KR101982918B1 - 카세트용 소재 시트 단부 검출장치 - Google Patents

카세트용 소재 시트 단부 검출장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 카세트용 소재 시트 단부 검출장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 소재 시트가 수납되기 위한 복수의 수납공간부를 갖는 카세트, 상기 카세트에 수납된 복수의 소재시트 각 단부를 향하여 직선형의 빔을 조사하는 빔조사부, 상기 빔조사부에 의해 조사된 빔의 패턴을 포함한 영상을 획득하기 위한 영상획득수단, 상기 영상획득수단에 의해 획득한 영상을 정상적인 빔 패턴과 비교하여 분석하기 위한 비교분석부, 및 딥 러닝을 기반으로 상기 빔조사부와 영상획득수단, 비교분석부를 제어하기 위한 메인제어부,를 포함한다.
상기와 같은 본 발명에 의하면, 해당 카세트의 각 수납공간부에 소재 시트의 수납여부를 확인함은 물론, 수납된 소재 시트의 단부 상태를 자동으로 실시간 확인할 수 있어 작업효율을 향상시킬 수 있다.

Description

카세트용 소재 시트 단부 검출장치{Material sheet end detecting device for cassette}
본 발명은 검출장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 카세트의 각 수납공간부에 소재 시트가 수납되어 있는지 여부를 자동으로 실시간 확인하여 작업효율을 향상시킬 수 있는 카세트용 소재 시트 단부 검출장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 장치의 제조 공정은 증착, 사진 인쇄, 식각, 이온 주입, 연마, 세정 건조 등과 같은 일련의 단위 공정들의 반복적인 조합으로 이루어진다.
각 단위 공정들은 25매 또는 50매의 웨이퍼 단위로 수행되며, 단위 공정들 간의 이동시에도 웨이퍼 수납 용기에 웨이퍼들을 수납하여 이동시킨다.
이 웨이퍼 수납 용기로는 웨이퍼 사이즈가 8인치인 경우에는 개방형 웨이퍼 카세트가 많이 사용되었으나, 최근 웨이퍼의 이동 과정에서 발생할 수 있는 오염을 방지하기 위해 밀폐형 카세트인 풉(front open unified pod:FOUP)이 많이 사용된다.
이러한 풉은 웨이퍼가 수납되는 카세트의 전면에 커버가 구비되어 카세트를 밀폐시키며, 커버는 별도의 개폐 장치에 의해 카세트로부터 분리된다.
이 풉은 미국 특허 제6,186,311호에 개진된 바와 같이, 풉에 수납된 웨이퍼들이 단위 공정들을 수행하는 공정 장치들에 로딩되면, 풉에 수납된 웨이퍼들의 위치 및 웨이퍼들의 수납 상태 등을 확인하는 맵핑(mapping)이 수행된다.
풉에 수납된 웨이퍼들에 대한 맵핑을 살펴보면, 풉이 공정 장치의 로드 포트 스테이지에 로딩되어 로드 포트의 도어부에 밀착되면, 로드 포트 내부에 구비되는 커버 개폐 장치에 의해 커버를 개방된다.
커버 개폐 장치는 커버를 클램핑하여 하방으로 이동하며, 맴핑 장치는 커버가 개폐된 상태에서 웨이퍼들의 위치 및 수납 상태를 확인하게 되며, 이처럼, 종래에는 풉의 커버를 개방한 상태에서 풉에 수납된 웨이퍼의 수량 등을 감지할 수밖에 없었다.
이에 따라, 카세트에 수납된 소재 시트의 수납 여부를 정확하게 확인함은 물론, 자동으로 확인할 수 있게 하여 작업효율을 향상시킬 수 있는 기술에 대한 개발이 절실히 요구되고 있는 실정이다.
이에 본 발명은 상기와 같은 문제점들을 해소하기 위해 안출된 것으로써, 소재 시트가 수납되기 위한 복수의 수납공간부를 갖는 카세트, 상기 카세트에 수납된 복수의 소재시트 각 단부를 향하여 직선형의 빔을 조사하는 빔조사부, 상기 빔조사부에 의해 조사된 빔의 패턴을 포함한 영상을 획득하기 위한 영상획득수단, 상기 영상획득수단에 의해 획득한 영상을 정상적인 빔 패턴과 비교하여 분석하기 위한 비교분석부, 및 딥 러닝을 기반으로 상기 빔조사부와 영상획득수단, 비교분석부를 제어하기 위한 메인제어부,를 포함하여 해당 카세트의 각 수납공간부에 소재 시트의 수납여부를 확인함은 물론, 수납된 소재 시트의 단부 상태를 자동으로 실시간 확인할 수 있어 작업효율을 향상시킬 수 있는 카세트용 소재 시트 단부 검출장치를 제공하는 것이 목적이다.
상기 목적을 이루기 위한 본 발명은, 소재 시트가 수납되기 위한 복수의 수납공간부를 갖는 카세트, 상기 카세트에 수납된 복수의 소재시트 각 단부를 향하여 직선형의 빔을 조사하는 빔조사부, 상기 빔조사부에 의해 조사된 빔의 패턴을 포함한 영상을 획득하기 위한 영상획득수단, 상기 영상획득수단에 의해 획득한 영상을 정상적인 빔 패턴과 비교하여 분석하기 위한 비교분석부, 및 딥 러닝을 기반으로 상기 빔조사부와 영상획득수단, 비교분석부를 제어하기 위한 메인제어부,를 포함한다.
바람직하게, 상기 영상획득수단은 상기 카세트의 수납공간부의 개방된 전측에 위치되고, 상기 빔조사부는, 상기 영상획득수단과 카세트를 지나는 연장선상을 기준으로, 상기 카세트를 향하여 연장선상과 일정 각도로 빔을 조사한다.
그리고 상기 빔조사부는, 상기 카세트에 수납된 복수의 소재 시트의 일측 단부들을 향하여 빔을 조사하는 제1빔조사부, 및 상기 카세트에 수납된 복수의 소재 시트의 타측 단부들을 향하여 빔을 조사하는 제2빔조사부,를 포함한다.
또한, 상기 영상획득수단은, 상기 빔이 조사된 카세트를 향하여 조명을 조사하기 위한 조명부, 상기 조명부에 의해 조명이 조사된 상태에서 빔을 포함한 카세트의 영상을 획득하기 위한 카메라, 카메라의 포커싱을 유지하기 위한 렌즈, 및 상기 조명부와 카메라를 제어하기 위한 영상제어부,를 포함한다.
그리고 상기 영상획득수단을 상하이동시키기 위한 이동부,를 더 포함한다.
또한, 상기 이동부는, 베이스프레임, 상기 베이스프레임에 구비되는 가이드레일, 상기 영상획득수단이 설치되고, 상기 가이드레일을 따라 이동되기 위한 설치블럭, 상기 베이스프레임의 상단부와 하단부에 각각 구비되는 한 쌍의 롤러, 상기 한 쌍의 롤러를 연결하여 상기 설치블럭을 이동시키기 위한 밸트, 및 상기 한 쌍의 롤러 중 어느 하나를 회전 시키기 위한 구동모터,를 포함한다.
그리고 정상적인 빔 패턴과 비정상적인 다양한 빔 패턴에 대한 카세트에 수납된 소재 시트의 데이터가 저장된 데이터베이스,가 구비되고, 상기 비교분석부는, 상기 영상획득수단에 의해 획득한 영상 중 빔 패턴을 검출하는 영상분석부, 상기 영상분석부에서 검출된 빔 패턴과 상기 데이터베이스의 빔 패턴을 대조하여 동일한 빔 패턴을 검출하는 패턴검출부, 및 상기 패턴검출부에서 검출된 패턴에 대한 소재 시트 수납 상태를 확인하기 위한 패턴해석부,를 포함한다.
