KR102257984B1 - 다층 물품 검사용 엑스레이 검사 장치 및 그에 의한 검사 방법 - Google Patents

다층 물품 검사용 엑스레이 검사 장치 및 그에 의한 검사 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR102257984B1
KR102257984B1 KR1020190150888A KR20190150888A KR102257984B1 KR 102257984 B1 KR102257984 B1 KR 102257984B1 KR 1020190150888 A KR1020190150888 A KR 1020190150888A KR 20190150888 A KR20190150888 A KR 20190150888A KR 102257984 B1 KR102257984 B1 KR 102257984B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
inspection
detector
ray
tray
article
Prior art date
Application number
KR1020190150888A
Other languages
English (en)
Inventor
김형철
최봉진
Original Assignee
(주)자비스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)자비스 filed Critical (주)자비스
Priority to KR1020190150888A priority Critical patent/KR102257984B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102257984B1 publication Critical patent/KR102257984B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
    • G01N23/04—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
    • G01N23/06—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and measuring the absorption
    • G01N23/083—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and measuring the absorption the radiation being X-rays

Landscapes

  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Abstract

본 발명은 다층 물품 검사용 엑스레이 검사 장치 및 그에 의한 검사 방법에 관한 것이다. 엑스레이 검사 장치는 다층 물품 검사용 엑스레이 검사 장치는 엑스레이 이미지의 획득을 위한 엑스레이 튜브(11) 및 디텍터(12)을 포함하는 검사 모듈; 엑스레이 튜브(11)와 디텍터(12)의 사이에 배치되면서 적어도 하나의 물품이 위치하는 검사 트레이(13); 디텍터(12)의 이동을 위한 이동 조절 모듈(151); 및 검사 트레이(13)의 상하 이동을 유도하는 상하 조절 가이드(17a, 17b)를 포함한다.

