JP2023165990A5 - システム - Google Patents

Description

以下の開示は、システムに関する。

Claims (16)

1. 基板および消耗部品が搬送される常圧搬送室と、
   前記基板または前記消耗部品を収容する複数の保管部各々と前記常圧搬送室との間で搬送される前記基板または前記消耗部品が通過可能なポートを有し、前記複数の保管部各々を着脱自在に取り付け可能な複数の取り付け部と、
   前記取り付け部に取り付けられた前記保管部のキャリアＩＤを読み取る読取部と、
   前記複数の保管部と前記常圧搬送室に接続された一以上のロードロックモジュールとの間で前記常圧搬送室を介して、前記基板および前記消耗部品を搬送する搬送機構と、
   制御装置と、
   を有し、
   前記制御装置は、
   前記読取部が読み取ったキャリアＩＤに基づき、基板を収容し且つ消耗部品を収容しない基板用の第１の保管部のキャリアＩＤであるか、消耗部品を収容し且つ基板を収容しない消耗部品用の第２の保管部のキャリアＩＤであるかを識別する、システム。
2. 読取部は、取り付け部に設けられる、請求項１に記載のシステム。
3. 記憶部をさらに有し、
   前記制御装置は、
   前記第２の保管部のキャリアＩＤであると識別されたキャリアＩＤを、前記第２の保管部が取り付けられた取り付け部に対応付けて前記記憶部に記憶させる、請求項１または２に記載のシステム。
4. 前記取り付け部に取り付けられている前記保管部内の基板および消耗部品を検知するセンサを有する、請求項１から３のいずれか一項に記載のシステム。
5. 前記制御装置は、
   前記第２の保管部のキャリアＩＤであると識別された場合、消耗部品の大きさに適合した前記センサの閾値を設定する、請求項４に記載のシステム。
6. 前記制御装置は、
   前記第１の保管部内の前記基板を検知する場合と、前記第２の保管部内の前記消耗部品を検知する場合とで、前記センサに設定される閾値を切り替える、請求項４または５に記載のシステム。
7. 前記センサは、前記第２の保管部内の前記消耗部品の位置または数の少なくともいずれかを検知する、請求項４から６のいずれか一項に記載のシステム。
8. 前記センサは、前記第２の保管部内の前記消耗部品を検知した結果を、前記制御装置へ送信する、請求項４から７のいずれか一項に記載のシステム。
9. 前記搬送機構は、
   略Ｕ字形状であり、前記基板および前記消耗部品が載せられるピックと、
   前記ピックを移動させるアームと
   を有し、
   前記センサは、前記ピックの略Ｕ字の２つの端部に設けられる、請求項４から８のいずれか一項に記載のシステム。
10. 前記センサは、透過型光電センサである、請求項４から９のいずれか一項に記載のシステム。
11. 入力部および表示部をさらに有し、
    前記制御装置は、
    前記取り付け部に取り付けられた保管部のキャリアＩＤを入力するための画面を前記表示部に表示し、
    前記取り付け部に取り付けられた保管部のキャリアＩＤを、前記入力部を介して受け付ける、請求項１から１０のいずれか一項に記載のシステム。
12. 前記第１の保管部内に配置され前記基板の配置間隔と、前記第２の保管部内に配置される前記消耗部品の配置間隔とは異なる、請求項１から１１のいずれか一項に記載のシステム。
13. 前記第２の保管部は、前記消耗部品を収容する収容部を有し、
    使用前の前記消耗部品は、前記収容部内において、使用済みの前記消耗部品が収容される位置よりも上方の位置に収容される、請求項１から１２のいずれか一項に記載のシステム。
14. 前記第２の保管部は、使用前の前記消耗部品と使用済みの前記消耗部品とが同じ個数収容可能に構成される、請求項１から１３のいずれか一項に記載のシステム。
15. 前記ロードロックモジュールに接続され、前記基板に対して真空処理が実行される複数の真空処理室を有し、
    前記第２の保管部は、前記真空処理室の数に応じた数の使用前の前記消耗部品および使用済みの前記消耗部品が収容可能に構成される、請求項１から１４のいずれか一項に記載のシステム。
16. 複数の前記取り付け部の少なくとも１つは、前記第１の保管部および前記第２の保管部のいずれも取り付け可能に構成される、請求項１から１５のいずれか一項に記載のシステム。