KR200336812Y1

KR200336812Y1 - 웨이퍼의 결함 검사장치

Info

Publication number: KR200336812Y1
Application number: KR20-2003-0029459U
Authority: KR
Inventors: 김광렬
Original assignee: 김광렬
Priority date: 2003-09-17
Filing date: 2003-09-17
Publication date: 2003-12-24

Abstract

본 고안은 다수의 웨이퍼를 카세트에 적재한 채로 웨이퍼의 에지면을 검사하는 시스템에 있어서: 상기 카세트에 적재된 각 웨이퍼의 플랫존을 기준으로 웨이퍼를 회전시키며 정렬하는 회전정렬수단; 상기 카세트에 적재된 각 웨이퍼의 하단 에지면에 대향하도록 회전정렬수단의 인접위치에 설치하되 각 웨이퍼의 에지면을 촬영하는 카메라; 상기 카메라에 인접 설치되어 카세트에 적재된 웨이퍼의 이미지 획득시 웨이퍼의 에지면으로 빛을 조사하는 조명수단; 상기 카메라와 조명수단를 지지하되 카메라를 수직 이동시켜 웨이퍼에지면의 포커스를 일괄 조정하는 포커싱수단; 상기 카메라에서 얻어진 각 웨이퍼의 에지면에 대한 이미지를 병렬 처리하여 디지털데이터로 변환함과 아울러 결함 부위를 추출하는 이미지처리수단; 상기 카세트에 적재된 웨이퍼의 정렬 및 검사 명령을 입력함과 아울러 각 웨이퍼의 에지면에 대한 이미지와 결함여부 및 결함위치를 출력하는 입력 및 출력수단; 및 상기 웨이퍼의 플랫존을 기준으로 웨이퍼를 정렬 제어함과 아울러 포커싱수단을 통해 다수의 카메라의 포커스를 일괄 조정하되, 상기 회전정렬수단에 의해 회전되는 각 웨이퍼의 제반 에지면에 대한 이미지데이터를 이미지처리수단을 통해 제공받아 웨이퍼별 결함 여부 및 결함 위치를 분석 결정하여 출력수단을 통해 출력 제어하는 메인서버;를 구비한 웨이퍼의 결함 검사장치를 제공한다.

Description

웨이퍼의 결함 검사장치{APPARATUS FOR DETECTING A DEFECT ON EDGE AREA OF A WAFER}

본 고안은 웨이퍼의 에지면 검사 시스템에 관한 것으로, 특히 웨이퍼의 에지면의 크랙을 검사하여 웨이퍼 공정 중 웨이퍼가 깨져 공정장비가 훼손되는 것을 방지하기 위한 웨이퍼의 결함 검사장치에 관한 것이다.

일반적으로 반도체소자 제조 등에 널리 쓰이는 웨이퍼는 다수의 공정들을 거치는 동안 열적 또는 물리적 스트레스를 받게 된다.

이때, 웨이퍼 에지에 크랙 등의 조그마한 불량이라도 있는 경우에는 공정 중에 열적 또는 물리적 스트레스 등으로 인하여 새로운 크랙이 발생하거나 크랙이 웨이퍼의 다른 부분에까지 전파될 수 있다.

심한 경우 열처리 공정에서 웨이퍼가 깨지게 되고, 깨진 파티클로 인해 다른 웨이퍼와 반도체제조장비가 훼손되는 경우가 발생한다. 즉, 반도체제조장비 내에서다수개(예컨대, 26개부터 50개 정도)의 웨이퍼를 카세트에 적재한 상태에서 각종 반도체제조 공정을 진행하는데, 이때 하나의 웨이퍼가 깨지면 깨진 웨이퍼에서 발생되는 파티클의 오염 때문에 함께 적재된 다른 웨이퍼 또는 동일 챔버 내의 다른 웨이퍼와 반도체제조장비 들을 모두 훼손할 우려가 있어 매우 심각한 경제적, 시간적 손실을 일으킬 가능성이 있었다.

이러한 이유로, 최근 웨이퍼 에지를 검사하는 장치가 개발되고 있으며, 특허공개 제2001-77543호를 그 예로 들 수 있다.

이와 같은 종래 기술은 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 이미지정보획득 장치(10), 램프(15), 플랫 정렬기(Flat Aligner; 21)와 직선이동 기구(25)로 구성된 웨이퍼를 움직이는 장치(20) 및 데이터저장장치(40), 데이터처리장치(50), 디스플레이부(60), 입력부(70), 그리고 이들 전체를 제어하는 시스템제어부(30)로 구성되어 있다.

상기 이미지정보획득장치(10)는 웨이퍼(1)의 에지면의 이미지를 촬영한다. 플랫 정렬기(21)는 다수개의 웨이퍼(1)를 담을 수 있으며, 웨이퍼를 회전시킨다. 직선이동 기구(25)는 위에 플랫 정렬기(21)가 얹어지며, 플랫 정렬기(21)를 직선이동시켜 결국 웨이퍼를 직선이동시킨다. 시스템제어부(30)는 이미지정보획득장치(10), 플랫 정렬기(21), 직선이동기구(25)에 각각 연결되어 이들을 제어하여 웨이퍼에지면의 이미지를 촬영하게 하며, 또한 촬영된 이미지 데이터의 저장, 처리 및 디스플레이 등 시스템 전체를 제어한다.

이와 같이 종래기술은 웨이퍼 검사에 있어서 우수한 장비이지만, 웨이퍼의수직 상단에 카메라를 설치하여 웨이퍼의 에지면을 촬영하게 되며, 웨이퍼의 원형부의 촬영은 웨이퍼회전기에 의해 웨이퍼를 회전시키면서 촬영하는 반면 웨이퍼의 플랫존(Flat Area)은 카세트 거치대의 전체를 한 축 방향으로 슬라이딩하며 촬영하는 방식으로 인해 검사장치가 대형일 수밖에 없었으며, 또한 각 웨이퍼의 에지면 영상을 한 대의 카메라를 이용하여 촬영함으로써, 웨이퍼의 이미지처리 및 불량 검사에 있어 상당한 시간이 소요되어 생산성과 활용도 측면에서 상당히 비효율적인 문제점이 있었다.

따라서, 본 고안의 목적은 카세트에 적재된 각 웨이퍼의 에지면을 촬영하는 카메라를 웨이퍼의 상단부가 아니라 웨이퍼의 하단부인 회전정렬수단에 인접하여 설치함으로써, 웨이퍼 카세트의 하단에서도 촬영이 가능하여 초근접 촬영에 의한 메커니즘의 공간 점유율을 대폭적으로 감소시킴과 아울러 검사장비를 소형화하여 보다 효율적으로 사용할 수 있는 웨이퍼의 결함 검사장치를 제공하는 데 있다.

