JPH0786369A - 複数加工手段を備えた複合加工装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 加工所要時間を最短にするように、被加工物
の搬送経路を搬送途中で選択できる複数加工手段を備え
た複合加工装置を提供する。 【構成】 ２つ以上の同一加工手段を含む複数の異種加
工手段１、２、３と、被加工物の中継部５と、搬送手段
７と、被加工物の空席・在席・予約有無を管理する管理
手段１６と、加工終了点検出手段１７と、加工順番と搬
送動作と搬送動作実行条件とを記憶する記憶手段１８
と、搬送動作実行条件判別手段１９と、判別手段１９の
判別に従って、被加工物を搬送する指令を発する制御手
段１５とを有する複数加工手段を備えた複合加工装置に
おいて、制御手段１５が、被加工物の搬送先への予約は
加工終了後に指示し、中継部５から２つ以上の同一加工
手段への予約は２つ以上の同一加工手段の総てに行うよ
うに指示する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用手段】本発明は、複数加工手段を備えた
複合加工装置に関し、例えば、液晶パネルや半導体部品
等の製造に使用されるもので、多数の被加工物を個別に
取り扱う枚葉処理機構を持ち、それぞれ異なったプロセ
ス処理を行う複数の加工手段に、各被加工物を所定順序
で搬入・搬出して複合した加工を行い、且つ、各加工手
段にて各被加工物に対する加工を並列して行える複数の
加工手段を備えた複合加工装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、半導体技術の発達と半導体需要の
拡大に伴い、半導体部品を製造するプロセス設備が多機
能化高速化している。この多機能化高速化の一方法とし
て、従来から、一つの加工装置において、異なった加工
を行う真空チャンバを複数設けたマルチチャンバ方式が
採用され、被加工物は異なった加工を行う各チャンバを
所定順に移動しながら加工されている。

【０００３】図２は、このような加工装置の例を示して
おり、本発明が適用される装置でもある。

【０００４】図２において、加工を行う真空チャンバ
が、チャンバ１、チャンバ２、チャンバ３と３つあり、
これらは、これらに対して所定の真空状態を保ったまま
被加工物の搬入・搬出を行う中継室５の回りに配設され
ている。またこの中継室５に隣接して、中継室５の真空
状態に影響が無いように被加工物を外部から搬入し、ま
た外部へ搬出する予備室４が設けられ、予備室４、中継
室５を介して各チャンバ１〜３の被加工物の搬入・搬出
を行うようになっている。予備室４は被加工物を外部か
ら搬入し、また外部へ搬出する都度、所定の真空状態に
復帰される。中継室５には、これと、まわりの各チャン
バ１〜３および予備室４との間で被加工物をやりとりす
る搬送手段７が設けられ、予備室４には、外部のカセッ
ト６との間で被加工物をやりとりする搬送腕８が設けら
れている。

【０００５】加工を行うには、搬送腕８によってカセッ
ト６から被加工物を取り出し、予備室４に入れる。予備
室４に入れた被加工物は、搬送手段７によって中継室５
を経て所定の真空チャンバに搬入される。最初の真空チ
ャンバでの被加工物の加工が終わると、この被加工物
を、搬送手段７によって中継室５にもどし、次の加工の
ために次の真空チャンバに搬入する。ここでの加工が終
わると、この被加工物を、搬送手段７によって中継室５
にもどす。これを繰り返し所定の複合加工が総て終了す
ると、この被加工物を、搬送手段７によって中継室５か
ら予備室４にもどした後、搬送腕８によってカセット６
に収められる。

【０００６】上記の搬送手段７と搬送腕８の動作を制御
するために、これらの動作を、図２に示すように、独立
と見なせる複数の動作９〜１３に分ける。動作９は被加
工物をカセット６から予備室４へ搬送する動作、動作１
０は被加工物を予備室４からカセット６へ搬送する動
作、動作１１は被加工物を予備室４と中継室５間で往復
搬送する動作、動作１２は被加工物を中継室５とチャン
バ１間で往復搬送する動作、動作１３は被加工物を中継
室５とチャンバ２間で往復搬送する動作、動作１４は被
加工物を中継室５とチャンバ３間で往復搬送する動作で
ある。

