CN101221919A - 物品供给装置 - Google Patents

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Abstract

本发明为一种将物品从收容多个物品的容器中取出而向处理装置供给的装置。桥式吊车(22)在与容器暂存区(16)之间传递容器(18)，并通过带有移载装置(28)的台车(26)，在容器暂存区(16)与装载口(14、15)之间交接容器(18)。从装载口(14、15)，通过分类器(4、6)将晶圆从容器(18)取出放入，并由暂存区(8、9)保管等待处理或处理结束的晶圆。使处理装置不空闲，且适当变更晶圆的处理顺序或向容器的组合。

Description

物品供给装置
技术领域
本发明涉及一种将半导体晶圆等物品向处理装置供给的装置。
背景技术
申请人提出了一种将液晶基板或等离子显示器基板等收容在托盘中并向处理装置供给的装置(专利文献1：日本特开2004-168483)。在该装置中，通过传送带输送托盘，在处理装置前存储并将基板从托盘取出而向处理装置供给。
但是，在将半导体晶圆等供给到处理装置时，多个晶圆被收容在1个容器中而被输送。此处，当没有时机良好地将晶圆供给到处理装置时，处理装置的效率降低。尤其是在容器的收容个数与由处理装置一起处理的个数不同的情况下，还需要向处理装置供给需要个数的晶圆。并且，为了应付容器到达的顺序和由处理装置处理晶圆的优先度不同的情况，需要将向处理装置供给晶圆的顺序根据容器的到达顺序变更的结构。并且，需要将容器内的晶圆的组合与下一处理装置配合而进行变更，因此，在将处理结束的晶圆向容器供给时，需要变更晶圆的组合的结构。因此，发明人为了解决上述的问题而进行了本发明。
专利文献1：日本特开2004-168483
发明内容
本发明的课题为，即使在由处理装置一起处理的物品的数量比收容在容器中的物品的数量多的情况下，也可向处理装置供给需要数量的物品。在本申请的第二发明中的追加课题为，可将处理的优先度高的物品比到达处理装置的顺序优先地进行处理。在本申请的第三发明中的追加课题为，可配合下一处理装置而变更收容在容器中的物品的组合。
本发明为一种将物品从收容多个物品的容器中取出而向处理装置供给的装置，其特征为，具有：容器保管架，用于保管上述容器；物品保管架，用于保管从上述容器取出的物品；移载单元，用于从上述容器取出放入上述物品，而将上述物品在上述容器与上述物品保管架之间进行输送；输送单元，用于在上述移载单元和上述容器保管架之间输送上述容器；以及供给单元，用于从上述物品保管架取出需要的上述物品并向上述处理装置供给，并且将来自上述处理装置的上述物品向上述物品保管架供给。
优选，上述供给单元从上述物品保管架将需要的上述物品随机地向上述处理装置自由供给。并且优选，上述移载单元从上述物品保管架将需要的上述物品随机地向上述容器自由收容。
在本发明中，因为将容器暂时保管在容器保管架上，并将从容器取出的物品保管在物品保管架上，因此，将处理装置需要的物品储存在这些架上，而可迅速地供给。并且，可将容器保管架作为与外部的输送装置的暂存区，因此对于外部的输送装置也有效。并且，通过控制从容器保管架取出的顺序，能够以容器的单位变更容器的达到顺序和在处理装置中的处理顺序。
此处，当使供给单元从物品保管架将需要物品随机地向处理装置自由供给时，可变更从物品保管架将物品向处理装置供给的顺序，并可根据物品的优先度进行处理。并且，当使移载单元从上述保管架将需要的上述物品随机地向上述容器自由收容时，可配合下一处理装置等而变更设置在容器中的物品的组合。
附图说明
图1是实施例的物品供给装置的平面图。
图2是实施例的物品供给装置的正面图。
图3是表示实施例中的物品供给路线的图。
具体实施方式
以下说明用于实施本发明的最佳实施例。
在图1～图3中，以在清洁室内的半导体晶圆的输送和供给为例，表示实施例。在各图中，2为处理装置，进行对半导体晶圆的加工或检查等处理。在处理装置2的前面存在例如一对分类器4、6，并将半导体晶圆每次一个地从收容了多个半导体晶圆的容器18中取出放入。分类器4、6也可以兼用作移载单元和供给单元，也可以由其他部件构成作移载单元和供给单元。8、9为晶圆暂存区，保管从容器18取出的晶圆，以物品保管架为例。对于晶圆暂存区8，分类器4可在随机位置每次一个地取出放入晶圆。同样，对于晶圆暂存区9，分类器6可在随机位置每次一个地取出放入晶圆。以10、11表示收容在晶圆暂存区8、9中的多个半导体晶圆。在分类器4、6和装载口14、15之间存在未图示的带闸门的出入口12、13。并且，在装载口14、15的上部和下部等存在例如垂直看为重叠那样的容器暂存区(容器保管架)16、17。
