KR20210158552A - 센서 검사 장치, 센서 검사 방법 및 물품 이송 설비 - Google Patents

센서 검사 장치, 센서 검사 방법 및 물품 이송 설비 Download PDF

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KR20210158552A
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이성호
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세메스 주식회사
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Abstract

본 발명은 비히클 어셈블리를 주행 경로 상에 위치시킨 상태에서 비히클 어셈블리에 적용된 장애물 감지 센서의 상태를 검사할 수 있다. 그러므로, 본 발명은 장애물 감지 센서의 상태 검사를 보다 간편하고 신속하게 수행할 수 있다.

Description

센서 검사 장치, 센서 검사 방법 및 물품 이송 설비 {SENSOR INSPECTION APPARATUS, SENSOR INSPECTION METHOD AND ARTICLE TRANSPORT FACILITY}
본 발명의 실시예는 주행 경로를 따라 이동하면서 물품을 임의의 위치로부터 목적하는 위치로 이송하는 비히클 어셈블리(vehicle assembly)에 적용된 센서를 검사하는 장치 및 방법에 관한 것이다. 또, 본 발명의 실시예는 센서 검사 장치를 포함하는 물품 이송 설비에 관한 것이다.
반도체 제조 효율 향상을 위하여, 반도체 제조 설비들에 의하여 수행되는 각종 공정(예: 노광, 증착, 식각, 이온 주입, 세정 등)을 개선하기 위한 기술뿐만 아니라, 물품(예: 웨이퍼(wafer)를 수납하는 컨테이너(container) 등)을 반도체 제조 설비들 간에 보다 효과적으로 이송하기 위한 설비가 도입되어 사용되고 있다. 일례로, 반도체 제조 공장의 천장 측에 제공된 주행 경로를 따라 이동하면서 물품을 이송하도록 구성된 오버헤드 호이스트 트랜스포트(overhead hoist transport, OHT)를 포함하는 물품 이송 설비가 많이 사용되고 있다.
오버헤드 호이스트 트랜스포트(이하, OHT라고도 칭하기로 한다.)를 포함하는 물품 이송 설비는, 주행 경로를 제공하는 주행 레일(travel rail), 그리고 주행 레일을 따라 이동하는 비히클 어셈블리들을 포함한다. 비히클 어셈블리 각각은, 주행 레일을 따라 주행하는 비히클, 그리고 비히클의 하부에 연결되어 비히클과 함께 이동되는 호이스트 장치(hoist apparatus)를 포함할 수 있다.
비히클 어셈블리의 전방에는 전방 쪽에 위치된 장애물을 감지하는 장애물 감지 센서(obstacle detection sensor)가 적용된다. 적용된 장애물 감지 센서에 의하면, 비히클 어셈블리는 물품 이송 과정에서 전방의 장애물과 충돌하는 사고를 예방할 수 있다. 일례로, 전방의 장애물은 다른 비히클 어셈블리일 수 있다.
장애물 감지 센서는 비히클 어셈블리가 이동하는 등 작동하는 과정에서 발생될 수 있는 진동 등의 영향으로 인하여 위치 등 설정 상태가 변경될 수 있다. 장애물 감지 센서의 설정 상태가 변경되면, 장애물 감지 불량의 문제가 발생되고, 이로 인하여 장애물과의 충돌 사고가 야기될 수 있다. 그런데, 장애물 감지 센서의 상태를 점검하려면, 비히클 어셈블리들을 주행 경로 상으로부터 별도의 점검 장소로 일일이 운반하여야 하기 때문에, 점검 작업이 매우 어렵고 힘들 수밖에 없는바, 이에 대한 개선책 마련이 시급히 요구되는 실정이다.
대한민국 공개특허공보 제10-2019-0119846호(2019.10.23.)
본 발명의 실시예는 장애물 감지 센서의 상태를 보다 간편하게 검사할 수 있는 센서 검사 장치, 센서 검사 방법 및 물품 이송 설비를 제공하고자 한다.
해결하고자 하는 과제는 이에 제한되지 않고, 언급되지 않은 기타 과제는 통상의 기술자라면 이하의 기재로부터 명확히 이해할 수 있을 것이다.
본 발명의 실시예에 따르면, 주행 경로를 따라 이동하는 비히클 어셈블리가 상기 주행 경로 상의 검사 위치에 위치되면 상기 비히클 어셈블리에 적용되어 전방의 장애물을 감지하는 장애물 감지 센서의 상태를 검출하는 디텍터(detector)와; 상기 디텍터에 의하여 검출된 상기 장애물 감지 센서에 대한 상태 정보에 기초하여 상기 장애물 감지 센서의 상태가 정상인지 여부를 판단하는 판단 유닛을 포함하는, 센서 검사 장치가 제공될 수 있다.
상기 장애물 감지 센서는 상기 비히클 어셈블리의 전방에 배치될 수 있다. 본 발명의 실시예에 따른 센서 검사 장치는, 상기 디텍터를, 상기 장애물 감지 센서와 대향 가능한 상기 주행 경로 상의 제1 위치 및 상기 주행 경로 상에서 벗어난 제2 위치 간에 이동시키는 디텍터 이동 유닛을 더 포함할 수 있다.
상기 디텍터는 한 쌍이 구비될 수 있다. 한 쌍의 상기 디텍터는, 상기 디텍터 이동 유닛에 의하여 서로 접근되는 방향으로 각각 이동되어 상기 제1 위치에 위치되고 서로 이격되는 방향으로 각각 이동되어 상기 제2 위치에 위치될 수 있다.
상기 장애물 감지 센서는 광을 전방으로 조사하는 발광기를 포함할 수 있다. 상기 디텍터는 상기 제1 위치에 위치된 때 상기 발광기로부터의 광을 수광하고 상기 상태 정보로서 상기 발광기로부터 수광된 광에 대한 위치 정보를 검출하는 수광 센서(light receiving sensor)를 포함할 수 있다.
상기 발광기는 광을 점차적으로 확산되는 형상(예를 들어, 도 5에 도시된 바와 같이, 좌우 방향으로 점차 확산되는 선 형상)으로 조사하도록 구성될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 전방의 장애물을 감지하는 장애물 감지 센서가 적용된 비히클 어셈블리를 주행 경로를 따라 이동시켜 상기 주행 경로 상의 검사 위치에 위치시키는 단계와; - 여기에서, 상기 비히클 어셈블리는 상기 검사 위치에 정지될 수 있다. - 상기 검사 위치 상의 상기 비히클 어셈블리에 적용된 상기 장애물 감지 센서의 상태를 검출하는 단계와; 검출된 상기 장애물 감지 센서에 대한 상태 정보에 기초하여 상기 장애물 감지 센서의 상태가 정상인지 여부를 판단하는 단계를 포함하는, 센서 검사 방법이 제공될 수 있다. 상기 장애물 감지 센서의 상태를 검출한 후, 상기 검사 위치 상의 상기 비히클 어셈블리를 다시 이동시킬 수 있다. 이러한 방법에 의하면, 상기 비히클 어셈블리 모두를 일정한 주기마다 상기 검사 위치로 순차적으로 이동시켜 상기 장애물 감지 센서의 상태를 검사할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 센서 검사 방법은, 상기 장애물 감지 센서의 상태가 비정상으로 판단되면 비정상인 상기 장애물 감지 센서가 적용된 상기 비히클 어셈블리에 대한 정보를 저장하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 주행 경로를 제공하는 주행 레일과; 상기 주행 경로를 따라 이동하면서 물품을 이송하는 비히클 어셈블리와; 상기 비히클 어셈블리에 적용되어 전방의 장애물을 감지하는 장애물 감지 센서와; 상기 비히클 어셈블리가 상기 주행 경로 상의 검사 위치에 위치되면 상기 장애물 감지 센서의 상태를 검사하는 센서 검사 장치를 포함하는, 물품 이송 설비가 제공될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 설비에 있어서, 상기 센서 검사 장치는, 상기 장애물 감지 센서의 상태를 검출하는 디텍터와; 상기 디텍터에 의하여 검출된 상기 장애물 감지 센서에 대한 상태 정보에 기초하여 상기 장애물 감지 센서의 상태가 정상인지 여부를 판단하는 판단 유닛을 포함할 수 있다.
또는, 본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 설비에 있어서, 상기 장애물 감지 센서는 상기 비히클 어셈블리의 전방에 배치되고, 상기 센서 검사 장치는, 상기 장애물 감지 센서의 상태를 검출하는 디텍터와; 상기 디텍터를, 상기 장애물 감지 센서와 대향 가능한 상기 주행 경로 상의 제1 위치 및 상기 주행 경로 상에서 벗어난 제2 위치 간에 이동시키는 디텍터 이동 유닛을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 설비에 있어서, 상기 주행 경로는, 상기 비히클 어셈블리에 의한 물품 이송이 이루어지는 이송 구간과; 상기 이송 구간에 연결된 검사 구간을 포함할 수 있다. 그리고, 상기 검사 위치는 상기 검사 구간에 위치될 수 있다. 상기 이송 구간과 별개 운영 가능한 상기 검사 구간에 의하면, 상기 이송 구간에서 물품 이송을 원활하게 수행하면서 상기 검사 구간에서 상기 장애물 감지 센서의 상태를 검사할 수 있다.
과제의 해결 수단은 이하에서 설명하는 실시예, 도면 등을 통하여 보다 구체적이고 명확하게 될 것이다. 또한, 이하에서는 언급한 해결 수단 이외의 다양한 해결 수단이 추가로 제시될 수 있다.
본 발명의 실시예에 의하면, 주행 경로 상의 검사 위치에 비히클 어셈블리를 위치시키고 비히클 어셈블리에 적용된 장애물 감지 센서의 상태를 검사할 수 있다. 때문에, 장애물 감지 센서의 설정 상태가 비히클 어셈블리의 작동 과정에서 발생할 수 있는 진동 등으로 인하여 변경되었는지 여부를 간편하고 신속하게 검사할 수 있다.
발명의 효과는 이에 한정되지 않고, 언급되지 않은 기타 효과는 통상의 기술자라면 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 명확히 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 설비의 구성 등을 개략적으로 나타내는 개념도이다.
도 2 및 도 3은 도 1에 도시된 오버헤드 호이스트 트랜스포트(OHT)를 나타내는 정면도 및 측면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 센서 검사 장치를 나타내는 개념도이다.
도 5 및 도 6은 도 4에 개략적으로 도시된 센서 검사 장치의 구성 및 작동을 나타내는 정면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 사람이 쉽게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나, 본 발명은 여러 가지 다른 형태로 구현될 수 있고 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
본 발명의 실시예를 설명하는 데 있어서, 관련된 공지 기능이나 구성에 대한 구체적 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 구체적 설명을 생략하고, 유사 기능 및 작용을 하는 부분은 도면 전체에 걸쳐 동일한 부호를 사용하기로 한다.
명세서에서 사용되는 용어들 중 적어도 일부는 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의한 것이기에 사용자, 운용자 의도, 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 그 용어에 대해서는 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 하여 해석되어야 한다. 또한, 명세서에서, 어떤 구성 요소를 포함한다고 하는 때, 이것은 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있음을 의미한다. 그리고, 어떤 부분이 다른 부분과 연결(또는, 결합)된다고 하는 때, 이것은, 직접적으로 연결(또는, 결합)되는 경우뿐만 아니라, 다른 부분을 사이에 두고 간접적으로 연결(또는, 결합)되는 경우도 포함한다.
한편, 도면에서 구성 요소의 크기나 형상, 선의 두께 등은 이해의 편의상 다소 과장되게 표현되어 있을 수 있다.
본 발명의 실시예는 주로 반도체 또는 평판 디스플레이(flat panel display, FPD)를 제조하는 공장에서 물품을 이송하는 데 사용될 수 있다. 일례로, 물품을 반도체 제조 설비들 간에 이송할 수 있다. 이때, 물품은 웨이퍼, 글라스(glass) 등의 기판을 포함할 수 있다. 예를 들어, 물품은 기판을 복수로 수납 가능한 컨테이너일 수 있다. 나아가, 컨테이너는 내부에 수납된 기판들을 외부로부터 안전하게 보호할 수 있도록 구성된 밀폐형 컨테이너일 수 있다. 일례로, 밀폐형 컨테이너는 전면 개방 통합 포드(front opening unified pod, FOUP)일 수 있다.
본 발명의 실시예는 반도체 제조 공장에서 물품으로서 웨이퍼들이 수납된 전면 개방 통합 포드(이하, FOUP라고도 칭하기로 한다.)를 반도체 제조 설비들 간에 이송하는 경우를 중심으로 살펴보기로 한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 설비의 구성 등이 개략적으로 도시된 개념도이다.
반도체 제조 공장은 적어도 하나 이상의 클린 룸(clean room)으로 구성될 수 있고, 클린 룸에는 반도체 제조 공정 수행을 위한 반도체 제조 설비들이 시설될 수 있다. 반도체는 웨이퍼에 반도체 제조 공정을 반복하여 수행함으로써 완성될 수 있다. 특정 반도체 제조 설비에서 공정 수행이 완료된 웨이퍼는 다음 공정을 위한 반도체 제조 설비로 이송될 수 있다. 이때, 웨이퍼의 이송은 FOUP에 수납된 상태에서 OHT에 의하여 이송될 수 있다.
도 1에서, 도면 부호 1은 반도체 제조 공장 내에 시설된 반도체 제조 설비들을 나타낸다. 아울러, 도면 부호 10은 반도체 제조 공장 내의 천장 측에 주행 경로를 제공하는 주행 레일을 나타내고, 도면 부호 20은 제공된 주행 경로를 따라 각각 이동하는 비히클 어셈블리들을 나타낸다. OHT는 주행 레일(10) 및 비히클 어셈블리(20)들을 포함한다. 주행 경로는 비히클 어셈블리(20)들이 물품인 FOUP(도 2 및 도 3의 도면 부호 2 참조)을 반도체 제조 설비(1)들 간에 이송 가능하게 설계된다. 비히클 어셈블리(20)들은 주행 경로를 따라 이동하면서 물품(도 2 및 도 3의 도면 부호 2 참조)을 반도체 제조 설비(1)들 간에 이송한다.
본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 설비는, OHT를 포함하고, 전반적인 작동이 OCS(OHT control system)에 의하여 제어될 수 있다. 일례로, OCS는 주행 경로의 형상 등에 대한 정보인 맵 정보(map information), 주행 레일(10)과 비히클 어셈블리(20)들에 적용된 태그(tag)와 태그 인식기 등을 이용하여 비히클 어셈블리(20)들의 위치를 인식하고 인식된 비히클 어셈블리(20)들의 위치 정보를 기반으로 비히클 어셈블리(20)들의 이동을 제어할 수 있다.
도 2는 OHT가 도시된 정면도로, 도 2를 참조하면, 주행 레일(10)은, 좌우 방향으로 간격을 두고 서로 이격되고 서로 짝을 이루는 한 쌍의 레일(11), 그리고 한 쌍의 레일(11)을 반도체 제조 공장의 천장에 정착시키기 위한 복수의 레일 지지 부재(15)를 포함한다. 한 쌍의 레일(11)은 상측의 주행 면을 제공한다.
이와 같은 주행 레일(10)이 제공하는 주행 경로는, 도 1을 참조하면, 비히클 어셈블리(20)들에 의한 물품(도 2 및 도 3의 도면 부호 2 참조)의 이송이 이루어지는 경로를 구성하는 이송 구간(10A), 그리고 이송 구간(10A)에 분기와 합류 가능한 구조로 연결된 검사 구간(10B)을 포함한다. 검사 구간(10B)은 이송 구간(10A)을 따라 이동하는 비히클 어셈블리(20)들이 우회하는 경로를 제공한다. 즉, 비히클 어셈블리(20)들이 검사 구간(10B)을 진입함이 없이 이송 구간(10A)을 따라 그대로 이동할 수도 있고 이송 구간(10A)에서 검사 구간(10B)으로 진입한 후 이송 구간(10A)으로 진출하여 다시 이송 구간(10A)을 따라 이동할 수도 있다.
도 3은 OHT가 도시된 측면도이다. 보다 자세하게는, 도 3은 OHT의 비히클 어셈블리(20)의 구성을 나타낸다. 도 2 및 도 3을 참조하면, 비히클 어셈블리(20)는, 주행 레일(10)의 레일(11)을 따라 주행하는 비히클(100), 그리고 물품(2)인 FOUP에 대한 그립(grip)과 언그립(ungrip)을 수행하는 호이스트 장치(200)를 포함한다.
비히클(100)은 차체(110)와 휠(wheel, 120)들을 포함한다. 차체(110)에는 좌우 방향으로 연장된 차축이 장착된다. 차축은 복수로 제공되고 전후 방향으로 서로 이격될 수 있다. 휠(120)들은 차체(110)가 주행 레일(10)의 안내에 따라 주행 가능하도록 차체(110)에 이동성을 부여하는 주행 휠이다. 휠(120)들은, 차축의 양단 부분에 각각 장착되고, 한 쌍의 레일(11)의 주행 면에 각각 접촉되어 구름 운동을 한다. 비히클(100)은, 휠(120)들을 회전시키기 위한 동력을 제공하는 휠 구동 유닛을 더 포함한다. 일례로 휠 구동 유닛은 차축을 회전시키도록 구성될 수 있다.
도시된 바는 없으나, 비히클(100)은 한 쌍의 레일(11)의 대향하는 내측에 제공된 안내 면에 각각 접촉되는 안내 휠을 더 포함할 수 있다.
호이스트 장치(200)는 호이스트 하우징(hoist housing, 210)을 포함한다. 호이스트 하우징(210)은 주행 레일(10)의 하방에서 비히클(100)과 서로 연결된다. 호이스트 하우징(210)은 상측이 차체(110)의 하측에 단수 또는 복수의 연결기에 의하여 연결될 수 있다. 호이스트 하우징(210)은 물품(2)이 수용되는 내부 공간을 제공한다. 호이스트 하우징(210)은 물품(2)(이하, 도면 부호의 병기는 생략한다.)을 내부 공간에서 좌우 방향으로 이동시키고 하측 방향으로 이동시킬 수 있게 양옆과 하측이 모두 개방된 구조를 가지도록 형성된다.
또한, 호이스트 장치(200)는 그립 유닛(220), 승강 유닛(230), 회전 구동 유닛(240) 및 수평 구동 유닛(250)을 더 포함한다.
그립 유닛(220)은 물품을 그립하거나 언그립한다. 승강 유닛(230)은 그립 유닛(220)을 상하 방향으로 이동시키고, 회전 구동 유닛(240)은 그립 유닛(220)을 상하 방향의 축을 중심으로 회전시키며, 수평 구동 유닛(250)은 그립 유닛(220)을 좌우 방향으로 이동시킨다. 그립 유닛(220)을 승강 유닛(230)에 의하여 상하 방향으로 이동시키고, 승강 유닛(230)을 회전 구동 유닛(240)에 의하여 상하 방향의 축을 중심으로 회전시키며, 회전 구동 유닛(240)을 수평 구동 유닛(250)에 의하여 좌우 방향으로 이동시킴으로써, 그립 유닛(220)에 의하여 그립된 물품을 상하 방향으로 이동시키거나 상하 방향의 축을 중심으로 회전시키거나 좌우 방향으로 이동시킬 수 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 설비는, 비히클 어셈블리(20)들에 적용되어 전방의 장애물을 감지하는 장애물 감지 센서(300)를 더 포함한다. 이러한 장애물 감지 센서(300)는 비히클 어셈블리(20)의 전방에 배치된다. 예를 들어, 장애물 감지 센서(300)는 호이스트 하우징(210)의 전면에 장착될 수 있다.
장애물 감지 센서(300)는, 광을 전방으로 조사하는 발광기, 그리고 장애물에 의하여 반사된 발광기로부터의 광을 수광하는 수광기를 포함한다. 발광기는 장애물 감지 면적 증대를 위하여 광을 점차적으로 확산되는 선 형상이나 면 형상으로 조사 가능하도록 구성된다. 이때, 선 형상은 좌우 방향으로 점차적으로 확산되는 형상인 것이 바람직하다. 발광기에 의하여 조사되는 광은 레이저(laser)일 수 있다.
장애물 감지 센서(300)는 비히클 어셈블리(20)들이 주행 경로를 따라 이동하는 동안에 전방의 장애물을 감지한다. 장애물 감지 센서(300)로부터 전방으로 일정한 거리 이내에 장애물이 존재하여 수광기에 발광기로부터의 광이 수광되면, OCS는 해당 비히클 어셈블리(20)를 서행시키거나 정지시켜서 해당 비히클 어셈블리(20)가 장애물과 충돌됨을 방지할 수 있다. 또한, OCS는 해당 비히클 어셈블리(20)의 전방에 장애물이 존재함을 나타내는 메시지를 발생시킬 수 있다. 예를 들어, 전방의 장애물은 다른 비히클 어셈블리(20)일 수 있다. 이 경우에, 비히클 어셈블리(20)들의 후방에는 발광기로부터의 광을 후방으로 반사시키는 반사 면이 구비될 수 있다.
도 4 내지 도 6에는 센서 검사 장치의 구성, 작동 등이 도시되어 있다. 도 4 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 설비는, 비히클 어셈블리(20)들에 적용된 장애물 감지 센서(300)의 상태를 간편하면서도 신속하게 검사하기 위한 센서 검사 장치(400)를 더 포함한다. 센서 검사 장치(400)는, 비히클 어셈블리(20)가 이송 구간(10A)에서 검사 구간(10B)으로 진입하여 검사 구간(10B)의 검사 위치에 위치되면, 검사 위치 상의 비히클 어셈블리(20)의 전방에 적용된 장애물 감지 센서(300)에 대하여 상태를 검사한다.
이와 같은 센서 검사 장치(400)는 장애물 감지 센서(300)의 상태를 검출하는 디텍터(410)를 포함한다. 디텍터(410)는 한 쌍이 구비된다. 한 쌍의 디텍터(410)는 검사 위치 상의 비히클 어셈블리(20)에 적용된 장애물 감지 센서(300)와 대향 가능한 제1 위치 및 제1 위치에서 벗어난 제2 위치 간에 이동 가능하도록 설치된다. 제1 위치는 검사 구간(10B) 중에서 검사 위치로부터 전방으로 일정한 거리 이격된 경로 상의 한 위치이고, 제2 위치는 한 쌍의 디텍터(410)가 검사 구간(10B)의 경로에서 완전히 벗어난 위치이다.
한 쌍의 디텍터(410)는 가이드(guide, 420)에 의하여 제1 위치에서 제2 위치로, 또는 제2 위치에서 제1 위치로 정확히 이동될 수 있다. 한 쌍의 디텍터(410)는 서로 접근되는 방향으로 이동되어 제1 위치에 위치되고 서로 이격되는 방향으로 이동되어 제2 위치에 위치될 수 있다. 구체적으로, 한 쌍의 디텍터(410)는 좌우 방향으로 이동되어 서로 접근되거나 이격될 수 있다. 도 5는 한 쌍의 디텍터(410)가 서로 접근되는 방향으로 이동되어 제1 위치에 위치된 상태를 나타낸다. 그리고, 도 6은 한 쌍의 디텍터(410)가 서로 이격되는 방향으로 이동되어 제2 위치에 위치된 상태를 나타낸다.
이와 같은 한 쌍의 디텍터(410)는, 제1 위치에 위치된 때에, 장애물 감지 센서(300)의 발광기로부터 조사된 광을 수광하고 장애물 감지 센서(300)의 상태 정보로서 발광기로부터 수광된 광에 대한 위치 정보를 검출하는 수광 센서를 포함할 수 있다. 수광 센서는 수광 엘리먼트(light receiving element)가 어레이(array) 구조로 배열된 구성을 가지는 것일 수 있다.
