CN216470896U

CN216470896U - 一类大型半导体印刷板取放的设备结构

Info

Publication number: CN216470896U
Application number: CN202122732266.3U
Authority: CN
Inventors: 赵凯; 林海涛; 卢升; 倪海铨; 梁猛
Original assignee: Technology Semiconductor Equipment Nantong Co ltd
Current assignee: Technology Semiconductor Equipment Nantong Co ltd
Priority date: 2020-11-12
Filing date: 2021-11-09
Publication date: 2022-05-10
Anticipated expiration: 2031-11-09

Abstract

本实用新型公开了一类大型半导体印刷板取放的设备结构，包括Z方向移动结构、相机结构、Y方向移动结构、U方向旋转结构、上料平台结构、X方向移动结构；上料平台结构用于实现上料平台的升降；X方向移动结构用于实现移载平台X方向的移动；Y方向移动结构用于实现移载平台Y方向的移动；Z方向移动结构用于实现移载平台Z方向的移动；U方向旋转结构依靠旋转平台进行旋转；相机结构包括相机和相机下方带有光源。本实用新型的导体印刷板取放设备具有Z方向移动结构、相机结构、Y方向移动结构、U方向旋转结构、上料平台结构、X方向移动结构这几大部分，实现移载平台X、Y、Z、U四个方向的移动，根据料箱中各料片的位置进行移动与抓取，实现了印刷板的自动取放；提高了生产效率、避免了人工取放可能造成的误损伤。

Description

一类大型半导体印刷板取放的设备结构

技术领域

本实用新型涉及一种取放设备，具体涉及一类大型半导体印刷板取放的设备结构。

背景技术

在半导体的生产过程中，有一部分的工艺流程会涉及到大型印刷板的取放，即从料箱中取出或存放。这些工作内容假如由人工完成，则效率很低，且人工成本、时间成本较高，因此本实用新型提供了一种可自动取存的机械结构。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供一类大型半导体印刷板取放的设备结构，能够自动取存。

本实用新型提供如下技术方案：

一类大型半导体印刷板取放的设备结构，其特征在于：包括Z方向移动结构、相机结构、Y方向移动结构、U方向旋转结构、上料平台结构、X方向移动结构；所述上料平台结构用于实现上料平台的升降；所述X方向移动结构用于实现移载平台X方向的移动；所述Y方向移动结构用于实现移载平台Y方向的移动；所述Z方向移动结构用于实现移载平台Z方向的移动，所述U方向旋转结构依靠旋转平台进行旋转；所述相机结构包括相机和相机下方带有光源。

进一步的，所述上料平台结构包括上料电机、封门、卡针、传感器、缓冲器和上料平台，所述上料平台依靠上料电机带动凸轮从而使上料电机与上料平台同时上升与下降，所述上料平台两头的卡针用于固定料箱，所述上料平台左右各设置有传感器与缓冲器，所述上料平台处的封门上设有扫描传感器58。

进一步的，所述X方向移动结构包括X轴电机、X轴联轴器、X轴带轮和X轴齿带，所述X轴电机通过X轴联轴器与X轴带轮带动X轴齿带进行转动，上方移栽平台与X轴齿带固定。

进一步的，所述Z方向移动结构包括Z轴电机、Z轴联轴器、从动轴、Z轴齿带和支撑座，移载平台Z方向的移动靠上方的Z轴电机带动，通过上方的Z轴联轴器与从动轴使左右Z轴齿带保持同时转动，所述Z轴齿带底部与Z轴的支撑座固定，所述支撑座与x轴平台固定。

进一步的，所述Y方向移动结构包括第一层和第二层，第一层为旋转平台的固定板，第二层即取料爪子的连接层。

进一步的，所述旋转平台的固定板依靠丝杆传动。

进一步的，所述取料爪子的连接层上设置有四根取料爪子，四根取料爪子尾部在同一根连接轴上固定，Y轴齿轮带套在连接轴上，Y轴带轮带动Y轴齿轮带进行移动，第二层电机带动Y轴带轮，连接轴又与Y轴皮带连接，Y轴皮带转动后带动四根取料爪子进行Y方向的移动。

进一步的，所述U方向移动结构包括旋转平台，旋转平台固定于Y方向移动结构的第一层的移动平台上。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型的导体印刷板取放设备具有Z方向移动结构、相机结构、Y方向移动结构、U方向旋转结构、上料平台结构、X方向移动结构这几大部分，实现移载平台X、Y、Z、U四个方向的移动，根据料箱中各料片的位置进行移动与抓取，实现了印刷板的自动取放；提高了生产效率、避免了人工取放可能造成的误损伤。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图。