在清洁室的天棚附近设置行驶轨道21，使作为装置间的输送单元的桥式吊车22行驶。并且，桥式吊车22在与容器暂存区16之间传递容器18。在处理装置2的例如前面侧的地板面上设置行驶轨道24，并设置具备移载装置28的台车26。移载装置28例如由SCARA双臂或者滑叉(slide fork)构成，并沿着设置在台车26上的柱(mast)29自由升降。并且，移载装置28在容器暂存区16、17之间、或者容器暂存区16、17与装载口14、15之间，输送容器18。由移载装置28和台车26构成处理装置内的输送装置，但是也可以由多个处理装置共用它们。同样，也可以由多个处理装置共用容器暂存区16、17。
图3表示实施例中的物品的流程。作为处理装置2之间的输送单元，存在桥式吊车22，桥式吊车22在与容器暂存区16之间传递容器18。通过自由升降地设置在台车上移载装置28，在容器暂存区16、17之间、或者装载口14、15之间交接容器。因此，在分类器4、6需要时，可通过移载装置28将容器向装载口14、15输送。在装载口14、15上设置未图示的传送带等，在与分类器4、6之间输送容器。并且，通过分类器4从容器取出放入晶圆，并立即将需要的晶圆直接向处理装置2供给，其他晶圆由晶圆暂存区8暂时保管。并且，通过分类器4从晶圆暂存区8任意地取出处理装置2需要的晶圆，并向处理装置2供给。另外，也可以将所有的晶圆由晶圆暂存区8暂时保管。
通过分类器6将由处理装置2处理后的晶圆从处理装置取出，并暂时保管在晶圆暂存区9中。此处，如果存在需要立即搬出的晶圆，则不经由晶圆暂存区9，通过分类器6收容到容器中。随机地、换言之为有选择地从晶圆暂存区9取出需要的晶圆并收容到容器中。收容了晶圆的容器保管在容器暂存区16、17中，并通过桥式吊车搬出。
在实施例中可得到以下效果。(1)可将处理装置2需要的晶圆存储在晶圆暂存区8中。并且，将容器暂存区16、17作为桥式吊车22与处理装置2之间的容器的暂存区。并且，从晶圆暂存区8有选择地向处理装置2供给需要的晶圆。因此，处理装置2经常被供给需要个数的晶圆。例如，即使在容器18中的晶圆的输送个数与处理装置2需要的晶圆的个数不同，也不会产生问题。(2)向处理装置2供给的晶圆的顺序可变更为如下的2个阶段：从容器暂存区16、17向分类器4供给的容器的顺序；以及通过分类器4从晶圆暂存区8等向处理装置2供给的晶圆的顺序。因此，在每个晶圆的处理优先度不同时，可根据优先度进行处理。(3)在处理装置2处理结束的晶圆暂时存储在晶圆暂存区中，通过分类器6随机地取出需要的晶圆并收容在容器中。因此，可配合下一工序的处理装置，而变更收容在容器中的晶圆的组合。因此，即使是如经由多个处理装置、在途中使用的处理装置不同那样的组合，也可以收容在相同的容器中而输送。
在实施例中在装载口14、15与容器暂存区16之间例如设置一层容器暂存区17，但是也可以在装载口14、15的下层再设置多层。并且，在容器暂存区16、17的保管能力不足时，也可以在图1中的处理装置2的反对侧设置容器保管用的架。作为容器暂存区16、17与装载口14、15之间的输送装置，在轨道24上行驶的台车26上自由升降地设置了移载装置28，但是其种类和构成是任意的。在分类器4、6的处理能力不足时，可在晶圆暂存区8、9和处理装置2之间追加相对于晶圆暂存区可将晶圆随机地取出放入的分类器。

Claims (3)

1.一种物品供给装置，将物品从收容多个物品的容器中取出而向处理装置供给，其特征为，具有：
容器保管架，用于保管上述容器；
物品保管架，用于保管从上述容器中取出的物品；
移载单元，用于从上述容器取出放入上述物品，而将上述物品在上述容器与上述物品保管架之间进行输送；
输送单元，用于在上述移载单元和上述容器保管架之间输送上述容器；以及
供给单元，用于从上述物品保管架取出需要的上述物品并向上述处理装置供给，并且将来自上述处理装置的上述物品向上述物品保管架供给。
2.如权利要求1所述的物品供给装置，其特征在于：
上述供给单元从上述物品保管架将需要的上述物品随机地向上述处理装置自由供给。
3.如权利要求1所述的物品供给装置，其特征在于：
上述移载单元从上述物品保管架将需要的上述物品随机地向上述容器自由收容。
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