또한, 카메라를 각 웨이퍼와 일대일 대응하도록 설치함으로써, 다수 웨이퍼의 이미지를 동시에 병렬처리함에 따라 웨이퍼의 이미지 획득 및 처리 시간을 대폭적으로 단축시킬 수 있는 웨이퍼의 결함 검사장치를 제공하는 데 있다.

도 1은 종래기술에 의한 웨이퍼 결함 검사장치를 나타낸 정면도이고,

도 2는 도 1의 검사장치에 대한 시스템 구성도이고,

도 3은 본 고안의 일실시예에 의한 웨이퍼 검사장치를 도시한 외관 사시도이고,

도 4a 내지 도 4h는 본 고안에 의한 웨이퍼 검사장치의 세부 구성을 나타낸 사시도이고,

도 5는 본 고안에 의한 웨이퍼 검사장치를 나타낸 회로블록도이고,

도 6은 본 고안에 의한 웨이퍼 검사방법을 설명하기 위한 플로우챠트이고,

도 7은 도 6의 플랫존 정렬 방식을 설명하기 위해 도시한 도면이고,

도 8은 도 6의 포커스 조정 방식을 설명하기 위해 도시한 도면이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

1: 웨이퍼 5: 카세트

100: 웨이퍼검사장치 101: 웨이퍼안착부

105: 웨이퍼가이드 110: 회전정렬수단

111: 웨이퍼회전기 115: 플랫존정렬기

120: 카메라 121: 이미지센서

125: 망원렌즈 130: 조명수단

140: 포커싱수단 150: 이미지처리수단

155: 통신허브 160: 기기제어부

170: 입력 및 출력수단 171: 입력수단

173: 표시수단 175: 경보음발생수단

180: 저장수단 190: 메인서버

상기 목적을 달성하기 위한 본 고안의 기술적 수단은, 다수의 웨이퍼를 카세트에 적재한 채로 웨이퍼의 에지면을 촬영하여 웨이퍼의 결함을 검사하는 웨이퍼 검사시스템에 있어서: 상기 카세트에 적재된 각 웨이퍼의 하단 에지면과 접촉되어웨이퍼의 플랫존을 기준으로 웨이퍼를 회전시키며 정렬하는 회전정렬수단; 상기 카세트에 적재된 각 웨이퍼의 하단 에지면에 대향하도록 회전정렬수단의 인접위치에 설치하되 각 웨이퍼의 에지면을 촬영하는 카메라; 상기 카메라에 인접 설치되어 카세트에 적재된 웨이퍼의 이미지 획득시 웨이퍼의 에지면으로 빛을 조사하는 조명수단; 상기 카메라와 조명수단를 지지하되 카메라를 수직 이동시켜 웨이퍼에지면의 포커스를 일괄 조정하는 포커싱수단; 상기 카메라에서 얻어진 각 웨이퍼의 에지면에 대한 이미지를 병렬 처리하여 디지털데이터로 변환함과 아울러 결함 부위를 추출하는 이미지처리수단; 상기 카세트에 적재된 웨이퍼의 정렬 및 검사 명령을 입력함과 아울러 각 웨이퍼의 에지면에 대한 이미지와 결함여부 및 결함위치를 출력하는 입력 및 출력수단; 및 상기 웨이퍼의 플랫존을 기준으로 웨이퍼를 정렬 제어함과 아울러 포커싱수단을 통해 다수의 카메라의 포커스를 일괄 조정하되, 상기 회전정렬수단에 의해 회전되는 각 웨이퍼의 제반 에지면에 대한 이미지데이터를 이미지처리수단을 통해 제공받아 웨이퍼별 결함 여부 및 결함 위치를 분석 결정하여 출력수단을 통해 출력 제어하는 메인서버;를 구비한 것을 특징으로 한다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 고안을 보다 상세하게 살펴보고자 한다.

도 3은 본 고안에 의한 웨이퍼 검사장치를 도시한 외관 사시도이고, 도 4a 내지 도 4h는 웨이퍼 검사장치의 세부 구성을 나타낸 사시도로서, 좌측에는 웨이퍼(1)를 회전시키는 회전정렬수단(110; Flat Aligner)과 이미지센서와 같은 카메라(120)가 장착되어 있고, 우측에는 입력버튼(171)과 LCD 패널(173) 및 경광등(175)이 형성되어 있다. 물론 장비에 키보드와 마우스와 같은 별도의 입력수단(171)을 더 접속하여 입력 제어할 수가 있다.

이와 같은 장치를 이용하여 웨이퍼(1)를 카세트(5)에 적재한 채로 웨이퍼(1)의 에지면을 촬영하여 웨이퍼(1)의 결함을 검사하는 것이다.

그 구성을 살펴보면, 상기 회전정렬수단(110)은 카세트(5)에 적재된 각 웨이퍼(1)의 하단 에지면과 접촉되어 웨이퍼(1)의 플랫존(Flat Zone)을 기준으로 웨이퍼(1)를 회전시키며 정렬하는 웨이퍼회전기(111)와 같은 장치로 이루어져 있고, 카메라(120)는 카세트(5)에 적재된 각 웨이퍼(1)의 하단 에지면에 대향하도록 회전정렬수단(110)의 인접위치에 설치하되 각 웨이퍼(1)의 에지면을 촬영하는 이미지센서나 고체촬상소자와 같은 장치로 이루어져 있다.

그리고, 상기 카세트(5)에 적재된 웨이퍼(1)의 정렬 및 검사 명령을 입력함과 아울러 저장수단(180)에 저장된 검사데이터를 조회하거나 하는 등의 각종 명령을 입력하는 입력버튼, 마우스 및 키보드와 같은 입력수단(171)과, 각 웨이퍼(1)의 에지면에 대한 이미지 영상과 결함여부 및 결함위치를 표시하는 LCD 패널과 같은 표시수단(173) 및 상기 웨이퍼 결함 검출이나 시스템 오류시 경고음을 출력하는 경광등과 부저와 같은 경보음발생수단(175) 등으로 이루어진 입력 및 출력수단(170)으로 이루어져 있다.

아울러, 상기 카메라(120)에는 카세트(5)에 적재된 웨이퍼(1)의 이미지 획득시 각 웨이퍼(1)의 에지면으로 빛을 각각 조사하는 다수의 조명수단(130)이 더 설치되어 있다.