또한, 상기 패턴해석부의 데이터는, 해당 카세트에 수납된 소재 시트 단부의 형태와 소재 시트의 수납여부를 포함한다.
그리고 상기 패턴해석부의 데이터를 수신하여 표시하기 위한 표시부,가 더 구비되고, 상기 메인제어부에 의해 제어된다.
또한, 사전에 등록된 단말기로 상기 패턴해석부의 데이터를 실시간 발송하는 메세지발송부,가 더 포함된다.
상기한 바와 같이, 본 발명에 의한 카세트용 소재 시트 단부 검출장치에 의하면, 해당 카세트의 각 수납공간부에 소재 시트의 수납여부를 확인함은 물론, 수납된 소재 시트의 단부 상태를 자동으로 실시간 확인할 수 있어 작업효율을 향상시킬 수 있게 하는 매우 유용하고 효과적인 발명이다.
도 1은 본 발명에 따른 검출장치를 도시한 도면이고,
도 2는 본 발명에 따른 빔조사부를 도시한 도면이며,
도 3은 본 발명에 따른 영상획득수단을 도시한 도면이고,
도 4는 본 발명에 따른 영상획득수단의 이동부를 도시한 도면이며,
도 5는 본 발명에 따른 비교분석부를 도시한 도면이다.
이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시 형태를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 첨부된 도면과 함께 이하에 개시될 상세한 설명은 본 발명의 예시적인 실시형태를 설명하고자 하는 것이며, 본 발명이 실시될 수 있는 유일한 실시형태를 나타내고자 하는 것이 아니다. 이하의 상세한 설명은 본 발명의 완전한 이해를 제공하기 위해서 구체적 세부사항을 포함한다. 그러나, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 이러한 구체적 세부사항 없이도 실시될 수 있음을 안다.
몇몇 경우, 본 발명의 개념이 모호해지는 것을 피하기 위하여 공지의 구조 및 장치는 생략되거나, 각 구조 및 장치의 핵심기능을 중심으로 한 블록도 형식으로 도시될 수 있다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함(comprising 또는 including)"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 또한, 명세서에 기재된 "…부"의 용어는 적어도 하나의 기능이나 동작을 처리하는 단위를 의미한다. 또한, "일(a 또는 an)", "하나(one)", "그(the)" 및 유사 관련어는 본 발명을 기술하는 문맥에 있어서(특히, 이하의 청구항의 문맥에서) 본 명세서에 달리 지시되거나 문맥에 의해 분명하게 반박되지 않는 한, 단수 및 복수 모두를 포함하는 의미로 사용될 수 있다.
본 발명의 실시예들을 설명함에 있어서 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다. 그리고 후술되는 용어들은 본 발명의 실시예에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 검출장치를 도시한 도면이고, 도 2는 본 발명에 따른 빔조사부를 도시한 도면이며, 도 3은 본 발명에 따른 영상획득수단을 도시한 도면이고, 도 4는 본 발명에 따른 영상획득수단의 이동부를 도시한 도면이며, 도 5는 본 발명에 따른 비교분석부를 도시한 도면이다.
도면에서 도시한 바와 같이, 카세트용 소재 시트 단부 검출장치(10)는 카세트(30)와 빔조사부(100), 영상획득수단(200), 비교분석부(300) 및 메인제어부(400)로 구성된다.
카세트(30)는 복수의 수납공간부가 구비되는 것으로, 각 수납공간부에는 소재 시트(1)가 각각 수납된다.
이 복수의 소재 시트가 수납된 카세트(30)는 이송장치에 의해 이송과정 중 검사과정을 거치게 된다.
이를 위한, 빔조사부(100)는 카세트(30)에 수납된 복수의 소재 시트(1) 각 단부를 향하여 직선형 패턴의 빔을 조사하도록 구비된다.
그리고 영상획득수단(200)은 빔조사부(100)에 의해 조사된 빔의 패턴(20)을 포함한 카세트(1)의 영상을 획득하기 위해 구비된다.
