JP2004354215A - 放射線透過非破壊検査装置 - Google Patents
放射線透過非破壊検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004354215A JP2004354215A JP2003152555A JP2003152555A JP2004354215A JP 2004354215 A JP2004354215 A JP 2004354215A JP 2003152555 A JP2003152555 A JP 2003152555A JP 2003152555 A JP2003152555 A JP 2003152555A JP 2004354215 A JP2004354215 A JP 2004354215A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- radiation
- inspected
- ray
- inspection object
- sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
【課題】従来の放射線透過非破壊検査装置では、円柱形状を成す被検査体を検査する場合、放射線の透過距離が部分的に異なるため、透過距離の相違によるコントラストの差により内部の確認が困難であると共に、散乱線により像質が低下するという問題点があった。
【解決手段】被検査体WにX線を照射するX線源1と、被検査体Wを透過した放射線の強度分布を検出するX線ラインセンサ2と、被検査体Wの円周部両側に添う調整体3を備え、調整体3が、放射線の透過性を有し、被検査体Wの直径に基づいて設定した厚みを有すると共に、X線ラインセンサ2に近接して配置してある放射線透過非破壊検査装置とし、被検査体Wにおける放射線の透過距離の部分的な相違を補償すると共に、散乱線による影響を抑制する。
【選択図】 図1
【解決手段】被検査体WにX線を照射するX線源1と、被検査体Wを透過した放射線の強度分布を検出するX線ラインセンサ2と、被検査体Wの円周部両側に添う調整体3を備え、調整体3が、放射線の透過性を有し、被検査体Wの直径に基づいて設定した厚みを有すると共に、X線ラインセンサ2に近接して配置してある放射線透過非破壊検査装置とし、被検査体Wにおける放射線の透過距離の部分的な相違を補償すると共に、散乱線による影響を抑制する。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、円柱形状を成す被検査体に放射線を透過させて内部を検査するのに用いる放射線透過非破壊検査装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、円柱形状を成す被検査体の放射線透過非破壊検査装置としては、例えば図3に示すようなものがあった。図示の装置は、放射線としてX線を用いるものであって、点光源であるX線源101と、被検査体Wの背後に配置したX線フィルム102を備えており、被検査体Wを静止状態にして、X線源101から被検査体WにX線を照射し、被検査体Wを透過したX線をX線フィルム102に撮影する。また、この種の装置では、被検査体Wの向きを軸線回りに所定角度ずつ変えて撮影を繰り返し行うことにより、被検査体の全体の内部をより確実に検査するようにしていた。
【0003】
さらに、その他の放射線透過非破壊検査装置としては、X線源から放射したX線をコリメータによって線状のX線ビームにし、このX線ビームを被検査体に向けて走査して、被検査体を透過したX線を検出するようにしたものがあった(例えば、特許文献1参照)。
【0004】
【特許文献1】
特開平5−12424号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図3に示す従来の放射線透過非破壊検査装置にあっては、被検査体Wが円柱形状を成していることから、被検査体WにおけるX線の透過距離が部分的に異なり、中央部分で透過距離が大きく、両側で透過距離が小さいので、撮影したX線フィルム102上で透過距離の相違によるコントラストの差によって、内部の確認が困難になるという問題があり、また、X線フィルム102の両端部に散乱線(図中に矢印で示す)が入り易く、これにより像質が低下するという問題点があり、これらの問題点を解決することが課題であった。
【0006】
なお、上記特許公報に記載された放射線透過非破壊検査装置にあっても、円柱形状を成す被検査体の内部を検査するに際して、被検査体におけるX線の透過距離が部分的に異なることで生じる不具合や、散乱線により生じる像質低下を解消するものではなかった。
【0007】
【発明の目的】