图2为图1的后视图。

图3为本实用新型上料平台的结构示意图。

图4为本实用新型上料平台的立体图。

图5为本实用新型X方向移动结构的结构示意图。

图6为图5中X轴电机处的放大示意图。

图7为本实用新型Z方向移动结构的示意图。

图8为本实用新型Y方向移动结构的示意图。

图9为本实用新型Y方向俯视图。

图10为本实用新型U方向移动结构的示意图。

图11为图10的俯视图。

图12为本实用新型相机结构的示意图。

图中：1、Z方向移动结构；2、相机结构；3、Y方向移动结构；4、U方向旋转结构；5、上料平台结构；6、X方向移动结构；

51、上料电机，52、封门，53、卡针，54、传感器，55、凸轮，56、缓冲器，57、上料平台，58、扫描传感器；

61、X轴电机，62、X轴联轴器，63、X轴带轮，64、X轴齿带,65、X轴平台；

11、Z轴电机，12、Z轴联轴器，13、从动轴，14、Z轴齿带，15、支撑座；

301、旋转平台的固定板，302、取料爪子的连接层，303、滚轮，304、第二层电机，31、丝杆，32、Y轴电机，33、丝杆滑块，34、Y轴带轮，35、Y轴齿轮带，36、连接轴，37、Y轴皮带，38、支撑轨道。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1、图2，本实用新型的一类大型半导体印刷板取放的设备结构，包括Z方向移动结构1、相机结构2、Y方向移动结构3、U方向旋转结构4、上料平台结构5、X方向移动结构6；

上料平台结构5用于实现上料平台57的升降；

X方向移动结构6用于实现移载平台X方向的移动；

Y方向移动结构3用于实现移载平台Y方向的移动；

Z方向移动结构1用于实现移载平台Z方向的移动；

U方向旋转结构4依靠旋转平台41进行旋转；

相机结构2包括相机21和相机下方带有光源22。

图3、图4所示，上料平台结构5包括上料电机51、封门52、卡针53、传感器54、缓冲器56和上料平台57，上料平台57主要依靠上料电机51带动凸轮55从而使上料电机51与上料平台同时上升与下降，以实现平台的升降功能。上料平台57两头的卡针53用于固定料箱。上料平台57左右各设置有传感器54与缓冲器56，用以检测料车是否到位。上料平台57处的封门52上设有扫描传感器58。

图5、图6所示，X方向移动结构6包括X轴电机61、X轴联轴器62、X轴带轮63和X轴齿带64，移载平台X方向的移动靠齿带传送的方式，主要结构如下图：X轴电机61通过X轴联轴器62与X轴带轮63带动X轴齿带64进行转动，上方移栽平台与X轴齿带64固定使之与皮带同时移动，即为x方向的位移。

图7所示，Z方向移动结构包括Z轴电机11、Z轴联轴器12、从动轴13、Z轴齿带14和支撑座15，Z方向移动结构1：移载平台Z方向的移动靠上方的Z轴电机11带动，通过上方的Z轴联轴器12与从动轴13使左右Z轴齿带14保持同时转动，Z轴齿带14底部与Z轴的支撑座15固定，这样即可保证支撑座的上升下降。同时支撑座15与x轴平台65固定，因此整个平台即可进行Z向移动。

图8、图9所示，Y方向移动结构3：Y轴主要由两层移动方式。

第一层为旋转平台的固定板301，依靠丝杆31传动，主要原理为第一层电机32带动丝杆31旋转，丝杆31上的丝杆滑块33与第二层的平台固定，丝杆31旋转时与丝杆滑块33进行直线运动，即可带动平台移动。

第二层即取料爪子的连接层302，原理与X轴类似，依靠第二层电机304带动Y轴带轮34，Y轴带轮34带动Y轴齿轮带35进行移动，Y轴齿轮带35套在连接轴36上，其中四根取料爪子39尾部在同一根连接轴36上固定，连接轴36与Y轴皮带37间又由连接件相固定，因此，Y轴皮带37转动后带动四根爪子进行Y方向的移动。同时这四根爪子下方设置有四根支撑轨道38，取料爪子39通过滚轮303支撑于支撑轨道38上方。当爪子抓取印刷板后，通过两排轮子使印刷板平稳移动。同时，平台轨道的两侧有两条Y轴皮带，通过电机与带轮传动可实现印刷板的传输。

