JP7283398B2 - 放射線透過検査方法及び装置、並びに微多孔膜の製造方法 - Google Patents
放射線透過検査方法及び装置、並びに微多孔膜の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7283398B2 JP7283398B2 JP2019567390A JP2019567390A JP7283398B2 JP 7283398 B2 JP7283398 B2 JP 7283398B2 JP 2019567390 A JP2019567390 A JP 2019567390A JP 2019567390 A JP2019567390 A JP 2019567390A JP 7283398 B2 JP7283398 B2 JP 7283398B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film reel
- radiation source
- foreign matter
- reel
- side end
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 103
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 92
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 11
- 239000012982 microporous membrane Substances 0.000 title description 11
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 205
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 108
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 63
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 10
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 claims description 9
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 8
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 4
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 53
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 21
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 11
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 11
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 8
- 239000000047 product Substances 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 5
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 5
- 238000002591 computed tomography Methods 0.000 description 4
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 3
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 3
- HBBGRARXTFLTSG-UHFFFAOYSA-N Lithium ion Chemical compound [Li+] HBBGRARXTFLTSG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 229910001416 lithium ion Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 description 2
- 229920005672 polyolefin resin Polymers 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 229910001111 Fine metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000002247 constant time method Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000010924 continuous production Methods 0.000 description 1
- 230000008094 contradictory effect Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000004898 kneading Methods 0.000 description 1
- 229940057995 liquid paraffin Drugs 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000004745 nonwoven fabric Substances 0.000 description 1
- 238000000275 quality assurance Methods 0.000 description 1
- 238000002601 radiography Methods 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
- G01N23/06—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and measuring the absorption
- G01N23/16—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and measuring the absorption the material being a moving sheet or film
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
