JPH06120325A - ウエハの枚葉検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 透明乃至半透明のウエハに対してもその有
無、枚数及び配列状態を高精度に検出できるウエハの枚
葉検出装置を提供する。 【構成】 透過光式検出手段の発光素子７と受光素子８
をウエハ３列の両側に互い違いに配置すると共に、受光
素子８に偏光フィルタ１７を設ける。偏光フィルタ１７
の透過軸方向は適正な配列状態のウエハ３面に対して平
行に設定する。これにより、ウエハ面に対して平行に直
線偏光された光のみをウエハ３に入射させて、ウエハ３
による光の反射を極力抑えることができ、検出すべきウ
エハ３からの透過光の強度に基いてウエハ３の有無、枚
数及び配列状態を確実に検出することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、ウェハの枚葉検出装
置に関するもので、更に詳細には、適宜間隔をおいて配
列される複数のウエハの有無、枚数及び配列状態を検出
するウエハの枚葉検出装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】一般に、半導体装置や液晶表示装置（Ｌ
ＣＤ）の製造工程においては、カセット内に複数枚のウ
エハを配列収容して搬送したり、あるいは、カセットか
ら取り出された複数枚のウエハを配列した状態で搬送し
て、各ウエハごとに適宜処理を施している。したがっ
て、ウエハの搬送工程において、ウエハの枚数の把握や
ウエハを適正な状態に整列することはウエハの処理上重
要である。

【０００３】そこで、従来では、ウエハの枚数や配列状
態を検出する手段として、発光部と受光部とからなる透
過光式検出手段を用いて配列されたウエハの有無により
その枚数などを検出している。この場合、透過光式検手
段としては、配列されるウエハの枚数に対応させて発光
部と受光部を配置するもの（実開昭６１−１２７６４０
号公報参照）、あるいは、１組の発光部と受光部をウエ
ハの配列方向に走査させてウエハの枚数などを検出する
もの（特開昭６１−７１３８３号公報、特開昭６１−９
９３４４号公報、特開昭６１−９９３４５号公報、実開
昭６１−１２９３４０号公報及び実公平１−２８６８３
号参照）が知られている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前者す
なわち各ウエハごとに発光部と受光部とを配列したもの
においては、発光部と受光部が各々ウエハ枚数と同数必
要となるため、装置が大型になるという問題があった。
また、後者すなわち１組の発光部と受光部をウエハ配列
方向に走査させるものは、移動機構が必要となるため、
装置が複雑になると共に、大型になり、しかも、走査す
るための精度が必要であった。

【０００５】そこで最近、前者の改良案として、配列さ
れるウエハの枚数の半分の数の発光部と受光部をウエハ
列の両側に、相隣接するウエハ間の位置に対応させて互
い違い（千鳥状）に配列してなる透過光式検手段を備え
たウエハの枚葉検出装置が提案された。この改良型の装
置によれば、検出手段を機械的に走査させることなく、
しかも、必要最小限の数の発光部と受光部で検出手段を
構成できるので、装置全体の構造を簡単にすることがで
きると共に、装置の小型化を図ることができる。

【０００６】ところが、この改良型の装置において、発
光部と受光部を各々選択的に機能させて個々のウエハの
有無を検出する際、発光部からの光が検出しようとする
ウエハと共に配列されている他のウエハによって反射さ
れて受光部に入射し、検出誤動作を生じる虞がある。特
に、石英ウエハなどの透明乃至半透明の物体を検出する
場合においては、ウエハを透過した光がその隣のウエハ
で反射されるなどして多数の反射光が生じて検出が不可
能になることも考えられるため、さらなる改善が望まれ
ていた。

【０００７】この発明は上記事情に鑑みなされたもの
で、検出手段を走査させることなく、必要最小限の数の
発光部と受光部を配列させた簡単な装置構成で、透明乃
至半透明のウエハに対してもその有無、枚数及び配列状
態を高精度に検出できるウエハの枚葉検出装置を提供す
ることを目的とするものである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
にこの発明の第１のウエハの枚葉検出装置は、適宜間隔
をおいて配列されるウエハの有無、枚数及び配列状態を
検出するウエハの枚葉検出装置を前提とし、透過光式検
出手段の発光部と受光部をウエハ列の両側に互い違いに
配置すると共に、これら発光部と受光部の少なくとも一
方に偏光フィルタを設けたものである。この場合、発光
部側および受光部側の偏光フィルタの透過軸方向はいず
れも適正な配列状態のウエハ面に対して平行に設定され
る。

