TW200806549A - Clean stocker and method of storing articles - Google Patents

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200806549 (1) 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明是關於清淨地保管半導體曝光用之光柵等的物 品之清淨貯藏庫或使用該清淨貯藏庫的保管方法。 【先前技術】 半導體等的曝光係利用光柵，光柵則是在貯藏庫與曝 • 光裝置之間收納在收納盒中來進行搬運。有關光柵的保管 ，在日本專利文獻1中已有記載，將保管裸露的光柵之棚 架及保管收納盒之棚架，設置在搬運裝置之行走路線的兩 側。然而，這種方式會有因搬運裝置的行走風而污染光柵 之虞。 〔專利文獻1〕 日本專利3 6 8 2 1 7 0號 【發明內容】 # 〈發明所欲''解決之課題〉 本發明的課題係要既緊致又清淨地保管多數的物品及 ： 其容器。 f 本發明的申請專利範圍第2、3項中所追加的課題係 要更緊致地保管多數個物品及其容器。 本發明的申請專利範圍第4項中所追加的課題係要使 收納了物品之容器可以有效率地進出庫。 本發明的其他課題係要提供既緊致又清淨地保管多數 個物品及其容器來進行進出庫的方、法。 4- (2) 200806549 <用以解決課題之手段> 本發明是一種將物品收納在容器內，從倉 進出庫，並且在清淨貯藏庫內設有清淨用氣體 清淨貯藏庫，其特徵爲：設置用來對容器進行 出之開關裝置，並且以平面來看時，構成重疊 下重疊地，將從容器取出之物品的保管棚架配 將容器的保管棚架配置在下側，還設有：在前 與倉庫進出口和容器的保管棚架之間，用來搬 器搬運裝置、及在前述開關裝置與物品的保管 用來搬運物品之物品搬運裝置。 前述物品的保管棚架與容器的保管棚架， 相互獨立，可以水平旋轉自如之旋轉式的棚架 尤其，最好是中間隔著前述開關奘置，將 運裝置與容器搬運裝置相對向地配置在前述物 架及容器的保管棚架的其中一側。 另外，最好是在前述容器搬運裝置可以搬 置，除了前述容器的保管棚架之外，還另外設 容器之固定的棚架。 另外，本發明是一種將物品收納在容器內 出口來進出庫，並且設有淨用氣體的下向流， 物品之方法，其特徵爲：利用開關奘置，對從 來進出庫的容器進行物品裝入取出，以平面來 重疊的方式在上下重疊地，將物品的保管棚架 庫進出口來 的下向流之 物品裝入取 的方式在上 置在上側， 述開關裝置 運容器之容 棚架之間， 最好是各別 〇 則述物品搬 品的保管棚 運容器的位 置用來收納 ，從倉庫進 清淨地保管 倉庫進出口 看時，構成 配置在上側 -5- 200806549 (3) ，將容器的保管棚架配置在下側，依照從物品的保管棚架 側往容器的保管棚架側的順序，供應清淨用氣體’設置用 來搬運容器之容器搬運裝置及用來搬運物品之物品搬運裝 置，在開關裝置與倉庫進出口和容器的保管棚架之間’利 * 用容器搬運裝置來搬運容器，並且在物品的保管棚架與開 " 關奘置之間，利用物品搬運裝置來搬運物品。 本提案書中，有關清淨貯藏庫的記載，只要沒有特別 ϋ 的需求的話，也適用於使用清淨貯藏庫之物品的保管方法 ，又有關物品的保管方法的記載，只要沒有特別的需求的 話，也適用於清淨貯藏庫。進而，實施例係以半導體曝光 用的光柵及保管收納該光柵的收納盒爲例，不過保管物品 的種類或收納物品之容器的種類本身則是任意。 【實施方式】 以下，說明用來實施本發明的最佳實施例。 <實施例> ： 第1〜5圖中表示實施例中之清淨貯藏庫2及物品的 ~ 保管方法。圖中，圖號2爲清淨貯藏庫，被配置在半導體 工廠或液晶工廠等的清淨室內。圖號4爲光柵用旋轉棚架 ，具備有上下多段的多數個段，在各棚架內保管半導體或 液晶基板之曝光用的光柵，光柵用旋轉棚架4係全體成爲 一體來進行旋轉，各每個段並不旋轉。