- G01N23/06—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and measuring the absorption
- G01N23/18—Investigating the presence of flaws defects or foreign matter
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B07—SEPARATING SOLIDS FROM SOLIDS; SORTING
- B07C—POSTAL SORTING; SORTING INDIVIDUAL ARTICLES, OR BULK MATERIAL FIT TO BE SORTED PIECE-MEAL, e.g. BY PICKING
- B07C5/00—Sorting according to a characteristic or feature of the articles or material being sorted, e.g. by control effected by devices which detect or measure such characteristic or feature; Sorting by manually actuated devices, e.g. switches
- B07C5/34—Sorting according to other particular properties
- B07C5/3416—Sorting according to other particular properties according to radiation transmissivity, e.g. for light, x-rays, particle radiation
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
- G01N23/04—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
- G01N23/06—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and measuring the absorption
- G01N23/083—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and measuring the absorption the radiation being X-rays
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01V—GEOPHYSICS; GRAVITATIONAL MEASUREMENTS; DETECTING MASSES OR OBJECTS; TAGS
- G01V5/00—Prospecting or detecting by the use of ionising radiation, e.g. of natural or induced radioactivity
- G01V5/20—Detecting prohibited goods, e.g. weapons, explosives, hazardous substances, contraband or smuggled objects
- G01V5/22—Active interrogation, i.e. by irradiating objects or goods using external radiation sources, e.g. using gamma rays or cosmic rays
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
- H01M50/00—Constructional details or processes of manufacture of the non-active parts of electrochemical cells other than fuel cells, e.g. hybrid cells
- H01M50/40—Separators; Membranes; Diaphragms; Spacing elements inside cells
- H01M50/409—Separators, membranes or diaphragms characterised by the material
- H01M50/411—Organic material
- H01M50/414—Synthetic resins, e.g. thermoplastics or thermosetting resins
- H01M50/417—Polyolefins
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/03—Investigating materials by wave or particle radiation by transmission
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/60—Specific applications or type of materials
- G01N2223/643—Specific applications or type of materials object on conveyor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/60—Specific applications or type of materials
- G01N2223/652—Specific applications or type of materials impurities, foreign matter, trace amounts
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
- Y02E60/10—Energy storage using batteries
Landscapes
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- High Energy & Nuclear Physics (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geophysics (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
Description
第1の放射線源から照射され、前記フィルムリールの側端部Aから入射し、リール中を透過し、側端部Bから出射する放射線を、第1の検出器で検出し、異物についての情報を得る第1の異物検知工程と、