本発明は、上記従来の課題に着目して成されたもので、円柱形状を成す被検査体に対して、被検査体における放射線の透過距離の部分的な相違を補償すると共に、散乱線による影響を抑制して、被検査体の内部を高精度に検査することができる放射線透過非破壊検査装置を提供することを目的としている。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明の放射線透過非破壊検査装置は、請求項1として、円柱形状を成す被検査体を放射線透過により非破壊検査する装置であって、被検査体に放射線を照射する放射線源と、被検査体を透過した放射線の強度分布を検出する放射線センサと、放射線の放射方向に対して被検査体の円周部両側に添う状態で配置する調整体を備え、調整体が、放射線に対して透過性を有し、放射線の透過方向に被検査体の直径に基づいて設定した厚みを有すると共に、放射線センサに近接して配置してあることを特徴としている。
【0009】
また、本発明の放射線透過非破壊検査装置は、請求項2として、調整体が、放射線の透過性において被検査体に類似した材料で形成してあることを特徴とし、請求項3として、被検査体を軸線回りに回転させる回転テーブルを備えたことを特徴とし、請求項4として、放射線センサが、被検査体の軸線に対して直交する状態に配置したラインセンサであり、被検査体及びラインセンサの少なくとも一方を被検査体の軸線方向に移動させる移動手段を備えたことを特徴とし、請求項5として、放射線がX線であり、放射線センサがX線センサであることを特徴としている。
【0010】
【発明の作用】
本発明の請求項1に係わる放射線透過非破壊検査装置では、被検査体が円柱形状であって、放射線源と放射線センサの間に被検査体を配置すると共に、被検査体に対して、放射線の放射方向に対して被検査体の円周部両側に添う状態となる調整体を配置する。そして、放射線源から被検査体に放射線を照射し、被検査体を透過した放射線の濃度分布を放射線センサで検出する。
【0011】
この際、放射線透過非破壊検査装置では、調整体が、放射線に対して透過性を有するので、とくに被検査体の円周部両側では、放射線が被検査体と調整体を透過し、なお且つ、調整体が、放射線の透過方向に被検査体の直径に基づいて設定した厚みを有するので、この調整体によって、円柱形状を成す被検査体の中央部分での放射線の透過距離と、円周部両側での透過距離との差を小さくし、被検査体における放射線の透過距離の部分的な相違を補償する。また、放射線透過非破壊検査装置では、調整体が、放射線センサに近接して配置してあるので、この調整体によって、放射線センサへの散乱線の入り込みを抑制する。
【0012】
本発明の請求項2に係わる放射線透過非破壊検査装置では、調整体が、放射線の透過性において被検査体に類似した材料で形成してあるので、被検査体と調整体における放射線の透過状況が近いものとなり、放射線センサで検出する放射線の濃度分布に対して調整体が過剰に影響するのを防止する。
【0013】
本発明の請求項3に係わる放射線透過非破壊検査装置では、回転テーブルにより、被検査体を軸線回りに回転させながら放射線の照射及び検出を行うことで、被検査体の内部を全周にわたって連続的に検査する。
【0014】
本発明の請求項4に係わる放射線透過非破壊検査装置では、放射線センサが、被検査体の軸線に対して直交する状態に配置したラインセンサであることから、放射線の濃度分布を検出する範囲がラインセンサに対応した帯状の範囲となり、さらに、移動手段により、被検査体及びラインセンサの少なくとも一方を被検査体の軸線方向に移動させながら放射線の照射及び検出を行うことで、被検査体の内部を軸線方向にわたって連続的に検査する。
【0015】
本発明の請求項5に係わる放射線透過非破壊検査装置では、放射線としてX線を用いて、被検査体の内部の検査が行われる。
【0016】
【発明の効果】
本発明の請求項1に係わる放射線透過非破壊検査装置によれば、円柱形状を成す被検査体の内部を放射線透過により検査する装置において、調整体を採用したことにより、被検査体における放射線の透過距離の部分的な相違を補償して、放射線センサで検出した濃度分布上で、放射線の透過距離の相違によるコントラストの差を解消することができると共に、散乱線による影響を抑制して像質を高めることができ、被検査体の内部を高精度に検査することができる。
【0017】
本発明の請求項2に係わる放射線透過非破壊検査装置によれば、請求項1と同様の効果を得ることができるうえに、放射線センサで検出する放射線の濃度分布に対して調整体が過剰に影響するのを防止して、検査精度のさらなる向上を実現することができる。
【0018】
本発明の請求項3に係わる放射線透過非破壊検査装置によれば、請求項1及び2と同様の効果を得ることができるうえに、被検査体の内部を全周にわたって連続的に検査して、短時間で高精度な検査を行うことができ、多くの被検査体を順次検査する場合に非常に好適であり、また、被検査体の内部の3次元データを得ることが可能であって、検査精度のさらなる向上を実現することができる。
【0019】
本発明の請求項4に係わる放射線透過非破壊検査装置によれば、請求項1〜3と同様の効果を得ることができるうえに、被検査体の内部を軸線方向にわたって連続的に検査して、検査精度のさらなる向上を実現し得ると共に、小型の放射線センサによって被検査体の全体を高精度に検査することができ、とくに、請求項3に記載の回転テーブルと組み合わせれば、検出データをスパイラル状に連続させて、被検査体の内部の3次元データを得ることが可能になる。
【0020】
本発明の請求項5に係わる放射線透過非破壊検査装置によれば、請求項1〜4と同様の効果を得ることができるうえに、放射線としてX線を用いて、放射線透過非破壊検査をより容易に行うことができる。
【0021】
【実施例】
図1に示す放射線透過非破壊検査装置は、円柱形状の被検査体Wの内部を放射線透過により検査する装置である。この実施例における被検査体Wは、例えばロケットモータであり、金属製又は複合材製のモータケースCに、インシュレータIを介して、内孔Hを有する固体推進薬Pが装填してある。そして、上記検査装置により、固体推進薬P中における異物や空洞といった内部欠陥の有無を検査する。
【0022】
上記検査装置は、被検査体Wに放射線を照射する放射線源(1)と、被検査体Wを透過した放射線の強度分布を検出する放射線センサ(2)と、放射線の放射方向に対して被検査体Wの円周部両側に添う状態で配置する調整体3を備えている。この実施例において、放射線源は、放射線であるX線を照射するX線源1である。これに対して、放射線センサは、被検査体Wの軸線に対して直交する状態に配置したX線ラインセンサ2であって、X線源1に対向して被検査体Wの背後に設けてある。
【0023】
また、上記検査装置は、軸線方向を垂直方向とした被検査体Wを軸線回りに回転させる回転テーブル4を備えると共に、被検査体W及びX線ラインセンサ2の少なくとも一方を被検査体Wの軸線方向に移動させる移動手段として、X線ラインセンサ2を被検査体Wの軸線方向にわたって上下動させる移動手段5を備えている。回転テーブル4は、減速機構類を含むモータ6を駆動源とし、被検査体Wを定速回転させる。X線ラインセンサ2の検出信号は、処理装置7で信号処理されると共に、図示しないモニターで画像として表すことができる。
【0024】
調整体3は、被検査体Wの軸線方向の長さに対応した高さを有するブロックであって、放射線(この実施例ではX線)に対して透過性を有しており、とくに、X線の透過性において被検査体Wに類似した材料で形成してある。この実施例では、被検査体Wが、モータケースCを形成する金属又は複合材や、インシュレータI及び固体推進薬Pを形成するゴム類などで構成してあるので、これらの材料に類似した透過性を有する材料で調整体3を形成している。
【0025】
また、調整体3は、円柱形状を成す被検査体Wの円周部に添う曲面3aを有すると共に、X線の透過方向に被検査体Wの直径に基づいて設定した厚みTを有しており、この実施例においては、被検査体Wの直径よりも小さい厚みTとなっている。調整体3の左右方向の寸法は適宜選択し得る。そして、調整体3は、先述したように被検査体Wの円周部両側に添う状態で配置され、且つまた放射線センサ2に近接して配置してある。なお、調整体3は、回転する被検査体Wに対して不動であるため、曲面3aと被検査体Wの間には僅かな隙間を形成する。
【0026】
上記の構成を備えた放射線透過非破壊検査装置は、X線源1から被検査体WにX線を放射して、被検査体Wを透過したX線の濃度分布をX線ラインセンサ2で検出することとなり、この際、回転テーブル4により被検査体Wを定速回転させると共に、この回転に同期して、移動手段5によりX線ラインセンサ2を被検査体Wの上端から下端(又は下端から上端)に移動させる。
【0027】
すなわち、上記検査装置では、X線の濃度分布を検出する範囲がX線ラインセンサ2に対応した帯状の範囲であるから、上記の如く被検査体Wを回転させるとともにX線ラインセンサ2を移動させることで、検出データをスパイラル状に連続させて被検査体Wの全体の3次元データを得ることが可能となる。
【0028】
また、上記検査装置では、調整体3が、X線に対して透過性を有するので、とくに被検査体Wの円周部両側においては、X線が被検査体Wと調整体3を透過することになり、なお且つ、調整体3が、X線の透過方向に被検査体Wの直径に基づいて設定した厚みTを有するので、この調整体3によって、円柱形状を成す被検査体Wの中央部分でのX線の透過距離と、円周部両側での透過距離との差が小さくなる。
【0029】
これにより、上記検査装置では、被検査体WにおけるX線の透過距離の部分的な相違を補償して、X線ラインセンサ2で検出した濃度分布上で、X線の透過距離の相違によるコントラストの差を解消することができ、また、調整体3がX線ラインセンサ2に近接して配置してあるので、X線ラインセンサ2への散乱線の入り込みを抑制して像質をより高めることができる。
【0030】
さらに、上記検査装置では、調整体3が、X線の透過性において被検査体Wに類似した材料で形成してあるので、被検査体Wと調整体3におけるX線の透過状況が近いものとなり、これにより検査精度がより高められ、また、被検査体Wを回転させるとともにX線ラインセンサ2を移動させることで、被検査体Wを全周及び軸線方向にわたって検査して、被検査体Wの内部全体を短時間で高精度に検査し得るものとなる。
【0031】
図2は、上記検査装置により得た被検査体Wの左側半分の2次元検出画像を示す図であり、図の左側から、調整体3、被検査体WのモータケースC、インシュレータI、固体推進薬P及び内孔Hが表れており、固体推進薬P内に内部欠陥である空洞Bが表れている。ここで、検出画像における空洞Bは、当然のことながら周辺部に比べてX線の透過が大きいので明るく見える。
