CN213988853U - 一种晶圆输送上料机构 - Google Patents
一种晶圆输送上料机构 Download PDFInfo
- Publication number
- CN213988853U CN213988853U CN202120299035.5U CN202120299035U CN213988853U CN 213988853 U CN213988853 U CN 213988853U CN 202120299035 U CN202120299035 U CN 202120299035U CN 213988853 U CN213988853 U CN 213988853U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- plate
- frame
- push rod
- seat
- gripper
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种晶圆输送上料机构，包括框架、设置于框架上的Y轴移动装置和平台装置、设置于Y轴移动装置上的Z轴移动装置、与Z轴移动装置相连接的夹框装置和推料杆装置，其中平台装置位于Y轴移动装置的一侧，Z轴移动装置包括Z轴直线模组，Z轴直线模组用于控制夹框装置进行Z轴方向上的运动，Y轴移动装置包括Y轴直线模组，Y轴直线模组用于控制夹框装置、推料装置和Z轴移动装置进行Y轴方向上的运动，Y轴直线模组和Z轴直线模组呈垂直关系。本实用新型的有益效果是，上料机构实现了全自动化上料，无需人员取放，减少很多人力成本，实用性强，减少人员取放带来了产品污染、损坏等风险。
Description
技术领域
本实用新型涉及机械设备技术领域，特别是一种晶圆输送上料机构。
背景技术
晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。
目前，晶圆的上料操作，通常还是由人工完成，劳动强度大，上片效率低，鉴于上述问题，有必要对晶圆的上料方式加以改进，使其能够适应晶圆上料的需要。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决上述问题，设计了一种晶圆输送上料机构。
实现上述目的本实用新型的技术方案为，一种晶圆输送上料机构，包括框架、设置于所述框架上的Y轴移动装置和平台装置、设置于所述Y轴移动装置上的Z轴移动装置、与所述Z轴移动装置相连接的夹框装置和推料杆装置，其中所述平台装置位于所述Y轴移动装置的一侧。
作为本实用新型的进一步说明，所述推料杆装置包括与所述Z轴移动装置相连接的推杆支架、设置于所述推杆支架上的推杆安装面板、设置于所述推杆安装面板上的第一直线导轨、设置于所述第一直线导轨一侧的转动组件、设置于所述第一直线导轨上的移载组件。
作为本实用新型的进一步说明，所述移载组件包括设置于所述第一直线导轨上的推杆滑座、设置于所述推杆滑座上的第二直线导轨和弹簧固定座、设置于所述第二直线导轨上的推杆固定块、设置于所述弹簧固定座和所述推杆固定块之间的弹簧、设置于所述推杆固定块上的晶圆推杆、设置于所述推杆滑座和所述推杆固定块同一侧的推杆连接板、设置于所述推杆连接板上的压板，其中所述压板与所述转动组件连接。
作为本实用新型的进一步说明，所述转动组件包括第一安装板、第二安装板、驱动电机、两个同步轮、同步带，所述第一安装板和第二安装板均位于所述第一直线导轨的一侧，所述驱动电机与所述第一安装板相连接，其中一个同步轮与所述驱动电机的驱动轴相连接、另一个同步轮与所述第二安装板相连接，所述同步带呈闭环状，所述同步带绕于两个同步轮上。
作为本实用新型的进一步说明，所述夹框装置包括与所述Z轴移动装置相连接的抓手底板、设置于所述抓手底板一侧的夹框板、设置于所述抓手底板和所述夹框板之间的气缸、分别设置于所述气缸两侧的抓手侧板、与所述气缸相连接的夹框滑座、设置于所述夹框滑座上的上抓手、设置于所述夹框板和所述夹框滑座之间的高度调节座、设置于所述高度调节座和所述夹框滑座之间的第三直线导轨、与所述夹框板的下端相连接的托板安装座、与所述托板安装座相连接的料盒托板和下抓手，其中所述下抓手嵌于所述料盒托板内，上抓手和下抓手上下相对称，所述抓手侧板的两端分别和所述夹框板和所述抓手底板相连接。