第2の放射線源から照射され、前記フィルムリールの側端部Bから入射し、リール中を透過し、側端部Aから出射する放射線を、第2の検出器で検出し、異物についての情報を得る第2の異物検知工程と、を含む、放射線透過検査方法である。
側端部A:円筒状のフィルムリールの両端にあたる円状の面であって、フィルムリールの側面に位置するので、一方の側の側面を側端部Aと呼ぶ
側端部B:円筒状のフィルムリールの両端にあたる円状の面であって、フィルムリールの側面に位置するので、他方の側の側面を側端部Bと呼ぶ
第1の放射線源と側端部A間の距離(FOD)と、第2の放射線源と側端部B間の距離(FOD)が等しい放射線透過検査方法である。さらに、下記式(1)を充足することを特徴とする、放射線透過検査方法である
0.2≦(T+2FOD)/2FID≦0.5・・・・(1)
ここで、Tはフィルムリールの厚みを表す。
側端部A:円筒状のフィルムリールの両端にあたる円状の面であって、フィルムリールの側面に位置するので、一方の側の側面を側端部Aと呼ぶ
側端部B:円筒状のフィルムリールの両端にあたる円状の面であって、フィルムリールの側面に位置するので、他方の側の側面を側端部Bと呼ぶ
本発明は、ポリオレフィン樹脂と可塑剤とを混練してポリオレフィン溶液を調製する工程と、ポリオレフィン溶液をダイから吐出するとともに冷却してゲル状シートを得る工程と、ゲル状シートを延伸して延伸シートを形成する工程と、延伸シートから可塑剤を除去して微多孔膜を得る工程と、微多孔膜をコアに捲回してフィルムリールを得る工程と、本発明の放射線透過検査方法によりフィルムリールに含まれる異物の検査を行う工程と、を含む微多孔膜の製造方法である。すなわち、長尺のフィルムをコアに捲回してフィルムリールを得て、その後、上述の放射線透過検査方法にて前記フィルムリールに含まれる異物の検査を行う異物検知工程とを含む、フィルムリールの製造方法である。
X線源の光軸:X線照射における中心軸のこと。X線は、光軸を中心にして円錐状または角錐状に拡がるように放出される。
視野:X線が照射できる範囲のこと。面積で表す。放射源に近いほど視野は狭い。
照射範囲:X線が照射される範囲。光軸を中心にして円錐状または角錐状に拡がったX線があたる範囲である。
走査:放射線源と検出器のセットを、軸方向など検査対処物に沿って移動させること。
FID:放射線源と検出器との間の離間距離である。
FOD:放射線源とフィルムリールの放射線源から最短の側端部との間の離間距離である。
検出感度:検出可能な検査対象物の大きさ。最小の大きさで表す。
感度ムラ:検査対象物の厚さ方向の位置による検出可能な検査対象物の大きさの違い。
異物検知工程:放射線源から対象物へ放射線を照射し、対象物を通過した放射線を検出する異物検査工程の1つの処理ステップを表す。処理ステップが複数あるときは、第1、第2、第3・・・と呼ぶ。
次に、本発明の好ましい実施の形態について、図面を参照して説明する。図1はフィルムリール10を検査対象物とする一般的な放射線透過検査の基本的な原理を示しており、この図では、フィルムリール10は、円筒形状のコア11の長さ方向における中心軸13を含む平面での断面として示されており、ハッチングについては一部省略している。フィルムリール10は、コア11の中心軸13を回転軸としてコア11の外周面に長尺のフィルムを複数回巻回して構成されたものである。符号12は、コア11の外周面に巻回されたフィルムの層を示している。フィルムリール10においてコア11の中心軸13が延びる方向を向いた面をフィルムリール10の側端部と呼ぶ。側端部は、円筒状のフィルムリールの両端にあたる円状の面であって、フィルムリールの側面に位置するので、一方の側の側面を側端部A(図1中符号14)、他方の側の側面を側端部B(図1中符号15)と呼ぶ。コア11の長さ方向における両側端部間の寸法(すなわち、側端部Aと側端部B間の距離)は、当該コア11に巻回されるフィルムの幅寸法に概略一致する。フィルムリール10の側端部は、コア11に巻回されたフィルムの幅方向の側端部が露出する面でもある。図においてTは、フィルムリール10の厚さを示しており、これは、コア11に巻回されるフィルムの幅に等しい。コア11の中心軸13の延びる方向と平行な方向のことをフィルムリール10の厚さ方向と呼ぶ。
フィルムリール10内に金属等の異物があれば、その異物によってX線が遮蔽されるので、検出器26において異物に対応する位置でのX線強度は低下する。X線強度が低下された位置を像として検出することにより、フィルムリール10の異物を、そのフィルムリール10内における位置も含めて検出することができる。ここでの位置は、フィルムリールを側端面から見て、その方向に投影した円状平面における2次元座標である。
(検出感度と感度ムラについて)
次に、異物の検出感度と感度ムラについて、図2を用いて説明する。ここでは、説明が分かりやすくなるように具体的な数値を使用するが、本発明はこのような具体的な寸法に限定されるものではない。FIDが200mmであり、FODが20mmであり、フィルムリール10の厚さTが60mmである場合を考える。
図2では、図示上方にある放射線源21から図示下方にある検出器26に向けて、フィルムリール10の厚さ方向に沿ってX線が照射される。微小な異物41を確実に検出するためには検出器26上での異物の像42がなるべく大きくなるようにする必要があり、放射線源21から異物41までの距離がFIDに比べて小さくなるようにして投影倍率を大きくする。投影倍率は、異物の像42の大きさを異物41の実際の大きさで除算した値に相当し、投影倍率は、FIDをFODで除した値(FID/FOD)となる。
具体的に、FIDの距離を1とし、放射線源の位置を0、検出器の位置を1とし、検査対象のファイムリールの厚みの割合がFIDの距離に対して0.3(測定範囲が0.3の幅)の場合の感度ムラは、次のとおりである。
放射線源から側端面Aまでの距離(FOD)が0.2の場合
フィルムリールにおける厚み範囲は、0.2~0.5
0.2の時 1/0.2=5
0.5の時 1/0.5=2
よって、感度ムラは、5/2=2.5(倍)
放射線源から側端面Aまでの距離(FOD)が0.5の場合
フィルムリールにおける厚み範囲は、0.5~0.8
0.5の時 1/0.5=2
0.8の時 1/0.8=1.25
よって、感度ムラは、2/1.25=1.6(倍)。
一方、検出感度(微小な異物を検出すること)については、FIDを大きくとるか、FODを小さくすることである。つまり、検出感度と感度ムラは相反する特性であり、微小な異物を検知するには、感度ムラが大きくなってしまう。いずれか一方の側端面から放射線を透過してフィルムリール中の異物を検知すると、フィルムリール中の微小な異物は場所によっては検出されないこともある。また、厚み方向のどの位置に存在しているか分からずに、検出結果からは実際の異物の大きさの特定は困難であった。
(FODが大きい場合における、フィルムリール表裏からの放射線透過検査方法)