【0032】
調整体3が無い場合には、被検査体Wの円周部両側の部分(図中では左側の部分)においては、X線の透過距離が小さいので明るくなり、固体推進薬Pと空洞Bの区別が困難になる。これに対して、当該検査装置のように調整体3を採用すれば、被検査体WにおけるX線の透過距離の部分的な相違を補償し、X線の透過距離の相違によるコントラストの差が解消されるので、固体推進薬Pと空洞Bの明暗が明確になり、空洞Bを容易に確認し得る。
【0033】
なお、本発明に係わる放射線透過非破壊検査装置は、詳細な構成が上記実施例のみに限定されることはなく、例えば放射線としてγ線やマイクロ波などを用いることも可能である。また、放射線センサへの散乱線の入り込みをより確実に防止するために、調整体に、放射線センサとの隙間を塞ぐ遮蔽部を設けることも有効である。さらに、移動手段としては、被検査体を移動させる手段又は被検査体と放射線センサの両方を移動させる手段とすることもでき、ラインセンサに対応して放射線をコリメータ等により平面状にして放射する場合には、ラインセンサとともに放射線源をも移動させる手段とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の放射線透過非破壊検査装置を説明する平断面図(a)及び側断面図(b)である。
【図2】上記検査装置により得た被検査体の左側半分の2次元検出画像を示す図である。
【図3】従来の放射線透過非破壊検査装置を説明する平面図である。
【符号の説明】
W 被検査体
1 X線源(放射線源)
2 X線ラインセンサ(放射線センサ)
3 調整体
4 回転テーブル
5 移動手段
【発明の属する技術分野】
本発明は、円柱形状を成す被検査体に放射線を透過させて内部を検査するのに用いる放射線透過非破壊検査装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、円柱形状を成す被検査体の放射線透過非破壊検査装置としては、例えば図3に示すようなものがあった。図示の装置は、放射線としてX線を用いるものであって、点光源であるX線源101と、被検査体Wの背後に配置したX線フィルム102を備えており、被検査体Wを静止状態にして、X線源101から被検査体WにX線を照射し、被検査体Wを透過したX線をX線フィルム102に撮影する。また、この種の装置では、被検査体Wの向きを軸線回りに所定角度ずつ変えて撮影を繰り返し行うことにより、被検査体の全体の内部をより確実に検査するようにしていた。
【0003】
さらに、その他の放射線透過非破壊検査装置としては、X線源から放射したX線をコリメータによって線状のX線ビームにし、このX線ビームを被検査体に向けて走査して、被検査体を透過したX線を検出するようにしたものがあった(例えば、特許文献1参照)。
【0004】
【特許文献1】
特開平5−12424号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図3に示す従来の放射線透過非破壊検査装置にあっては、被検査体Wが円柱形状を成していることから、被検査体WにおけるX線の透過距離が部分的に異なり、中央部分で透過距離が大きく、両側で透過距離が小さいので、撮影したX線フィルム102上で透過距離の相違によるコントラストの差によって、内部の確認が困難になるという問題があり、また、X線フィルム102の両端部に散乱線(図中に矢印で示す)が入り易く、これにより像質が低下するという問題点があり、これらの問題点を解決することが課題であった。
【0006】
なお、上記特許公報に記載された放射線透過非破壊検査装置にあっても、円柱形状を成す被検査体の内部を検査するに際して、被検査体におけるX線の透過距離が部分的に異なることで生じる不具合や、散乱線により生じる像質低下を解消するものではなかった。
【0007】
【発明の目的】
本発明は、上記従来の課題に着目して成されたもので、円柱形状を成す被検査体に対して、被検査体における放射線の透過距離の部分的な相違を補償すると共に、散乱線による影響を抑制して、被検査体の内部を高精度に検査することができる放射線透過非破壊検査装置を提供することを目的としている。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明の放射線透過非破壊検査装置は、請求項1として、円柱形状を成す被検査体を放射線透過により非破壊検査する装置であって、被検査体に放射線を照射する放射線源と、被検査体を透過した放射線の強度分布を検出する放射線センサと、放射線の放射方向に対して被検査体の円周部両側に添う状態で配置する調整体を備え、調整体が、放射線に対して透過性を有し、放射線の透過方向に被検査体の直径に基づいて設定した厚みを有すると共に、放射線センサに近接して配置してあることを特徴としている。
【0009】
また、本発明の放射線透過非破壊検査装置は、請求項2として、調整体が、放射線の透過性において被検査体に類似した材料で形成してあることを特徴とし、請求項3として、被検査体を軸線回りに回転させる回転テーブルを備えたことを特徴とし、請求項4として、放射線センサが、被検査体の軸線に対して直交する状態に配置したラインセンサであり、被検査体及びラインセンサの少なくとも一方を被検査体の軸線方向に移動させる移動手段を備えたことを特徴とし、請求項5として、放射線がX線であり、放射線センサがX線センサであることを特徴としている。