【０００９】また、この発明の第２のウエハの枚葉検出
装置は、上記第１の発明と同様に、適宜間隔をおいて配
列されるウエハの有無、枚数及び配列状態を検出するウ
エハの枚葉検出装置を前提とし、発光部と受光部をウエ
ハ列の両側に互い違いに配置してなる透過光式検出手段
と、上記ウエハが全く配列されていない状態において上
記発光部を個々に発光させたときに上記それぞれ受光部
が検出する受光光量のデ−タを予め記憶しておく記憶手
段と、実際にウエハの検出を行ったときの受光光量が上
記記憶手段に記憶されている対応するデ−タの値を上回
ったときにその受光光量を検出した受光部の両隣に位置
する受光部で検出される受光光量の値から一定の値を引
く補正手段とを具備したものである。

【００１０】また、この発明の第３のウエハの枚葉検出
装置は、上記第１及び第２の発明と同様に、適宜間隔を
おいて配列されるウエハの有無、枚数及び配列状態を検
出するウエハの枚葉検出装置を前提とし、発光部と受光
部をウエハ列の両側に互い違いに配置してなる透過光式
検出手段と、上記ウエハと検出手段とを相対的に移動す
る移動手段と、上記移動手段により上記ウエハの端部が
上記検出手段の発光部から受光部への光の光軸を通過す
る際に受光部に受光する光の光量の変化を検出すると共
に、検出信号と予め記憶された情報とからウエハの有無
を検知する検知手段とを具備したものである。

【００１１】

【作用】上記のように構成される第１のウエハの枚葉検
出装置によれば、上記透過光式検出手段の発光部に偏光
フィルタを設けてウエハ面に対して平行に直線偏光され
た光のみをウエハに入射させることにより、ウエハによ
る光の反射を極力抑え、検出すべきウエハからの透過光
の強度に基いてウエハの有無を確実に検出できる。すな
わち、発光部からの光が検出すべきウエハ以外のウエハ
面に入射した場合でも、その光は反射されることなく大
部分がそのまま透過することになるので、受光部への光
の回り込みを抑えて高精度にウエハの検出を行うことが
できる。

【００１２】また、受光部に偏光フィルタを設けてウエ
ハ面に対して平行に直線偏光された光のみが受光される
ようにしておくことにより、反射光（反射光の大部分は
ウエハ面に対して垂直に部分偏光されている）を遮断
し、検出すべきウエハからの透過光（透過光の大部分は
ウエハ面に対して平行に部分偏光されている）の強度に
基いてウエハの有無を確実に検出できる。すなわち、発
光部からの光が検出すべきウエハ以外のウエハ面に入射
した場合でも、そのウエハ面で反射された光は偏光フィ
ルタで遮断されるので、受光部への光の回り込みを抑え
て高精度にウエハの検出を行うことができる。

【００１３】したがって、発光部と受光部の両方に偏光
フィルタを設けることにより、ウエハの検出精度をさら
に高めることができる。

【００１４】次に、上記のように構成される第２のウエ
ハの枚葉検出装置によれば、ウエハが全く配列されてい
ない状態において上記透過光式検出手段の発光部を個々
に発光させたときにそれぞれの受光部が検出する受光光
量を予め求めてそのデ−タを記憶手段に記憶しておき、
その記憶手段に記憶されている対応するデ−タの値と実
際にウエハの検出を行ったときの受光光量の値とを比較
することで、回り込み光による誤検出が発生しているこ
とが判る。すなわち、ウエハが全く配列されていない状
態において検出される受光光量は、回り込み光の影響を
受けていない直接光のみの最大受光光量であり、その最
大受光光量の値を実際の受光光量の値が上回ることで、
その受光部に発光部からの直接光の他に回り込み光が入
射しているということが判る。この回り込みはウエハの
配列不良、特にウエハ抜け（歯抜け）がある場合に顕著
に発生する現象であるため、上記比較によりウエハ抜け
の箇所が検出される。そして、ウエハ抜けが発生してい
る場合にはその発生箇所の両隣の受光部にも回り込み光
が影響していると推測できる。したがって、その両隣の
受光部で検出される受光光量の値から、回り込み光の影
響分に相当する一定の値を引いて両受光部の受光光量を
補正することで、回り込み光の影響によるウエハ有無の
誤検出を防止することができる。