즉, 다수의 웨이퍼(1)가 수직으로 적재된 카세트(5)를 카세트안착부(101)에올려놓은 상태에서 회전정렬수단(110)을 통해 웨이퍼(1)를 동시에 회전시키면서 웨이퍼(1)에 대응되는 각 카메라(120)를 통해 각 웨이퍼(1)의 에지면에 대한 이미지를 촬영하여 웨이퍼(1)의 결함 여부를 체크하게 된다.

본 고안의 웨이퍼 검사장치가 종래와 다른 점은 카메라(120)를 회전정렬수단(110)의 인접 측면에 설치한 것과, 그리고 카메라(120)를 각 웨이퍼(1)에 대응되는 위치에 모두 설치하여 이미지를 동시에 획득 및 병렬 처리하여 검사장치의 크기와 검사시간을 대폭적으로 줄인 것에 있다.

상기 회전정렬수단(110)은 도 4a와 같이 웨이퍼(1)의 에지면과 접촉되어 웨이퍼(1)를 회전시키는 웨이퍼회전기(111)와, 상기 웨이퍼회전기(111)에 체결되어 웨이퍼 정렬시 웨이퍼(1)의 플랫존이 하단으로 오도록 즉, 웨이퍼(1)의 플랫존이 웨이퍼회전기(111) 상단에 위치하도록 하기 위해 수직 작동하는 플랫존정렬기(115)로 구성되어 있다.

상기 회전정렬수단(110)의 인접위치에 설치된 카메라(120)를 이용하여 웨이퍼의 에지면을 촬영하게 되는데, 각각의 웨이퍼에 대응되는 독립적인 카메라(120)로 초근접 촬영을 함에 따라 웨이퍼(1)가 카메라(120)의 초점에서 벗어날 경우 이미지를 획득할 수 없게 된다.

통상, 다수의 웨이퍼(1)를 담는 카세트(5)에서 각각의 웨이퍼가 꽂히는 슬롯의 폭은 대략 3mm정도인데, 웨이퍼의 두께는 통상 1mm이하 이므로, 웨이퍼는 카세트 슬롯 내에서 좌우로 이격공간이 생기며, 이로인해 웨이퍼에지면을 동시에 초근접 촬영할 경우 카메라(120)의 초점에서 벗어날 수가 있다.

이러한 경우 카세트(5)를 앞뒤로 약간 흔들어 주는 것으로 한쪽으로 정렬시킬 수 있지만, 카세트(5)가 규격품일지라도 제조과정에서 약간의 오차가 있을 수 있으며, 이는 시스템의 성능에 직접적인 영향을 미칠 수 있다. 즉, 카세트(5)의 전체 규격에서 대략 2mm정도만 틀리더라도 이는 웨이퍼가 영상획득폭을 벗어나는 문제를 야기한다.

그리고, 카메라(5)의 영상획득폭을 더 넓히는 것으로 이 문제를 해결할 수 있으나, 이는 영상처리시간의 증가로 인하여 전체적인 검사시간 또한 길어지게 되는 문제를 수반하게 되며, 검사시간의 단축이 중요한 성능향상 요소가 될 경우 영상획득폭을 더욱 줄이면서 카세트의 변동에도 대응하며 각각의 웨이퍼와 카메라의 초점이 일치하게 하는 기구적인 해결방안을 고려하여야 한다.

따라서, 도 4b와 같이 웨이퍼회전기(111)의 상단부에 대략 1mm 정도의 슬릿을 갖는 빗 모양의 웨이퍼가이드(105)를 고정 설치하는 것이 가장 바람직하다.

이와 같이 웨이퍼가이드(105)를 웨이퍼회전기(111)의 상단부에 이격 설치함으로써, 카세트(5)를 웨이퍼안착부(101)에 올려놓는 순간 웨이퍼(1)는 웨이퍼가이드(105)를 타고 흘러내려 웨이퍼회전기(111)에 정렬 안착된다.

통상, 상기 카세트(5)에 담긴 웨이퍼 간의 간격은 7mm이고, 웨이퍼의 두께는 0.65mm 이므로, 상기 웨이퍼가이드(105)는 웨이퍼의 두께보다 약간 넓은 1mm정도의 슬릿(St)을 갖는 폭(w)이 6mm이고, 높이(h)가 5mm 정도인 산 형태(삼각형)의 가이드(105)를 형성하는 것이 바람직하다.

그리고, 웨이퍼가이드(105)와 웨이퍼회전기(111) 사이의 간극은 근접할수록좋으며, 통상 1mm정도를 유지하면 웨이퍼의 회로패턴이 형성된 부분이 가이드(105)에 닿지 않는다. 이는 웨이퍼면의 가장자리에 해당하는 3mm 내지 4mm정도의 폭은 회로패턴이 형성되지 않는 부분이며, 회로패턴이 가이드(105)에 접촉될 경우 회로패턴이 훼손되는 심각한 문제를 초래할 수 있기 때문이다.

만약, 웨이퍼가 회전할 때 웨이퍼의 진동으로 웨이퍼면의 가장자리가 가이드(105)와 닿는 경우를 대비하여 가이드(105)는 웨이퍼의 마찰에 의해 정전기가 발생되지 않고 스크래치가 발생되지 않는 테프론 또는 아세탈 등의 재질을 사용하여 제조하는 것이 바람직하다.

한편, 웨이퍼의 플랫존이 웨이퍼회전기(111)의 상단에 안착될 경우 웨이퍼의 웨이퍼의 플랫존과 웨이퍼의 회로패턴이 형성된 부분이 가이드(105)에 닿지 않도록 도 4c와 같이 웨이퍼회전기(111)의 축을 중심으로 호의 형태를 보여야 하며, 웨이퍼회전기(111)의 수직축을 중심으로 플랫존정렬기(115) 측인 좌측(θ1)으로 20°내지 30°로 하고, 우측(θ2)으로 70°내지 80°정도로 하여 대략 총 90°정도가 되도록 설치하는 것이 바람직하며, 이는 웨이퍼가이드(105)의 지지프레임(106)이 웨이퍼회전기(111)의 하단에 위치해야 하기 때문이다. 이렇게 해야만 웨이퍼의 플랫존이 웨이퍼회전기(111)에 안착될 경우에 웨이퍼의 플랫존과 웨이퍼의 회로패턴이 형성된 부분이 가이드(105)의 지지프레임(106)에 접촉되지 않는다.