【０００７】これらの動作９〜１４を、被加工物間の干
渉なしに行える条件、つまり搬送動作実行条件は、下記
表１に示すように一義的に決まっている。

【０００８】

【表１】

【０００９】また、従来から、複合加工のうちの特定の
加工が、他の加工に比較して長時間かかる場合、この加
工を行うチャンバを複数設け、この長時間かかる加工を
前記複数設けた各チャンバにて別個の被加工物に同じ加
工を並行して行い、加工時間が長いために他の加工手段
に遊び時間が生じることを防止している。例えば、チャ
ンバ２と３とで長時間かかる加工を並行して行うように
すると、チャンバ１での加工後の被加工物は、チャンバ
２に搬入されて所定の複合加工を終了するものと、チャ
ンバ３に搬入されて所定の複合加工を終了するものとに
取扱が分かれる。

【００１０】

【表２】

【００１１】従来は、この取扱を分ける制御を簡単にす
るため、表２に示すように、チャンバ２を使用する被加
工物を、カセット６→予備室４→中継室５→チャンバ１
→中継室５→チャンバ２→中継室５→予備室４→カセッ
ト６の順に搬送する搬送経路を示す表２−１と、カセッ
ト６→予備室４→中継室５→チャンバ１→中継室５→チ
ャンバ３→中継室５→予備室４→カセット６の順に搬送
する搬送経路を示す表２−２とを用意し、この２つの搬
送経路表を、順番にスタートする被加工物に、交互に適
用し、スタートの時点で各被加工物の搬送経路を決めて
いる。

【００１２】従って、従来の制御手段は、各被加工物に
与えられた表２の何れかの搬送経路に沿い、表１の搬送
動作実行条件に従って、被加工物を搬送し、或る被加工
物を、チャンバ１、チャンバ２の順で加工すると、次の
被加工物は、チャンバ１、チャンバ３の順で加工し、そ
の次の被加工物は、チャンバ１、チャンバ２の順で加工
するという搬送経路の切替えを繰り返すことになる。

【００１３】具体的には、一つ目の被加工物（１）は、
チャンバ１に搬送されてチャンバ１で加工される。一つ
目の被加工物（１）がチャンバ１で加工されている間
に、二つ目の被加工物（２）が中継室５まで搬送されて
くるが、チャンバ１が未だ加工中なので、チャンバ１が
空くのを中継室５内で待つことになる。チャンバ１内で
一つ目の被加工物（１）の加工が終了すると、搬送手段
７は一つ目の被加工物（１）と二つ目の被加工物（２）
とを交換し、一つ目の被加工物（１）は、表２−１に示
される次のチャンバ２に搬入されて加工され、二つ目の
被加工物（２）はチャンバ１内で加工される。この間
に、三つ目の被加工物（３）が中継室５に搬入されチャ
ンバ１が空くのを待つことになる。チャンバ１内で二つ
目の被加工物（２）の加工が終了すると、搬送手段７は
二つ目の被加工物（２）と三つ目の被加工物（３）とを
交換し、二つ目の被加工物（２）は、表２−２に示され
る次のチャンバ３に搬入されて加工され、３つ目の被加
工物（３）はチャンバ１内で加工される。この間に、４
つ目の被加工物（４）が中継室５に搬入されチャンバ１
が空くのを待つことになる。チャンバ１内で三つ目の被
加工物（３）の加工が終了すると、搬送手段７は三つ目
の被加工物（３）と四つ目の被加工物（４）とを交換
し、三つ目の被加工物（３）は、表２−１に示される次
のチャンバ２に搬入されて加工され、四つ目の被加工物
（４）はチャンバ１内で加工される。この間に、五つ目
の被加工物（５）が中継室５に搬入されチャンバ１が空
くのを待つことになる。上記のような搬送が繰り返され
て、チャンバ１と２との組合せ、チャンバ１と３との組
合せによる複合加工が行われる。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】この場合、上記の従来
例の構成では、表２−１のチャンバ１と２との組合せの
搬送経路と、表２−２のチャンバ１と３との組合せの搬
送経路とを、スタートの時点で、交互に、被加工物に設
定するので、制御機構と制御プログラムとは簡単になる
が、時間がかかる加工を行っている２つ以上ある同一加
工を行うチャンバの夫々の必要加工時間が機差によって
等しくないので、この機差による時間差が積み重なる
と、必要加工時間が最も短いチャンバの加工終了時点が
次第に早くなって、他のチャンバの加工終了時点と逆転
することになる。この場合に、従来例のように、各被加
工物を加工するチャンバをスタート時点で決めておく
と、中継室で待っている被加工物が、上記によって逆転
して早く終了したチャンバを使用することができず、ス
タート時点で決められたチャンバの加工終了を待つこと
になり、能率を向上できる機会を失うという問題点があ
る。