作为本实用新型的进一步说明，所述托板安装座呈L形，所述夹框板与所述托板安装座的竖直部分相连接，所述料盒托板与所述托板安装座的水平部分相连接。
作为本实用新型的进一步说明，所述夹框滑座呈7字形，所述夹框滑座的竖直部分呈π字形，所述夹框滑座的水平部分位于所述上抓手和所述气缸的伸出端之间。
作为本实用新型的进一步说明，所述平台装置包括传输面板、驱动组件、设置于所述传输面板上表面上的挡板，其中所述平台装置设置有两层，两层所述平台装置之间、所述平台装置和所述框架之间均通过多根圆形支柱相连接。
作为本实用新型的进一步说明，所述Y轴移动装置包括Y轴直线模组。
作为本实用新型的进一步说明，所述Z轴移动装置包括Z轴直线模组。
其有益效果在于，通过设置有两层平台装置，上层的平台装置用于传输满料料盒，下层的平台装置用于传输空料盒，实现料盒的传输；通过设置有夹框装置实现对料盒的抓取；通过推料杆装置从料盒中推晶圆进入轨道检测，实现晶圆的上料；本实用新型实现了全自动化上料，无需人员取放，减少很多人力成本，实用性强，减少人员取放带来了产品污染、损坏等风险。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图；
图2是本实用新型所述推料杆装置的结构示意图；
图3是本实用新型图2中的局部放大结构示意图；
图4是本实用新型所述夹框装置的结构示意图；
图5是本实用新型所述夹框装置另一视角的结构示意图；
图6是本实用新型所述夹框滑座和所述第三直线导轨的结构示意图；
图中，1、框架；2、Y轴移动装置；3、平台装置；301、传输面板； 302、驱动组件；303、挡板；304、圆形支柱；4、Z轴移动装置；5、夹框装置；501、抓手底板；502、夹框板；503、气缸；504、抓手侧板；505、夹框滑座；506、上抓手；507、高度调节座；508、第三直线导轨；509、托板安装座；510、料盒托板；511、下抓手；6、推料杆装置；601、推杆支架；602、推杆安装面板；603、第一直线导轨； 6041、第一安装板；6042、第二安装板；6043、驱动电机；6044、同步轮；6045、同步带；6051、推杆滑座；6052、第二直线导轨；6053、弹簧固定座；6054、推杆固定块；6055、弹簧；6056、晶圆推杆；6057、推杆连接板；6058、压板。
具体实施方式
由于现在对于晶圆的要求越来越高，而现有的晶圆上料时多采用人工，还存在劳动强度大、上片效率低、自动化较低等问题，因此我们设计了一种晶圆输送上料机构，下面将根据附图对本实用新型的技术方案做详细地阐述；
如图1-6所示，一种晶圆输送上料机构，包括框架1、设置于框架 1上的Y轴移动装置2和平台装置3、设置于Y轴移动装置2上的Z轴移动装置4、与Z轴移动装置4相连接的夹框装置5和推料杆装置6，其中平台装置3位于Y轴移动装置2的一侧，Z轴移动装置4包括Z轴直线模组，Z轴直线模组用于控制夹框装置5进行Z轴方向上的运动， Y轴移动装置2包括Y轴直线模组，Y轴直线模组用于控制夹框装置5、推料装置和Z轴移动装置4进行Y轴方向上的运动，Y轴直线模组和Z 轴直线模组呈垂直关系；同时还需要说明的是该上料机构中多处还安装有传感器，用于检测对应的装置及其相关结构位置上的变化。
平台装置3包括传输面板301、驱动组件302、设置于传输面板301 上表面上的挡板303，其中平台装置3设置有两层，两层平台装置3之间、平台装置3和框架1之间均通过多根圆形支柱304相连接；上层的平台装置3用于传输满料料盒，下层的平台装置3用于传输空料盒，驱动组件302主要通过带传动原理实现传输，传输面板301呈H形，这样便于夹框装置5对料盒进行抓取；所以平台装置3主要起到了料盒传输作用。