Description

다층 물품 검사용 엑스레이 검사 장치 및 그에 의한 검사 방법{An X-ray Apparatus for Investigating Articles in Laminated Structure}
본 발명은 다층 물품 검사용 엑스레이 검사 장치 및 그에 의한 검사 방법에 관한 것이고, 구체적으로 동일 또는 유사한 물품이 층을 이루면서 겹쳐진 상태에서 다수 개의 물품을 동시에 검사할 수 있는 다층 물품 검사용 엑스레이 검사 장치 및 그에 의한 검사 방법에 관한 것이다.
비파괴 검사에 해당하는 엑스레이 검사 방법은 물품에 대한 손상이 없이 외관을 비롯한 내부의 상태 검사가 가능하다는 장점을 가진다. 엑스레이에 의한 검사 방법은 비전 검사가 어려운 검사 대상의 내부 결함을 탐지하기 위하여 적용될 수 있고, 내부 결함은 이물질의 존재, 구조적 결합 또는 배열 상태의 결함을 포함할 수 있다. 엑스레이에 의한 검사 방법은 다른 검사 방법의 적용이 어려운 테이프 형태의 제품이 감긴 릴과 같은 물품의 검사가 가능하도록 한다. 예를 들어 절연 테이프 또는 이와 유사한 테이프가 감긴 릴이 엑스레이에 의하여 검사가 될 수 있다. 다양한 구조를 가지는 물품이 엑스레이 장치에 의하여 검사가 될 수 있고, 다양한 형태의 엑스레이 검사 장치가 이 분야에 공지되어 있다. 특허등록번호 10-1284375는 목재의 내부 상태 검사가 효과적으로 이루어질 수 있도록 하는 회전형 엑스레이 장치에 대하여 개시한다. 또한 특허공개번호 10-2019-0009145는 검사 대상 회전 구조의 엑스레이 검사 장치에 대하여 개시한다. 다층 구조를 가지거나 또는 다층 구조 형태로 적층된 물품의 검사를 위하여 물품의 다양한 각도에서 엑스레이 이미지가 획득되는 것이 유리하고, 이를 위하여 엑스레이 튜브 및 디텍터가 이와 같은 이미지가 효과적으로 획득되도록 하는 위치에 배치될 필요가 있다. 그러나 선행기술 또는 공지 기술은 이와 같은 검사 모듈의 배치 구조에 대하여 개시하지 않는다.
본 발명은 선행기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로 아래와 같은 목적을 가진다.
선행기술 1: 특허등록번호 10-1284375(서울대학교산학협력단, 2013.07.09. 공고) 목재 검사용 회전형 엑스레이 장치 선행기술 2: 특허공개번호 10-2019-0009145((주)자비스, 2019.01.28. 공개) 검사 대상 회전 구조의 엑스레이 검사 장치용 검사 디바이스
본 발명의 목적은 적층 구조로 형성된 하나의 물품 또는 다수 물품의 검사가 가능한 다층 물품 검사용 엑스레이 검사 장치 및 그에 의한 검사 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 적절한 실시 형태에 따르면, 다층 물품 검사용 엑스레이 검사 장치는 엑스레이 이미지의 획득을 위한 엑스레이 튜브 및 디텍터를 포함하는 검사 모듈; 엑스레이 튜브와 디텍터의 사이에 배치되면서 적어도 하나의 물품이 위치하는 검사 트레이; 디텍터의 이동을 위한 이동 조절 모듈; 및 검사 트레이의 상하 이동을 유도하는 상하 조절 가이드를 포함한다.
본 발명의 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 엑스레이 튜브는 수평 방향을 따라 선형 이동이 가능하다.
본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 디텍터는 검사 트레이의 평면에 대하여 수직이 되는 방향을 기준으로 회전 가능하다.
본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 디텍터는 평면 형상의 이동 기판; 이동 기판에 형성된 회전 가이드; 및 회전 가이드를 따라 이동 가능한 유도 브래킷에 의하여 회전 가능하다.
본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 검사 트레이에 위치하는 물품은 원형으로 감긴 테이프가 된다.
본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 다층을 형성하는 물품을 엑스레이 이미지에 의하여 검사하는 방법은 검사 트레이에 다수 개의 다층 물품의 적층 구조로 적재되어 검사실로 투입되는 단계; 검사 트레이의 높이가 조절되는 단계; 물품에 대한 제1 이미지가 회득되는 단계; 디텍터가 정해진 각도로 회전이 되는 단계; 정해진 각도에서 제2 이미지가 획득되는 단계; 및 획득된 제1, 2 이미지부터 물품의 결함이 검출되는 단계를 포함한다.
본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 물품은 테이프가 감긴 다수 개의 릴이 된다.
본 발명에 따른 다층 물품 검사용 엑스레이 장치는 예를 들어 휴대용 전자기기 또는 전기자동차의 배터리의 내부 또는 외부에 사용되는 절연 테이프의 검사에 적용될 수 있다. 또는 엑스레이 장치는 셀 절연용 테이프 또는 배터리 고정용 테이프의 검사에 적용될 수 있다. 이와 같은 테이프는 릴에 감겨질 수 있고, 릴에 감겨진 상태에서 검사가 될 필요가 있다. 그리고 이와 같은 제품은 검사 효율의 향상을 위하여 다수 개가 동시에 검사가 되는 것이 유리하다. 본 발명에 따른 엑스레이 장치는 예를 들어 두께가 1 내지 20 ㎜가 되도록 릴에 감긴 절연 테이프가 릴에 감긴 상태에서 다수 물품이 동시에 검사가 되도록 한다. 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치는 적층된 다수 개의 물품의 검사를 비롯하여 적층 구조를 가지는 물품의 검사에 적용되어 내부 결함의 검사가 효율적으로 이루어지도록 한다.
도 1은 본 발명에 따른 다층 물품 검사용 엑스레이 검사 장치의 실시 예를 도시한 것이다.
도 2는 본 발명에 따른 검사 장치에서 검사 대상을 위한 검사 트레이 구조의 실시 예를 도시한 것이다.
도 3은 본 발명에 따른 검사 장치에서 디텍터가 회전되는 구조의 실시 예를 도시한 것이다.
도 4는 본 발명에 따른 다층 적재 물품의 검사 방법의 실시 예를 도시한 것이다.
아래에서 본 발명은 첨부된 도면에 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되지만 실시 예는 본 발명의 명확한 이해를 위한 것으로 본 발명은 이에 제한되지 않는다. 아래의 설명에서 서로 다른 도면에서 동일한 도면 부호를 가지는 구성요소는 유사한 기능을 가지므로 발명의 이해를 위하여 필요하지 않는다면 반복하여 설명이 되지 않으며 공지의 구성요소는 간략하게 설명이 되거나 생략이 되지만 본 발명의 실시 예에서 제외되는 것으로 이해되지 않아야 한다.
도 1은 본 발명에 따른 다층 물품 검사용 엑스레이 검사 장치의 실시 예를 도시한 것이다.
도 1을 참조하면, 다층 물품 검사용 엑스레이 검사 장치는 엑스레이 이미지의 획득을 위한 엑스레이 튜브(11) 및 디텍터(12)를 포함하는 검사 모듈; 엑스레이 튜브(11)와 디텍터(12)의 사이에 배치되면서 적어도 하나의 물품이 위치하는 검사 트레이(13); 디텍터(12)의 이동을 위한 이동 조절 모듈(151); 및 검사 트레이(13)의 상하 이동을 유도하는 상하 조절 가이드(17a, 17b)를 포함한다.
엑스레이 튜브(11) 및 디텍터(12)는 검사실(R)의 내부에 설치될 수 있고, 검사실(R)은 밀폐 구조가 될 수 있다. 검사실(R)의 앞쪽 또는 다른 적절한 밀폐 도어가 설치될 수 있고, 밀폐 도어를 통하여 검사 트레이(13)가 검사실(R)의 외부로 배출되거나, 검사실(R)의 내부로 이동될 수 있다. 엑스레이 튜브(11)가 검사실(R)의 아래쪽에 배치될 수 있고, 엑스레이 튜브(11)에서 방출된 엑스레이를 탐지하는 디텍터(12)가 검사실(R)의 위쪽에 설치될 수 있고, 엑스레이 튜브(11)와 디텍터(12)의 사이에 검사 트레이(13)가 설치될 수 있다. 엑스레이 튜브(11)와 디텍터(12)는 검사 대상에 따라 다양한 위치에 배치될 수 있고 제시된 실시 예에 제한되지 않는다. 엑스레이 튜브(11)는 튜브 브래킷(14)에 설치될 수 있고, 튜브 브래킷(14)은 이동 가이드(141)를 따라 이동 가능한 구조를 가질 수 있다. 예를 들어 검사실(R)의 아래쪽 부분에 수평 방향을 따라 연장되는 이동 가이드(141)가 설치될 수 있고, 튜브 브래킷(14)은 검사 방향을 따라 이동될 수 있다. 또한 디텍터(12)는 조절 모듈(151)에 의하여 회전 가능한 구조를 가질 수 있고, 예를 들어 디텍터(12)는 검사 트레이(13)의 평면에 대하여 수직이 되는 방향을 기준으로 회전 가능하다. 또한 디텍터(12)는 검사실(R)의 천장 부분에 설치된 위치 가이드(153)를 따라 수평 방향을 따라 이동될 수 있다. 디텍터(12)의 수평 방향을 따른 이동은 예를 들어 모터와 같은 구동 수단(154)에 의하여 위치 가이드(153)를 따라 수평 방향으로 이동될 수 있고, 조절 모듈(151)에 의하여 정해진 각도로 회전될 수 있다. 디텍터(12)는 예를 들어 평면 디텍터 또는 이와 유사한 디텍터가 될 수 있지만 이에 제한되지 않고, 검사 대상이 되는 물품의 구조에 따라 그에 적합한 구조를 가지는 디텍터가 선택될 수 있다. 본 발명의 하나의 실시 예에 따르면, 검사 트레이(13)는 검사실(R)의 내부에서 상하 이동이 가능하도록 배치될 수 있다. 검사 트레이(13)는 검사실(R)의 앞쪽에 형성된 차폐 도어를 통하여 검사실(R)의 외부로 이동될 수 있고, 검사 트레이(13)의 이동을 위한 한 쌍의 트레이 가이드(16a, 16b)가 검사실(R)의 내부로부터 외부로 연장되는 구조로 설치될 수 있다. 검사 트레이(13)가 트레이 가이드(16a, 16b)를 따라 검사실(R)의 외부로 이동되면, 검사가 되어야 하는 물품이 검사 트레이(13)에 적재될 수 있다. 물품은 예를 들어 원형으로 감긴 테이프가 될 수 있고, 테이프는 스트립 형상으로 연장되는 절연 테이프가 될 수 있다. 테이프는 릴과 같은 테이프 보관 수단에 감길 수 있고, 릴은 예를 들어 두께가 1 내지 20 ㎜가 되는 원판 형상이 될 수 있다. 적어도 하나의 릴이 검사 트레이(13)에 적재될 수 있고, 예를 들어 다수 개의 릴이 층을 형성하면서 검사 트레이(13)에 적재될 수 있다. 다양한 구조를 가지는 물품이 검사 트레이(13)에 적재될 수 있고, 검사 대상이 되는 물품은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다. 물품이 검사 트레이(13)에 적재되면, 검사 트레이(13)는 트레이 가이드(16a, 16b)를 따라 이동되어 검사실(R)의 내부로 이동될 수 있다. 검사 트레이(13)가 검사실(R)의 내부에 위치하면, 엑스레이 튜브(11) 또는 디텍터(12)의 위치가 조절될 수 있다. 또한 검사 트레이(13)에 대한 물품의 엑스레이 튜브(11)의 초점을 결정하기 위하여 검사 트레이(13)가 상하 조절 가이드(17a, 17b)가 상하로 이동될 수 있다. 물품에 대한 초점이 설정되면 엑스레이 이미지가 획득될 수 있다. 검사 대상이 다층 구조를 가지므로 다양한 각도에서 엑스레이 이미지가 획득될 필요가 있고, 이를 위하여 엑스레이 튜브(11)가 수평 방향을 따라 이동될 수 있고, 엑스레이 튜브(11)의 이동에 따라 디텍터(12)가 조절 모듈(151)에 의하여 회전될 수 있다. 또는 엑스레이 튜브(11)가 고정된 상태에서 디텍터(12)가 회전되거나, 검사 트레이(13)가 상하로 이동될 수 있다. 이와 같이 엑스레이 튜브(11) 또는 디텍터(12)의 위치가 결정되면 그에 따른 엑스레이 이미지가 획득될 수 있다. 이와 같은 방법으로 다수 개의 엑스레이 이미지가 획득되면 그에 기초하여 물품에 대한 검사가 이루어질 수 있고, 검사 트레이(13)가 검사실의 외부로 배출될 수 있다. 이후 새로운 물품이 검사실(R)의 내부로 투입되어 검사가 이루어질 수 있다. 다양한 물품이 엑스레이 장치에 의하여 검사가 될 수 있고 바람직하게 다층 구조를 가지는 물품에 대한 검사가 효과적으로 이루어질 수 있다.
도 2는 본 발명에 따른 검사 장치에서 검사 대상을 위한 검사 트레이 구조의 실시 예를 도시한 것이다.
도 2를 참조하면, 검사 트레이(13)는 전체적으로 평면 형상이 되면서 양쪽 측면에 형성된 유도 테두리(131a, 131b)를 포함할 수 있다. 유도 테두리(131a, 131b)는 트레이 가이드를 따라 슬라이딩 방식으로 이동되면서 검사 트레이(13)가 검사실의 내부 또는 외부로 이동될 수 있다. 검사 트레이(13)는 모터와 같은 트레이 구동 유닛(132)의 구동에 의하여 이동될 수 있고, 검사 트레이(13)는 위쪽 면에 물품이 위치될 수 있는 적절한 구조를 가질 수 있다. 디텍터(12)는 엑스레이 튜브와 동일한 방향으로 선형 이동이 가능하면서 이와 동시에 조절 모듈(151)에 의하여 회전이 가능한 구조를 가질 수 있다. 조절 모듈(151)에 모터와 같은 회전 구동 수단(155)이 배치될 수 있고, 조절 모듈(151)의 작동에 의하여 디텍터(12)가 검사 트레이(13)에 의한 평면에 수직으로 연장되는 반지름 또는 위쪽 방향으로 연장되는 반지름을 형성하면서 정해진 각도로 회전될 수 있다. 디텍터(12)의 회전에 의하여 물품에 대한 측면 방향의 엑스레이 이미지가 획득될 수 있고, 다양한 회전각에서 획득된 엑스레이 이미지에 기초하여 층 구조로 위치하는 물품의 불량 여부가 탐지될 수 있다. 선택적으로 다양한 회전각에서 획득된 엑스레이 이미지로부터 물품에 대한 입체 이미지가 획득될 수 있고, 이에 의하여 물품의 결함이 탐지될 수 있다. 이와 같이 엑스레이 튜브와 디텍터(12)가 선형 이동이 되면서 이와 동시에 디텍터(12)가 회전 가능한 구조를 가지는 것에 의하여 층 구조를 가지는 다양한 물품에 대한 검사가 정확하게 이루어지도록 한다. 디텍터(12)의 회전은 다양한 방법으로 이루어질 수 있다.
도 3은 본 발명에 따른 검사 장치에서 디턱터가 회전되는 구조의 실시 예를 도시한 것이다.
도 3을 참조하면, 디텍터(12)는 평면 형상의 이동 기판(35); 이동 기판(35)에 형성된 회전 가이드(32); 및 회전 가이드(32)를 따라 이동 가능한 유도 브래킷(152)에 의하여 회전 가능하다. 이동 기판(35)은 전체적으로 판 형상이 될 수 있고, 예를 들어 사각 판 형상이 될 수 있다. 이동 기판(35)은 검사 트레이 평면에 대하여 수직이 되도록 형성될 수 있고, 이동 기판(35)에 곡선 형상의 회전 가이드(32)가 형성될 수 있다. 디텍터(12)는 유도 브래킷(152)에 의하여 회전 유도 가이드(31)에 결합될 수 있고, 유도 브래킷(152)은 회전 유도 가이드(31)를 따라 유도될 수 있다. 유도 브래킷(152)에 디텍터(12)가 결합될 수 있고, 유도 브래킷(152)에 또한 이동 기판(152a)이 연결될 수 있다. 그리고 이동 기판(152a)에 모터와 같은 회전 구동 수단(155)이 결합될 수 있다. 이동 기판(152a)의 아래쪽에 회전 가이드(32)를 따라 이동될 수 있는 도르래, 롤러 또는 이와 유사한 이동 수단(36a, 36b)이 배치될 수 있다. 회전 구동 수단(155)의 구동에 의하여 이동 수단(36a, 36b)이 작동되어 이동 기판(152a)이 이동되면서 이에 따라 디텍터(12)가 회전될 수 있다. 회전 가이드(32)의 위치 또는 조절 모듈(151)의 위치가 위치 탐지 센서(321)에 의하여 탐지될 수 있다. 예를 들어 이동 기판(35)의 방향, 각도, 기울기 또는 이와 유사한 조절 모듈(151)의 검사 트레이에 대한 상대적인 위치가 위치 탐지 센서(321)에 의하여 탐지될 수 있다. 또한 회전 탐지 센서(33)가 배치되어 디텍터(12)의 회전 각도가 탐지될 수 있다. 디텍터(12)의 회전은 다양한 방법으로 이루어질 수 있고 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.
도 4는 본 발명에 따른 다층 적재 물품의 검사 방법의 실시 예를 도시한 것이다.
도 4를 참조하면, 다층을 형성하는 물품을 엑스레이 이미지에 의하여 검사하는 방법은 검사 트레이에 다수 개의 다층 물품의 적층 구조로 적재되어 검사실로 투입되는 단계(P41); 검사 트레이의 높이가 조절되는 단계(P42); 물품에 대한 제1 이미지가 회득되는 단계(P43); 디텍터가 정해진 각도로 회전이 되는 단계(P44); 정해진 각도에서 제2 이미지가 획득되는 단계(P45); 및 획득된 제1, 2 이미지부터 물품의 결함이 검출되는 단계(P47)를 포함한다.
다층을 형성하는 물품은 예를 들어 절연 테이프가 원형으로 감긴 다수 개의 릴(41)이 될 수 있다. 다수 개의 릴(41)이 적층이 된 상태로 검사가 될 수 있고, 검사 트레이가 검사실의 외부로 배출되면 다수 개의 릴(41)이 검사 트레이에 적재될 수 있다. 다수 개의 릴(41)이 검사 트레이에 적재되면 검사 트레이가 검사실의 내부로 투입될 수 있다(P41). 검사실의 내부로 검사 트레이가 투입되면, 검사 트레이의 높이가 조절될 수 있다(P42). 위에서 설명된 것처럼 검사 트레이는 상하 이동이 가능한 구조로 배치될 수 있고, 엑스레이 튜브의 위치에 따라 검사 트레이의 높이가 조절될 수 있다(P42). 이와 같이 검사 트레이의 높이가 조절되어 엑스레이 튜브의 초점이 결정되면 물품에 대한 제1 엑스레이 이미지가 획득될 수 있다(P43). 제1 엑스레이 이미지가 획득된 이후 디텍터가 미리 결정된 각도로 회전될 수 있고(P44), 제2 엑스레이 이미지가 획득될 수 있다(P45). 다양한 각도로 디텍터가 회전될 수 있고, 엑스레이 이미지가 획득되는 회전각이 미리 결정될 수 있다. 각각의 위치에서 엑스레이 이미지가 획득될 수 있고, 미리 결정된 각도 범위로 회전이 되었는지 여부가 확인될 수 있다(P46). 회전이 완료되지 않는 것으로 판단되면(NO), 디텍터가 회전될 수 있다(P44). 이에 비하여 회전이 완료된 것으로 판단되면(YES), 획득된 다수 개의 이미지로부터 물품의 결함이 검출될 수 있다(P47). 선택적으로 다수 개의 회전 이미지로부터 입체 이미지가 획득될 수 있다. 다양한 방법으로 다층 구조의 물품이 검사될 수 있고 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.
본 발명에 따른 다층 물품 검사용 엑스레이 장치는 예를 들어 휴대용 전자기기 또는 전기자동차의 배터리의 내부 또는 외부에 사용되는 절연 테이프의 검사에 적용될 수 있다. 또는 엑스레이 장치는 셀 절연용 테이프 또는 배터리 고정용 테이프의 검사에 적용될 수 있다. 이와 같은 테이프는 릴에 감겨질 수 있고, 릴에 감겨진 상태에서 검사가 될 필요가 있다. 그리고 이와 같은 제품은 검사 효율의 향상을 위하여 다수 개가 동시에 검사가 되는 것이 유리하다. 본 발명에 따른 엑스레이 장치는 예를 들어 두께가 1 내지 20 ㎜가 되도록 릴에 감긴 절연 테이프가 릴에 감긴 상태에서 다수 물품이 동시에 검사가 되도록 한다. 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치는 적층된 다수 개의 물품의 검사를 비롯하여 적층 구조를 가지는 물품의 검사에 적용되어 내부 결함의 검사가 효율적으로 이루어지도록 한다.
위에서 본 발명은 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되었지만 이 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 제시된 실시 예를 참조하여 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변형 및 수정 발명을 만들 수 있을 것이다. 본 발명은 이와 같은 변형 및 수정 발명에 의하여 제한되지 않으며 다만 아래에 첨부된 청구범위에 의하여 제한된다.
11: 엑스레이 튜브 12: 디텍터
13: 검사 트레이 14: 튜브 브래킷
16a, 16b: 트레이 가이드 17a, 17b: 상하 조절 가이드
31: 회전 유도 가이드 32: 회전 가이드
35: 이동 기판 36a, 36b: 이동 수단
151: 조절 모듈 153: 위치 가이드

Claims (7)

  1. 엑스레이 이미지의 획득을 위한 엑스레이 튜브(11) 및 디텍터(12)을 포함하는 검사 모듈;
    엑스레이 튜브(11)와 디텍터(12)의 사이에 배치되면서 적어도 하나의 물품이 위치하는 검사 트레이(13);
    디텍터(12)의 이동을 위한 이동 조절 모듈(151); 및
    검사 트레이(13)의 상하 이동을 유도하는 상하 조절 가이드(17a, 17b)를 포함하고,
    엑스레이 튜브(11)는 수평 방향을 따라 선형 이동이 가능하고,
    디텍터(12)는 검사실(R)의 천장 부분에 설치된 위치 가이드(153)를 따라 수평 방향으로 이동되며,
    디텍터(12)는 평면 형상의 이동 기판(35); 이동 기판(35)에 형성된 회전 가이드(32); 및 회전 가이드(32)를 따라 이동 가능한 유도 브래킷(152)에 의하여 검사 트레이(13)의 평면에 대하여 수직이 되는 방향을 기준으로 회전 가능하며,
    이동 조절 모듈(151)의 검사 트레이에 대한 상대적인 위치를 탐지하는 위치 탐지 센서(321) 및 디텍터(12)의 회전 각도를 탐지하는 회전 탐지 센서(33)를 더 포함하고,
    검사 트레이(13)에 원형으로 테이프가 감긴 다수 개의 릴이 적층되어 검사되는 것을 특징으로 하는 다층 물품 검사용 엑스레이 검사 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 삭제
KR1020190150888A 2019-11-22 2019-11-22 다층 물품 검사용 엑스레이 검사 장치 및 그에 의한 검사 방법 KR102257984B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190150888A KR102257984B1 (ko) 2019-11-22 2019-11-22 다층 물품 검사용 엑스레이 검사 장치 및 그에 의한 검사 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190150888A KR102257984B1 (ko) 2019-11-22 2019-11-22 다층 물품 검사용 엑스레이 검사 장치 및 그에 의한 검사 방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR102257984B1 true KR102257984B1 (ko) 2021-05-28