此外，爲了要以更 加高速地進行光柵的裝入取出，也可以以將光柵用旋轉棚 -6 - (4) (4)200806549 架4分割成上下複數個區塊，各每個區塊獨立地旋轉的方 式來構成。圖號6爲收納盒用旋轉棚架，保管取出光柵之 後的收納盒，收納盒的保管數量小於光柵的保管數量，例 如爲該1 / 1 〇〜1 / 1 00程度。收納盒用旋轉棚架6爲上下 多段的旋轉棚架，全體一體地旋轉。 從正面側來看清淨貯藏庫2的情況（第1圖），在該 內部的前面側左右的其中一方設置收納盒搬運裝置8，在 另一方設置光柵搬運裝置10，將該兩搬運裝置設置在旋 轉棚架4、6之前面側的其中一側，在該兩之間配置收納 盒開啓器1 2。另外，將收納盒用固定棚架1 4、1 5例如設 置在收納盒開啓器1 2的上下，不過也可以只設置在收納 盒開啓器1 2的上下其中一方。進而，搬運裝置8、1 0沿 著升降用導件9、11升降。收納盒搬運裝置8例如爲在2 段的臂8a、8b的前端設置連結手的裝置，具有在水平面 內動作的3個關節8 d、8 e、8 f，這些關節例如可以獨立地 動作，在2段的臂可達到的範圍內，可以朝向任意的方向 搬運收納盒26。光柵搬運裝置1 0也是同樣，在利用關節 1 0c、1 0d來動作之2段的臂1 0a、1 Ob的前端連結手的裝 置。光柵搬運裝置10之連結手的構成，以下參考第4圖 來進行說明。 在清淨貯藏庫2的最上部具有清淨用氣體供應部16 ，例如以下向流來供應清淨空氣或氮氣等的清淨用氣體。 清淨用氣體供應部1 6爲具備有清淨用氣體的生成手段或 扇形濾清器單元的構成，或者是將來自清淨室的頂棚之清 18' 200806549 (5) 淨空氣的下向流送入到貯藏庫2內的構成等。圖號 1 9爲設置在清淨貯藏庫2的高處之高架行走車用裝 ，在與高架行走車（未圖示）之間，進行第3圖所示 納盒26的進出庫。圖號20、21爲地上側裝載埠，例 ' 作者要進行收納盒26的進出庫時使用。圖號22爲終 ' 在以人手來操作清淨貯藏庫2的情況或資料的輸入輸 者是收納盒ID的讀取等使用。圖號24爲清淨貯藏庫 φ 外殻。 光柵用旋轉棚架4被分割成複數個區塊3 0 (第 )，外側設有凸緣2 8，個區塊3 0的各每個段3 1，以 凸緣28來提起上下重疊的段3 1的方式來構成（第4 。驅動部3 2係令光柵用旋轉棚架4旋轉，旋轉棚架 內側的閒置空間係作爲氣體流通路3 6來使用，從清 氣體供應部1 6供應給光柵用旋轉棚架4之清淨用氣 經由氣體流通路3 6，被排往下側（第2圖）。收納 Φ 旋轉棚架6中，在旋轉棚架的中央具有驅動部3 4， 架6旋轉，並且從該周圍的氣體流通路3 8，將棚架 . 的清淨用氣體向下排氣（第3圖）。 ^ 第4圖中表示光柵用旋轉棚架中的區塊30、及 搬運裝置10的前端之連結手42和44。連結手42係 持凸緣來向上側提起，可以裝入取出光柵（未圖示） 式構成。例如在連結手42的下側具有光柵用的連結」 。這兩連結手係利用關結40、41，在水平面內獨立 轉，利用連結手42來夾持凸緣，將段3丨a、3 1 b向上 載璋 的收 如操 端， 出或 2的 2圖 利用 圖） 4之 淨用 體係 盒用 令棚 6內 光柵 以夾 的方 戶44 地旋 側提 -8- 200806549 (6) 起，則連結手44利用關節41來轉動，而裝入取出段31b 的下側之光柵。圖號46爲清淨用氣體供應流通路，由設 置在各段3 1的開口或者是濾清器用的膜等所組成，將清 i 淨用氣體供應給光柵側。 說明實施例的動作。以高架行走車或人手等搬運到裝 載埠1 8〜2 1之收納盒26，利用收納盒搬運裝置8來搬運 到收納盒開啓器1 2或是收納盒用固定棚架1 4、1 5。裝載 φ 埠1 8、1 9與裝載埠20、2 1以及收納盒開啓器1 2與固定 棚架14、1 5，高度標準並不相同，所以令收納盒搬運裝 置8沿著升降用導件9升降。此處，多數個收納盒連續入 庫的情況，收納盒用固定棚架1 4、1 5則作爲用收納盒開 啓器1 2的處理太慢用來緩衝之緩衝區來使用。