架34相对于下支架28再往前移相同的距离，故就上支架34相对于线性滑轨26的位置而言，其移动的距离包括有由下支架28带动的移动距离及由夹紧块32、33拉引皮带29移动的距离，而具有两倍的移动行程，亦即在滑块27移动A距离时，上支架34将可移动2A的行程，如此的机构设计，可缩减水平移动机构在装置外部所需的空间，亦即装置欲完成运送运动所需的占地面积，除了装置本身的面积外，亦必需包括机械手臂伸出装置外至加工设备之移动面积，而本实用新型之水平移动机构即有效降低前者之占地面积和提高后者之移动面积，故本实用新型对于无尘室可以提高其空间的利用，并以确动的线性机构传动，而可降低设备成本。请参阅图8-1，图8-2，图8-3，及图9，本实用新型在倍行程机构之上支架34上，设有一夹爪摆动机构，其系在上支架34的一侧装设一驱动马达38，其以皮带39传动至上支架34另一侧之皮带轮40，皮带轮连结于蜗杆41，与蜗杆41啮合之蜗轮42其传动轴43连结于夹爪21，因此马达38在作动时，可令蜗轮42带动传动轴43之夹爪21作旋转摇摆的动作，而此动作主要系因晶圆在盒体移动时，可能因震动而有些微的位移，因此摇摆的动作可令晶圆在盒内归位，而于晶圆盒运送至定点后，俾利加工设备的取放。请参阅图10，本实用新型在针对晶圆盒18移送至加工设备之垂直及水平动作时序上，系在将装设有晶圆盒18之运送容器19置放于放置台10，后接著，放置台升降机构令放置台10上升，此时运送容器19脱离晶圆盒18上升，夹爪垂直升降机构令夹爪21上升，夹爪抓取晶圆盒18，夹爪水平移动机构令夹爪21运送晶圆盒18至加工设备，松开夹爪21退回归原，放置台10下降。请参阅图11，当加工机具完成晶圆的加工后，其取回之作动时序系为，放置台升降机构令放置台10上升，夹爪垂直升降机构令夹爪21上升，夹爪水平移动机构令夹爪21前置至晶圆盒18处抓取晶圆盒18，夹爪21退回并将晶圆盒18放置于固定台座11，松开夹爪21，夹爪21归原，放置台10下降将运送容器19与晶圆盒18扣合。藉由图10，图11的动作时序，而完成晶圆输送至加工机具内进行加工，并于完成加工后输送回来盖上运送容器19，而使晶圆依然保持在良好的无尘等级。
综上所述，本实用新型在送运装置所需空间上，可有效降低占地面积，以提高无尘室空间的利用，且确动的线性机构除确保运动的精确度外，并可降低设备成本，大幅改善习式之缺弊，而深具实用性及进步性。
Claims (7)
1．一种附有标准机械介面之晶圆运送装置，其特征在于它包括：
放置台升降机构，该机构包括一个放置台(10)，该放置台(10)设有一个具有一个开启装置的固定台座(11)，该放置台(10)的一侧连结于一个线性滑轨(13a)上的一个滑块(14a)上，该滑块(14a)与一驱动源(15)相连接并由其驱动；该机构还包括一个外护罩(16)，在该外护罩内具有一个ㄈ型可动护罩(17)，该可动护罩(17)连结于放置台(10)的周侧；
夹爪垂直升降机构，该机构包括一个与夹爪(21)相连结的升降支架(25)，该升降支架(25)与一个在一个线性滑轨(23)内的滑块(24)相连结，该滑块(24)与一驱动源(22)相连结并由其驱动；
夹爪水平移动机构，该机构包括一个装设于上述升降支架(25)上的线性滑轨(26)，该线性滑轨(26)上的滑块(27)连结一个下支架(28)，该下支架上另设有一个皮带轮组，该皮带轮组的皮带(29)的一端利用一夹紧块(32)固定在该线性滑轨(26)上，该皮带(29)的另一端利用另一个夹紧块(33)与一个上支架(34)相连结，该上支架由在该下支架(28)上设置的另一个线性滑轨(35)来支撑，该滑块(27)与一驱动源(36)相连结并由其驱动；
夹爪摆动机构，该机构设置在上述上支架(34)上，它包括设置在该上支架(34)一侧上的一个驱动源(38)，该驱动源(38)连动于设置在该上支架(34)另一侧上的蜗杆-蜗轮机构(41,42)，其蜗轮(42)则以一个传动轴(43)连结于夹爪(21)。
2．如权利要求1所述的附有标准机械介面之晶圆运送装置，其特征在于，其中，该放置台升降机构还包括一个固定于固定梁(44)上的导引滑轨(13)。
3．如权利要求2所述的附有标准机械介面之晶圆运送装置，其特征在于，其中，该放置台升降机构之放置台(10)的另一侧以一个L型板(12)连结在该导引滑轨(13)上的滑块(14)上。
4．如权利要求1所述的附有标准机械介面之晶圆运送装置，其特征在于，其中，该放置台具有一个用于在放置台上升时抵推运送容器(19)上升的顶抵座(20)。
5．如权利要求1所述的附有标准机械介面之晶圆运送装置，其特征在于，该滑块(27)借助一个与其螺合的螺杆(37)与该驱动源(36)相连结。
6．如权利要求5所述的附有标准机械介面之晶圆运送装置，其特征在于，该下支架(28)之滑块(27)驱动方式亦可由线性马达机构来替代驱动。
7．如权利要求1所述的附有标准机械介面之晶圆运送装置，其特征在于，其中，该夹爪摆动机构的上支架(34)一侧之驱动源(38)为一马达(38)，其以一个皮带轮组(39,40)连动于上支架(34)另一侧的该蜗杆-蜗轮机构(41,42)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 97214771 CN2327664Y (zh) | 1997-06-25 | 1997-06-25 | 附有标准机械介面之晶圆运送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 97214771 CN2327664Y (zh) | 1997-06-25 | 1997-06-25 | 附有标准机械介面之晶圆运送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN2327664Y true CN2327664Y (zh) | 1999-07-07 |
Family
ID=33932121