夹框装置5包括与Z轴移动装置4相连接的抓手底板501、设置于抓手底板501一侧的夹框板502、设置于抓手底板501和夹框板502之间的气缸503、分别设置于气缸503两侧的抓手侧板504、与气缸503 相连接的夹框滑座505、设置于夹框滑座505上的上抓手506、设置于夹框板502和夹框滑座505之间的高度调节座507、设置于高度调节座 507和夹框滑座505之间的第三直线导轨508、与夹框板502的下端相连接的托板安装座509、与托板安装座509相连接的料盒托板510和下抓手511，其中下抓手511嵌于料盒托板510内，上抓手506和下抓手 511上下相对称，抓手侧板504的两端分别和夹框板502和抓手底板 501相连接；托板安装座509呈L形，夹框板502与托板安装座509的竖直部分相连接，料盒托板510与托板安装座509的水平部分相连接；夹框滑座505呈7字形，夹框滑座505的竖直部分呈π字形，夹框滑座505的水平部分位于上抓手506和气缸503的伸出端之间；夹框装置5通过上抓手506和下抓手511对料盒进行夹紧抓取，料盒托板510 的长度根据料盒的大小决定，通过气缸503伸出，夹框滑座505向上运动，同时第三直线导轨508带动高度调节座507同步运动，这样上抓手506就会向上与下抓手511之间的距离变大，这样便于对料盒的抓取，气缸503复位就可以将料盒夹紧在上抓手506和下抓手511之间，这就是夹框装置5的工作原理。
推料杆装置6包括与Z轴移动装置4相连接的推杆支架601、设置于推杆支架601上的推杆安装面板602、设置于推杆安装面板602上的第一直线导轨603、设置于第一直线导轨603一侧的转动组件、设置于第一直线导轨603上的移载组件；移载组件可以通过第一直线导轨603 进行移动；
移载组件包括设置于第一直线导轨603上的推杆滑座6051、设置于推杆滑座6051上的第二直线导轨6052和弹簧固定座6053、设置于第二直线导轨6052上的推杆固定块6054、设置于弹簧固定座6053和推杆固定块6054之间的弹簧6055、设置于推杆固定块6054上的晶圆推杆6056、设置于推杆滑座6051和推杆固定块6054同一侧的推杆连接板6057、设置于推杆连接板6057上的压板6058，其中压板6058与转动组件连接；
转动组件包括第一安装板6041、第二安装板6042、驱动电机6043、两个同步轮6044、同步带6045，第一安装板6041和第二安装板6042 均位于第一直线导轨603的一侧，驱动电机6043与第一安装板6041 相连接，其中一个同步轮6044与驱动电机6043的驱动轴相连接、另一个同步轮6044与第二安装板6042相连接，同步带6045呈闭环状，同步带6045绕于两个同步轮6044上。
满载的料盒经上层平台装置3传输至夹框装置5，Y轴移动装置2 沿Y轴方向移动，夹框装置5将通过Z轴移动装置4沿Z轴方向下降，夹框装置5移至推料杆装置6的一侧，在本实用新型中将晶圆推杆6056 设计成7形，驱动电机6043驱动其上的同步轮6044转动，同步轮6044 和同步带6045之间进行带传动，同步带6045转动，压板6058就会被带着移动，这样与其相连接的推杆连接板6057、推杆滑座6051和推杆固定块6054都会被带着做同步移动，此时第一直线导轨603也会进行同步移动，由于晶圆推杆6056设置在推杆固定块6054上，晶圆推杆 6056就实现了移动，而第二直线导轨6052和弹簧6055可以对晶圆推杆6056有缓冲作用，这就是推料杆装置6的工作原理，通过晶圆推杆 6056的移动从料盒中推晶圆进入轨道检测，实现晶圆的上料，然后上完料的料盒再由夹框装置5放置下层平台装置3传输出去，平台装置3 一次可以存放多个满料料盒，夹框再夹取下一个满载料盒进行上料，采用本实用新型的上料机构实现了全自动化上料，无需人员取放，减少很多人力成本，实用性强，减少人员取放带来了产品污染、损坏等风险。
上述技术方案仅体现了本实用新型技术方案的优选技术方案，本技术领域的技术人员对其中某些部分所可能做出的一些变动均体现了本实用新型的原理，属于本实用新型的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种晶圆输送上料机构，其特征在于，包括框架(1)、设置于所述框架(1)上的Y轴移动装置(2)和平台装置(3)、设置于所述Y轴移动装置(2)上的Z轴移动装置(4)、与所述Z轴移动装置(4)相连接的夹框装置(5)和推料杆装置(6)，其中所述平台装置(3)位于所述Y轴移动装置(2)的一侧。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆输送上料机构，其特征在于，所述推料杆装置(6)包括与所述Z轴移动装置(4)相连接的推杆支架(601)、设置于所述推杆支架(601)上的推杆安装面板(602)、设置于所述推杆安装面板(602)上的第一直线导轨(603)、设置于所述第一直线导轨(603)一侧的转动组件、设置于所述第一直线导轨(603)上的移载组件。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆输送上料机构，其特征在于，所述移载组件包括设置于所述第一直线导轨(603)上的推杆滑座(6051)、设置于所述推杆滑座(6051)上的第二直线导轨(6052)和弹簧固定座(6053)、设置于所述第二直线导轨(6052)上的推杆固定块(6054)、设置于所述弹簧固定座(6053)和所述推杆固定块(6054)之间的弹簧(6055)、设置于所述推杆固定块(6054)上的晶圆推杆(6056)、设置于所述推杆滑座(6051)和所述推杆固定块(6054)同一侧的推杆连接板(6057)、设置于所述推杆连接板(6057)上的压板(6058)，其中所述压板(6058)与所述转动组件连接。
4.根据权利要求2所述的一种晶圆输送上料机构，其特征在于，所述转动组件包括第一安装板(6041)、第二安装板(6042)、驱动电机(6043)、两个同步轮(6044)、同步带(6045)，所述第一安装板(6041)和第二安装板(6042)均位于所述第一直线导轨(603)的一侧，所述驱动电机(6043)与所述第一安装板(6041)相连接，其中一个同步轮(6044)与所述驱动电机(6043)的驱动轴相连接、另一个同步轮(6044)与所述第二安装板(6042)相连接，所述同步带(6045)呈闭环状，所述同步带(6045)绕于两个同步轮(6044)上。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆输送上料机构，其特征在于，所述夹框装置(5)包括与所述Z轴移动装置(4)相连接的抓手底板(501)、设置于所述抓手底板(501)一侧的夹框板(502)、设置于所述抓手底板(501)和所述夹框板(502)之间的气缸(503)、分别设置于所述气缸(503)两侧的抓手侧板(504)、与所述气缸(503)相连接的夹框滑座(505)、设置于所述夹框滑座(505)上的上抓手(506)、设置于所述夹框板(502)和所述夹框滑座(505)之间的高度调节座(507)、设置于所述高度调节座(507)和所述夹框滑座(505)之间的第三直线导轨(508)、与所述夹框板(502)的下端相连接的托板安装座(509)、与所述托板安装座(509)相连接的料盒托板(510)和下抓手(511)，其中所述下抓手(511)嵌于所述料盒托板(510)内，上抓手(506)和下抓手(511)上下相对称，所述抓手侧板(504)的两端分别和所述夹框板(502)和所述抓手底板(501)相连接。
6.根据权利要求5所述的一种晶圆输送上料机构，其特征在于，所述托板安装座(509)呈L形，所述夹框板(502)与所述托板安装座(509)的竖直部分相连接，所述料盒托板(510)与所述托板安装座(509)的水平部分相连接。
7.根据权利要求5所述的一种晶圆输送上料机构，其特征在于，所述夹框滑座(505)呈7字形，所述夹框滑座(505)的竖直部分呈π字形，所述夹框滑座(505)的水平部分位于所述上抓手(506)和所述气缸(503)的伸出端之间。
8.根据权利要求1所述的一种晶圆输送上料机构，其特征在于，所述平台装置(3)包括传输面板(301)、驱动组件(302)、设置于所述传输面板(301)上表面上的挡板(303)，其中所述平台装置(3)设置有两层，两层所述平台装置(3)之间、所述平台装置(3)和所述框架(1)之间均通过多根圆形支柱(304)相连接。
9.根据权利要求1所述的一种晶圆输送上料机构，其特征在于，所述Y轴移动装置(2)包括Y轴直线模组。
10.根据权利要求1所述的一种晶圆输送上料机构，其特征在于，所述Z轴移动装置(4)包括Z轴直线模组。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202120299035.5U CN213988853U (zh) | 2021-02-02 | 2021-02-02 | 一种晶圆输送上料机构 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202120299035.5U CN213988853U (zh) | 2021-02-02 | 2021-02-02 | 一种晶圆输送上料机构 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN213988853U true CN213988853U (zh) | 2021-08-17 |
Family
ID=77252705
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202120299035.5U Active CN213988853U (zh) | 2021-02-02 | 2021-02-02 | 一种晶圆输送上料机构 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN213988853U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113941747A (zh) * | 2021-11-02 | 2022-01-18 | 厦门航天思尔特机器人系统股份公司 | 一种上锡膏生产线的上料设备 |
-
2021
- 2021-02-02 CN CN202120299035.5U patent/CN213988853U/zh active Active
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113941747A (zh) * | 2021-11-02 | 2022-01-18 | 厦门航天思尔特机器人系统股份公司 | 一种上锡膏生产线的上料设备 |
| CN113941747B (zh) * | 2021-11-02 | 2022-12-20 | 厦门航天思尔特机器人系统股份公司 | 一种上锡膏生产线的上料设备 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN105501973B (zh) | 一种主板散热模组自动上料机 | |
| CN106144473A (zh) | 一种机械手定位抓取机构 | |
| CN107758340B (zh) | 一种电池弹夹下料装置 | |
| CN213988853U (zh) | 一种晶圆输送上料机构 | |
| CN204977749U (zh) | 一种全自动玻璃面板印刷机 | |
| CN112224852A (zh) | 一种铝材全自动装框机 | |
| CN116246988A (zh) | 刺晶型巨量转移装置 | |
| CN113044288A (zh) | 一种上下料一体式贴膜装置 | |
| CN113800263B (zh) | 一种集成芯片智能移载摆放设备 | |
| CN111003517A (zh) | 一种磁力下料装置 | |
| CN201952003U (zh) | 料盒循环装置及系统 | |
| CN110816967B (zh) | 一种细长杆件自动堆码打包装置及打包方法 | |
| CN115384887B (zh) | 一种用于玻璃基板的拆包撕膜机 | |
| CN213354973U (zh) | 一种自动包装机 | |
| CN215156004U (zh) | 一种上下料一体式贴膜装置 | |
| CN211944950U (zh) | 一种磁力下料装置 | |
| CN212291871U (zh) | 一种移栽装置 | |
| CN214113073U (zh) | 大容量放袋仓装置 | |
| CN215401545U (zh) | 一种芯片封装用晶圆框架收集装置 | |
| CN221070072U (zh) | 一种载具自动回流循环使用的硅片上料装置 | |
| CN217995048U (zh) | 一种拆包撕膜设备 | |
| CN218750881U (zh) | 一种石英坩埚转运设备 | |
| CN213058897U (zh) | 落料机空托盘自动补给机构 | |
| CN215176956U (zh) | 一种自动抓取锂电池材料匣钵的装置 | |
| CN219729690U (zh) | 一种复合管卸管移动装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |