TWI333927B - - Google Patents

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TWI333927B
TWI333927B TW094126590A TW94126590A TWI333927B TW I333927 B TWI333927 B TW I333927B TW 094126590 A TW094126590 A TW 094126590A TW 94126590 A TW94126590 A TW 94126590A TW I333927 B TWI333927 B TW I333927B
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02Storage devices
    • B65G1/04Storage devices mechanical
    • B65G1/045Storage devices mechanical in a circular arrangement, e.g. towers
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S414/00Material or article handling
    • Y10S414/135Associated with semiconductor wafer handling
    • Y10S414/14Wafer cassette transporting

Description

1333927 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關在與高架行走車等之間,直接交接物品 並保管的物品保管設備及其系統》 【先前技術】 申請人係揭示了從高架行走車之行走用軌道吊掛保管 棚架,暫時保管高架行走車的物品者(專利文件1 )。然 而發明者爲了高度運用此種保管棚架,注目於必須明確管 理將何物品保管於何保管棚架的何保管位置。因此雖檢討 了於高架行走車設置ID讀取器來讀取物品ID者,但是因 爲ID讀取器會干涉物品移載,故將ID讀取器設置於高架 行走車有其困難。 [專利文件1]日本專利第3067,682號 【發明內容】 發明所欲解決之課題 本發明之基本課題,係可以確實管理被保管於保管棚 架之物品的ID。又追加之課題,係可以用1個ID讀取器 對複數保管位置讀取物品的ID。更追加之課題,係對於 高架行走車之1個位置,可移載自如地分配載置台的各保 管位置,且可以用1個ID讀取器讀取載置台中複數物品 的ID。 1333927 用以解決課題之手段 此發明,一種物品保管設備,其設置:具備利用行走 於行走用軌道之高架行走車,直接自由移載物品之保管位 置的保管棚架;和用以讀取朝向保管棚架入庫之入庫物品 之ID的ID讀取器;和用以記憶利用ID讀取器所讀取之 物品之ID與其保管位置的記憶手段。另外自動倉儲等具 備朝保管裝置移置之移置手段的保管設備,並不包含於此 發明之物品保管設備。ID係例如在從高架行走車朝保管 棚架入庫的途中,或是入庫至保管棚架之後來讀取。 理想上,上述保管棚架具備複數保管位置,將上述 ID讀取器設置在上述保管棚架之最上游測,可讀取被高 架行走車支撐之物品之ID的位置。 又理想上,上述保管棚架係具備複數保管位置,藉由 設置使上述ID讀取器對保管位置相對移動的手段,使相 對於複數保管位置,利用共通之ID讀取器自由讀取物品 之ID。此時可以使ID讀取器移動,或是使保管位置對ID 讀取器移動。 更理想上,上述保管棚架具備支柱和具有複數保管位 置而對支柱轉動自如的載置台,並且於支柱側具備上述 ID讀取器,藉由載置台的轉動,將各保管位置分配成在 與高架行走車之間自由移載物品的位置。 又,爲一種物品保管設備系統,係具備物品保管設備 的物品保管設備系統,該物品保管設備具有:行走於行走 用軌道,並且搭載使夾住物品之升降台升降之升降驅動 -6 - 1333927 部’將物品移載至被配置在行走用軌道之垂直下方之處理 裝置之裝載埠的高架行走車;和具有被配置於行走用軌道 之側邊下方,利用高架行走車直接自由移放物品之保管位 置的保管棚架;和用以讀取朝保管棚架入庫之入庫物品其 ID的ID讀取器;和用以記億利用ID讀取器所讀取之物 品之ID與其保管位置的記憶手段;其特徵係高架行走車 係具備將升降驅動部橫送至保管位置上方的橫送裝置,使 物品移置至保管位置。 理想上,上述保管位置,係被設置在爲了將物品移放 至裝載埠而停止之高架行走車不用移動而成爲移載自如的 位置。 更理想上,以高架行走車搬運上述物品之途中,優先 度較高之物品出現在上述裝載埠時,則將搬運中物品載置 於保管棚架而利用記憶手段記億其保管位置,自裝載埠搬 出優先度高之物品。 發明效果 此發明中,係於將物品入庫至保管棚架之時或入庫 後,以ID讀取器讀取物品ID並藉由記憶手段記億。然後 保管棚架在與高架行走車之間直接接受物品的移載,因在 中間不會經由人工,或是在朝保管棚架入庫途中暫時保管 於緩衝區,故以ID讀取器讀取了 ID之物品可確實的被保 管在特定保管位置。因此可藉由其ID確實管理保管物 品,即使將保管棚架利用於入庫理由或入庫時期不同之各 1333927 種物品的暫時載置,亦可管理物品的所在地。更且此發明 中,對於高架行走車系統,不只可以增加作爲暫時保管物 品之緩衝器的能力,還可以高度且柔軟地運用高架行走車 系統。例如高架行走車要搬入物品而裝載埠塞滿時,則可 將搬入物品暫時保管於物品保管設備,先搬運裝載埠的物 品。又在物品搬運過程中,出現了其他應該緊急搬運之物 品時,則可將搬運中物品暫時放置(暫時保管)於物品保 管設備,來搬運緊急物品。 理想上,上述保管棚架係具備複數保管位置;藉由將 上述ID讀取器設置在上述保管棚架之最上游測,可讀取 被高架行走車支撐之物品之ID的位置,則可以在對保管 位置放置前,用1個ID讀取器讀取入庫物品的ID。 又理想上,因爲上述保管棚架係具備複數保管位置, ID讀取器會對於保管位置相對移動,故可以用1個ID讀 取器對複數保管位置讀取物品的ID。因此,可減少ID讀 取器的個數。 又尤其理想的,是當載置台轉動時,可將各保管位置 分配到與高架行走車之間可自由移放物品的位置。又藉由 載置台之轉動,可以用ID讀取器讀取各保管位置中物品 的ID。從而,例如對1個載置台只要1個ID讀取器即 可 〇 又藉由對將物品移放到配置在行走用軌道正下方之處 理裝置裝載埠的高架行走車,設置使夾住物品之升降台升 降之升降驅動部移動到保管位置上方的橫送裝置,而可輕 -8- ·*— »"i*-»i· »>*-··»- - -·Ί . * - A.·· «*— 133392¾件 第94丨2659〇號專利申請案 4國咫年色月2g&修歪,-.么!
• . 中文說明書修正頁 ;^ ' IJ ' 易將物品移放到裝載埠和配置於行走用軌道側邊下方之保 - 管位置等兩方。因此例如高架行走車要搬入物品而裝載埠 / 塞滿時,則可將搬入物品暫時保管於物品保管設備,先搬 - 運裝載埠的物品。此時物品保管設備中,因爲用記憶手段 記憶有保管物品之ID與其保管位置,故可確實管理暫時 保管之物品的所在處。 理想上,因爲保管位置,係被設置在爲了將物品移置 至裝載埠而停止之高架行走車不用移動,即可自由移放的 位置,故例如高架行走車要搬入物品而裝載埠塞滿時,則 可將搬入物品暫時保管於物品保管設備,而容易先搬運裝 載埠的物品。 更理想上,以高架行走車搬運上述物品之途中,優先 度較高之物品出現在裝載埠時,因爲是將搬運中物品以記 憶手段記憶,將優先度較高之物品從裝載埠搬出,故在搬 運過程中,即使出現.其他優先度較高的應搬運物品,也不 會不清楚搬運中物品之所在處,而可從裝載埠搬運優先度 較_的物品。 【實施方式】 [實施例] 於第1圖〜第8圖,表示實施例及其變形。若於第1 圖〜第5圖表示最初之實施例,則2爲物品保管設備,由 保管棚架4與ID讀取器6及保管棚架檔案13所構成。8 爲高架行走車,10爲半導體或液晶等處理裝置,12爲高 -9- 1333927
架行走車系統或管理保管棚架4等的物流控制器;其 上述保管棚架檔案13,而14爲管理高架行走車8之 的高架行走車控制器。另外也可將保管棚架4看成高 走車系統之一部分,將保管棚架檔案13設置於高架 車控制器1 4。然後物品保管設備2或高架行走車系 處裝置1 0等,係設置於例如無塵室內。 保管棚架4係具有例如形成了複數放置位置的J; 段載置台1 8、1 9 ;載置台1 8例如以支柱1 6而支撐 塵室的天花板,載置台19則藉由支柱17而安裝於 1 6的下部。另外支柱1 6是固定的,載置台1 8係可 柱1 7 —起對支柱1 6做3 6(Γ旋轉,而下側之載置台 可對支柱17做3 60°旋轉。在此載置台18、19雖然是 2段重疊,但是也可以做3段以上重疊,或是只有1 可〇 2〇爲防止物品掉下之柵欄,可以不用設置亦可 爲馬達,使載置台18對支柱16旋轉,又使載置台 支柱17旋轉。更且上述id讀取器6係對各個載 1 8、1 9各安裝1台,例如安裝於支柱1 6、1 7側。另 讀取器6和馬達2 2,係連接於物流控制器1 2。 高架行走車系統,係以行走用軌道2 4和高架行 8和高架行走車控制器1 4所構成,行走用軌道2 4是 支柱20被支撐於無塵室的天花板等。28爲行走台車 爲升降驅動部,使升降台32升降。升降台32係夾住 例如卡匣34來升降,並例如於卡匣34之背面側 •具備 .系統 丨架行 行走 統及 :下2 於無 支柱 與支 19則 上下 段亦 :22 19對 置台 外ID 走車 藉由 ,30 物品 安裝 -10- 1333927 ID3 6。ID之種類是任意的,也可以是條碼或RFID ( 無線自由讀取/寫入的ID)等。 處理裝置10中,係於行走用軌道24之正下方設 載埠38,經由門扉40而可搬入搬出卡匣34。然後裝 38或處理裝置1〇內之物品,係以未圖示之製造管理 管理。高架行走車8搬運中的物品,係以高架行走車 器14管理。以保管棚架4暫時保管中之物品,係以 棚架檔案13來管理。 於第2圖表示載置台18與載置台19重疊的狀態 上側之載置台1 8設置切口 4 1,使卡匣3 4得以通過 台18。因此高架行走車不管在上下任一個載置台18 之間,都可以直接自由移置卡匣34。又若於下側之 台19也設置切口 41,則在通過切口 41於裝載埠之 卡匣34之移置會變的自由,而可於裝載埠上方等干 載埠的位置設置保管棚架。實施例之情況下,若使載 1 8、1 9各旋轉7Y,則可將各放置位置分配到與高架 車之間自由移載的位置:又在對高架行走車分配之位 可用ID讀取器6讀取ID36。 ID36之讀取,可以在卡匣34被升降台夾住時讀 也可以在卸放於載置台18、19之後讀取。尤其,若 匣34被升降台夾住的狀態來讀取ID36,則也可以不 下側之載置台19設置ID讀取器6。更且不只在將卡[ 卸放至載置台18、19時,而也在從載置台18或載 1 9堆放物品時讀取ID36,則可更確實進行卡匣的管理 可用 置裝 載埠 器來 控制 保管 ,在 載置 、19 載置 間, 涉裝 置台 行走 置, 取, 以卡 用在 E 34 置台 -11 - 1333927 於第3圖表示載置台18對支柱16的旋轉機構。42 爲支柱17之軸,一邊以軸承44支撐,一邊對支柱16自 由旋轉。馬達22之驅動力係經由皮帶等傳動手段46使軸 42旋轉。與下側之載置台之馬達或id讀取器的電性連 接,係例如於支柱1 6側設置凸緣4 8,在其下面裝置配 線,和設置於載置台1 8側之電刷5 0接觸,來行電性連 接。5 2、5 4 ' 5 6分別爲配線用纜線。 回到第1圖,對保管棚架4從高架行走車8卸放物品 時’物流控制器12係搜尋保管棚架檔案13,來求出載置 台18、19中的空位置。使被求出之位置來到高架行走車 8之停止位置正下方地,利用馬達22來旋轉載置台18、 19。降下升降台32來將卡匣34卸貨時,ID讀取器6會 在卸貨中或卸貨後讀取卡匣3 4之I D 3 6,對物流控制器1 2 通訊。物流控制器1 2,係將保管棚架4之編號,和載置 台18、19之哪一個,和載置台中之載置位置等做爲棚架 編號處’與物品ID ~同保管於保管棚架檔案13。另外棚 架編號處,係特定物品是位在何者保管棚架之何者位置的 資料。 從保管棚架4對高架行走車8堆放物品時,物流控制 器12係檢索保管棚架檔案13,來求取載置台18、19上 的空載置位置。使被搜尋之載置位置對高架行走車8分配 地’對保管棚架4下指令,藉由馬達22使載置台18、19 預先旋轉。然後當物品被分配到可堆放於高架行走車8之 位置時’則可在相同位置以ID讀取器6讀取ID36。如此 -12- 1333927
可在出庫時與入庫時,讀取卡匣34之ID 36。又除此之 外,也可以使載置台1 8、1 9旋轉,讀取各保管物品之 ID,進行某種盤點。 第4圖係表示實施例之物品保管設備所使用的搬運演 算法例子。在此,保管棚架係在裝載埠之正上方,高架行 走車可在相同停止位置對上下之載置台與裝載埠的任一 個,自由移放物品。爲了對裝載埠搬入物品,係以高架行 走車8來搬運物品A。與此同時,在裝載埠將處理完之物 品B搬出。當高架行走車8到達,則對上下任一個載置台 放下物品A,此時以ID讀取器讀取物品ID,與棚架編號 處一起記憶於保管棚架檔案。接著高架行走車係堆放裝載 埠之物品B,暫時放置於載置台。此時同樣讀取物品B之 ID,與棚架編號處一起記憶於保管棚架檔案。 使載置台旋轉,將物品 A分配成可用高架行走車來 堆放,則高架行走車會將物品 A移放至裝載埠。此時也 讀取物品A之ID,從保管棚架檔案刪除物品A之ID與 其棚架編號處。其次再度使載置台旋轉,以高架行走車搬 出物品B並搬運至目的地。此時也讀取物品B之ID,與 棚架編號處一起從保管棚架檔案中刪除。 如此一來,藉由高架行走車1次的搬運,則可進行對 裝載埠之物品搬入,和從裝載埠的物品搬出。另外第4圖 中,因爲對保管棚架之物品A、B的出入庫,總計讀取了 4次ID,但是這是極短時間之保管,所以也可以將ID讀 取簡化爲只有入庫時進行。 -13- 1333927 第5圖,係表示以高架行走車搬運物品之途中,出現 了優先度較高之搬運指令(優先搬運指令)時的處理。搬 運物品中之高架行走車係適當地對保管棚架停止,將物品 暫時放置於保管棚架。此時讀取物品之ID,與棚架編號 處一起記憶於保管棚架檔案。其次高架行走車對緊急物品 所在的裝載埠停止,堆放緊急物品並搬運。此時在原本之 物品搬運過程中,庫存位置會從高架行走車變更爲保管棚 架,並記憶ID與棚架編號處,故搬運中之物品的所在處 不會不明。然後利用保管棚架檔案,藉由後續之高架行走 車重新開始搬運途中之物品的搬運。 於第 6圖、第 7圖,表示第 2實施例之保管棚架 6 0。此例中在行走台車2 8與升降驅動部3 0之間,設置橫 送裝置62,可將升降驅動部30橫送至後述之放置位置66 的上方。64爲保管棚架60之支柱,保管棚架60例如於 其最上游側,設置ID讀取器6往斜上方讀取,來讀取卡 匣34的ID 36。另外上游/下游係沿著高架行走車之方向 來決定。例如高架行走車8是從第 7圖之左邊行走到右 邊。高架行走車8,在對保管棚架60將卡匣34卸貨時, 係藉由未圖示之通訊手段等對ID讀取器6通知此事。當 ID讀取器6收到此通知,則讀取通過之卡匣34的ID。如 此,對於將多數的放置位置66設置於行走用軌道側邊下 方的保管棚架60,只要設置1台ID讀取器6,就可以讀取 入庫物品的ID。另外放置位置66中最少一個,係設置在爲 了對被配置於行走用軌道鉛直下方之處理裝置之裝載埠移放 -14- 1333927 物品而停止的高架行走車,其不用移動就可以自由移放的 位置。 第8圖所示之第3實施例的保管棚架70中,於其長 邊方向設置導引軌74 ’史裝載有ID讀取器6之行走體76 行走。如此一來’對於具備了複數載置位置72的保管棚 架70,可以用一台ID讀取器6來讀取各物品的id。又第 8圖之保管棚架70中,不只在入庫時,在出庫時也可讀 取ID,而更可以全部檢查物品的id。 另外實施例中’爲了 2段之下側載置台之馬達或ID 讀取器、載重感測器等與電源的連接,雖然是利用凸緣 50來供電’但是因爲無塵搬運傾向而要求無麈度時,亦 可與上側一樣使用纜線供電。此時載置台之旋轉角度,例 如限制在正轉反轉各3 6 0。以內爲佳。 【圖式簡單說明】 [第1圖]表示實施例中物品保管設備與高架行走車的 正面圖 [第2圖]物品保管設備之棚架的俯視圖 [第3圖]表示物品保管設備之載置台之旋轉機構,部 分切開之主要部分正面圖 [第4圖]表示使用了物品保管設備之搬運演算法的流 程圖 [第5圖]表示使用了物品保管設備之其他搬運演算法 的流程圖 -15- 1333927 [第6圖]表示第2實施例中附加橫送裝置之高架行走 車用物品保管設備的正面圖 [第7圖]第6圖之物品保管設備與高架行走車的俯視 圖 [第8圖]第3實施例之物品保管設備的俯視圖 【主要元件符號說明】 2 :物品保管設備 4 :保管棚架 6 : ID讀取器 8 :高架行走車 1 0 :處理裝置 1 2 :物流控制器 1 3 :保管棚架檔案 1 4 :高架行走車控制器 1 6、1 7 :支柱 1 8、1 9 :載置台 2 0 :柵欄 22 :馬達 24 :行走用軌道 2 6 :支柱 2 8 _·行走台車 3 0 :升降驅動部 32 :升降台 -16- 1333927
34 :卡匣 36 : ID 3 8 :裝載埠 40 :門扉 4 1 :切口 42 :軸 44 :軸承 46 :傳動手段 48 :凸緣 5 0 :電刷 5 2〜5 6 :纜線 60、70 :保管棚架 62 :橫送裝置 64 :支柱 66、72:載置位置 74 :導引軌 76 :行走體

Claims (1)

1333927 十、申請專利範圍 1. 一種物品保管設備,其特徵係設置: 保管棚架,具備有利用行走於行走用軌道之高架行走 車直接自由移載物品的保管位置; ID讀取器,用以讀取朝保管棚架入庫之入庫物品的 ID ;和 記憶手段,用以記憶利用ID讀取器所讀取之物品的 ID與其保管位置。 2 ·如申請專利範圍第1項所記載之物品保管設備, 其中,上述保管棚架具備複數保管位置,將上述ID讀取 器設置在上述保管棚架之最上游測,可讀取被高架行走車 支撐之物品之ID的位置。 3 .如申請專利範圍第1項所記載之物品保管設備, 其中’上述保管棚架係具備複數保管位置,藉由設置使上 述ID讀取器對保管位置相對移動的手段,使相對於複數 保管位置,利用共通之ID讀取器自由讀取物品之ID。 4.如申請專利範圍第3項所記載之物品保管設備, 其中,上述保管棚架具備支柱和具有複數保管位置而對支 柱轉動自如的載置台,並且於支柱側具備上述id讀取 器,藉由載置台的轉動,將各保管位置分配成在與高架行 走車之間自由移載物品的位置。 5 . 一種物品保管設備系統,係具備物品保管設備的 物品保管設備系統,該物品保管設備具有: 高架行走車,行走於行走用軌道,並且搭載使夾住物 -18- 1333927 品之升降台升降之升降驅動部,將物品移載至被配置在行 走用軌道之垂直下方之處理裝置的裝載埠; 保管棚架,具有被配置於行走用軌道之側邊下方,利 用高架行走車直接自由移放物品之保管位置; ID讀取器,用以讀取朝保管棚架入庫之入庫物品的 ID ;和 記憶手段,用以記憶利用ID讀取器所讀取之物品之 ID與其保管位置;其特徵係 高架行走車係具備將升降驅動部橫送至保管位置上方 的橫送裝置,使物品移載至保管位置。 6. 如申請專利範圍第5項所記載之物品保管設備系 統,其中,上述保管位置,係被設置在爲了將物品移載至 裝載埠而停止之高架行走車不會移動而成爲移載自如的位 置。 7. 如申請專利範圍第5項所記載之物品保管設備系 統,其中,利用高架行走車搬運上述物品之途中,優先度 較高之物品出現在上述裝載埠時,則將搬運中物品載置於 上述保管棚架而利用記憶手段記憶其保管位置,自裝載埠 搬出優先度高之物品。 -19 - 1333927 七、指定代表圖: (一) 、本案指定代表圖為:第(1 )圖 (二) 、本代表圖之元件代表符號簡單說明: 2:物品保管設備 22 :馬達 4:保管棚架 24 :行走用軌道 6 : ID讀取器 26 :支柱 8 :高架行走車 28 =行走台車 10 :處理裝置 30 :升降驅動部 12 :物流控制器 32 :升降台 13 :保管棚架檔案 34 :卡匣 14 :高架行走車控制器 36 : ID 16、17 :支柱 38 =裝載埠 18、19 :載置台 40 :門扉 20 :柵欄 八、本案若有化學式時,請揭示最能顯示發明特徵的化學 式:
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Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20080075164A (ko) * 2005-11-07 2008-08-14 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 저감된 용량의 캐리어, 이송부, 로드 포트, 버퍼 시스템
US20070128010A1 (en) * 2005-12-06 2007-06-07 International Business Machines Corporation An apparatus for pod transportation within a semiconductor fabrication facility
US20070160448A1 (en) * 2006-01-06 2007-07-12 International Business Machines Corporation Receipt and delivery control system for front opening unified and reticle storage pods
US20070289843A1 (en) * 2006-04-18 2007-12-20 Barry Kitazumi Conveyor System Including Offset Section
KR20140069354A (ko) * 2006-08-18 2014-06-09 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 용량이 축소된 캐리어, 이송, 로드 포트, 버퍼 시스템
US20080050208A1 (en) * 2006-08-25 2008-02-28 Barry Kitazumi High speed transporter including horizontal belt
JP4193186B2 (ja) * 2006-11-02 2008-12-10 村田機械株式会社 天井走行車
US8337133B2 (en) * 2007-06-25 2012-12-25 International Business Machines Corporation Segregating wafer carrier types in semiconductor storage devices
DE102007035839B4 (de) * 2007-07-31 2017-06-22 Globalfoundries Dresden Module One Limited Liability Company & Co. Kg Verfahren und System zum lokalen Aufbewahren von Substratbehältern in einem Deckentransportsystem zum Verbessern der Aufnahme/Abgabe-Kapazitäten von Prozessanlagen
JP4796024B2 (ja) * 2007-08-30 2011-10-19 東京エレクトロン株式会社 容器交換システム及び容器交換方法
US7992734B2 (en) * 2008-01-11 2011-08-09 International Business Machines Corporation Semiconductor automation buffer storage identification system and method
DE102008059711A1 (de) * 2008-11-29 2010-06-10 Eisenmann Anlagenbau Gmbh & Co. Kg Vorrichtung zum Umsetzen von Gegenständen sowie Förderanlagen mit einer solchen Vorrichtung
JP4807424B2 (ja) * 2009-03-17 2011-11-02 村田機械株式会社 天井搬送システムと物品の移載方法
JP5445015B2 (ja) * 2009-10-14 2014-03-19 シンフォニアテクノロジー株式会社 キャリア移載促進装置
JP5429570B2 (ja) * 2010-03-08 2014-02-26 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP5229363B2 (ja) * 2010-11-04 2013-07-03 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送方法
KR101533366B1 (ko) 2010-11-04 2015-07-02 무라다기카이가부시끼가이샤 반송 시스템 및 반송 방법
KR101661633B1 (ko) * 2012-04-05 2016-09-30 무라다기카이가부시끼가이샤 반송 시스템
CN104803142B (zh) * 2015-03-05 2017-04-26 北京融安特智能科技有限公司 一种可移动的档案智能管理平台

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3986612A (en) * 1974-11-07 1976-10-19 Cutler-Hammer, Inc. Random access card storage and retrieval system
JPS57156906A (en) * 1981-03-20 1982-09-28 Nec Corp Automated warehouse
JPH06104554B2 (ja) 1986-06-13 1994-12-21 村田機械株式会社 天井自走車
US4812985A (en) * 1986-09-15 1989-03-14 Ja-Pac, Inc Article storage and retrieval system
US4867629A (en) * 1986-11-20 1989-09-19 Shimizu Construction Co., Ltd. Dusttight storage cabinet apparatus for use in clean rooms
JPH03177206A (ja) 1989-12-02 1991-08-01 Sumitomo Rubber Ind Ltd 物品の取り出し・格納方法と装置
DE4028059A1 (de) 1990-09-05 1992-03-12 Grau Gmbh & Co Holdingges Automatische speicheranlage
US5607275A (en) * 1993-08-26 1997-03-04 Exabyte Corporation Cartridge library and method of operation
JP3050079B2 (ja) 1995-03-08 2000-06-05 株式会社ダイフク 棚設備
JPH09215729A (ja) * 1996-02-07 1997-08-19 Yuyama Seisakusho:Kk アンプル補給方法
JP3436334B2 (ja) 1996-08-06 2003-08-11 株式会社ダイフク 物品搬送設備
TW348162B (en) * 1996-09-30 1998-12-21 Murada Kikai Kk Work carrying system
DE19900804C2 (de) * 1999-01-12 2000-10-19 Siemens Ag Fördersystem
US6450318B1 (en) * 2000-06-16 2002-09-17 Tec Engineering Corporation Overhead monorail system
JP3991852B2 (ja) * 2002-12-09 2007-10-17 村田機械株式会社 天井搬送車システム
JP2004250148A (ja) 2003-02-19 2004-09-09 Okamura Corp 棚に載置した荷の検出装置
KR100541183B1 (ko) * 2003-03-04 2006-01-11 삼성전자주식회사 스토커 및 이를 포함하는 반송 시스템

Also Published As

Publication number Publication date
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