【0010】
【発明の作用】
本発明の請求項1に係わる放射線透過非破壊検査装置では、被検査体が円柱形状であって、放射線源と放射線センサの間に被検査体を配置すると共に、被検査体に対して、放射線の放射方向に対して被検査体の円周部両側に添う状態となる調整体を配置する。そして、放射線源から被検査体に放射線を照射し、被検査体を透過した放射線の濃度分布を放射線センサで検出する。
【0011】
この際、放射線透過非破壊検査装置では、調整体が、放射線に対して透過性を有するので、とくに被検査体の円周部両側では、放射線が被検査体と調整体を透過し、なお且つ、調整体が、放射線の透過方向に被検査体の直径に基づいて設定した厚みを有するので、この調整体によって、円柱形状を成す被検査体の中央部分での放射線の透過距離と、円周部両側での透過距離との差を小さくし、被検査体における放射線の透過距離の部分的な相違を補償する。また、放射線透過非破壊検査装置では、調整体が、放射線センサに近接して配置してあるので、この調整体によって、放射線センサへの散乱線の入り込みを抑制する。
【0012】
本発明の請求項2に係わる放射線透過非破壊検査装置では、調整体が、放射線の透過性において被検査体に類似した材料で形成してあるので、被検査体と調整体における放射線の透過状況が近いものとなり、放射線センサで検出する放射線の濃度分布に対して調整体が過剰に影響するのを防止する。
【0013】
本発明の請求項3に係わる放射線透過非破壊検査装置では、回転テーブルにより、被検査体を軸線回りに回転させながら放射線の照射及び検出を行うことで、被検査体の内部を全周にわたって連続的に検査する。
【0014】
本発明の請求項4に係わる放射線透過非破壊検査装置では、放射線センサが、被検査体の軸線に対して直交する状態に配置したラインセンサであることから、放射線の濃度分布を検出する範囲がラインセンサに対応した帯状の範囲となり、さらに、移動手段により、被検査体及びラインセンサの少なくとも一方を被検査体の軸線方向に移動させながら放射線の照射及び検出を行うことで、被検査体の内部を軸線方向にわたって連続的に検査する。
【0015】
本発明の請求項5に係わる放射線透過非破壊検査装置では、放射線としてX線を用いて、被検査体の内部の検査が行われる。
【0016】
【発明の効果】
本発明の請求項1に係わる放射線透過非破壊検査装置によれば、円柱形状を成す被検査体の内部を放射線透過により検査する装置において、調整体を採用したことにより、被検査体における放射線の透過距離の部分的な相違を補償して、放射線センサで検出した濃度分布上で、放射線の透過距離の相違によるコントラストの差を解消することができると共に、散乱線による影響を抑制して像質を高めることができ、被検査体の内部を高精度に検査することができる。
【0017】
本発明の請求項2に係わる放射線透過非破壊検査装置によれば、請求項1と同様の効果を得ることができるうえに、放射線センサで検出する放射線の濃度分布に対して調整体が過剰に影響するのを防止して、検査精度のさらなる向上を実現することができる。
【0018】
本発明の請求項3に係わる放射線透過非破壊検査装置によれば、請求項1及び2と同様の効果を得ることができるうえに、被検査体の内部を全周にわたって連続的に検査して、短時間で高精度な検査を行うことができ、多くの被検査体を順次検査する場合に非常に好適であり、また、被検査体の内部の3次元データを得ることが可能であって、検査精度のさらなる向上を実現することができる。
【0019】
本発明の請求項4に係わる放射線透過非破壊検査装置によれば、請求項1〜3と同様の効果を得ることができるうえに、被検査体の内部を軸線方向にわたって連続的に検査して、検査精度のさらなる向上を実現し得ると共に、小型の放射線センサによって被検査体の全体を高精度に検査することができ、とくに、請求項3に記載の回転テーブルと組み合わせれば、検出データをスパイラル状に連続させて、被検査体の内部の3次元データを得ることが可能になる。
【0020】
本発明の請求項5に係わる放射線透過非破壊検査装置によれば、請求項1〜4と同様の効果を得ることができるうえに、放射線としてX線を用いて、放射線透過非破壊検査をより容易に行うことができる。
【0021】
【実施例】
図1に示す放射線透過非破壊検査装置は、円柱形状の被検査体Wの内部を放射線透過により検査する装置である。この実施例における被検査体Wは、例えばロケットモータであり、金属製又は複合材製のモータケースCに、インシュレータIを介して、内孔Hを有する固体推進薬Pが装填してある。そして、上記検査装置により、固体推進薬P中における異物や空洞といった内部欠陥の有無を検査する。
【0022】
上記検査装置は、被検査体Wに放射線を照射する放射線源(1)と、被検査体Wを透過した放射線の強度分布を検出する放射線センサ(2)と、放射線の放射方向に対して被検査体Wの円周部両側に添う状態で配置する調整体3を備えている。この実施例において、放射線源は、放射線であるX線を照射するX線源1である。これに対して、放射線センサは、被検査体Wの軸線に対して直交する状態に配置したX線ラインセンサ2であって、X線源1に対向して被検査体Wの背後に設けてある。