【００１５】本発明は、上記の問題点を解決し、被加工
物を加工する搬送経路を、搬送途中で、加工所要総時間
を最短にするように選択できる、複数加工手段を備えた
複合加工装置を提供することを課題としている。

【００１６】

【課題を解決するための手段】本発明の複数加工手段を
備えた複合加工装置は、上記の課題を解決するために、
２つ以上の同一加工手段を含んで夫々異なる加工を行う
複数の異種加工手段と、前記総ての加工手段との間で被
加工物を交換する中継部と、前記被加工物を前記中継部
と前記各加工手段間を往復搬送する搬送手段と、前記各
加工手段と前記中継部との空席・在席・予約有無を判断
し記憶する管理手段と、前記各加工手段の加工終了点を
検出する加工終了点検出手段と、加工順番と加工順番に
対応する搬送動作と搬送先の空席・在席・予約有無によ
る搬送動作実行条件とを記憶する記憶手段と、前記搬送
動作実行条件を満足するか否かを判別する判別手段と、
前記判別手段の判別結果に従って、被加工物を前記加工
順番に従って前記搬送動作で搬送し、複数の指示された
加工手段に、指示された順番で搬入・搬出し、前記被加
工物に、前記複数の指示された加工手段による複合加工
を行うように指令を発する制御手段とを有する複数加工
手段を備えた複合加工装置において、前記制御手段が、
被加工物の搬送先への予約は前記加工終了点検出手段の
加工終了点検出後に指示し、前記中継部から２つ以上の
同一加工手段への予約は被加工物が前記加工順番に従っ
て前記中継部に到着した直後に２つ以上の同一加工手段
の総てに行うように指示する機構を具備することを特徴
とする。

【００１７】

【作用】本発明の複数加工手段を備えた複合加工装置
は、制御手段が、被加工物の搬送先への予約を加工終了
点検出手段の加工終了点検出後に指示する機構を有する
ので、時間がかかる加工中に被加工物が中継室を予約し
他の被加工物の交換を排除することがなくなり、複数の
加工手段から加工済の被加工物が搬入される中継室にお
いて、中継室が各加工手段から被加工物を受け入れ得る
時間帯を長くできる。従って、一般に使用される搬送動
作実行条件に従って搬送動作を行えば、中継部での被加
工物の交換能率を高くできる。

【００１８】又、制御手段が、中継部から２つ以上の同
一加工手段への予約は被加工物が前記加工順番に従って
前記中継部に到着した直後に２つ以上の同一加工手段の
総てに行うように指示する機構を有するので、一般に使
用される搬送動作実行条件に従って搬送動作を行えば、
２つ以上ある同一加工手段の中で最も早く加工を終了し
た加工手段を使用することができ、被加工物の待時間を
最短にすることができる。

【００１９】

【実施例】本発明の一実施例としての複数加工手段を備
えた複合加工装置について図面を参照しながら説明す
る。

【００２０】本実施例は、従来例で説明した図２に示す
構成と動作を有するマルチチャンバ方式の複合加工装置
に本発明が適用されたものである。従って、重複する説
明は省略する。

【００２１】本実施例では、プロセスＡと、プロセスＢ
とを順次に行い半導体デバイスを製造する複合加工を行
う。そして、プロセスＢの加工に要する時間がプロセス
Ａの加工に要する時間の２倍程度を要する場合のもの
で、プロセスＡの加工を図１、図２のチャンバ１で行
い、プロセスＢの加工を図１、図２のチャンバ２とチャ
ンバ３とで並行して行うことで、プロセスＢの加工可能
数をプロセスＡの加工可能数に併せている。

【００２２】図１、図２において、本実施例は、プロセ
スＡの加工を行うチャンバ１と、プロセスＢの加工を行
うチャンバ２、チャンバ３と、前記チャンバ１、２、３
を周囲に配し前記チャンバ１、２、３との間で往復搬送
される被加工物を交換する中継部５と、前記被加工物を
前記中継部５と前記チャンバ１、２、３間及び予備室４
間を往復搬送する搬送手段７と、前記被加工物を前記予
備室４とカセット６との間で往復搬送する搬送腕８と、
前記チャンバ１、２、３と前記中継部５の空席・在席・
予約有無を判断し記憶する管理手段１６と、前記チャン
バ１、２、３の加工終了点を検出する加工終了点検出手
段１７と、加工順番と加工順番に対応する搬送動作９〜
１４と搬送先の空席・在席・予約有無による搬送動作実
行条件とを記憶する記憶手段１８と、前記搬送動作実行
条件を満足するか否かを判別する判別手段１９と、前記
判別手段１９の判別結果に従って、被加工物を前記加工
順番に従って前記搬送動作９〜１４で搬送し、複数の指
示されたチャンバに、指示された順番で搬入・搬出し、
前記被加工物に、前記複数の指示されたチャンバによる
複合加工を行うように指令を発する制御手段１５とを備
えており、前記制御手段１５が、被加工物の搬送先への
予約を前記加工終了点検出手段１７の加工終了点検出後
に指示し、前記中継部５からプロセスＢの加工を行うチ
ャンバ２、３への予約を前記加工順番に従って被加工物
が前記中継部５へ搬入された直後にチャンバ２、３の総
てに行うように指示し、前記記憶手段１８が、前記中継
部５から前記チャンバ２、３への搬送動作実行条件とし
て、チャンバ２、３への搬送を予約する他の被加工物無
し、且つ、チャンバ２、３の中の当チャンバに被加工物
の在席無し、又は、前記当チャンバに中継部５への搬送
を予約する被加工物の在席あり、の条件を記憶し、更
に、チャンバ２、３から中継部５への搬送動作実行条件
として、中継部５に他の加工手段、即ち、チャンバ１の
被加工物の予約無し、且つ、中継部５に空席あり、又
は、中継部５にチャンバ２、３への搬送を予約する被加
工物の在席あり、の条件を記憶している。

【００２３】記憶手段１８が記憶する加工順番は、搬送
経路表３と、プロセス・チャンバ対照表４とである。こ
れらが従来例の表２と異なるのは、従来例では、チャン
バ２を搬送経路に入れる表２−１とチャンバ３を搬送経
路に入れる表２−２との２つの搬送経路表があり、スタ
ートする被加工物に表２−１と表２−２とを交互に与え
ていたのに対して、本実施例は、搬送経路表３では、従
来例のチャンバ２、３の欄をプロセスＢとして１つの搬
送経路表３にまとめ、これをすべての被加工物に共通に
使用し、プロセスＡとプロセスＢとでは、プロセス・チ
ャンバ対照表４によるサブルーチンを使用していること
である。

【００２４】

【表３】

【００２５】

【表４】

【００２６】記憶手段１８が記憶する加工順番は、表３
に示すものであり、この加工順番に対応する搬送動作は
従来例で説明した図２に示す搬送動作９〜１４である。

【００２７】記憶手段１８が記憶する搬送動作実行条件
は、搬送動作実行条件表５に示すものである。

【００２８】

【表５】

【００２９】搬送動作実行条件表５において、被加工物
の搬送先への予約は、制御手段１５が、加工終了点検出
手段１７が加工終了点を検出後に指示することになって
おり、加工中には予約を行わないので、加工中の予約に
よって、他の被加工物の搬送を無意味に待たせることが
なくなる。

【００３０】又、中継部５からチャンバ２、３への予約
は、制御手段１５が、表４のプロセスＢのサブルーチン
において、搬送動作実行条件表５に従って被加工物が中
継部５に到着した場合、到着後直ちに、チャンバ２、３
の両方に行うように指示するので、搬送動作実行条件表
５の、中継部から２つ以上の同一加工手段であるチャン
バ２、３への搬送動作実行条件として、チャンバ２、３
に他の加工手段の被加工物の予約無し、且つ、チャンバ
２、３の中の当チャンバに被加工物の在席無し、又は、
当チャンバに中継部への搬送を予約する被加工物の在席
あり、に従って搬送動作を行えば、チャンバ２、３の中
で早く加工を終了したチャンバを使用することができ、
チャンバの遊び時間を最短にできる。

【００３１】管理手段１６は、カセット６、予備室４、
中継室５、チャンバ１、チャンバ２、チャンバ３の空
席、在席、予約有無の判断と記憶を、被加工物位置管理
表６によって行う。

【００３２】

【表６】

【００３３】作業者は、予め作られている表３、表４、
表６の中から所定のもの、例えば、表３、表４、表６に
示すものを指示する。

【００３４】即ち、表３でプロセス指定による搬送経路
を指示し、表４で、各プロセスのサブルーチンを指示
し、プロセスＡはチャンバ１で、プロセスＢはチャンバ
２と３とで行うことを指定する。次に、各チャンバでの
加工条件、即ち、各チャンバ内の真空度、反応ガスの種
類と流量等を指定する。各チャンバの作業は、その終了
点が加工終了点検出手段１７によって検出される。

【００３５】この指定によって、図１の管理手段は、被
加工物位置管理表６に、表７、表８に示すように記憶を
変更しながら管理する。

【００３６】

【表７】

【００３７】

【表８】

【００３８】記憶手段１８は、搬送経路表３、プロセス
・チャンバ対照表４、前記搬送動作９〜１４、搬送動作
実行条件表５とを記憶する。

【００３９】判別手段１９は、前記表７、表８及び搬送
動作実行条件表５によって、搬送動作実行条件の満足の
有無を判別する。

【００４０】制御手段１５は、被加工物の搬送先への予
約は加工終了点検出手段１７の加工終了点検出後に指示
し、中継部５からチャンバ２、３への予約は前記加工順
番に従って行なわれる被加工物の中継部５への到着後直
ちにチャンバ２、３の総てに行うように指示するという
条件で、判別手段１９の判別結果に従って、被加工物を
前記加工順番に従って前記搬送動作９〜１４で搬送し、
複数の指示されたチャンバに、指示された順番で搬入・
搬出し、前記被加工物に、前記複数の指示されたチャン
バによる複合加工を行うように指令を発する。

【００４１】次に、本実施例の動作を説明する。尚、こ
の場合、被加工物は半導体ウエハであるので、被加工物
を以下ではウエハと呼ぶ。

【００４２】図１において、第１ウエハについて説明す
る。

【００４３】搬送動作実施条件表５の搬送動作９によっ
て、第１ウエハが予備室４に搬入される。第１ウエハが
予備室４に搬入されると、予備室４は真空引きされる。

【００４４】次に、上記のようにして真空引きされた予
備室４から、搬送動作実施条件表５の搬送動作１１によ
って、第１ウエハが中継室５に搬入され、空になった予
備室４には、中継室５と予備室４間が密閉された後に、
第２ウエハがカセット６から搬入される。