従来技術においてフィルムリール10の検出器26側の側端部にある大きさが100μmの異物41を検出可能とするためには、FODをそのままとした場合にはFIDを上記の条件よりも長くする必要がある。このことは、検出器26側でのX線強度の低下をもたらすことになり、X線の照射積算時間を長くする必要があり、測定時間が長くなってしまう。
さらに、FIDが長くなると、放射線の広がりが検出器26の面積より大きくなり、検出器26に入射するX線の広がりが狭くなる。1回のX線ショットで異物検出を行なえる測定範囲も狭くなり、そのため、フィルムリール10の全体の検査のためのX線ショット数も増え、さらに測定時間が長くなる。一方、検出器26側に付着した100μmの大きさの異物41を検出可能とするにあたって、FIDを既述の条件にする場合には、FODを小さくすることになるが、その場合にはFODはゼロ以下に設定できないので厚さTが大きなフィルムリール10を測定できなくなってしまう。
また、X線の広がりを考慮すると、1ショットの検査で、放射線源21側の側端部では例えば視野が3.5mm×2mmの領域について異物の41検出を行うことができ、検出器26側の側端部では視野が17.5mm×10mmの領域について異物41の検出を行うことができる。フィルムリール10の全体にわたって異物41の検査を行なうためには、最小視野(放射線源21側の側端部でのX線の視野)に基づいて、図示破線で示すようにフィルムリール10をくまなく走査してX線を照射する必要がある。
測定にかかる時間であるが、本発明では、単一の異物検知工程ですべての異物41の検出を行なおうとする図3(a)の場合に比べ、最小視野の面積が9倍となっているから、2回の異物検知工程を行なうことを考慮しても、X線のショット回数を約1/5(2/9)とすることができる。すなわち、本発明では、従来知られている技術に基づいた手法と比べて、短時間での異物検出が可能となる。放射線源21と検出器26とからなる測定部を相互に干渉しないように2組用意し、一方の測定部ではフィルムリール10の一方の側端部Aから放射線を照射し、他方の測定部では他方の側端部Bから放射線を照射すれば、第1の異物検知工程と第2の異物検知工程とを同時に進行させることも可能である。これにより、フィルムリール10の全面を検査するために必要な時間をさらに短縮できる。また、図3(b)に示す方法では、図3(a)の手法と比べて感度ムラを軽減するので、その分、厚さの大きなフィルムリール10の検査も可能になる。また、フィルムリール10を放射線源21から大きく離間させることができる。従って、検査を実行可能なフィルムリール10の種類も増加する。
(表裏からの放射線透過検査による異物位置と大きさについて)
ところで、図3(b)を用いて説明した本発明に基づく放射線透過検査方法の場合、フィルムリール10に対して一方の側端部Aから放射線を照射したときと他方の側端部Bから放射線を照射したときに同じ異物41を検出することがある。その場合、異物41の厚さ方向の位置と大きさとを求めることができる。図4は、そのような場合において、異物41の厚さ方向の位置と大きさを求める処理を説明する図である。
(検出感度)第1の異物検知工程における側端部Aおよび第2の異物検知工程における側端部Bの厚み方向の距離においては約90μm以上の異物が検出可能であり、フィルムリール(厚みTが60mm)の中央位置では約150μm以上が検出可能であり、さらに、第1の異物検知工程における側端部Bおよび第2の異物検知工程における側端部Bの厚み方向の距離においては約210μm以上が検出可能である。
フィルムリール10の中に実寸がaである異物41が存在するものとし、フィルムリール10の厚さ方向における中間位置Cから異物41までの距離をzとする。フィルムリール10の厚さは上述のようにTである。フィルムリール10に対して一方の側端部側からX線を照射する場合と他方の側端部側からX線を照射する場合における、異物41による検出器26での像42の大きさをそれぞれA1,A2とする。A1≧A2を仮定しても一般性は失われないから、A1≧A2とする。すると異物41は、フィルムリールの厚み方向の中間位置Cから見て、像の大きさがA1であるときの放射線源21の方向にzだけ離れた位置に存在することになる。図4(a)に示すように、像42の大きさがA1であるときの投影倍率A1/aと、図4(b)に示すように、像42の大きさがA2であるときの投影倍率A2/aは、それぞれ、式(1), (2)によって表される。
A1/a=FID/(FOD+T/2-z) (2)
A2/a=FID/(FOD+T/2+z) (3)
式(2), (3)から、式(4), (5)に示すように、異物41の実寸aと中間位置Cからの距離zを求めることができる。
z=(A1-A2)/(A1+A2)×(FOD+T/2) (4)
a=2×A1×A2/(A1+A2)×(FOD+T/2)/FID (5)
以上のとおり、フィルムリールの両側面からそれぞれ放射線を入射させる第1の異物検知工程と第2の異物検知工程を用いて異物情報を得ることで、フィルムリール10の厚み方向の距離と実際の異物の大きさを求めることができる。このことは、フィルムリール中に混入する異物の判定において、厚み方向の距離、すなわちフィルムリール中におけるフィルム幅方向の存在位置によらず、異物の実際の大きさが分かるので、たとえば問題となる異物の大きさを超えているかどうかが判定可能となり、検査精度が向上できる。
0.2≦(T+2FOD)/2FID≦0.5・・・・(1)
また、検査時間に関して、フィルムリールの表裏から2回の測定を行うため、測定時間が2倍になる。1回あたりの測定面積を、2倍以上に大きくすると検査にかかる合計時間は短縮される。測定面積は、距離の2乗に比例する。FOD+1/2Tの距離に対応する測定面積とFODの距離に対応する測定面積の比、すなわち、(FOD+1/2T)/FODの比が、√2を超えることが好ましい態様である。
(フィルムリールの厚みが大きい場合について)
フィルムリールの厚みが大きいほど、フィルムリール中に混在する異物の検査は困難となる。図6は、厚さTが例えば120mmであるフィルムリール10を対象として、フィルムリール10の厚さ方向の中間位置Cから放射線源21側の側端部Dまでを厚さ方向にさらに2つの領域に分け、領域ごとに異物41の検査を行なうことを説明する図である。すなわち、フィルムリールを厚み方向に4分割して検査を行う方法である。これは、放射線源から検出器までの距離に対する放射線源から検査対象物までの距離の比率を大きくすることで、感度ムラを小さくするとともに、必要な(ここでは100μmの大きさ)異物を検出する検出感度が得られる。