Family

ID=76140116

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020190150888A KR102257984B1 (ko) 2019-11-22 2019-11-22 다층 물품 검사용 엑스레이 검사 장치 및 그에 의한 검사 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102257984B1 (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102658519B1 (ko) * 2023-09-25 2024-04-18 테크밸리 주식회사 개선된 기능을 가지는 칩카운터 장치
KR102668993B1 (ko) 2022-07-12 2024-05-24 테크밸리 주식회사 원점 세팅기능을 가지는 오블릭 ct 장비

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101181845B1 (ko) * 2011-12-22 2012-09-11 주식회사 쎄크 Ｓｍｔ 인라인용 자동 엑스선 검사장치
KR101284375B1 (ko) 2013-02-21 2013-07-09 서울대학교산학협력단 목재 검사용 회전형 엑스레이 장치
KR20190009145A (ko) 2017-07-18 2019-01-28 (주)자비스 검사 대상 회전 구조의 엑스레이 검사 장치용 검사 디바이스
KR20190047684A (ko) * 2019-04-30 2019-05-08 (주)자비스 다수 개의 전자 부품의 탐지를 위한 엑스레이 장치 및 그에 의한 전자 부품의 탐지 방법
KR20190109374A (ko) * 2019-09-20 2019-09-25 (주)자비스 스테이지 배출 구조의 엑스레이 검사 장치
KR20190125656A (ko) * 2018-04-30 2019-11-07 주식회사 쎄크 엑스레이 검사장치