【００４５】管理手段１６が、中継室５内の第１ウエハ
に対して、搬送経路表３、プロセス・チャンバ対照表
４、搬送動作実施条件表５によって、表６の中継室の欄
を第１ウエハ存在にし、チャンバ１の欄を第１ウエハの
予約にする。そして、第２ウエハが、予備室４に搬入さ
れると、表６の予備室の欄を第２ウエハ存在にし、中継
室の欄を第２ウエハ予約にする。第１ウエハがチャンバ
１に搬入されると、この時点で、表６の中継室の欄が第
１ウエハ存在が消え、表６のチャンバ１の欄が第１ウエ
ハ存在になり、予備室４の第２ウエハが中継室５に搬入
され、表６の中継室の欄が第２ウエハ存在になり、表６
のチャンバ１の欄が第２ウエハの予約になる。

【００４６】チャンバ１内の第１ウエハは、チャンバ１
での加工が終了すると、加工終了点検出手段１７が加工
終了点を検出し、中継室５を予約する。この場合、中継
室５には、チャンバ１を予約している第２ウエハが存在
するので、第１ウエハと第２ウエハとが交換され、表６
のチャンバ１の欄が第２ウエハ存在になり、表６の中継
室の欄が第１ウエハ存在になり、表６のチャンバ２、３
の欄が第１ウエハの予約になる。

【００４７】この場合、チャンバ２、３の双方が空席で
あれば、別に決められた優先順位によって、優先順位が
先のチャンバに搬入され、一方が空席で、他方が加工中
の場合には、空席のチャンバに搬入され、双方が加工中
の場合には、加工終了点検出手段が加工終了点を検出し
た方のチャンバに搬入される。

【００４８】上記によって、第１ウエハがチャンバ２に
搬入されると、表６のチャンバ２の欄が第１ウエハ存在
になる。

【００４９】そして、第１ウエハがチャンバ２に搬入さ
れると、チャンバ２の加工時間が長いので、追ってきて
チャンバ１にある第２ウエハは、第１ウエハがチャンバ
２から中継室５を予約する前に、加工を終了し、加工終
了点検出手段１７が加工終了点を検出し、中継室５を予
約し、中継室５に搬入されている第３ウエハと交換して
チャンバ１から出て、中継室５内に戻り、第３ウエハは
チャンバ１に搬入されるこの時点を示すと、図３と表７
（ａ）のようになる。

【００５０】この後に、表７（ｂ）に示すように、第２
ウエハはチャンバ２、３を予約し、続いて、搬送動作実
施条件表５に従って、表７（ｃ）に示すように、チャン
バ３に搬入される。

【００５１】作業が更に進んで、第３ウエハを追ってき
た第４ウエハがチャンバ１で加工されている状態以後
を、図４と表８に基づいて説明する。

【００５２】図４と表８（ａ）は、加工時間が短いチャ
ンバ１での第３ウエハの加工が終了し、第３ウエハが中
継室５に搬入されている第４ウエハと交換して中継室５
にもどり、チャンバ１に第４ウエハが搬入された状態を
示す。

【００５３】次いで、表８（ｂ）に示すように、チャン
バ２内で加工されている第１ウエハの加工が終了するの
で、加工終了点検出手段１７が加工終了点を検出し、表
８（ｂ）に示すように、表６の中継室の欄を第１ウエハ
予約とし、中継室５内の第３ウエハはチャンバ２、３の
欄を第３ウエハの予約とする。

【００５４】次いで、表８（ｃ）に示すように、チャン
バ２の第１ウエハは第３ウエハと交換して中継室５に戻
り、第３ウエハはチャンバ２に搬入される。

【００５５】以上の動作を継続して、各ウエハの搬送と
加工が進む。

【００５６】尚、本実施例は、マルチチャンバプロセス
のもので、真空チャンバを使用しているので、予備室を
使用し、予備室、中継室も真空引きするものになってい
るが真空チャンバを使用しないシステムでは、予備室は
不要で、真空引きも要らない。