【0023】
また、上記検査装置は、軸線方向を垂直方向とした被検査体Wを軸線回りに回転させる回転テーブル4を備えると共に、被検査体W及びX線ラインセンサ2の少なくとも一方を被検査体Wの軸線方向に移動させる移動手段として、X線ラインセンサ2を被検査体Wの軸線方向にわたって上下動させる移動手段5を備えている。回転テーブル4は、減速機構類を含むモータ6を駆動源とし、被検査体Wを定速回転させる。X線ラインセンサ2の検出信号は、処理装置7で信号処理されると共に、図示しないモニターで画像として表すことができる。
【0024】
調整体3は、被検査体Wの軸線方向の長さに対応した高さを有するブロックであって、放射線(この実施例ではX線)に対して透過性を有しており、とくに、X線の透過性において被検査体Wに類似した材料で形成してある。この実施例では、被検査体Wが、モータケースCを形成する金属又は複合材や、インシュレータI及び固体推進薬Pを形成するゴム類などで構成してあるので、これらの材料に類似した透過性を有する材料で調整体3を形成している。
【0025】
また、調整体3は、円柱形状を成す被検査体Wの円周部に添う曲面3aを有すると共に、X線の透過方向に被検査体Wの直径に基づいて設定した厚みTを有しており、この実施例においては、被検査体Wの直径よりも小さい厚みTとなっている。調整体3の左右方向の寸法は適宜選択し得る。そして、調整体3は、先述したように被検査体Wの円周部両側に添う状態で配置され、且つまた放射線センサ2に近接して配置してある。なお、調整体3は、回転する被検査体Wに対して不動であるため、曲面3aと被検査体Wの間には僅かな隙間を形成する。
【0026】
上記の構成を備えた放射線透過非破壊検査装置は、X線源1から被検査体WにX線を放射して、被検査体Wを透過したX線の濃度分布をX線ラインセンサ2で検出することとなり、この際、回転テーブル4により被検査体Wを定速回転させると共に、この回転に同期して、移動手段5によりX線ラインセンサ2を被検査体Wの上端から下端(又は下端から上端)に移動させる。
【0027】
すなわち、上記検査装置では、X線の濃度分布を検出する範囲がX線ラインセンサ2に対応した帯状の範囲であるから、上記の如く被検査体Wを回転させるとともにX線ラインセンサ2を移動させることで、検出データをスパイラル状に連続させて被検査体Wの全体の3次元データを得ることが可能となる。
【0028】
また、上記検査装置では、調整体3が、X線に対して透過性を有するので、とくに被検査体Wの円周部両側においては、X線が被検査体Wと調整体3を透過することになり、なお且つ、調整体3が、X線の透過方向に被検査体Wの直径に基づいて設定した厚みTを有するので、この調整体3によって、円柱形状を成す被検査体Wの中央部分でのX線の透過距離と、円周部両側での透過距離との差が小さくなる。
【0029】
これにより、上記検査装置では、被検査体WにおけるX線の透過距離の部分的な相違を補償して、X線ラインセンサ2で検出した濃度分布上で、X線の透過距離の相違によるコントラストの差を解消することができ、また、調整体3がX線ラインセンサ2に近接して配置してあるので、X線ラインセンサ2への散乱線の入り込みを抑制して像質をより高めることができる。
【0030】
さらに、上記検査装置では、調整体3が、X線の透過性において被検査体Wに類似した材料で形成してあるので、被検査体Wと調整体3におけるX線の透過状況が近いものとなり、これにより検査精度がより高められ、また、被検査体Wを回転させるとともにX線ラインセンサ2を移動させることで、被検査体Wを全周及び軸線方向にわたって検査して、被検査体Wの内部全体を短時間で高精度に検査し得るものとなる。
【0031】
図2は、上記検査装置により得た被検査体Wの左側半分の2次元検出画像を示す図であり、図の左側から、調整体3、被検査体WのモータケースC、インシュレータI、固体推進薬P及び内孔Hが表れており、固体推進薬P内に内部欠陥である空洞Bが表れている。ここで、検出画像における空洞Bは、当然のことながら周辺部に比べてX線の透過が大きいので明るく見える。
【0032】
調整体3が無い場合には、被検査体Wの円周部両側の部分(図中では左側の部分)においては、X線の透過距離が小さいので明るくなり、固体推進薬Pと空洞Bの区別が困難になる。これに対して、当該検査装置のように調整体3を採用すれば、被検査体WにおけるX線の透過距離の部分的な相違を補償し、X線の透過距離の相違によるコントラストの差が解消されるので、固体推進薬Pと空洞Bの明暗が明確になり、空洞Bを容易に確認し得る。
【0033】
なお、本発明に係わる放射線透過非破壊検査装置は、詳細な構成が上記実施例のみに限定されることはなく、例えば放射線としてγ線やマイクロ波などを用いることも可能である。また、放射線センサへの散乱線の入り込みをより確実に防止するために、調整体に、放射線センサとの隙間を塞ぐ遮蔽部を設けることも有効である。さらに、移動手段としては、被検査体を移動させる手段又は被検査体と放射線センサの両方を移動させる手段とすることもでき、ラインセンサに対応して放射線をコリメータ等により平面状にして放射する場合には、ラインセンサとともに放射線源をも移動させる手段とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の放射線透過非破壊検査装置を説明する平断面図(a)及び側断面図(b)である。
【図2】上記検査装置により得た被検査体の左側半分の2次元検出画像を示す図である。
【図3】従来の放射線透過非破壊検査装置を説明する平面図である。
【符号の説明】
W 被検査体
1 X線源(放射線源)
2 X線ラインセンサ(放射線センサ)
3 調整体
4 回転テーブル
5 移動手段
Claims (5)
- 円柱形状を成す被検査体を放射線透過により非破壊検査する装置であって、被検査体に放射線を照射する放射線源と、被検査体を透過した放射線の強度分布を検出する放射線センサと、放射線の放射方向に対して被検査体の円周部両側に添う状態で配置する調整体を備え、調整体が、放射線に対して透過性を有し、放射線の透過方向に被検査体の直径に基づいて設定した厚みを有すると共に、放射線センサに近接して配置してあることを特徴とする放射線透過非破壊検査装置。
- 調整体が、放射線の透過性において被検査体に類似した材料で形成してあることを特徴とする請求項1に記載の放射線透過非破壊検査装置。
- 被検査体を軸線回りに回転させる回転テーブルを備えたことを特徴とする請求項1又は2に記載の放射線透過非破壊検査装置。
- 放射線センサが、被検査体の軸線に対して直交する状態に配置したラインセンサであり、被検査体及びラインセンサの少なくとも一方を被検査体の軸線方向に移動させる移動手段を備えたことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の放射線透過非破壊検査装置。
- 放射線がX線であり、放射線センサがX線センサであることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の放射線透過非破壊検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003152555A JP2004354215A (ja) | 2003-05-29 | 2003-05-29 | 放射線透過非破壊検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003152555A JP2004354215A (ja) | 2003-05-29 | 2003-05-29 | 放射線透過非破壊検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004354215A true JP2004354215A (ja) | 2004-12-16 |
Family
ID=34047742
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003152555A Pending JP2004354215A (ja) | 2003-05-29 | 2003-05-29 | 放射線透過非破壊検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004354215A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102692422A (zh) * | 2012-06-18 | 2012-09-26 | 东营市三英精密工程研究中心 | 一种计量型高精度x射线显微镜扫描样品台 |
CN102692421A (zh) * | 2012-06-18 | 2012-09-26 | 东营市三英精密工程研究中心 | 一种具有计量转轴的高精度x射线显微镜扫描样品台 |
WO2020004435A1 (ja) * | 2018-06-27 | 2020-01-02 | 東レ株式会社 | 放射線透過検査方法及び装置、並びに微多孔膜の製造方法 |
US10627353B2 (en) | 2016-05-24 | 2020-04-21 | Jed Co., Ltd | X-ray inspection apparatus and method for controlling X-ray inspection apparatus |
-
2003
- 2003-05-29 JP JP2003152555A patent/JP2004354215A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102692422A (zh) * | 2012-06-18 | 2012-09-26 | 东营市三英精密工程研究中心 | 一种计量型高精度x射线显微镜扫描样品台 |
CN102692421A (zh) * | 2012-06-18 | 2012-09-26 | 东营市三英精密工程研究中心 | 一种具有计量转轴的高精度x射线显微镜扫描样品台 |