另外，推 測爲曝光裝置的使用頻率很高，且入庫後立即要出庫之光 柵，不必利用收納盒開啓器1 2來使收納盒2 6分離，在裝 入在收納盒26的狀態下，直到出庫爲止，保管在收納盒 # 用固定棚架1 4、1 5。經由收納盒開啓器1 2所取出的光柵 ，利用光柵搬運裝置1 0收納到光栅用旋轉棚架4。此處 • ，同時進行光柵用旋轉棚架4的旋轉、及光柵搬運裝置 _ 1 〇的升降。如同第4圖的方式，提起所要的段來裝入取 出光柵。另外，餘留在收納盒開啓器1 2之空的收納盒， 利用收納盒搬運裝置8，收納到收納盒用旋轉棚架6。 收納盒出庫的情況，藉由收納盒搬運裝置8來從收納 盒用旋轉棚架6取出空的收納盒，設定在收納盒開啓器 12，同樣地藉由光柵搬運裝置10來從光柵用旋轉棚架4 -9 - 200806549 (7) 取出所要的光柵，藉由收納盒開啓器1 2來設定在收納盒 內。設定了光柵之收納盒，也可以立即利用收納盒搬運裝 置8來搬運到裝載埠18〜21，不過裝載埠18〜21堵塞的 話，暫時保管在收納盒用固定棚架1 4、1 5，等待裝載埠 1 8〜21空出。 清淨貯藏庫2的內部則是清淨用氣體供應部16的清 淨用氣體最先供應給光柵用旋轉棚架4，然後再供應給收 φ 納盒用旋轉棚架6。因而，收納了裸露的光柵之光柵用旋 轉棚架4，尤其要保持清淨的氛圍，可以防止光柵受到污 染。 第5圖中以示意地表示收納盒搬運裝置8及光柵搬運 裝置1 〇的動作範圍。收納盒搬運裝置8係在收納盒用旋 轉棚架6以及收納盒開啓器1 2、收納盒用固定棚架1 4和 1 5、裝載埠1 8〜2 1之間搬運收納盒，令持有多段的臂及 複數個關節之搬運裝置本體，沿著升降用導件升降，以對 # 於各種的高度水平面，在狹窄的空間內，可以有效率地搬 運收納盒。光柵搬運裝置10係在光栅用旋轉棚架4與收 ; 納盒開啓器1 2之間搬運光柵，同樣地令具備有多段的臂 . 及多數個關節之搬運裝置本體，沿著升降用導件升降，以 在狹窄的空間內，對於各種的高度水平面可以搬運光柵。 然後，上下重疊旋轉棚架4、6，在該前面側的閒置空間 ，以收納盒開啓器1 2爲中心來對向地配置搬運裝置8、 1 0，可以有效率地進行貯藏庫內的搬運。另外，在收納盒 開啓器1 2之上下的閒置空間，設置收納盒用固定棚架14 -10- 200806549 (8) 、1 5，可以成爲收納盒進出庫的緩衝區。 實施例獲得以下的效果： (1 )從清淨用氣體供應部1 6，經由光栅用旋轉棚架 .. 4，將清淨用氣體供應給收納盒用旋轉棚架6，可以特別 清淨地保持光柵用旋轉棚架4內的氛圍。 (2 )在收納盒用旋轉棚架6保管少於保管光柵的數 量之數量的收納盒即可，所以使用光柵用旋轉棚架4，可 φ 以既有效率又緊致地保管多數個光柵。 (3 )使用旋轉棚架4、6，則搬運裝置8、1 0不必對 於棚架4、6來進行物品或容器的裝入取出，可以縮小搬 運裝置8、10使用的空間。 (4 )在上下重疊之旋轉棚架4、6的其中一側，中間 隔著收納盒開啓器1 2，設置搬運裝置8、1 〇，可以在狹小 的空間，從裝載埠起至收納盒用旋轉棚架爲止的範圍內， 搬運收納盒，還可以在收納盒開啓器與光柵用旋轉棚架之 • 間，搬運收納盒。 ： 〔發明效果〕 ， 本發明係將物品的保管棚架配置在上側’將容器的保 管棚架配置在下側，供應清淨用氣體的下向流’所以可以 利用保管棚架來清淨地保管從容器取出的物品。然後’因 爲從容器取出物品來予以保管，所以可以緊致地保管多數 個物品。所保管的物品數量與容器數量不必相等’例如容 器數量少於物品數量，在物品的進出庫中只保管必要數量 11 - (9) (9)200806549 的容器，可以更緊致地收納多數個物品。 此處，以各別相互獨立，可以水平旋轉自如之旋轉式 的棚架（以下稱爲旋轉棚架）來構成物品的保管棚架與容 器的保管棚架，則容器搬運裝置或物品搬運裝置，只要在 旋轉棚架的特定位置，可以從棚架裝入取出容器或物品即 可。因而，可以縮小該兩種搬運裝置的動作範圍，結果是 可以更緊致地保管多數個物品或容器。