그리고, 카메라(120)는 도 4d와 도 4e와 같이, 웨이퍼회전기(111)의 인접위치에 설치하되 카세트(5)에 적재된 각 웨이퍼(1)의 하단 에지면에 대향하도록 웨이퍼(1)와 개수와 동일한 개수로 이루어져 각 웨이퍼(1)의 에지면을 촬영하는 CMOS이미지센서(121)와, 상기 각 이미지센서(121)의 전면에 설치되어 근접 촬영이 가능하도록 하는 망원렌즈(125)로 이루어져 있다. 즉, 상기 카메라(120)는 각 웨이퍼(1)의 에지 이미지를 병렬 처리하도록 각 웨이퍼(1)에 일대일 대응하도록 설치하되 지그재그로 2열로 설치하였으며, 각 카메라(120)는 CMOS 이미지센서(121)에 망원렌즈(125)를 부착 조립하여 근접 촬영이 가능하도록 하였다.

실시예에서는 웨이퍼 카세트(5)의 26개 슬롯에 꽂혀있는 각각의 웨이퍼(1)에 CMOS 이미지센서(121)를 배치하는 방식을 나타내었으며, 각 웨이퍼 사이의 간격이 좁아 상용 CMOS 이미지센서(121)를 1열로 배치하는 방식이 곤란하여 2열로 지그재그 방식으로 배치하였다. 상기 2열 카메라 중 1열 카메라(121-1)가 홀수번호의 웨이퍼를 촬영하면 2열 카메라(121-2)는 짝수번호의 웨이퍼를 촬영하는 방식으로 협소한 공간에 배치를 가능하게 하였으나, 물론 웨이퍼회전기(111)의 좌/우측으로 카메라(120)와 포커싱수단(140)의 각각 1열로 분리 배치하는 방식도 구현 가능함은 당연한 것이다.

아울러, 실시예에서는 CMOS 이미지센서(121)에 망원렌즈(125)를 부착하여 웨이퍼(1)의 에지면과 10mm정도의 포커스에서 웨이퍼 둘레의 4mm정도의 길이를 확대하여 이미지 획득이 가능하도록 하였다.

그리고, 도 4f와 같이 카메라(120)의 인접 위치에 조명수단(130)이 설치되어 있으며, 상기 조명수단(130)은 일반 형광등이 아니라 굵기가 3mm 내지 4mm가 되는 LCD 백라이트용 형광등을 사용하는 것이 바람직하다.

상기 조명수단(130)은 2열로 배열된 카메라(120)의 사이 공간과 측면에3열(131∼133)로 설치하되, 상기 각 램프의 주변에 '∪'자형 반사판(135)을 설치하여 웨이퍼 측으로만 빛을 조사하도록 구성함으로써, 좋은 영상을 얻을 수 있다.

그리고, 상기 카메라(120)와 조명수단(130)의 상단에는 유리판(139)을 덮어 카메라를 외부로부터 보호하는 것이 바람직하며, 먼지가 쌓였을 경우에도 유리판(139)만 닦으면 되므로 유지/보수 측면에서 유용하다. 그리고, 상기 유리판(139)은 일반 유리판일 경우에는 자체에서의 빛 반사에 의해 사용할 수가 없으므로, 유리판(139)의 표면에 빛반사가 안되는 코팅처리를 하는 것이 바람직하다.

또한, 카메라(120)의 하단에는 도 4g와 같이 포커싱수단(140)이 설치되어 있는데, 상기 포커싱수단(140)은, 다수의 카메라(120)를 수평 지지하는 지지판(149)과, 소정의 제어신호에 따라 회전되는 스테핑모터와 같은 구동수단(141), 및 상기 구동수단(141)의 회전력을 수직 상하운동으로 변환하여 지지판(149)을 상/하 이동시키는 볼스크류와 같은 동력전달수단(145)으로 이루어져 있어, 상기 다수의 카메라가 수평 고정된 지지판(149)을 상하측으로 이동시킴에 따라 카메라(120)의 포커스를 조정하도록 구성되어 있다. 상기 미설명한 부호 142는 포커싱수단을 지지하는 하단 베이스이고, 부호 143은 스테핑모터(141)를 감싸는 브래킷이고, 부호 146은 지지판을 지지하는 지지대이고, 부호 147, 148은 볼 베어링 및 선형 가이드 베어링이다.

아울러, 상기 포커싱수단(140)은 도 4g와 도 4h에 보듯이 수평면을 기준으로 수직으로 설치된 것이 아니라 회전정렬수단(110) 측으로 다소 기울어져 있다. 예컨대 포커싱수단(140) 즉, 카메라(120)의 각도(θ3)는 대략 75.5°로 기울어져 있는데, 이는 포커싱수단(140)을 지지하는 베이스(142)가 일측과 타측의 두께가 다르기 때문이며, 베이스(142)의 각도(θ4)는 대략 14.5°로 일측이 타측보다 얇다. 상기 각도(θ4)는 웨이퍼의 원형부분이 웨이퍼회전기(111)에 접촉되어 있는 회전각 상태에서 카메라(120)의 초점이 웨이퍼의 중심과 일치하게 설정하는 것이 바람직하다.

그리고, 웨이퍼(1)의 에지면을 기준으로 카메라(120)와 조명수단(130)의 간극은 다른데, 실시예에서는 카메라(120)와 웨이퍼에지면의 간극은 대략 10mm정도이고, 상기 조명수단(130)과 웨이퍼에지면의 간극은 대략 7mm정도가 되도록 설치하였으며, 조명수단(130)이 카메라(120)보다 웨이퍼 측으로 더 돌출되어 설치되어 있다.

도 5는 본 고안에 의한 웨이퍼 검사장치를 나타낸 회로블록도로서, 회전구동수단(113), 카메라(120), 조명수단(130), 포커싱수단(140), 이미지처리수단(150), 기기제어부(160), 입력수단(171), 표시수단(173), 경보음발생수단(175), 저장수단(180) 및 메인서버(190) 등으로 구성되어 있으며, 다수의 웨이퍼(1)를 카세트(5)에 적재한 채로 웨이퍼(1)의 에지면을 촬영하여 웨이퍼(1)의 결함을 검사한다.

즉, 상기 회전정렬수단(110)은, 카세트(5)에 적재된 각 웨이퍼(1)의 하단 에지면과 접촉되어 웨이퍼(1)의 플랫존을 기준으로 웨이퍼(1)를 회전시키며 정렬하는 웨이퍼회전기(111)와, 소정의 제어신호에 따라 구동되어 상기 웨이퍼회전기(111)를 회전시키는 회전구동수단(113)과, 상기 웨이퍼회전기(111)에 인접 설치되어 웨이퍼 정렬시 상측으로 이동하여 웨이퍼(1)의 플랫존과 접촉되어 웨이퍼(1)의 플랫존이웨이퍼회전기(111)의 상단에 위치하도록 정렬하는 플랫존정렬기(115), 및 상기 플랫존정렬기(115)를 상하 이동시키는 정렬구동수단(117)으로 각각 이루어져 있다.

또한, 상기 웨이퍼회전기(111)의 인접위치에 설치하되 카세트(5)에 적재된 각 웨이퍼(1)의 하단 에지면에 대향하도록 웨이퍼(1)의 개수와 동일한 개수로 이루어져 홀수번과 짝수번이 지그재그로 2열 형성되어 각 웨이퍼(1)의 에지면을 촬영하는 CMOS 이미지센서(121)를 포함한 카메라(120)와, 상기 카메라(120)에 인접 설치되어 카세트(5)에 적재된 웨이퍼(1)의 이미지 획득시 웨이퍼(1)의 에지면으로 빛을 조사하는 램프(131), 및 상기 램프(131)로 구동전압을 인가하는 램프구동부(135)로 이루어진 조명수단(130)과, 상기 카메라(120)를 상하 수직으로 이동시켜 웨이퍼에지면의 포커스를 조정하도록 하는 스테핑모터와 같은 구동수단(141)과 볼스크류와 같은 동력전달수단(145)으로 이루어진 포커싱수단(140)으로 이루어져 있다.

그리고, 상기 각 카메라(120)에서 얻어진 웨이퍼(1)의 에지면에 대한 이미지를 증폭하여 디지털데이터로 변환한 후 웨이퍼 영역만 추출하여 결함여부를 판단하고 그 결과를 출력하는 다수의 이미지처리수단(150)과, 상기 이미지처리수단(150)에서 출력되는 제반 웨이퍼 이미지데이터를 제공받아 소정의 제어신호에 따라 순차 출력하는 멀티플렉서와 같은 통신허브(155)와, 상기 메인서버(190)에서 출력되는 제어신호에 따라 회전정렬수단(110)과 포커싱수단(140) 및 이미지처리수단(150)을 동기화하여 각각 제어하는 기기제어부(160)로 이루어져 있다. 상기 이미지처리수단(150)은 웨이퍼에지면의 영상파일과 그 결과를 TCP/IP 프로토콜을 이용하여 소정의 통신허브(155)를 통해 메인서버(190)로 전송하도록 구성되어 있다.

상기 카세트(5)에 적재된 웨이퍼(1)의 정렬 및 검사 명령을 입력하는 마우스와 키보드와 같은 입력수단(171)과, 각 웨이퍼(1)의 에지면에 대한 이미지의 출력과 결함여부 및 결함위치를 출력하는 LCD 패널과 같은 표시수단(173)과, 상기 웨이퍼(1)의 검사 결과 웨이퍼 불량시 또는 시스템 오류시 경보음을 발생하는 경광등 또는 부저와 같은 경보음발생수단(175)과, 상기 검사 카세트의 번호와 웨이퍼의 번호와 웨이퍼의 검사 이미지 및 검사결과 데이터 등을 저장하는 저장수단(180), 및 상기 기기제어부(160)를 통해 웨이퍼(1)의 플랫존을 기준으로 웨이퍼(1)를 정렬 제어함과 아울러 포커싱수단(140)을 통해 다수의 카메라(120)의 포커스를 일괄 조정하되, 상기 회전정렬수단(110)에 의해 회전되는 각 웨이퍼(1)의 제반 에지면에 대한 이미지데이터를 이미지처리수단(150)을 통해 제공받아 웨이퍼별 결함 여부 및 결함 위치를 분석 결정하여 표시수단(173) 또는 경보음발생수단(175)과 같은 출력수단을 통해 출력 제어하는 메인서버(190)로 이루어져 있다.

아울러, 상기 이미지처리수단(150)은 실시예에서는 카메라(120)와 일대일 대응하도록 구성하였으나, 두개 또는 네개의 카메라(120)를 하나의 이미지처리수단(150)에 연결하여 웨이퍼의 이미지를 처리하여도 무방하지만, 처리속도가 다소 느려지게 된다.

한편, 실시예에서 이미지처리수단(150)은 임베디드 시스템으로 OS 내장, 윈도우프로그램 적용 및 TCP/IP통신이 가능하도록 구현하고 있고, 기기제어부(160)는 마이컴의 일종으로 I/O 포트제어를 통한 회전정렬 및 포커스 등의 메커니즘 제어에용이하도록 구현하고 있으며, 메인서버(190)는 퍼스널 컴퓨터로 TCP/IP통신이 가능하도록 구현하고 있다.

또한, 메인서버(190)는 웨이퍼 카세트의 아이디 등의 정보와 함께 설비위치, 검사시 날짜/시각 등을 이미지와 함께 저장하고, 상기 저장된 검사결과 정보를 랜포트(200)를 통해 원격지에 있는 감시센터(300)로 자동 전송함에 따라 원격지에서 다수의 웨이퍼검사장비(100)를 감시할 수 있다.

상기와 같이 구성된 검사장치의 작동 과정을 도 6의 플로우챠트를 이용하여 살펴보면 다음과 같다.

먼저, 카메라(120)를 이용하여 웨이퍼(1)의 에지면의 불량을 검사하기 위해서는 웨이퍼에지면의 지름 중 대략 4mm정도를 확대하여 촬영해야 하는데, 이를 위해서는 카메라 포커스를 하드웨어적으로 조정하여야 하며, 이는 웨이퍼(1)의 원형부과 플랫존으로 인하여 웨이퍼회전기(111)와 웨이퍼(1)의 상대각에 따라 카메라(120)와 에지면 사이의 간격 변화에 기인하는 것이다.

또한, 다수의 카메라(120)가 한 세트로 움직이기 때문에 여러장의 웨이퍼(1)의 플랫존이 가지런하게 일치해야만 각각의 카메라(120)와 해당 에지면 사이의 포커스가 일정하게 된다.

결국, 웨이퍼(1)의 형상 중 플랫존에 기인하여 플랫존 정렬과 카메라 포커스 조정은 웨이퍼검사 이전에 반드시 필요한 절차이다.