센서 검사 장치(400)는, 한 쌍의 디텍터(410)에 의하여 검출된 광에 대한 위치 정보에 기초하여 장애물 감지 센서(300)의 상태가 정상인지 여부를 판단하는 판단 유닛을 더 포함한다. 판단 유닛은 OCS를 구성할 수 있다. 검출된 광에 대한 위치 정보에 의하면, 발광기의 위치, 발광기로부터 조사된 광의 크기 등을 산출할 수 있다. 판단 유닛은 검출된 광에 대한 위치 정보를 기 설정된 광에 대한 위치 정보와 비교하여 장애물 감지 센서(300)의 상태가 정상인지 비정상인지를 판단할 수 있다. OCS는, 판단 유닛이 장애물 감지 센서(300)의 상태를 비정상으로 판단하면, 발광기의 위치가 설정 상태에서 변경되었거나 발광기로부터 조사된 광의 면적이 설정 상태에서 변경되었음을 나타내는 메시지를 발생시킬 수 있다. 또, OCS는, 판단 유닛이 장애물 감지 센서(300)의 상태를 비정상으로 판단하면, 비정상인 장애물 감지 센서(300)가 적용된 비히클 어셈블리(20) 관련 정보를 저장하고, 저장된 정보를 비정상인 장애물 감지 센서(300)에 대한 유지 보수를 수행하는 데 활용할 수 있다.
센서 검사 장치(400)는, 한 쌍의 디텍터(410)를 각각 이동시켜서 제1 위치에 위치시키거나 제2 위치에 위치시키는 디텍터 이동 유닛(440)을 더 포함한다. 디텍터 이동 유닛(440)은 볼 스크루, 리니어 모터 또는 실린더를 포함하는 리니어 액추에이터일 수 있다. 센서 검사 장치(400)는, 반도체 제조 공장의 천장에 장착된 마운팅 프레임(450)을 더 포함하고, 가이드(420) 및 디텍터 이동 유닛(440)은 마운팅 프레임(450)에 장착될 수 있다. 한 쌍의 디텍터(410)는 디텍터 이동 유닛(440)에 의하여 제2 위치에 위치되면 검사 구간(10B)의 주행 경로로부터 퇴피되어 검사 구간(10B)을 따라 이동하는 비히클 어셈블리(20)와의 간섭이 회피된다.
센서 검사 장치(400)는, 디텍터 이동 유닛(440)의 작동을 제어하는 제어 유닛을 더 포함한다. 제어 유닛은 OCS를 구성할 수 있다. 제어 유닛은, 디텍터 이동 유닛(440)의 작동을 제어하여, 한 쌍의 디텍터(410)를 제1 위치에 위치된 상태로 유지시키고, 검사 위치 상의 비히클 어셈블리(20)에 적용된 장애물 감지 센서(300)에 대한 검사가 완료되면 한 쌍의 디텍터(410)를 제2 위치에 위치된 상태로 일정한 시간 동안 유지한 후 다시 제1 위치에 위치된 상태로 유지시킬 수 있다.
이상에서는 본 발명을 설명하였으나, 본 발명은 개시된 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 한정되지 않으며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 이내에서 통상의 기술자에 의하여 다양하게 변형될 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예에서 설명한 기술적 사상은 각각 독립적으로 실시될 수도 있고 둘 이상이 서로 조합되어 실시될 수도 있다.
1: 반도체 제조 설비
2: 물품(FOUP)
10: 주행 레일
10A: 이송 구간
10B: 검사 구간
20: 비히클 어셈블리
100: 비히클
200: 호이스트 장치
300: 장애물 감지 센서
400: 센서 검사 장치

Claims (11)

  1. 주행 경로를 따라 이동하는 비히클 어셈블리가 상기 주행 경로 상의 검사 위치에 위치되면 상기 비히클 어셈블리에 적용되어 전방의 장애물을 감지하는 장애물 감지 센서의 상태를 검출하는 디텍터와;
    상기 디텍터에 의하여 검출된 상기 장애물 감지 센서에 대한 상태 정보에 기초하여 상기 장애물 감지 센서의 상태가 정상인지 여부를 판단하는 판단 유닛을 포함하는,
    센서 검사 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 장애물 감지 센서는 상기 비히클 어셈블리의 전방에 배치되고,
    상기 센서 검사 장치는, 상기 디텍터를, 상기 장애물 감지 센서와 대향 가능한 상기 주행 경로 상의 제1 위치 및 상기 주행 경로 상에서 벗어난 제2 위치 간에 이동시키는 디텍터 이동 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는,
    센서 검사 장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 디텍터는, 한 쌍이 구비되고, 상기 디텍터 이동 유닛에 의하여 서로 접근되는 방향으로 각각 이동되어 상기 제1 위치에 위치되고 서로 이격되는 방향으로 각각 이동되어 상기 제2 위치에 위치되는 것을 특징으로 하는,
    센서 검사 장치.
  4. 청구항 2 또는 청구항 3에 있어서,
    상기 장애물 감지 센서는 광을 전방으로 조사하는 발광기를 포함하고,
    상기 디텍터는 상기 제1 위치에 위치된 때 상기 발광기로부터의 광을 수광하고 상기 상태 정보로서 상기 발광기로부터 수광된 광에 대한 위치 정보를 검출하는 수광 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는,
    센서 검사 장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 발광기는 광을 점차적으로 확산되는 형상으로 조사하는 것을 특징으로 하는,
    센서 검사 장치.
  6. 전방의 장애물을 감지하는 장애물 감지 센서가 적용된 비히클 어셈블리를 주행 경로를 따라 이동시켜 상기 주행 경로 상의 검사 위치에 위치시키는 단계와;
    상기 검사 위치 상의 상기 비히클 어셈블리에 적용된 상기 장애물 감지 센서의 상태를 검출하는 단계와;
    검출된 상기 장애물 감지 센서에 대한 상태 정보에 기초하여 상기 장애물 감지 센서의 상태가 정상인지 여부를 판단하는 단계를 포함하는,
    센서 검사 방법.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 장애물 감지 센서의 상태가 비정상으로 판단되면 비정상인 상기 장애물 감지 센서가 적용된 상기 비히클 어셈블리에 대한 정보를 저장하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는,
    센서 검사 방법.
  8. 주행 경로를 제공하는 주행 레일과;
    상기 주행 경로를 따라 이동하면서 물품을 이송하는 비히클 어셈블리와;
    상기 비히클 어셈블리에 적용되어 전방의 장애물을 감지하는 장애물 감지 센서와;
    상기 비히클 어셈블리가 상기 주행 경로 상의 검사 위치에 위치되면 상기 장애물 감지 센서의 상태를 검사하는 센서 검사 장치를 포함하는,
    물품 이송 설비.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 센서 검사 장치는,
    상기 장애물 감지 센서의 상태를 검출하는 디텍터와;
    상기 디텍터에 의하여 검출된 상기 장애물 감지 센서에 대한 상태 정보에 기초하여 상기 장애물 감지 센서의 상태가 정상인지 여부를 판단하는 판단 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는,
    물품 이송 설비.
  10. 청구항 8에 있어서,
    상기 장애물 감지 센서는 상기 비히클 어셈블리의 전방에 배치되고,
    상기 센서 검사 장치는,
    상기 장애물 감지 센서의 상태를 검출하는 디텍터와;
    상기 디텍터를, 상기 장애물 감지 센서와 대향 가능한 상기 주행 경로 상의 제1 위치 및 상기 주행 경로 상에서 벗어난 제2 위치 간에 이동시키는 디텍터 이동 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는,
    물품 이송 설비.
  11. 청구항 8 내지 청구항 10 중 어느 하나에 있어서,
    상기 주행 경로는, 상기 비히클 어셈블리에 의한 물품 이송이 이루어지는 이송 구간과; 상기 이송 구간에 연결된 검사 구간을 포함하고,
    상기 검사 위치는 상기 검사 구간에 위치된 것을 특징으로 하는,
    물품 이송 설비.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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