フィルムリールの厚み方向における分割数として、ここでは、フィルムリール10の一方の側端部D(符号16)と中間位置Cまでの領域を2つに分割する場合を説明する。フィルムリール10の他方の側端部と中間位置Cまでの領域も2つに分割して同様に異物41の検出を行うことができる。実際には、フィルムリール10の一方の側端部側と他方の側端部側でそれぞれ厚さ方向に2つの領域に分割し、合計でフィルムリール10を厚さ方向に4つの領域に分割してそれぞれについて異物41の検査を行なうことが好ましい。ここで説明する考え方を適用すれば、フィルムリール10のいずれかの側端部と中間位置Cまでを3以上の領域に分割して領域ごとに異物41の検査を行なうことも可能である。
(異物について)
本発明を用いて検出可能な異物の材質としては、例えば金属(Cu、SUS、Feなど)およびそれらの酸化物、シリカ等を挙げることができるが、異物のない箇所を透過したX線強度(ばらつき含む)に比べて、異物のある箇所を透過したX線強度に有意差があれば(=S/N比が高ければ)上記に限らず検出可能である。なお一般的に、異物の比重が大きいほど透過後のX線強度は小さく、S/N比が高くなり検出しやすい傾向にある。また、厚さTが大きいほどフィルム透過後のX線強度ばらつきは積算され大きくなるため、同一異物でもS/N比は小さくなり検出しにくくなる傾向にある。
次に、上述した放射線透過検査方法を実施するために用いられる放射線透過検査装置について説明する。図7は、放射線透過検査装置の第1の実施形態を示す図であって、(a)は平面図、(b)は正面図である。コア11の外周面に長尺のフィルムが複数周巻回されたフィルムリール10を検査対象物として取り外し可能に保持する保持部46が設けられている。保持部46は、コア11の中心軸13が水平となるように、コア11を介してフィルムリール10を保持する。保持部46には、フィルムリール10を中心軸13の周りで回転させるための回転駆動部47も設けられている。
図7を用いて説明した放射線透過検査装置では、フィルムリール10はコア11の中心軸13が水平となるように保持されていたが、中心軸13が垂直になるようにフィルムリール10を保持する構成とすることもできる。図8に正面図を示す放射線透過検査装置では、保持部46によって、コア11の中心軸13が垂直になるようにフィルムリール10が取り外し可能に保持されている。このとき、X線の光軸も垂直となるので、調整ステージを用いて放射線源21,22や検出器26,27の位置を調整することはできない。そこで図8に示す放射線透過検査装置では、第1の測定部に関し、C字状あるいはコの字状に形成された取り付け部材66の両端に、それぞれ調整部材71,76を介して放射線源21及び検出器26が相互に向かい合うように取り付けている。同様に第2の測定部に関し、C字状あるいはコの字状の取り付け部材67の両端に、それぞれ調整部材72,77を介して放射線源22及び検出器27が取り付けられている。調整部材71,72,76,77は、FID及びFODを調整するためのものであって、図7の装置と同様に制御部50(図8には不図示)によって制御される。そして、移動ステージ61,62がそれぞれ取り付け部材66,67をフィルムリール10の半径方向に移動させる。図8に示す放射線透過検査装置においても、図7に示した放射線透過検査装置と同様にしてフィルムリール10中の異物を検出することができる。また、検出器26,27での検出結果に基づいて異物の大きさを計算する処理部を設けてもよい。この例においても、放射線源21(22)と検出器26(27)との間にはフィルムリール10以外のX線の透過を阻害あるいは減衰させる部材が設けられていないので、ノイズの影響を抑制しながら鮮明な画像を得ることができる。従って、第2の実施形態では、保持部46としてフィルムリール10においてX線が透過する部分も含めて載置するテーブル状の部材を用いても良いが、その場合には検出器26(27)にテーブルの透過画像がバックグラウンド信号として検出されてS/N比の低下につながってしまうので、既述のようにフィルムリール10の中心軸13を保持する構成が好ましい。
図7に示した放射線透過検査装置は、放射線源21と検出器27からなる第1の測定部と、放射線源22と検出器27からなる第2の測定部との2つの測定部を備えている。しかしながら本発明に基づく放射線透過検査装置では、測定部の数をさらに増やして同時に異物検知工程を実行することにより、検査時間をさらに短縮することができる。図9は、図7に示す装置に対して2つの測定部を追加し、合計で4つの測定部を有する放射線透過検査装置を示している。図9では、放射線源と検出器との配置を明確にするために、フィルムリール10の一方の側端部側から見た側面図として、コア11を含むフィルムリール10と放射線源21~24と検出器26~29のみが示されている。図において破線で示されている要素は、フィルムリール10の他方の側端部側に位置しており、一方の側端部側から見た場合にはフィルムリール10に隠れて見えない要素である。
図7、図8及び図9に示した放射線透過検査装置は、放射線源と検出器からなる測定部を複数有する。しかしながら、複数の測定部を用いることができない場合もある。1つの測定部しか用いることができない場合には、フィルムリール10の一方の側端部からX線を照射する場合と他方の側端部からX線を照射する場合とを切り替える何らかの切り替え機構が必要である。図10は、1つの測定部と切り替え機構を備える放射線透過検査装置を示している。
次に、上述した放射線透過検査方法によっての良否を判定する微多孔膜の製造方法について説明する。微多孔膜としてポリオレフィン微多孔膜を製造する場合、まず、ポリオレフィン樹脂に流動パラフィンなどの可塑剤を添加して二軸押出機などによりこれらを溶融混練し、ポリオレフィン溶液を得る。そして、T型ダイなどの口金を用いてポリオレフィン溶液を吐出し、キャスト冷却装置などによって冷却してゲル状シートを得る。ゲル状シートを機械方向(MD)及び幅方向(TD)に延伸して延伸シートとし、その後、洗浄溶剤などを用いて延伸シートから可塑剤を溶解除去することにより、微多孔膜フィルムを得る。ポリオレフィン溶液の吐出から可塑剤の溶解除去までの連続工程で実行することによって、微多孔膜フィルムは長尺のフィルムとして得られるから、この微多孔膜フィルムをコア11の外周面に巻回することによって、フィルムリール10が得られる。その後、上述した放射線透過検査方法のいずれか1つを実施してフィルムリール10に含まれる異物の検査を実施する。検査の結果、合格品と判定されたものが出荷される。
11 コア
12 フィルム
13 コアの軸
14 フィルムリールの側端部A
15 フィルムリールの側端部B
16 フィルムリールの側端部D
21 第1の放射線源
22 第2の放射線源
23 第3の放射線源
24 第4の放射線源
26 第1の検出器
27 第2の検出器
28 第3の検出器
29 第4の検出器
31 光軸
32 X線の照射範囲
41 異物
42 像
46 保持部
47 回転駆動部
50 制御部
51,52,56,57 調整ステージ
61,62 移動ステージ
65 処理部
66,67 取り付け部材
71,72,76,77 調整部材
81 上下移動部
82 切り替え部
C フィルムリールの厚み方向の中心位置