즉, 다수의 웨이퍼(1)가 적재된 카세트(5)가 검사장치의 장착부(101)에 안착되면(S1), 사용자는 입력수단(171)을 통해 카세트(5)에 담긴 웨이퍼(1)의 분류번호즉, 카세트번호나 웨이퍼의 종류나 제작업체, 검사날짜, 일련번호 등의 필요한 항목을 입력(S2)한 후 정렬 명령을 입력하면, 이에 따라 메인서버(190)는 회전구동수단(113)을 제어하여 웨이퍼회전기(111)를 돌리게 되며, 이어 정렬구동수단(117)을 구동하여 플랫존정렬기(115)를 도 7과 같이 상단으로 올리게 된다.

따라서, 웨이퍼(1)의 플랫존의 정렬은 웨이퍼회전기(111)와 플랫존정렬기(115)가 필요하게 되며, 이는 카세트(5) 안에서의 웨이퍼(1)들이 원형의 모양이지만 중심축이 없이 회전시켜야 하기 때문에 이와 같은 구조가 필요한 것이며, 상기 웨이퍼회전기(111)는 웨이퍼(1)의 무게를 지탱하며 접촉면의 마찰에 의해서 웨이퍼(1)를 회전시킨다.

도 7과 같은 배치에서 웨이퍼회전기(111)에 의해 웨이퍼(1)가 반시계방향으로 회전할 때 웨이퍼회전기(111) 좌측의 플랫존정렬기(115)가 웨이퍼 접촉면의 수직높이와 대략 1mm정도의 차를 두고 높이를 유지하면 웨이퍼(1)의 원형부에서는 플랫존정렬기(115)와 접촉하지 않고 회전하지만 웨이퍼(1)의 플랫존이 웨이퍼회전기(111)와 접촉하는 각도에서는 플랫존정렬기(115)와 웨이퍼회전기(111)의 두 지점에서 점접촉을 하게 된다. 이때, 웨이퍼회전기(111)와 웨이퍼(1)의 접촉면에서의 회전력(토크)은 플랫존정렬기(115)와의 접촉면에서의 반력에 의하여 상쇄되어 그 지점에서 웨이퍼(1)는 정지상태를 유지하게 되어 웨이퍼(1)의 플랫존이 웨이퍼회전기(111) 상단에 위치하도록 정렬하게 된다(S3).

이때, 상기 웨이퍼회전기(111)와 웨이퍼(1)의 접촉면에서는 미끄럼이 발생하므로 웨이퍼회전기(111)의 재질은 미끄럼에 의한 마모가 없을 정도의 재질을 사용하는 것이 바람직하다.

상기 웨이퍼(1)의 정렬이 완료되면, 메인서버(190)는 구동수단(117)을 제어하여 플랫존정렬기(115)를 하단으로 이동시켜 웨이퍼(1)의 플랫존과 플랫존정렬기(115)가 서로 이격되도록 하여 웨이퍼(1)의 플랫존이 웨이퍼회전기(111)와 완전히 접촉되도록 한 후, 도 4g와 같은 포커싱수단(140)을 제어하여 카메라(120)와 웨이퍼(1)의 에지면과의 포커스를 조정하게 된다(S4).

즉, 스테핑모터(141)에 의한 회전력을 볼스크류(145)에 의하여 수직력으로 변환하여 다수의 카메라(120)가 세팅된 지지판(149)을 상하 이동하여 카메라(120)의 모듈의 상/하 이동이 가능하도록 하였다. 상기 스테핑모터(141)의 스텝각이 R이고 볼스크류(145)의 피치가 P일 때 가능한 수직이동의 해상도는가 된다.

예를들어, 1.8°의 스텝각을 갖는 스테핑모터(141)와 3mm의 피치를 갖는 볼스크류(145)를 사용할 때는의 해상도를 얻을 수 있다.

상기 포커싱수단(140)에 대한 동력전달 메커니즘에 따라 스테핑모터(141) →볼 스크류(145) →지지판(149) 등으로 구성되어 있고, 이러한 구성을 통해 동력이 전달되어 카메라(120)와 조명수단(130)을 상하로 이동시키게 된다.

이와 같은 웨이퍼정렬 및 포커스조정 메커니즘은 기기제어부(160)를 통해 회전정렬수단(110)을 제어하여 웨이퍼의 플랫존을 정렬한 후 플랫존정렬기(115)를 밑으로 회전하여 카메라(120)의 공간을 확보하고, 포커싱수단(130)을 제어하여 초기위치로 상승시키게 된다.

이어, 도 4e와 같이 램프구동부(135)를 통해 램프(131)를 점등시켜 촬영할 웨이퍼(1)의 에지면으로 빛을 조사하여 각 카메라(120)로 해당 웨이퍼(1)의 에지면을 촬영하여 이미지를 획득한다(S5).

이어, 상기 각 카메라(120)는 획득한 이미지를 이미지처리수단(150)으로 출력하고, 이미지처리수단(150)은 입력된 이미지신호를 증폭하여 디지털데이터로 변환하여 결함여부를 추출한 후 통신허브(155)를 통해 메인서버(190)로 전송한다(S6).

상기에서 웨이퍼의 영상을 처리하는 과정을 보면, 이미지처리수단(150)은 카메라(120)를 통해 출력된 웨이퍼에지면의 영상과 그 외의 영상을 제공받아 디지털데이터로 변환한 후 웨이퍼 영역만 분리하고, 분리된 1프레임의 영상을 버퍼에 저장한다. 이는 불필요한 영상의 처리로 인한 시간지연을 줄이기 위함이다.

상기 이미지처리수단(150)은 전처리된 영상데이터에 소정의 에지검출알고리즘을 이용하여 각 화소의 밝기값의 차이와 에지들의 연결에 의한 영역처리(선들의 연결, 방향성 고려) 등의 과정을 거쳐 웨이퍼결함 판별에 대한 적합한 점수를 산출한다.

상기에서 웨이퍼에지면의 결함을 판별하는 방법은, 밝기값의 차이, 방향성, 에지면의 크기 등의 정보를 조합한 것으로 다양한 원인에 의한 랜덤한 크랙을 분석할 수 있다. 예를들어 웨이퍼가 평면이 아니라 원형이기 때문에 일정 부위에서 조명의 반사가 더 많이 일어남에 따라 발생되는 인식의 오류나 에지면 자체의 면이 둥글기 때문에 생기는 오류를 방지할 수 있다.

이러한 방법은 단순한 크랙의 유무판별을 뛰어넘어 크랙의 사이즈, 그 형태의 특징을 파악할 수 있고, 이는 이러한 시스템을 반도체 설비공정의 각 파트에 적용할 경우 크랙의 원인을 규명하는데 활용할 수 있다.

다수의 웨이퍼의 1프레임의 영상을 처리한 후 그 결과가 동시에 산출되고 일정한 크기(점수)이상의 크랙이 발생한 경우에만 이미지처리수단(150)에서 그 이미지 파일과 그 결과를 TCP/IP 프로토콜을 이용하여 통신허브(155)를 통해 메인서버(190)로 전송한다. 따라서, 전송된 결과가 없는 이미지처리수단(150)의 웨이퍼는 그 영상프레임에서 크랙이 없는 것으로 판별한다.

이때, 동시에 메인서버(190)는 기기제어부(160)를 통해 현재의 웨이퍼의 회전각 정보를 전달받아, 메인서버(190)에서는 발생 크랙에 해당하는 이미지와 점수와 각도의 결과를 얻게 되며, 물론 카세트의 슬롯번호도 알 수 있다. 상기 영상 분석에 대한 점수는 크랙의 분석자료로서 크기, 형태의 특징 등의 정보를 포함할 수 있다.

상기 메인서버(190)는 각 이미지처리수단(150)으로부터 전송된 이미지데이터를 제공받아 에지면의 불량 유무를 판단(S7)한 후 카세트의 번호와 웨이퍼의 번호와 웨이퍼의 이미지데이터 및 불량여부에 대한 검사데이터 등을 저장수단(180)에 저장(S8)함과 아울러 표시수단(173)을 통해 각 웨이퍼의 검사이미지 및 불량여부 데이터를 표시한다(S9).

아울러, 웨이퍼에 결함이 발생할 경우 메인서버(190)는 경보음발생수단(175)을 제어하여 경보음이나 경광등을 작동시켜 사용자에게 알린다(S10, S11).

상기 소정 영역의 웨이퍼에지면의 양불량을 검사한 후 메인 서버(190)는 모든 영역을 검사하였는지를 판단한 후 검사할 영역이 남아 있을 경우 기기제어부(160)를 통해 회전구동수단(113)을 작동시켜 웨이퍼회전기(111)를 단위 각도만큼 회전시켜 웨이퍼(1)를 단위각도만큼 회전(S13)시킴과 아울러 상기 카메라(120)의 포커스를 조정하는 과정(S4)부터 재수행하여 소정 영역의 에지면에 대한 양불량을 검사하게 된다.

즉, 이와 같이 웨이퍼의 검사 과정은, 웨이퍼의 포커스 조정 →1frame 촬영 →이미지 프로세싱 →검사 판정 →저장 →표시 →단위각 회전 등의 일련과정을 수행하게 되며, 이러한 과정은 웨이퍼(1)의 전 둘레를 촬영할 때까지 이루어지며, 다수의 웨이퍼에 대한 검사가 동시에 이루어진다.

아울러, 이러한 웨이퍼에지면의 크랙여부를 검사하는 일련의 과정에서 회전정렬 메커니즘 및 단위각 회전 메커니즘(110)과, 포커싱 메커니즘(140)과, 이미지처리 메커니즘(150)의 동기화가 각각 이루어져야 하며, 또한 영상데이터의 처리과정에서 프레임단위의 전송, 처리 및 저장의 시간이 소요되므로 메인서버(190)와의 동기화도 필요하며, 이러한 역할을 기기제어부(160)가 담당하게 된다.

이와 같은 방법으로 웨이퍼에지면의 불량여부를 검사하게 되는 데, 웨이퍼의 원형부와 플랫존의 영역에서는 카메라(120)의 위치가 달라지며, 플랫존을 검사할 경우에는 도 8과 같이 카메라(120)는 상측으로 이동 즉, 웨이퍼 측으로 더 이동하여 포커스를 맞추게 된다. 물론, 촬영하고자 하는 원형 에지면과 카메라(120)와의 이격 거리 및 플랫존과 카메라(120)와의 이격 거리는 서로 동일하다.

한편, 본 고안은 기기제어부(160)를 통해 조명램프(130)의 밝기를 조정 가능하도록 하는 것이 바람직한 데, 이는 영상처리에 적합한 조명의 밝기를 스스로 조정할 수 있도록 하기 위함이며, 각각의 카메라(120)에는 조명의 밝기 등 주위 환경에 따른 설정값들이 있는데, 이를 주변 환경에 따라 조명의 밝기를 스스로 튜닝하여 최적의 영상을 얻을 수 있도록 하기 위함이다. 또한, 환경이 바뀌어도 고정된 조명(130)에 맞추어 카메라(120)의 설정값을 자동으로 측정하여 맞추거나, 영상을 획득하여 기준영상에 맞추는 방법으로 조명의 밝기를 자동으로 조정할 수도 있을 것이다.

그리고, 웨이퍼 카세트의 아이디 등의 정보와 함께 설비위치, 검사시 날짜/시각 등을 이미지와 함께 저장하여 분석이 가능한 정보들을 축적하고, 이를 크랙의 원인 자체를 규명하는데 활용할 수도 있고, 웨이퍼의 검사결과는 LCD 화면(173)에 슬롯별 크랙발생유무, 각도, 크기 등을 표시하며, 내부 저장수단(180)인 하드디스크에 저장하고, 통신모뎀인 랜포트(200)를 통해 원격지로 그 결과값을 전송하여 다수의 웨이퍼검사장비를 원격 감시할 수 있다.

상기에서 본 고안의 특정한 실시예가 설명 및 도시되었지만, 카메라를 웨이퍼회전기의 좌우측으로 분할하여 1열로 설치하거나 하는 등의 본 고안이 당업자에 의해 다양하게 변형되어 실시될 가능성이 있는 것은 자명한 일이다. 이와 같은 변형된 실시예들은 본 고안의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안되며, 본 고안에 첨부된 청구범위 안에 속한다 해야 할 것이다.

따라서, 본 고안에서는 카세트에 적재된 각 웨이퍼의 에지면을 촬영하는 카메라를 웨이퍼의 상단부가 아니라 웨이퍼의 하단부인 회전정렬수단에 인접하여 설치하되 카메라를 각 웨이퍼와 일대일 대응하도록 설치함으로써, 웨이퍼 카세트의 하단에서도 촬영이 가능함과 아울러 초근접 촬영에 의한 메커니즘의 공간 점유율을 대폭 감소시켰고, 또한 다수 웨이퍼의 이미지를 동시에 병렬처리함에 따라 웨이퍼의 이미지 획득 및 처리 시간을 대폭 단축시켜 생산성을 극대화시킬 수 있음과 아울러 검사장비를 소형화하여 좁은 장소에 설치하거나 휴대 가능함에 따라 보다 효율적으로 사용할 수 있는 이점이 있다.