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101181845B1 (ko) * 2011-12-22 2012-09-11 주식회사 쎄크 Ｓｍｔ 인라인용 자동 엑스선 검사장치
KR101284375B1 (ko) 2013-02-21 2013-07-09 서울대학교산학협력단 목재 검사용 회전형 엑스레이 장치
KR20190009145A (ko) 2017-07-18 2019-01-28 (주)자비스 검사 대상 회전 구조의 엑스레이 검사 장치용 검사 디바이스
KR20190125656A (ko) * 2018-04-30 2019-11-07 주식회사 쎄크 엑스레이 검사장치
KR20190047684A (ko) * 2019-04-30 2019-05-08 (주)자비스 다수 개의 전자 부품의 탐지를 위한 엑스레이 장치 및 그에 의한 전자 부품의 탐지 방법
KR20190109374A (ko) * 2019-09-20 2019-09-25 (주)자비스 스테이지 배출 구조의 엑스레이 검사 장치

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102668993B1 (ko) 2022-07-12 2024-05-24 테크밸리 주식회사 원점 세팅기능을 가지는 오블릭 ct 장비
KR102658519B1 (ko) * 2023-09-25 2024-04-18 테크밸리 주식회사 개선된 기능을 가지는 칩카운터 장치

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6691531B2 (ja) 半導体ウェハを検査するためのｘ線検査装置
US20190145913A1 (en) Method and device for continuous non-destructive inspection of membrane-electrode assembly
US20210181125A1 (en) Radiation transmission inspection method and device, and method of manufacturing microporous film
KR101278920B1 (ko) Ｘ선 검사장치 및 ｘ선 검사방법
KR102257984B1 (ko) 다층 물품 검사용 엑스레이 검사 장치 및 그에 의한 검사 방법
CN117405707A (zh) 核废物包装体双模同步扫描检测装置
KR20200130961A (ko) 배관 용접부 검사장치
KR20180067103A (ko) 다수 개의 전자 부품의 탐지를 위한 엑스레이 장치 및 그에 의한 전자 부품의 탐지 방법
KR102216872B1 (ko) 비접촉식 엑스레이 검사 장치 및 그에 의한 물품 검사 방법
CN108759696A (zh) 内孔成像测量仪
CN108132262A (zh) 缺陷检查装置、缺陷检查方法及隔膜卷绕体的制造方法
WO2003085391A1 (fr) Technique d'inspection aux rayons x d'un pneumatique et appareil a cet effet
JP2006162335A (ja) Ｘ線検査装置、ｘ線検査方法およびｘ線検査プログラム
KR102142029B1 (ko) 다수 개의 전자 부품의 탐지를 위한 엑스레이 장치 및 그에 의한 전자 부품의 탐지 방법
CN108120725A (zh) 缺陷检查装置、缺陷检查方法、隔膜卷绕体的制造方法及隔膜卷绕体
JP3313755B2 (ja) 断層撮影装置
CN215640932U (zh) 一种音箱检测设备
WO2014136194A1 (ja) Ｘ線非破壊検査装置
KR102434340B1 (ko) 이동식 디지털 방사선 검사 장치
JP4380941B2 (ja) 検査装置
KR20180114676A (ko) 박막의 결함밀도 검사 장치 및 검사 방법
JP2004354215A (ja) 放射線透過非破壊検査装置
JPH02195237A (ja) 産業用ｘ線ｃｔスキャナ
JP2023550442A (ja) マルチチャンネル放射線検査機器
JPS6064235A (ja) Ｃｔスキヤナ

Legal Events

Date Code Title Description
GRNT Written decision to grant