T フィルムリールの厚さ
Claims (18)
- コアの外周面に長尺のフィルムが複数周巻回されたフィルムリールを検査対象とした放射線透過検査方法であって、リールの一方の側の側面を以下の側端部A、他方の側の側面を以下の側端部Bとして、
第1の放射線源から照射され、前記フィルムリールの側端部Aから入射し、リール中を透過し、側端部Bから出射する放射線を、第1の検出器で検出し、異物についての情報を得る第1の異物検知工程と、
第2の放射線源から照射され、前記フィルムリールの側端部Bから入射し、リール中を透過し、側端部Aから出射する放射線を、第2の検出器で検出し、異物についての情報を得る第2の異物検知工程とを含む、放射線透過検査方法。
側端部A:円筒状のフィルムリールの両端にあたる円状の面であって、フィルムリールの側面に位置するので、一方の側の側面を側端部Aと呼ぶ
側端部B:円筒状のフィルムリールの両端にあたる円状の面であって、フィルムリールの側面に位置するので、他方の側の側面を側端部Bと呼ぶ - 前記第1の放射線源と第1の検出器間の距離(FID)と、前記第2の放射線源と第2の検出器間の距離(FID)が等しく、かつ、
第1の放射線源と側端部A間の距離(FOD)と、第2の放射線源と側端部B間の距離(FOD)が等しい、請求項1に記載の放射線透過検査方法。 - 前記FIDとFODが式(1)を充足することを特徴とする、請求項2に記載の放射線透過検査方法。
0.2≦(T+2FOD)/2FID≦0.5・・・・(1)
ここで、Tはフィルムリールの厚みを表す。 - 第1の異物検知工程から得られた異物情報と第2の異物検知工程から得られた異物情報とから、フィルムリール中に混入した異物の位置情報および異物の大きさを求める、請求項1乃至3のいずれか1項に記載の放射線透過検査方法。
- 前記第1の異物検知工程と前記第2の異物検知工程を同時に実行する、請求項1乃至4のいずれか1項に記載の異物の放射線透過検査方法。
- 第1の放射線源を第2の放射線源として使用する、請求項1乃至4のいずれか1項に記載の放射線透過検査方法。
- 第3の放射線源から照射され、前記フィルムリールの側端部Aから入射し、リール中を透過し、側端部Bから出射する放射線を、第3の検出器で検出し、異物についての情報を得る第3の異物検知工程と、第4の放射線源から照射され、前記フィルムリールの側端部Aから入射し、リール中を透過し、側端部Bから出射する放射線を、第4の検出器で検出し、異物についての情報を得る第4の異物検知工程をさらに備え、
前記第3の放射線源と側端部A間の距離(FOD)および前記第4の放射線源と側端部B間の距離(FOD)が、前記第1の放射線源と側端部A間の距離(FOD)および前記第2の放射線源と側端部B間の距離(FOD)とは、異なる距離である、請求項2または3に記載の放射線透過検査方法。 - 前記第1の異物検知工程から得られた情報と前記第2の異物検知工程から得られた情報に基づき、異物の大きさを計算する工程をさらに有する、請求項1乃至6のいずれか1項に記載の放射線透過検出方法。
- コアの外周面に長尺のフィルムが複数周巻回されたフィルムリールを検査対象とできる放射線透過検査装置であって、リールの一方の側の側面を以下の側端部A、他方の側の側面を以下の側端部Bとして、
前記フィルムリールのコアを把持する保持部と、
前記フィルムリールの側端部Aから入射し、リールを透過して側端部Bから出射するよう配置された放射線を照射する第1の放射線源と、側端部Bから出射した放射線を検出する第1の検出器とからなる第1の測定部と、
前記第1の検出器から離間した位置に設けられて前記フィルムリールの側端部Bから入射し、リールを透過して側端部Aから出射するように配置された第2の放射線源と、側端部Aから出射した放射線を検出する第2の検出器とからなる第2の測定部とを備えた、放射線透過検査装置。
側端部A:円筒状のフィルムリールの両端にあたる円状の面であって、フィルムリールの側面に位置するので、一方の側の側面を側端部Aと呼ぶ
側端部B:円筒状のフィルムリールの両端にあたる円状の面であって、フィルムリールの側面に位置するので、他方の側の側面を側端部Bと呼ぶ - 第1の測定部の放射線源と検出器の位置、および、第2の測定部の放射線源と検出器の位置を調整する調整部を備え、前記第1の放射線源と側端部A間の距離(FOD)および前記第2の放射線源と側端部B間の距離(FOD)が等しく、かつ、前記第1の放射線源と検出器間の距離(FID)および前記第2の放射線源と検出器間の距離(FID)が等しくなるように位置を調整する制御部をさらに備えた、請求項9に記載の放射線透過検査装置。
- 前記第1の測定部及び前記第2の測定部を前記フィルムリールの半径方向に移動させる移動部をさらに備える、請求項9または10に記載の放射線透過検査装置。
- 前記移動部は、前記フィルムリールの厚み方向の中心から第1の測定部までの距離と前記第2の測定部までの距離とが常に等しくなるように、前記第1の測定部及び前記第2の測定部を移動させる機構である、請求項11に記載の放射線透過検査装置。
- 前記フィルムリールの周方向に沿って放射線によって前記フィルムリールを走査できるように前記第1の測定部及び前記第2の測定部を前記フィルムリールの軸周りに相対的に回転させる回転機構を備える、請求項9乃至12のいずれか1項に記載の放射線透過検査装置。
- 前記第1の測定部により検出された検出結果と前記第2の測定部により検出された検出結果とに基づいて、検出された異物の大きさを計算する処理部をさらに備える、請求項9乃至13のいずれか1項に記載の放射線透過検査装置。
- 前記フィルムリールの側端部Aから入射し、リールを透過して側端部Bから出射するよう配置された放射線を照射する第3の放射線源と、側端部Bから出射した放射線を検出する第3の検出器とからなる第3の測定部と、
前記第3の検出器から離間した位置に設けられて前記フィルムリールの側端部Bから入射し、リールを透過して側端部Aから出射するように配置された第4の放射線源と、側端部Aから出射した放射線を検出する第4の検出器とからなる第4の測定部とをさらに備え、放射線源と検出器との離間距離をFIDとし、放射線源と前記フィルムリールの側端部Aとの離間距離をFODとして、
第3の測定部のFIDは、前記第1の測定部のFIDと等しく、第3の測定部のFODは、前記第1の測定部のFODよりも大きく、かつ、第4の測定部のFIDは、前記第2の測定部のFIDと等しく、第4の測定部のFODは、前記第2の測定部のFODよりも大きく、かつ、第3の測定部のFODと第4の測定部のFODは等しい、請求項9に記載の放射線透過検査装置。 - コアの外周面に長尺のフィルムが複数周巻回されたフィルムリールを検査対象とできる放射線透過検査装置であって、
前記フィルムリールのコアを把持する保持部と、