图10、图11所示，U方向旋转结构4：U轴依靠旋转平台41进行旋转，旋转平台41固定于Y方向移动结构的第一层的移动平台上。上方平台通过电机带动可进行360度的旋转。

相机结构2：移载平台前端装有相机21以识别各印刷板的序号。相机下方带有光源22以提供亮度条件。

工作过程：

1、料车到位：将带有大板的料车推至上料平台57，使之触发传感器54；

2、料箱固定，传感器54感应到后，发送信号，随后上料平台57上升，料箱与料车脱离，升至一定高度后料箱与上方卡针53卡死，料箱即固定完成。

3、扫描：料箱固定完成后，上料平台57处的封门52上有扫描传感器58，通过封门的上升、下降，设备对料箱中的料片数量与位置进行确认。

4、移栽平台的移动：扫描完成后，移载平台开始移动，移载部分具有X、Y、Z、U四个方向的移动方式，根据料箱中各料片的位置进行移动与抓取。

相机结构2、Y方向移动结构3、U方向旋转结构4整体可以称作移栽平台，实现了印刷板的自动取放；提高了生产效率、避免了人工取放可能造成的误损伤。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims

1.一类大型半导体印刷板取放的设备结构，其特征在于：包括Z方向移动结构（1）、相机结构（2）、Y方向移动结构（3）、U方向旋转结构（4）、上料平台结构（5）和X方向移动结构（6）；所述上料平台结构（5）用于实现上料平台（57）的升降；所述X方向移动结构（6）用于实现移载平台X方向的移动；所述Y方向移动结构（3）用于实现移载平台Y方向的移动；所述Z方向移动结构（1）用于实现移载平台Z方向的移动；所述U方向旋转结构（4）依靠旋转平台（41）进行旋转；所述相机结构（2）包括相机（21）和相机下方带有光源（22）。

2.根据权利要求1所述的一类大型半导体印刷板取放的设备结构，其特征在于：所述上料平台结构（5）包括上料电机（51）、封门（52）、卡针（53）、传感器（54）、缓冲器（56）和上料平台（57），所述上料平台（57）依靠上料电机（51）带动凸轮（55）从而使上料电机（51）与上料平台同时上升与下降，所述上料平台（57）两头的卡针（53）用于固定料箱，所述上料平台（57）左右各设置有传感器（54）与缓冲器（56），所述上料平台（57）处的封门（52）上设有扫描传感器（58）。

3.根据权利要求1所述的一类大型半导体印刷板取放的设备结构，其特征在于：所述X方向移动结构（6）包括X轴电机（61）、X轴联轴器（62）、X轴带轮（63）和X轴齿带（64），所述X轴电机（61）通过X轴联轴器（62）与X轴带轮（63）带动X轴齿带（64）进行转动，上方移栽平台与X轴齿带（64）固定。

4.根据权利要求1所述的一类大型半导体印刷板取放的设备结构，其特征在于：所述Z方向移动结构（1）包括Z轴电机（11）、Z轴联轴器（12）、从动轴（13）、Z轴齿带（14）和支撑座（15），移载平台Z方向的移动靠上方的Z轴电机（11）带动，通过上方的Z轴联轴器（12）与从动轴（13）使左右Z轴齿带（14）保持同时转动，所述Z轴齿带（14）底部与Z轴的支撑座（15）固定，所述支撑座（15）与x轴平台固定。

5.根据权利要求1所述的一类大型半导体印刷板取放的设备结构，其特征在于：所述Y方向移动结构（3）包括第一层和第二层，第一层为旋转平台的固定板（301），第二层即取料爪子的连接层（302）。

6.根据权利要求5所述的一类大型半导体印刷板取放的设备结构，其特征在于：旋转平台的固定板（301）依靠丝杆（31）传动。

7.根据权利要求5所述的一类大型半导体印刷板取放的设备结构，其特征在于：取料爪子的连接层（302）上设置有四根取料爪子（39），四根取料爪子（39）尾部在同一根连接轴（36）上固定，Y轴齿轮带（35）套在连接轴（36）上，Y轴带轮（34）带动Y轴齿轮带（35）进行移动，第二层电机（304）带动Y轴带轮（34），连接轴（36）又与Y轴皮带（37）连接，Y轴皮带（37）转动后带动四根取料爪子（39）进行Y方向的移动。

8.根据权利要求1所述的一类大型半导体印刷板取放的设备结构，其特征在于：所述U方向旋转结构（4）包括旋转平台（41），旋转平台（41）固定于Y方向移动结构的第一层的移动平台上。