Claims

다수의 웨이퍼를 카세트에 적재한 채로 웨이퍼의 에지면을 촬영하여 웨이퍼의 결함을 검사하는 웨이퍼 검사시스템에 있어서:

상기 카세트에 적재된 각 웨이퍼의 하단 에지면과 접촉되어 웨이퍼의 플랫존을 기준으로 웨이퍼를 회전시키며 정렬하는 회전정렬수단;

상기 카세트에 적재된 각 웨이퍼의 하단 에지면에 대향하도록 회전정렬수단의 인접위치에 설치하되 각 웨이퍼의 에지면을 촬영하는 카메라;

상기 카메라에 인접 설치되어 카세트에 적재된 웨이퍼의 이미지 획득시 웨이퍼의 에지면으로 빛을 조사하는 조명수단;

상기 카메라와 조명수단를 지지하되 카메라를 수직 이동시켜 웨이퍼에지면의 포커스를 일괄 조정하는 포커싱수단;

상기 카메라에서 얻어진 각 웨이퍼의 에지면에 대한 이미지를 병렬 처리하여 디지털데이터로 변환함과 아울러 결함 부위를 추출하는 이미지처리수단;

상기 카세트에 적재된 웨이퍼의 정렬 및 검사 명령을 입력함과 아울러 각 웨이퍼의 에지면에 대한 이미지와 결함여부 및 결함위치를 출력하는 입력 및 출력수단; 및

상기 웨이퍼의 플랫존을 기준으로 웨이퍼를 정렬 제어함과 아울러 포커싱수단을 통해 다수의 카메라의 포커스를 일괄 조정하되, 상기 회전정렬수단에 의해 회전되는 각 웨이퍼의 제반 에지면에 대한 이미지데이터를 이미지처리수단을 통해 제공받아 웨이퍼별 결함 여부 및 결함 위치를 분석 결정하여 출력수단을 통해 출력 제어하는 메인서버;를 구비한 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 결함 검사장치.
청구항 1에 있어서,

상기 메인서버에서 출력되는 제어신호에 따라 회전정렬수단과 포커싱수단 및 이미지처리수단을 동기화하여 각각 제어하는 기기제어부를 더 구비한 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 결함 검사장치.
청구항 1에 있어서,

상기 이미지처리수단은, 웨이퍼에지면의 영상파일과 그 결과를 TCP/IP 프로토콜을 이용하여 소정의 통신허브를 통해 메인서버로 전송하도록 구성한 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 결함 검사장치.
청구항 1에 있어서,

상기 회전정렬수단은, 카세트에 적재된 각 웨이퍼의 하단 에지면과 접촉되어 웨이퍼의 플랫존을 기준으로 웨이퍼를 회전시키며 정렬하는 웨이퍼회전기; 소정의 제어신호에 따라 구동되어 상기 웨이퍼회전기를 회전시키는 회전구동수단; 상기 웨이퍼회전기에 인접 설치되어 웨이퍼 정렬시 상측으로 이동하여 웨이퍼의 플랫존과 접촉되어 웨이퍼의 플랫존이 웨이퍼회전기의 상단에 위치하도록 정렬하는 플랫존정렬기; 및 상기 플랫존정렬기를 상하 이동시키는 정렬구동수단;으로 이루어진 것을특징으로 하는 웨이퍼의 결함 검사장치.
청구항 4에 있어서,

상기 웨이퍼회전기의 상단부에 이격 설치되어 웨이퍼가 웨이퍼회전기에 안착될 경우 웨이퍼를 일정 위치로 안내하는 웨이퍼가이드를 더 구비한 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 결함 검사장치.
청구항 1에 있어서,

상기 카메라는, 회전정렬수단의 인접위치에 설치하되 카세트에 적재된 각 웨이퍼의 하단 에지면에 대향하도록 웨이퍼와 개수와 동일한 개수로 이루어져 각 웨이퍼의 에지면을 촬영하는 CMOS 이미지센서; 및 상기 각 이미지센서의 전면에 설치되어 근접 촬영이 가능하도록 하는 망원렌즈;를 부착 조립한 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 결함 검사장치.
청구항 1에 있어서,

상기 카메라는 각 웨이퍼의 에지 이미지를 병렬 처리하도록 각 웨이퍼에 일대일 대응하도록 설치한 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 결함 검사장치.
청구항 1 또는 청구항 7에 있어서,

상기 카메라는, 각 웨이퍼의 에지면에 대향하여 설치하되 각 웨이퍼의 에지면을 따라 지그재그로 2열 배치한 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 결함 검사장치.
청구항 1에 있어서,

상기 조명수단은, LCD패널의 백라이트용 형광등인 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 결함 검사장치.
청구항 1 또는 청구항 7에 있어서,

상기 조명수단은, 상기 2열로 배열된 카메라의 사이 공간과 측면에 3열로 설치하되, 상기 램프의 주변에 '∪'자형 반사판을 설치하여 웨이퍼측으로만 빛을 조사하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 결함 검사장치.
청구항 1에 있어서,

상기 포커싱수단은, 상기 다수의 카메라가 설치되어 카메라를 수평 지지하는 지지판; 상기 카메라를 상하 수직으로 이동시켜 웨이퍼에지면의 포커스를 조정하도록 하는 회전구동수단; 및 상기 회전구동수단의 회전력을 지지판로 수직 상하운동으로 변환하여 전달하는 동력전달수단;으로 이루어진 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 결함 검사장치.
청구항 1에 있어서,

상기 카메라는 수평면을 기준으로 수직이 아니라 회전정렬수단 측으로 다소기울어진 대략 70°내지 80°의 각도를 유지하도록 설치한 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 결함 검사장치.
청구항 1에 있어서,

상기 카메라와 웨이퍼에지면의 간극은 대략 9mm 내지 11mm정도이고, 상기 조명수단과 웨이퍼에지면의 간극은 대략 6mm 내지 8mm정도가 되도록 설치한 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 결함 검사장치.
청구항 1에 있어서,

상기 메인서버는 랜포트를 구비하여 웨이퍼 검사결과에 대한 정보를 원격 감시장치로 전송하도록 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 결함 검사장치.