前記フィルムリールの一方の側端部から入射し、リールを透過して他方の側端部から出射するよう配置された放射線を照射する放射線源と、他方の側端部から出射した放射線を検出する検出器とからなる測定部と、 前記コアの軸に垂直な軸の周りで前記フィルムリールを前記測定部の放射線源および検出器に対して相対的に180°回転させるように、前記測定部及び前記フィルムリールの少なくとも一方を移動させる切り替え部とを有する放射線透過検査装置。 - 長尺のフィルムをコアに捲回してフィルムリールを得る工程と、請求項1乃至8のいずれか1項に記載の放射線透過検査方法により前記フィルムリールに含まれる異物の検査を行う異物検知工程とを含む、フィルムリールの製造方法。
- 前記フィルムは、ポリオレフィン微多孔フィルムである、請求項17に記載のフィルムリールの製造方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018121994 | 2018-06-27 | ||
JP2018121994 | 2018-06-27 | ||
PCT/JP2019/025288 WO2020004435A1 (ja) | 2018-06-27 | 2019-06-26 | 放射線透過検査方法及び装置、並びに微多孔膜の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2020004435A1 JPWO2020004435A1 (ja) | 2021-05-13 |
JP7283398B2 true JP7283398B2 (ja) | 2023-05-30 |
Family
ID=68985465
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019567390A Active JP7283398B2 (ja) | 2018-06-27 | 2019-06-26 | 放射線透過検査方法及び装置、並びに微多孔膜の製造方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20210181125A1 (ja) |
EP (1) | EP3816616A4 (ja) |
JP (1) | JP7283398B2 (ja) |
KR (1) | KR20210024438A (ja) |
CN (1) | CN112154322A (ja) |
WO (1) | WO2020004435A1 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7192760B2 (ja) * | 2019-12-24 | 2022-12-20 | トヨタ自動車株式会社 | 異物検査方法および異物検査装置 |
WO2022044418A1 (ja) * | 2020-08-26 | 2022-03-03 | 東レ株式会社 | フィルム製品リールの放射線透過検査装置およびこれを用いたフィルム製品リールの製造方法、ならびにフィルム製品リールの放射線透過方法 |
EP3964823A1 (en) * | 2020-09-02 | 2022-03-09 | FORCE Technology | A device for testing a flat plate-shaped material |
EP4213480A1 (en) * | 2020-09-10 | 2023-07-19 | Beamsense Co., Ltd. | X-ray fluoroscope |
WO2023189135A1 (ja) * | 2022-03-31 | 2023-10-05 | 東レ株式会社 | 検査装置及び検査方法 |
KR102491254B1 (ko) * | 2022-09-01 | 2023-01-27 | 주식회사 엘시스 | 피사체 결함 탐지를 위한 x선 촬영 위치 결정 방법 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004354215A (ja) | 2003-05-29 | 2004-12-16 | Ihi Aerospace Co Ltd | 放射線透過非破壊検査装置 |
JP2009519457A (ja) | 2005-12-16 | 2009-05-14 | シーエックスアール リミテッド | X線断層撮影検査システム |
JP2010127702A (ja) | 2008-11-26 | 2010-06-10 | Kyocera Chemical Corp | 絶縁性樹脂組成物中の金属粉異物の自動検知方法 |
JP2018092890A (ja) | 2016-11-30 | 2018-06-14 | 住友化学株式会社 | 欠陥検査装置、欠陥検査方法、及びセパレータ捲回体の製造方法 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6321039A (ja) | 1986-07-15 | 1988-01-28 | 株式会社日立製作所 | 多線源ctスキヤナ |
US5886772A (en) * | 1996-02-17 | 1999-03-23 | Sony Corporation | Film processing apparatus |
JP2912608B1 (ja) * | 1998-03-27 | 1999-06-28 | 近畿コンクリート工業株式会社 | コンクリート製品の非破壊検査方法 |
AU2008340164A1 (en) * | 2007-12-25 | 2009-07-02 | Rapiscan Systems, Inc. | Improved security system for screening people |
US20120314836A1 (en) * | 2011-06-08 | 2012-12-13 | Steven Winn Smith | X-ray Shoe Inspection |
JP6265658B2 (ja) | 2013-08-27 | 2018-01-24 | 株式会社フジシールインターナショナル | ラベル連続体の継ぎ目検知方法、及びラベル連続体 |
EP3213295B1 (en) * | 2014-10-29 | 2022-09-07 | Pirelli Tyre S.p.A. | Method and apparatus for controlling production and feeding of semifinished products in a tyre building process |
EP3311148B1 (en) * | 2015-06-16 | 2023-06-21 | Dylog Italia S.p.A. | A non-destructive x-ray inspection machine, devices provided for such machine and method for operating the same |