비교분석부(300)는 영상획득수단(200)에 의해 획득한 영상을 정상적인 빔 패턴과 비교하여 분석하기 위해 구비된다.
또한 메인제어부(400)는 딥 러닝(Deep-Learning)을 기반으로, 빔조사부(100)와 영상획득수단(200), 비교분석부(300)를 제어하기 위해 구비된다.
이러한 카세트용 소재 시트 단부 검출장치(10)의 작동상태를 살펴보면, 이송장치에 의해 이송되는 카세트(30)을 향하여 빔을 조사하고, 빔이 조사된 카세트(30)의 영상을 획득한다.
획득된 영상은 비교분석부(300)에 의해 빔의 패턴(20)을 분석 및 검출한 다음, 저장되어 있던 각 패턴과 비교하여 카세트(30)에 소재 시트의 수납 여부를 확인한다.
이에, 카세트(30)에 소재 시트가 수납된 수납공간부와 비어있는 수납공간부를 확인할 수 있다.
이를 위한, 영상획득수단(200)은 카세트(30)의 수납공간부의 개방된 전측에 위치되어 패턴을 포함한 카세트 영상을 획득하게 된다.
그리고 빔조사부(100)는 영상획득수단(200)과 카세트(30)를 지나는 연장선상을 기준으로, 카세트(30)를 향하여 연장선상과 일정 각도로 빔을 조사한다.
이러한 빔의 패턴(20)은 영상획득수단(200)과 일정 각도로 영상을 획득함에 따라, 카세트(30)에 수납된 각 소재 시트(1)의 단부를 지나면서 끊어지는 부분이 생기며, 이 끊어진 패턴은 각 수납공간부에 소재 시트(1)의 수납 여부를 확인할 수 있다.
또한 각 끊어진 패턴(20)은 직선 또는 경사 또는 호 형상으로 맺히고, 비교분석부(300)에서 획득한 영상을 분석하여 패턴(20)을 분석하여 각 소재 시트(1)의 단부 상태를 파악할 수 있다.
여기서, 빔조사부(100)는 도 2에서 도시한 바와 같이, 제1빔조사부(110)와 제2빔조사부(120)로 구성된다.
제1빔조사부(110)는 카세트(30)에 수납된 복수의 소재 시트의 일측 단부들을 향하여 빔을 조사하고, 제2빔조사부(120)는 카세트(30)에 수납된 복수의 소재 시트의 타측 단부들을 향하여 빔을 조사하도록 구비된다.
이러한 제1빔조사부(110)와 제2빔조사부(120)에서 각각의 빔을 조사하여 각 패턴(20, 20')을 분석함에 따라 각 소재 시트(1)의 단부 일측와 타측에 대한 정확한 데이터를 확인할 수 있다.
이를 위한, 영상획득수단(200)은 도 3에서 도시한 바와 같이, 조명부(210)와 카메라(220), 렌즈(230) 및 영상제어부(240)로 구성된다.
조명부(210)는 빔이 조사된 카세트(30)를 향하여 조명을 조사하기 위해 구비되고, 카메라(220)는 조명부(210)에 의해 조명이 조사된 상태에서 빔을 포함한 카세트(30)의 영상을 획득하기 위해 구비된다.
그리고 렌즈(230)는 카메라(220)의 포커싱을 유지하기 위해 구비되며, 영상제어부(240)는 조명부(210)와 카메라(220)를 제어하기 위해 구비된다.
이러한 영상획득수단(200)에 의해 패턴이 포함된 카세트(30)의 영상을 획득할 수 있다.
또한 도 4에서 도시한 바와 같이, 영상획득수단(200)을 상하이동시키기 위한 이동부(800)를 더 포함한다.
이 이동부(800)는 베이스프레임(810)과 가이드레일(820), 설치블럭(830), 롤러(840), 밸트(850) 및 구동모터(860)로 구성된다.
가이드레일(820)은 베이스프레임(810)에 구비된다.
그리고 설치블럭(830)은 영상획득수단(200)이 설치되고, 가이드레일(820)을 따라 이동되기 위해 구비된다.
롤러(840)는 베이스프레임(810)의 상단부와 하단부에 각각 구비되고, 밸트(850)는 한 쌍의 롤러(840)를 연결하여 설치블럭(830)을 이동시키기 위해 구비된다.
또한 구동모터(860)는 한 쌍의 롤러(840) 중 어느 하나를 회전시키기 위해 구비되어 일방향 또는 타방향으로 회전시켜 설치블럭(830)을 상하 이동시킴에 따라 영상획득수단(200)을 승강시킬 수 있다.
그리고 정상적인 빔 패턴과 비정상적인 다양한 빔 패턴에 대한 카세트(30)와 소재 시트(1)의 데이터가 저장된 데이터베이스(500)가 구비된다.
비교분석부(300)는 도 5에서 도시한 바와 같이, 영상분석부(310)와 패턴검출부(320) 및 패턴해석부(330)로 구성된다.
영상분석부(310)는 영상획득수단(200)에 의해 획득한 영상 중 빔 패턴을 검출한다.
그리고 패턴검출부(320)는 영상분석부(310)에서 검출된 빔 패턴(20)과 데이터베이스(500)의 빔 패턴을 대조하여 동일한 빔 패턴을 검출하게 된다.
패턴해석부(330)는 패턴검출부(320)에서 검출된 패턴(20)에 대한 소재 시트의 유무와 단부 상태를 확인하기 위해 구비된다.
여기서, 패턴해석부(330)의 데이터는 해당 카세트에 수납된 소재 시트 단부의 형태와 소재 시트의 수납여부를 포함한다.
또한 패턴해석부(330)의 데이터를 수신하여 표시하기 위한 표시부(600)가 더 구비된다.
이 표시부(600)는 패턴(20)을 포함한 영상이 표시되어 관리자가 실시간 확인할 수 있는 것으로, 메인제어부(400)에 의해 제어된다.
그리고 메세지발송부(700)가 구비되어 사전에 등록된 단말기로 패턴해석부(330)의 데이터를 실시간 발송한다.
여기서, 사전에 등록된 단말기는 작업자와 관리자 등의 휴대폰이나 PDA단말기 등이다.
10 : 검출장치 100 : 빔조사부
200 : 영상획득수단 300 : 비교분석부
400 : 메인제어부 500 : 데이터베이스
600 : 표시부 700 : 메세지발송부

Claims (9)

  1. 소재 시트가 수납되기 위한 복수의 수납공간부를 갖는 카세트;
    상기 카세트에 수납된 복수의 소재시트 각 단부를 향하여 직선형의 빔을 조사하는 빔조사부;
    상기 빔조사부에 의해 조사된 빔의 패턴을 포함한 영상을 획득하기 위한 영상획득수단;
    상기 영상획득수단에 의해 획득한 영상을 정상적인 빔 패턴과 비교하여 분석하기 위한 비교분석부; 및
    딥 러닝을 기반으로 상기 빔조사부와 영상획득수단, 비교분석부를 제어하기 위한 메인제어부;를 포함하며,
    상기 영상획득수단은 상기 카세트의 수납공간부의 개방된 전측에 위치되고,
    상기 영상획득수단은 상기 빔조사부에서 조사되는 빔의 패턴과 일정 각도로 영상을 획득함에 따라, 카세트에 수납된 각 소재 시트의 단부를 지나면서 끊어지는 부분이 생기며, 이 끊어진 패턴은 각 수납공간부에 소재 시트의 수납 여부를 확인할 수 있고,
    상기 각 끊어진 패턴은 직선 또는 경사 또는 호 형상으로 맺히고, 상기 비교분석부에서 획득한 영상을 분석하여 패턴을 분석하여 각 소재 시트의 단부 상태를 파악할 수 있으며,
    상기 빔조사부는,
    상기 영상획득수단과 카세트를 지나는 연장선상을 기준으로, 상기 카세트를 향하여 연장선상과 일정 각도로 빔을 조사하며,
    상기 빔조사부는,
    상기 카세트에 수납된 복수의 소재 시트의 일측 단부들을 향하여 빔을 조사하는 제1빔조사부; 및
    상기 카세트에 수납된 복수의 소재 시트의 타측 단부들을 향하여 빔을 조사하는 제2빔조사부;를 포함하고,
    상기 영상획득수단은,
    상기 빔이 조사된 카세트를 향하여 조명을 조사하기 위한 조명부;
    상기 조명부에 의해 조명이 조사된 상태에서 빔을 포함한 카세트의 영상을 획득하기 위한 카메라;
    카메라의 포커싱을 유지하기 위한 렌즈; 및
    상기 조명부와 카메라를 제어하기 위한 영상제어부;를 포함하며,
    상기 영상획득수단을 상하이동시키기 위한 이동부;를 더 포함하고,
    상기 이동부는,
    베이스프레임;
    상기 베이스프레임에 구비되는 가이드레일;
    상기 영상획득수단이 설치되고, 상기 가이드레일을 따라 이동되기 위한 설치블럭;
    상기 베이스프레임의 상단부와 하단부에 각각 구비되는 한 쌍의 롤러;
    상기 한 쌍의 롤러를 연결하여 상기 설치블럭을 이동시키기 위한 밸트; 및
    상기 한 쌍의 롤러 중 어느 하나를 회전 시키기 위한 구동모터;를 포함하며,
    정상적인 빔 패턴과 비정상적인 다양한 빔 패턴에 대한 카세트에 수납된 소재 시트의 데이터가 저장된 데이터베이스;가 구비되고,
    상기 비교분석부는,
    상기 영상획득수단에 의해 획득한 영상 중 빔 패턴을 검출하는 영상분석부;
    상기 영상분석부에서 검출된 빔 패턴과 상기 데이터베이스의 빔 패턴을 대조하여 동일한 빔 패턴을 검출하는 패턴검출부; 및
    상기 패턴검출부에서 검출된 패턴에 대한 소재 시트 수납 상태를 확인하기 위한 패턴해석부;를 포함하며,
    상기 패턴해석부는 상기 패턴검출부에서 검출된 패턴에 대한 소재 시트의 유무와 단부 상태를 확인하기 위해 구비되고,
    상기 패턴해석부의 데이터는 해당 카세트에 수납된 소재 시트 단부의 형태와 소재 시트의 수납여부를 포함하며,
    상기 패턴해석부의 데이터를 수신하여 표시하기 위한 표시부;가 더 구비되고, 상기 메인제어부에 의해 제어되며,
    사전에 등록된 단말기로 상기 패턴해석부의 데이터를 실시간 발송하는 메세지발송부;가 더 포함되고,
    상기 사전에 등록된 단말기는 작업자와 관리자 등의 휴대폰이나 PDA단말기인 것을 특징으로 하는 카세트용 소재 시트 단부 검출장치.
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200336812Y1 (ko) 2003-09-17 2003-12-24 김광렬 웨이퍼의 결함 검사장치
JP2013004927A (ja) * 2011-06-21 2013-01-07 Toshiba Corp ウェーハマッピング装置およびウェーハマッピング方法

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5881007B2 (ja) * 2009-11-17 2016-03-09 シンフォニアテクノロジー株式会社 ウエハ検出装置
KR101203268B1 (ko) * 2010-06-28 2012-11-20 (주)시스윈일렉트로닉스 크랙 검출 장치

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200336812Y1 (ko) 2003-09-17 2003-12-24 김광렬 웨이퍼의 결함 검사장치
JP2013004927A (ja) * 2011-06-21 2013-01-07 Toshiba Corp ウェーハマッピング装置およびウェーハマッピング方法

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