進而，旋轉棚架中 ，在棚架的中心部餘留空間，可以將該部分用來作爲清淨 用氣體的排氣通路。 此處，中間隔著前述開關奘置，將物品搬運裝置與容 器搬運裝置相對向地配置在物品的保管棚架及容器的保管 棚架的其中一側，則可以更緊致地配置該兩搬運裝置。尤 其，該兩搬運裝置由搬運裝置本體及其升降手段來構成的 話，則即使將容器或物品的旋轉棚架分別設爲上下多段， 且開關裝置與該兩棚架的高度水平面不相同，仍很容易就 可以搬運容器或物品。 此處，除了前述容器的旋轉棚架之外，還另外設置用 來收納容器之固定的棚架，預先保管收納了預定要出庫的 物品之容器，則可以在短時間內有效率地出庫。進而，連 續進行入庫的情況，可以在將容器設定在開關裝置之前暫 時保管在固定的棚架內。在這些原因下，可以有效率地進 行進出庫。 【圖式簡單說明】 -12 - 200806549 (10) 第1圖爲實施例的清淨貯藏庫之正面圖。 第2圖爲第1圖中的II 一 II方向之水平剖面圖。 第3圖爲第1圖中的III 一 III方向之水平剖面圖。 _ 第4圖爲表示實施例中的光柵用連結手之示意圖。 第5圖爲表示對於竇施例中的2個旋轉棚架及收納盒 開啓器、固定棚架、裝載埠，搬運裝置的動作範圍之圖。 φ 【主要元件符號說明】 2 :清淨貯藏庫 4 :光柵用旋轉棚架 6 :收納盒用旋轉棚架 8 :收納盒搬運裝置 10 :光柵搬運裝置 9、11 :升降用導件 1 2 :收納盒開啓器 # 1 4、1 5 :收納盒用固定棚架 1 6 :清淨用氣體供應部 : 1 8、1 9 :高架行走車用裝載埠 . 20、21 :地上側裝載埠 22 :終端 24 _·外殼 26 :收納盒 28 :凸緣 3 0:區塊 -13- 200806549 (11) 31 : 32、 36、 40、 42 - 段 3 4 :驅動部 3 8 :氣體流通路 41 :關節 44 :連結手 46 :清淨用氣體供應流通路

Claims (1)

1. 200806549 (1) 十、申請專利範圍 1. 一種清淨貯藏庫，是將物品收納在容器內從倉庫進 出口來進出庫，並且在清淨貯藏庫內設有清淨用氣體的下 β 向流之清淨貯藏庫，其特徵爲： 設置用來對容器進行物品裝入取出之開關裝置， 並且以平面來看時，構成重疊的方式在上下重疊地， 將從容器取出之物品的保管棚架配置在上側，將容器的保 Φ 管棚架配置在下側， 還設有： 在前述開關裝置與倉庫進出口和容器的保管棚架之間 ，用來搬運容器之容器搬運裝置；及 在前述開關裝置與物品的保管棚架之間，用來搬運物 品之物品搬運裝置。 如申請專利範圍第1項所記載之清淨貯藏庫，其中 ，前述物品的保管棚架與容器的保管棚架，係各別相互獨 Φ 立，可以水平旋轉自如之旋轉式的棚架。 3 .如申請專利範圍第2項所記載之清淨貯藏庫，其中 ： ，中間隔著前述開關奘置，將前述物品搬運裝置與容器搬 . 運裝置相對向地配置在前述物品的保管棚架及容器的保管 棚架的其中一側。 4.如申請專利範圍第2項所記載之清淨貯藏庫，其中 ，在前述容器搬運裝置可以搬運容器的位置，‘除了前述容 器的保管棚架之外，還另外設置用來收納容器之固定的棚 架。 -15- 200806549 (2) 5 . —種物品之保管方法，是將物品收納在容器內從倉 庫進出口來進出庫，並且設有清淨用氣體的下向流，清淨 地保管物品之方法，其特徵爲： 利用開關奘置，對從倉庫進出口來進出庫的容器進行 物品裝入取出， 以平面來看時，構成重疊的方式在上下重疊地，將物 品的保管棚架配置在上側，將容器的保管棚架配置在下側 φ ，依照從物品的保管棚架側往容器的保管棚架側的順序， 供應清淨用氣體， 設置用來搬運容器之容器搬運裝置及用來搬運物品之 物品搬運裝置，在開關奘置與倉庫進出口和容器的保管棚 架之間，利用容器搬運裝置來搬運容器，並且在物品的保 管棚架與開關裝置之間，利用物品搬運裝置來搬運物品。

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