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 97214771 Expired - Lifetime CN2327664Y (zh) | 1997-06-25 | 1997-06-25 | 附有标准机械介面之晶圆运送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN2327664Y (zh) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1292967C (zh) * | 2003-07-11 | 2007-01-03 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 晶圆载入埠的搬运装置 |
| CN1313639C (zh) * | 2004-02-19 | 2007-05-02 | 联华电子股份有限公司 | 更换炉管内气体注入管的辅助装置 |
| CN101264821B (zh) * | 2007-03-12 | 2011-04-06 | 鸿劲科技股份有限公司 | 电子组件检测分类机的载送装置 |
| CN101118375B (zh) * | 2006-07-31 | 2011-06-22 | 村田机械株式会社 | 洁净储料机和物品的保管方法 |
| CN102744487A (zh) * | 2006-11-22 | 2012-10-24 | 洛科企业有限公司 | 改进的球植入装置和方法 |
| CN104176491A (zh) * | 2013-05-23 | 2014-12-03 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 一种传输装置及等离子体加工设备 |
| CN107785296A (zh) * | 2016-08-29 | 2018-03-09 | 乐华科技股份有限公司 | 晶圆搬运装置改良结构 |
-
1997
- 1997-06-25 CN CN 97214771 patent/CN2327664Y/zh not_active Expired - Lifetime
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1292967C (zh) * | 2003-07-11 | 2007-01-03 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 晶圆载入埠的搬运装置 |
| CN1313639C (zh) * | 2004-02-19 | 2007-05-02 | 联华电子股份有限公司 | 更换炉管内气体注入管的辅助装置 |
| CN101118375B (zh) * | 2006-07-31 | 2011-06-22 | 村田机械株式会社 | 洁净储料机和物品的保管方法 |
| CN102744487A (zh) * | 2006-11-22 | 2012-10-24 | 洛科企业有限公司 | 改进的球植入装置和方法 |
| CN101264821B (zh) * | 2007-03-12 | 2011-04-06 | 鸿劲科技股份有限公司 | 电子组件检测分类机的载送装置 |
| CN104176491A (zh) * | 2013-05-23 | 2014-12-03 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 一种传输装置及等离子体加工设备 |
| CN107785296A (zh) * | 2016-08-29 | 2018-03-09 | 乐华科技股份有限公司 | 晶圆搬运装置改良结构 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN102122065B (zh) | 显微镜载玻片自动供给装置 | |
| RU2102239C1 (ru) | Устройство для передачи заготовки от первого станка к второму станку | |
| CN2327664Y (zh) | 附有标准机械介面之晶圆运送装置 | |
| CN102543801A (zh) | 一种固晶机 | |
| CN109748104A (zh) | 一种双工位聚合物锂电池上料方法 | |
| CN210260285U (zh) | 一种全自动不间断上料和下料的联动式驱动装置 | |
| CN107039324B (zh) | 一种全自动管式pecvd上下料机及方法 | |
| CN107530855B (zh) | 工件装卸装置 | |
| CN210073799U (zh) | 晶圆取片装置 | |
| CN116246988A (zh) | 刺晶型巨量转移装置 | |
| CN209774203U (zh) | 一种硅片加工设备 | |
| CN210939261U (zh) | 一种移位及翻转机械手自动抓取装置 | |
| CN210084414U (zh) | 多轴移动和自动上料的机械手 | |
| CN213242515U (zh) | 一种反应槽内晶圆组分离装置 | |
| CN110181274A (zh) | 一种cv100自动组装设备 | |
| CN214494778U (zh) | 一种移载机构 | |
| CN216470896U (zh) | 一类大型半导体印刷板取放的设备结构 | |
| CN213988853U (zh) | 一种晶圆输送上料机构 | |
| CN214526603U (zh) | 一种料盘上料及回收装置 | |
| KR100217285B1 (ko) | 다이이송장치 | |
| CN209850021U (zh) | 一种用于加工锣板的锣机 | |
| CN217780083U (zh) | 一种奶昔盖放盖结构模块 | |
| CN214520190U (zh) | 一种七轴机械手臂及去胶机 | |
| CN221026286U (zh) | 高速自动抓料分料装置 | |
| CN108724154A (zh) | 一种多夹爪内饰件机械手 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C17 | Cessation of patent right | ||
| CX01 | Expiry of patent term |