US10627353B2 (en) | 2016-05-24 | 2020-04-21 | Jed Co., Ltd | X-ray inspection apparatus and method for controlling X-ray inspection apparatus |
EP3745120A1 (en) | 2016-05-24 | 2020-12-02 | Jed Co., Ltd | X-ray inspection apparatus and method for controlling x-ray inspection apparatus |
WO2020004435A1 (ja) * | 2018-06-27 | 2020-01-02 | 東レ株式会社 | 放射線透過検査方法及び装置、並びに微多孔膜の製造方法 |
JPWO2020004435A1 (ja) * | 2018-06-27 | 2021-05-13 | 東レ株式会社 | 放射線透過検査方法及び装置、並びに微多孔膜の製造方法 |
JP7283398B2 (ja) | 2018-06-27 | 2023-05-30 | 東レ株式会社 | 放射線透過検査方法及び装置、並びに微多孔膜の製造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2008249668A (ja) | 缶の巻き締め検査装置並びに巻き締め検査方法 | |
JP2006170876A (ja) | Ct装置 | |
JP7132894B2 (ja) | 磁粉探傷装置、及び磁粉探傷方法 | |
JP2008157821A (ja) | X線異物検査装置 | |
JP5922892B2 (ja) | 転動体の検査方法および転動体の製造方法 | |
JP2003294655A (ja) | タイヤのx線検査方法及びその装置 | |
JP2004354215A (ja) | 放射線透過非破壊検査装置 | |
JP2009008441A (ja) | 半固定式物質同定装置および方法 | |
KR101480968B1 (ko) | X-선 ct 및 레이저 표면 검사를 이용하는 검사 장치 및 검사 방법 | |
JP2018530748A (ja) | 内部に方向性構造を有する材料における欠陥検出方法及びその装置 | |
JP2007212366A (ja) | 被検部厚の検査方法及び装置 | |
JP2000046759A (ja) | X線検査方法およびx線検査装置 | |
JP6590603B2 (ja) | Ct撮像方法 | |
KR100781393B1 (ko) | 결정격자를 갖는 피검체의 방사선 촬영 제어 | |
Troitskiy | Quick industrial X-ray testing without intermediate data carriers of information | |
JP3928126B2 (ja) | 中空円筒形部材の放射線透過非破壊検査装置及び方法 | |
Brunke et al. | A New Concept for Highspeed Flatline and Inlinect for up to 100% Mass Production Process Control Allowing both, 3D Metrology and Failure Analysis | |
JP7430323B2 (ja) | 円筒形容器のx線検査方法及びx線検査装置 | |
JP3202311B2 (ja) | 軸受部品の欠陥検査方法 | |
JP2000111501A (ja) | 透視検査装置 | |
JP4898364B2 (ja) | 放射線検査装置、放射線検査方法および放射線検査プログラム | |
WO2018092256A1 (ja) | X線インライン検査システム及びx線インライン検査システムの撮像方法 | |
Johnston et al. | Investigation of Non‐Destructive Evaluation Methods Applied to Oxide/Oxide Fiber Reinforced Ceramic Matrix Composite | |
Schache et al. | Developments in 2D and CT X-ray inspection of light alloy castings for production | |
US8831172B2 (en) | Method for filmless radiographic inspection of components |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060522 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080404 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080609 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20081022 |