【００１５】また、上記のように構成される第３のウエ
ハの枚葉検出装置によれば、移動手段によりウエハと検
出手段とを相対的に移動すると、検出手段の発光部から
受光部への光の光軸がウエハの端部の通過によって変化
することにより、その光量変化を検出することができ
る。検出された光量は予め記憶された情報と比較演算さ
れてウエハの有無の情報として取り込まれる。したがっ
て、外乱光の影響を受けることなく透過率が１００％に
近い透明ウエハ等の有無あるいは姿勢を安定に検出する
ことができる。

【００１６】

【実施例】以下に、この発明の実施例を図面を用いて詳
細に説明する。

【００１７】◎第一実施例 図１はこの発明のウエハの枚葉検出装置の第一実施例を
ウエハの洗浄装置に適用した場合の概略斜視図、図２は
第一実施例の枚葉検出装置の要部断面図、図３は図２の
要部断面斜視図、図４は図２の要部断面図、図５は第一
実施例の枚葉検出装置の概略構成図が示されている。

【００１８】この発明の枚葉検出装置を有する洗浄装置
は、洗浄処理液を収容する洗浄槽１と、この洗浄槽１内
に出没可能に配設されるウエハチャック２ａとで構成さ
れている。ウエハチャック２ａは、長手方向に適宜間隔
をおいて設けられた複数のウエハ保持溝２ｂを有する２
本の保持棒２ｃを上下に備えた左右一対の保持部２ｆを
開閉脚可能に構成してなり、このウエハチャック２ａに
よって保持された複数枚のウエハ３はウエハ搬送体２ｄ
によって洗浄槽１の上方に搬送された後、下降されて処
理槽１内のウエハ保持部（図示せず）に受け渡されるよ
うになっている。

【００１９】この発明の枚葉検出装置は、ウエハ搬送体
２ｄの両側上部に立設されたブラケット２ｅにて各々水
平かつ互いに平行に支持されてウエハチャック２ａの両
側に配置された一対の耐蝕性の管体例えば透明管体であ
る石英管５ａ内にそれぞれ発光部（具体的には発光素子
７）と受光部（具体的には受光素子８）とを配設してな
る。発光素子７と受光素子８は、両者共通の図として図
２及び図３に示すように、Ｏリング５ｂを介してブラケ
ット２ｅに取り付けられる石英管５ａ内に長手通し状に
配設される金属製あるいは合成樹脂製のホルダ５ｃに適
宜間隔をおいて設けられた透孔５ｄ内に埋設されてお
り、ホルダ５ｃの上側乃至下側に延設されたプリント基
板５ｅにリ−ド線５ｆで接続されている。石英管５ａの
ブラケット２ｅ側とは反対側の開口端にはＯリング５ｇ
を介してエンドキャップ５ｈが装着され、また、ブラケ
ット２ｅにＯリング５ｉを介して接続されるコネクタ５
ｊとプリント基板５ｅはケ−ブル５ｋで接続されてい
る。

【００２０】このようにウエハチャック２ａの両側に設
けられた一対の石英管５ａ内にそれぞれ配設される発光
素子７と受光素子８は、ウエハチャック２ａによって配
列保持されて相隣接するウエハ３間の隙間１１の位置に
対応させて互い違いに配列される。すなわち、図５に示
すように、発光素子７はウエハ３間の隙間１１の１つお
きに配置され、受光素子８は発光素子７が位置しないウ
エハ３間の隙間位置に配置されて互いに千鳥状に対向配
置している。また、この実施例における枚葉検出装置
は、図４に示すように、受光素子８側のセンサホルダ５
ｃの前面に偏光フィルタ１７が取付けられており、受光
素子８を埋設したすべての透孔５ｄの開口部はこの偏光
フィルタ１７によって塞がれている。この偏光フィルタ
１７は、偏光膜を透明プラスチックシ−トで挟んで構成
されたものであり、その透過軸方向（電界ベクトルの振
動方向）がウエハチャック２ａによって配列保持される
ウエハ３のウエハ面に対して平行となるように取り付け
られている。

【００２１】上記のように配置される発光素子７にはこ
れらを選択的に切換え動作する発光制御部１２が接続さ
れ、また、受光素子８には発光素子７の切換え動作に応
じた光ビ−ムを検知する受光制御部１３が接続されてい
る。そして、これら発光制御部１２と受光制御部１３に
は、両者の信号を比較演算処理して検出表示信号を出力
する中央演算処理装置（ＣＰＵ）１４が接続されてい
る。このＣＰＵ１４は予め記憶された情報に基いて発光
素子７を切換え動作させるための信号を発光制御部１２
に伝達すると共に、発光制御部１２からの信号を受け、
記憶された情報と受光制御部１３からの信号とを比較演
算処理した後、ウエハチャック２ａに配列保持されたウ
エハ３の各ポジションにおける有無、ウエハ枚数の表示
及びウエハ３の配列異状検出信号を出力することができ
るようになっている。

【００２２】次に、この実施例の枚葉検出装置によるウ
エハ３の枚葉検出の動作態様について、図５を参照して
説明する。なお、ここでは動作をわかり易くするため
に、複数枚のウエハ３を配列順に，，，，と
し、３つの発光素子７をＡ，Ｂ，Ｃとし、３つの受光素
子８をア，イ，ウとする。

【００２３】まず、ＣＰＵ１４からの信号によって発光
制御部１２が作動してＡの発光素子７が発光すると、
のウエハ３はアの受光素子８により検出される。そし
て、アの受光素子８によって検出された信号は受光制御
部１３からＣＰＵ１４に伝達され、ＣＰＵ１４において
発光制御部１２への出力信号と受光制御部１３からの受
光信号とが比較演算処理されて、のウエハ３の有無が
検出されると共に、枚数“１”がカウントされる。この
場合、Ａの発光素子７からの光が例えば二点鎖線の矢印
Ｌで示すように隣のウエハ３で反射してアの受光素子
８への回り込みが生じたとしても、反射後の光はウエハ
面に垂直に部分偏光されているので偏光フィルタ１７で
遮断される。したがって、のウエハ３の有無が確実に
検出される。

【００２４】次に、ＣＰＵ１４からの信号によって２番
目Ｂの発光素子７が発光すると、のウエハ３はアの受
光素子８によって検出され、のウエハ３はイの受光素
子８によって検出される。そして、ア，イの受光素子８
によって検出された信号は受光制御部１３からＣＰＵ１
４に伝達され、ＣＰＵ１４において発光制御部１２への
出力信号と受光制御部１３からの受光信号とが比較演算
処理されて、及びのウエハ３の有無が検出されると
共に、さらに枚数“２”がカウントされる。この場合に
おいても、Ｂの発光素子７からの光が検出すべき及び
のウエハ３以外のウエハ３（例えば、，）で反射
してア及びイの受光素子８への回り込みが生じたとして
も、その回り込み光は偏光フィルタ１７で遮断されるの
で、及びのウエハ３の有無が確実に検出される。

【００２５】次に、ＣＰＵ１４からの信号によって３番
目Ｃの発光素子７が発光すると、のウエハ３はイの受
光素子８によって検出され、のウエハ３はウの受光素
子８によって検出される。そして、イ，ウの受光素子８
によって検出された信号は受光制御部１３からＣＰＵ１
４に伝達され、ＣＰＵ１４において発光制御部１２への
出力信号と受光制御部１３からの受光信号とが比較演算
処理されて、及びのウエハ３の有無が検出されると
共に、さらに枚数“２”がカウントされる。この場合に
おいても、Ｃの発光素子７からの光が検出すべき及び
のウエハ３以外のウエハ３で反射してイ及びウの受光
素子８への回り込みが生じたとしても、その回り込み光
は偏光フィルタ１７で遮断されるので、及びのウエ
ハ３の有無が確実に検出される。

【００２６】以下、同様に順次４番目以降の発光素子７
を発光して、複数枚のウエハ３の有無及び枚数を検出す
ることができる。受光素子８側に偏光フィルタ１７を設
けたことにより、透明乃至半透明のウエハを検出する場
合にウエハ面での反射によって生じる回り込み光による
誤動作を防止することができるので、石英ウエハなどに
対してもその有無及び枚数を高精度に検出することがで
きる。

【００２７】なお、上記実施例では受光素子８側に偏光
フィルタ１７を設けた場合について説明したが、受光素
子８側に代えて発光素子７側に偏光フィルタ１７を設
け、ウエハ面に対して平行に予め直線偏光された光を出
射させるようにしてもよい。この場合、透明乃至半透明
のウエハによる光の反射が極力抑えられる（入射光の大
部分はそのままウエハを透過する）ので、受光素子８へ
の光の回り込みを防止して高精度にウエハの検出を行う
ことができる。したがって、発光素子７側と受光素子８
側の両方に偏光フィルタ１７を設けることにより、検出
精度をさらに高めることができる。

【００２８】◎第二実施例 図６はこの発明の第二実施例の枚葉検出装置の概略構成
図が示されている。同図は上記第一実施例における図５
に相当するものであるが、この第二実施例の枚葉検出装
置においては、上記第一実施例の偏光フィルタ１７に相
当する部材は設けられていない。つまり、第二実施例の
枚葉検出装置は、ハード的な改良ではなく、主にＣＰＵ
１４内におけるデ−タ処理によって高精度な検出を可能
にするものである。

【００２９】第二実施例の枚葉検出装置において、ＣＰ
Ｕ１４内のデ−タ領域のメモリ１４ａ（記憶手段）に
は、ウエハ３が全く配列されていない状態においてＡ，
Ｂ，Ｃ，・・の順に発光素子７を一つずつ発光させたと
きのア，イ，ウ，・・のそれそれの受光素子８による受
光光量のデ−タ（リファレンスデ−タ）が記憶され、ま
た、演算領域のメモリ１４ｂ（記憶手段）には、実際に
ウエハ３の検出を行ったときの各受光素子８における受
光光量の値と上記デ−タ領域のメモリ１４ａに記憶され
ている対応するデ−タの値とを比較し、実際の受光光量
の検出値が記憶デ−タの値を上回ったときにその受光光
量を検出した受光素子の両隣に位置する受光素子で検出
される受光光量の値から一定の値を引いて両受光素子の
検出値を補正する一連のデ−タ処理を行うためのプログ
ラムが格納されている。すなわち、このＣＰＵ１４は、
上記第一実施例における諸機能（発光制御部１２及び受
光制御部１３を介してウエハ３の各ポジションにおける
有無を検出する機能、ウエハ枚数の表示及びウエハ３の
配列異状検出信号の出力機能など）に加え、補正用リフ
ァレンスデ−タの記憶手段及び検出値の補正手段として
も機能する。

【００３０】デ−タ領域のメモリ１４ａに記憶されるリ
ファレンスデ−タは、例えばＡの発光素子７の出力（発
光パワ−）が８、アの受光素子８の受光感度が１０であ
るとき、これらＡとアの発光素子７と受光素子８の組に
おける受光光量の値は概ね８０（＝８×１０）となり、
また、イの受光素子８の受光感度が７であるとき、Ａと
イの発光素子７と受光素子８の組における受光光量の値
は概ね７０（＝７×１０）となる。その他の、発光素子
７と受光素子８の組における受光光量の値もそれぞれの
素子の能力値を基にして概算される。

【００３１】ＣＰＵ１４は、発光制御部１２及び受光制
御部１３を制御して発光素子７と受光素子８を個々に作
動させ、ウエハ３が配列された状態での受光光量の値と
上述のように予め求められた発光素子７と受光素子８の
各組における受光光量の値とを対応する発光素子７と受
光素子８の組毎に比較することにより、回り込み光によ
る誤検出が発生している発光素子７と受光素子８の組を
検知し、これら発光素子７と受光素子８との中間に位置
すべきウエハ３が抜けているものと判断して、以後その
ウエハ抜け発生箇所の両隣の受光素子８で検出される受
光光量の値から、回り込み光の影響分に相当する一定の
値を各々引いて得られる値を両受光素子８の検出値と
し、ウエハ３の検出にあたる。

【００３２】ここで、ウエハ抜け発生箇所の両隣の受光
素子８で検出される受光光量の値から各々差し引く一定
の値（補正量）としては、上記デ−タ領域のメモリ１４
ａに記憶されている対応するデ−タの値、受光素子８に
対する実際の受光光量の値の上回り分の１／２の値とす
ることができる。これは、ウエハ抜けが発生している場
合にはその両隣のウエハ３で反射された光がウエハ抜け
発生箇所の両隣の受光素子８に入射することになるが、
その入射光量は、発光素子７から受光素子８へ直接入射
する光の半分程度の光量になると推測されるためであ
る。したがって、例えば、Ｂの発光素子７とイの受光素
子８の組における受光光量のリファレンス値が７０であ
るときに、この組における実際の受光光量の値が１４０
と検出された場合には、ＣＰＵ１４はのウエハ３が抜
けているものと判断し、以後イの受光素子８の両隣に位
置するア，ウの受光光量の値から各々３５（（１４０−
７０）／２）ずつ各々引いて得られる値をこれらア，ウ
の受光素子８の検出値とし、ウエハ３の検出にあたる。
この場合、上記デ−タ領域のメモリ１４ａに記憶されて
いる対応するデ−タの値、受光素子８に対する実際の受
光光量の値の上回り率（実際の受光光量の値／リファレ
ンス値）を補正量として、ウエハ抜けが検出された受光
素子８の両隣に位置する受光光量の値から各々一定の割
合（20〜50％）を引くようにしてもよい。

【００３３】このように、回り込み光の影響分に相当す
る値を補正量として実際の受光光量の検出値を補正する
ことで、回り込み光の影響によるウエハ有無の誤検出を
防止することができる。ＣＰＵ１４内においてデ−タ処
理することによって、回り込み光の影響を受けずにウエ
ハ３を確実に検出できるので、反射による回り込みの発
生しやすい石英ウエハなどに対してもその有無及び枚数
を高精度に検出することができる。

【００３４】また、上述のように、発光素子７を一つず
つ発光させたときにそれそれの受光素子８が検出する受
光光量の値をリファレンスデ−タとして予めＣＰＵ１４
に記憶させておき、その対応するリファレンスデ−タを
基にして実際の受光光量の値を補正するようにしたこと
により、各々の発光素子７や受光素子８において発光効
率や受光効率にバラツキがある場合でも、ウエハの有無
を安定して検出できる。

【００３５】◎第三実施例 図７はこの発明の第三実施例の枚葉検出装置の概略斜視
図、図８は枚葉検出装置の検出部の原理の概略構成図が
示されている。

【００３６】第三実施例の枚葉検出装置はウエハの端部
を通過する光軸の光量変化により有無あるいは姿勢を検
出するようにした場合である。すなわち、発光部と受光
部とからなる透過光式検出手段とウエハとを相対的に移
動する時にウエハの端部を光の光軸が通過する際の光量
の変化に基づいてウエハの有無あるいは姿勢を検出する
ようにした場合である。

【００３７】この場合、枚葉検出装置は、移動手段であ
る昇降装置１５によって昇降可能なセンサーステー１５
ａから互いに水平かつ平行に突出される一対の石英管５
ａ間に、上記第一実施例及び第二実施例と同様に発光素
子７と受光素子８とを互い違いに配設し、これら発光素
子７と受光素子８を洗浄槽１内に図示しない移動手段に
よって昇降可能に配設されたウエハボート１６上に配列
されるウエハの列（ウエハ列）の両側に配置した構造と
なっている。そして、発光素子７と受光素子８は検知手
段である制御回路１８を介してホストコンピュータ１９
に接続されている。

【００３８】制御回路１８は、図８に示すように、発光
素子７を選択的に切換え動作すると共に、この切換え動
作に応じて受光素子８に光ビーム（光軸）を検知させる
発光・受光制御ロジック１８ａと、この発光・受光制御
ロジック１８ａとの間で制御信号及び受光光量の情報の
受渡しを行うバス１８ｂと、メモリ１８ｃに予め記憶さ
れた情報と検出された受光光量とを比較演算する演算処
理部（ＣＰＵ）１８ｄと、ホストコンピュータ１９との
間で演算処理部１８ｄで演算処理されたデータとホトス
コンピュータ１９からの指令信号とを受渡しする入出力
ユニット（Ｉ／Ｏ）１８ｅとで構成されている。なお、
発光・受光制御ロジック１８ａからの受光光量データは
アナログ信号であるので、アナログ／デジタル（Ａ／
Ｄ）コンバータ１８ｆにてデジタル信号に変換されてバ
ス１８ｂに伝達されるようになっている。

【００３９】上記のように構成される第三実施例の枚葉
検出装置において、昇降装置１５によってセンサーステ
ー１５ａ又は図示しない移動手段によってウエハボート
１６あるいはセンサーステー１５ａ及びウエハボート１
６を相対的に移動してウエハ３の検出ポイントへ移動又
は通過すると、上記第一及び第二実施例と同様に順次切
換え動作する検出手段の発光素子７から受光素子８への
光の光軸がウエハ３の端部の通過によって変化するので
（図９参照）、その光量変化を制御回路１８にて検出す
る。そして、制御回路１８にて検出された受光光量デー
タは、演算処理部１８ｄにおいてメモリ１８ｃに予め記
憶された情報と比較演算され、検出レベルが一定レベル
以下になったらウエハ有りと判断されてその検出データ
はホストコンピュータ１９にウエハの有無の情報として
取り込まれる。ホストコンピュータ１９からの信号に基
づいて検出レベルを連続的にモニタすることができる。
ウエハ３及び又は検出手段の移動（又は通過）した後に
モニタを止めて、ウエハ３の有無のデータが取り出され
る。なお、ＣＰＵが全てのウエハ３を検出・判断するサ
イクルタイムを５０msec. 、ウエハエッジ部で発光素子
７から受光素子８への光を散乱する幅を１mm、マージン
を２倍とすると、移動速度は１０mm／sec.以下であれば
よい。

【００４０】このように、ウエハ３の端部を通過する光
の光軸の変化を検出することによって外乱光の影響を受
けることなく透過率が１００％に近い透明ウエハ等の有
無あるいは姿勢を安定に検出することができる。

【００４１】上記のように構成されるこの発明の枚葉検
出装置は、例えば、図１０に示す洗浄処理装置に組込ま
れて使用される。洗浄処理装置は、図１０に示すよう
に、未処理の被処理体であるウエハ３を収容する搬入部
２１と、ウエハ３の洗浄処理を行う洗浄処理部２２と、
洗浄後のウエハ３を収容する搬出部３３とで主要部が構
成されている。

【００４２】搬入部２１は、ウエハ３を収容するキャリ
ア２４の待機部２５と、キャリア２４からのウエハ３の
取り出し、オリフラ合わせ及びウエハ３の枚数検出等を
行うロ−ダ部２６と、外部から搬入されるキャリア２４
の待機部２５への移送及び待機部２５とロ−ダ部２６間
のキャリア２４の移送を行うキャリア搬送ア−ム２７と
を具備してなる。

【００４３】洗浄処理部２２は、搬入部２１から搬出部
２３に向かって順に直線状に第１のチャック洗浄・乾燥
処理室２０ａ、第１の薬液処理室２０ｂ、第１の水洗処
理室２０ｃ、第２の水洗処理室２０ｄ，第２の薬液処理
室２０ｅ，第３の水洗処理室２０ｆ，第４の水洗処理室
２０ｇ、第２のチャック洗浄・乾燥処理室２０ｈ及びウ
エハ乾燥処理室２０ｉを配列してなり、これら各洗浄処
理室（以下、単に処理室という）２０ａ〜２０ｉ内に
は、それぞれ処理槽２９が配設されている。また、洗浄
処理部２２の側方には、各処理室２０ａ〜２０ｉに沿っ
て配設された案内部３０と、この案内部３０に装着され
て水平（Ｘ方向）及び垂直（Ｚ方向）に移動自在な３基
のウエハ搬送ブロック３１とで構成されるウエハ搬送手
段であるウエハ搬送装置３５が設けられている。ウエハ
搬送ブロック１１には、複数枚のウエハ３を適宜間隔を
おいて列設保持するウエハチャック３２が設けられてお
り、このウエハチャック３２にて保持されるウエハが各
処理室２０ａ〜２０ｉに搬送されるようになっている。
各処理室２０ａ〜２０ｉにおいては、上記ウエハチャッ
ク３２にウエハ３が保持された状態で、この発明の枚葉
検出装置が上述のように作動して複数枚のウエハ３の有
無及び枚数等が検出される。そして、異常がない場合に
は、ウエハ３の処理を行い次工程に受け渡される。な
お、洗浄処理部２２の上方には空キャリア及び満杯キャ
リアを搬送するキャリア搬送部３３が設けられている。
また、洗浄処理部２２の背面側には薬液等の処理液を収
容するタンクや配管群を含む処理液・配管領域３４が設
けられている。

【００４４】なお、上記実施例ではこの発明の枚葉検出
装置をウエハの洗浄装置に適用した場合について説明し
たが、必ずしもウエハ保持アーム２あるいはウエハボー
ト１６上に立設保持された復数枚のウエハ３の枚葉検出
にのみ適用されるものではなく、ウエハカセット内に収
納されたウエハの枚葉検出、あるいはその他のウエハを
配列して搬送する工程にも適用することができることは
勿論であり、更には、ウエハ以外の板状体を例えばＬＣ
Ｄ基板、プリント基板等の複数配列した場合の枚葉検出
にも適用ことができる。

【００４５】

【発明の効果】以上説明したように、この発明のウエハ
の枚葉検出装置によれば、以下のような優れた効果が得
られる。

【００４６】１）請求項１記載のウエハの枚葉検出装置
によれば、透過光式検出手段の発光部と受光部の少なく
とも一方に偏光フィルタを設けたことにより、反射など
による受光素子への有害光の回り込みを防ぎ、透明乃至
半透明ウエハに対してもその有無や枚数を確実に検出で
きる。

【００４７】２）請求項２記載のウエハの枚葉検出装置
によれば、回り込み光の影響分に相当する値を補正量と
して実際の受光光量の検出値を補正することで、回り込
み光の影響によるウエハ有無の誤検出を防止することが
できる。ハード的な改良を行うことなくデ−タ処理によ
って、回り込み光の影響を受けずにウエハを確実に検出
でき、反射による回り込みの発生しやすい透明乃至半透
明のウエハに対してもその有無及び枚数を高精度に検出
することができる。

【００４８】３）請求項３記載のウエハの枚葉検出装置
によれば、検出手段の発光部から受光部への光の光軸が
ウエハの端部の通過によって変化する光量変化を検出
し、検出された光量を予め記憶された情報と比較演算し
てウエハの有無の情報として取り込むことができるの
で、外乱光の影響を受けることなく透過率が１００％に
近い透明ウエハ等の有無あるいは姿勢を安定に検出する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明のウエハの枚葉検出装置の第一実施例
をウエハの洗浄装置に適用した場合の概略斜視図であ
る。

【図２】第一実施例の枚葉検出装置の要部を示す断面図
である。

【図３】図２の要部を示す断面斜視図である。

【図４】図２の要部を示す断面図である。

【図５】第一実施例の枚葉検出装置の要部を示す概略構
成図である。

【図６】この発明の第二実施例の枚葉検出装置の要部を
示す概略構成図である。

【図７】この発明のウエハの枚葉検出装置の第三実施例
をウエハの洗浄装置に適用した場合の概略斜視図であ
る。

【図８】第三実施例における検出部の原理を示す概略構
成図である。

【図９】第三実施例における光量変化を示す特性曲線図
である。

【図１０】この発明の枚葉検出装置を具備する洗浄装置
を示す斜視図である。

【符号の説明】

３ ウエハ ７ 発光素子（発光部） ８ 受光素子（受光部） １４ ＣＰＵ（記憶手段，補正手段） １４ａ メモリ １４ｂ メモリ １５ 昇降装置（移動手段） １７ 偏光フィルタ １８ 制御回路（検知手段） １９ ホストコンピュータ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 適宜間隔をおいて配列されるウエハの有
   無、枚数及び配列状態を検出するウエハの枚葉検出装置
   において、 透過光式検出手段の発光部と受光部をウエハ列の両側に
   互い違いに配置すると共に、これら発光部と受光部の少
   なくとも一方に偏光フィルタを設けたことを特徴とする
   ウエハの枚葉検出装置。
2. 【請求項２】 適宜間隔をおいて配列されるウエハの有
   無、枚数及び配列状態を検出するウエハの枚葉検出装置
   において、 発光部と受光部をウエハ列の両側に互い違いに配置して
   なる透過光式検出手段と、 上記ウエハが全く配列されていない状態において上記発
   光部を個々に発光させたときに上記それぞれの受光部が
   検出する受光光量のデ−タを予め記憶しておく記憶手段
   と、実際にウエハの検出を行ったときの受光光量が上記
   記憶手段に記憶されている対応するデ−タの値を上回っ
   たときにその受光光量を検出した受光部の両隣に位置す
   る受光部で検出される受光光量の値から一定の値を引く
   補正手段とを具備したことを特徴とするウエハの枚葉検
   出装置。
3. 【請求項３】 適宜間隔をおいて配列されるウエハの有
   無、枚数及び配列状態を検出するウエハの枚葉検出装置
   において、 発光部と受光部をウエハ列の両側に互い違いに配置して
   なる透過光式検出手段と、 上記ウエハと検出手段とを相対的に移動する移動手段
   と、 上記移動手段により上記ウエハの端部が上記検出手段の
   発光部から受光部への光の光軸を通過する際に受光部に
   受光する光の光量の変化を検出すると共に、検出信号と
   予め記憶された情報とからウエハの有無を検知する検知
   手段とを具備したことを特徴とするウエハの枚葉検出装
   置。