US20170283664A1 (en) * | 2016-03-05 | 2017-10-05 | Mitsubishi Chemical Corporation | Adhesive film and process for producing the same |
CN108132262A (zh) * | 2016-11-30 | 2018-06-08 | 住友化学株式会社 | 缺陷检查装置、缺陷检查方法及隔膜卷绕体的制造方法 |
-
2019
- 2019-06-26 EP EP19824880.9A patent/EP3816616A4/en not_active Withdrawn
- 2019-06-26 WO PCT/JP2019/025288 patent/WO2020004435A1/ja unknown
- 2019-06-26 JP JP2019567390A patent/JP7283398B2/ja active Active
- 2019-06-26 CN CN201980033727.0A patent/CN112154322A/zh active Pending
- 2019-06-26 KR KR1020207027239A patent/KR20210024438A/ko not_active Application Discontinuation
- 2019-06-26 US US17/046,523 patent/US20210181125A1/en active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004354215A (ja) | 2003-05-29 | 2004-12-16 | Ihi Aerospace Co Ltd | 放射線透過非破壊検査装置 |
JP2009519457A (ja) | 2005-12-16 | 2009-05-14 | シーエックスアール リミテッド | X線断層撮影検査システム |
JP2010127702A (ja) | 2008-11-26 | 2010-06-10 | Kyocera Chemical Corp | 絶縁性樹脂組成物中の金属粉異物の自動検知方法 |
JP2018092890A (ja) | 2016-11-30 | 2018-06-14 | 住友化学株式会社 | 欠陥検査装置、欠陥検査方法、及びセパレータ捲回体の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPWO2020004435A1 (ja) | 2021-05-13 |
KR20210024438A (ko) | 2021-03-05 |
WO2020004435A1 (ja) | 2020-01-02 |
EP3816616A4 (en) | 2022-03-23 |
EP3816616A1 (en) | 2021-05-05 |
US20210181125A1 (en) | 2021-06-17 |
CN112154322A (zh) | 2020-12-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7283398B2 (ja) | 放射線透過検査方法及び装置、並びに微多孔膜の製造方法 | |
JP5469839B2 (ja) | 物体表面の欠陥検査装置および方法 | |
WO2013118386A1 (ja) | X線検査装置、検査方法およびx線検出器 | |
JP7218723B2 (ja) | 異物の検査方法、検査装置、フィルムロール及びフィルムロールの製造方法 | |
US11041818B2 (en) | Dimensional X-ray computed tomography system and CT reconstruction method using same | |
US10379066B2 (en) | X-ray transmission inspection apparatus | |
JP2000058410A (ja) | 走査型荷電粒子線応用装置ならびにそれを用いた顕微方法および半導体装置製造方法 | |
JP2003294655A (ja) | タイヤのx線検査方法及びその装置 | |
JPH01235839A (ja) | 透過線像を作製するための装置及び方法 | |
JP2021071383A (ja) | バッテリ検査方法 | |
JP6729801B2 (ja) | 検査装置、検査方法および検査対象物の製造方法 | |
CN111649704A (zh) | 一种基于x射线的珍珠层厚度测量装置及测量方法 | |
US20200003702A1 (en) | Nondestructive inspection apparatus and nondestructive inspection method | |
JP2006349351A (ja) | 3次元微細形状測定方法 | |
WO2022044418A1 (ja) | フィルム製品リールの放射線透過検査装置およびこれを用いたフィルム製品リールの製造方法、ならびにフィルム製品リールの放射線透過方法 | |
CN212432076U (zh) | 一种基于x射线的珍珠层厚度测量装置 | |
JP2006177760A (ja) | X線検査装置、x線検査方法およびx線検査プログラム | |
CN117826519A (zh) | 射线检测双胶片一次曝光方法及装置 | |
JP6921578B2 (ja) | 表面異物検出装置およびそれを用いた表面異物検出方法 | |
JP2017203752A (ja) | X線検査装置 | |
CN117795624A (zh) | 将被x射线照射的对象成像的成像光学配置 | |
CN112666187A (zh) | 电池检查方法 | |
JP2021179393A (ja) | 非破壊検査装置 | |
JP2962489B2 (ja) | レンズ系の偏心量測定方法および装置 | |
JP2000088773A (ja) | X線撮像による画像寸法計測装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220215 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20221227 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230221 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230418 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230501 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 7283398 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |