JP5881007B2 - ウエハ検出装置 - Google Patents
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Description
第1の不都合としては、図11に示すように、検出ヘッドK内において照明光源100が撮像装置101の上方に位置しているため、照明光源100からの光軸100aが斜め下方に向いた状態になる。このとき照明光源100の光軸以外の光100bがウエハ収容容器の内壁面102に当たって反射し、その反射した光101cがウエハWの端面からの反射光101dと一緒に撮像装置101に入射してしまう。その結果、ウエハWの端面の画像を検出することができない。尚、前記撮像装置101の前方には、投影レンズ101Aが配置されている。
前記ウエハ収容容器の前側に配置され前記ウエハからの反射光が入射される撮像装置と、
前記ウエハ収容容器内のウエハに対して上下から光を照射すべく前記ウエハ収容容器の開口部の左右両側のうちの少なくとも一方側に配置される上下方向に長い縦長状の照明装置と、を備え、前記一方側の照明装置が、前記ウエハの左右両側のうちの一方側に光を照射するように配置されている。
しかも、照明装置が上下方向に長い縦長状であることから、上下方向において所定範囲に渡って光を照射することができる。このことから、重なり合っている2枚のウエハのうちの上側のウエハが前側(蓋側)に移動してしまった状態においても、これら2枚のウエハに上下から光を当てることができるから、重なっている上側のウエハの端面及び下側のウエハの端面の両方に確実に照明装置からの光を当てることができる。その結果、ウエハの複数枚重なり状態を確実に検出することができる。つまり、図12の不都合を解消できる。
更に、撮像装置の左右両側のうちの少なくとも一方側に配置された照明装置によって、ウエハの左右両側のうちの少なくとも一方側の端面に光を照射し、ウエハの両側のうちの少なくとも一方側の端面を撮像装置にて撮像する。このようにすることによって、クロススロット状態であれば、左右中央部に比べて左右両側で水平方向における傾きが大きく異なるウエハの画像になることから、左右両側のうちの少なくとも一方側のウエハの画像によりクロススロット状態を確実に検出することができる。つまり、図13の不都合を解消できる。
更にまた、反射型のウエハ検出装置を用いることによって、ウエハの撓みや反りに対しても何ら不具合が出ることなく、ウエハを検出することができる。
前記照明装置がウエハを照らす範囲は、上下方向において全てのウエハの端面を照射する構成であってもよいし、ウエハの複数枚重なり状態を確実に検出することができるように、少なくとも重なっている2枚のウエハの端面に光を確実に当てることができる範囲に設定してもよい。尚、一部のウエハの端面を照射する構成では、照明装置と撮像装置とが一体的に昇降しながら、撮像する構成が好ましい。また、撮像装置は、ウエハ収容容器に対して正面となる位置に配置されることが好ましいが、両側の照明装置の間であれば、必ずしも正面でなくてもよい。つまり、ウエハ収容容器の前側であれば、どの位置でもよい。
図5(b)では、図5の(a)に示すように、ウエハWの収容状態が正常の場合の撮像画像を示し、各ウエハWの左右両側のみの端面の画像が表示画面Hに表示されている。
Claims (1)
- 複数のウエハを上下方向に積んで収容可能で、ウエハを前方の開口部から出し入れ可能なウエハ収容容器内に収容したウエハの収容状態を検出するウエハ検出装置であって、
前記ウエハ収容容器の前側に配置され前記ウエハからの反射光が入射される撮像装置と、
前記ウエハ収容容器内のウエハに対して上下から光を照射すべく前記ウエハ収容容器の開口部の左右両側のうちの少なくとも一方側に配置される上下方向に長い縦長状の照明装置と、
を備え、
前記一方側の照明装置が、前記ウエハの左右両側のうちの一方側に光を照射するように配置されていることを特徴とするウエハ検出装置。
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