【００５７】

【発明の効果】従来例では、複数加工手段を備えた複合
加工装置において、長時間かかる加工手段についてはそ
の加工手段を２つ以上設けて全体を効率化した場合、被
加工物毎に、前記２つ以上の同一加工手段のどれを使用
して加工するかを予め決めた搬送経路を与えているの
で、制御機構と制御プログラムとは簡単になるが、時間
がかかる加工を行っている２つ以上ある同一加工を行う
加工手段の夫々の必要加工時間が機差によって等しくな
いので、この機差による時間差が積み重なると、必要加
工時間が最も短い加工手段の加工終了時点が次第に早く
なって、他の加工手段の加工終了時点と逆転することに
なる。この場合に、従来例のように、各被加工物を加工
する加工手段をスタート時点で決めておくと、前記の逆
転に対応して、逆転して早く終了した加工手段を使用す
ることができず、スタート時点で決められた加工手段の
加工終了を待つことになり、能率を向上できる機会を失
うという問題点があるのに対して、本発明の複数加工手
段を備えた複合加工装置では、制御手段が、被加工物の
搬送先への予約は加工終了点検出手段の加工終了点検出
後に指示し、中継部から２つ以上の同一加工手段への予
約は被加工物が前記加工順番に従って前記中継部に到着
した直後に２つ以上の同一加工手段の総てに行うように
指示する機構を具備するので、一般的な搬送動作実行条
件を使用することで、前記の逆転に対応して、逆転して
早く終了した加工手段を使用することができるので、従
来例と同様な簡単な制御機構と制御プログラムとで、被
加工物を加工する搬送経路を、搬送途中で、加工所要総
時間を最短にするように選択できるという効果を奏す
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の複数加工手段を備えた複合加工装置の
一実施例の構成を示すブロック図である。

【図２】複数加工手段を備えた複合加工装置における各
搬送動作を示す図である。

【図３】図１の動作を示す図である。

【図４】図１の動作を示す図である。

【符号の説明】

１ チャンバ ２ チャンバ ３ チャンバ ４ 予備室 ５ 中継室 ６ カセット ７ 搬送手段 ８ 搬送腕 １５ 制御部 １６ 管理手段 １７ 加工終了点検出手段 １８ 記憶手段 １９ 判別手段

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ２つ以上の同一加工手段を含んで夫々異
   なる加工を行う複数の異種加工手段と、前記総ての加工
   手段との間で被加工物を交換する中継部と、前記被加工
   物を前記中継部と前記各加工手段間を往復搬送する搬送
   手段と、前記各加工手段と前記中継部との空席・在席・
   予約有無を判断し記憶する管理手段と、前記各加工手段
   の加工終了点を検出する加工終了点検出手段と、加工順
   番と加工順番に対応する搬送動作と搬送先の空席・在席
   ・予約有無による搬送動作実行条件とを記憶する記憶手
   段と、前記搬送動作実行条件を満足するか否かを判別す
   る判別手段と、前記判別手段の判別結果に従って、被加
   工物を前記加工順番に従って前記搬送動作で搬送し、複
   数の指示された加工手段に、指示された順番で搬入・搬
   出し、前記被加工物に、前記複数の指示された加工手段
   による複合加工を行うように指令を発する制御手段とを
   有する複数加工手段を備えた複合加工装置において、前
   記制御手段が、被加工物の搬送先への予約は前記加工終
   了点検出手段の加工終了点検出後に指示し、前記中継部
   から２つ以上の同一加工手段への予約は被加工物が前記
   加工順番に従って前記中継部に到着した直後に２つ以上
   の同一加工手段の総てに行うように指示する機構を具備
   することを特徴とする複数加工手段を備えた複合加工装
   置。