JP3444921B2 - 半導体製造装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、リードフレーム，セ
ラミックパッケージあるいは基板等の被加工部品を所定
個数収納してなるマガジン、または、前記被加工物単体
（以下「マガジン等」という。）を、ライン配列化され
た複数の製造装置に順次搬送して半導体装置を自動製造
する半導体製造装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ライン配列化した従来の自動化製造ライ
ンの搬送制御形態は次のようなものであった。すなわち
図７に示したように、組み立て処理の各工程を受け持つ
各製造装置ごと、および、各装置間に配置され前の製造
装置から次の製造装置に対して被加工部品（リードフレ
ーム等）を搬送する搬送コンベアもそれぞれ制御部を有
している。そして各制御部が各々独立して対応する装置
を制御していた。

【０００３】例えば、搬送コンベアＡの制御部は被加工
部品を受け取ったことを認識すると、製造装置Ｂが空い
ているかどうかを判別し、製造装置Ｂが空き状態であれ
ば被加工部品を製造装置Ｂに搬送し、搬送コンベアＢも
被加工部品を受け取ったことを認識すると、製造装置Ｃ
が空いているかどうかを判別し、製造装置Ｂが空き状態
であれば被加工部品を製造装置Ｃに搬送する、というよ
うに各々の搬送コンベアの制御部が独立して対応する搬
送コンベアを制御していた。なお、各製造装置の制御部
も、被加工部品が搬送されてきたことを認識すると、そ
の被加工部品の加工を行うというだけのものであった。
また、被加工部品は所定個数ごとにマガジンに収納され
ており、このマガジン単位で処理が行われるようになっ
ていた。

【０００４】例えば、一つのマガジンが製造装置Ａに送
られて処理され、製造装置Ａにおいて前記一つのマガジ
ン内の被加工部品の処理が全て終了すれば、その一つの
マガジンが次の製造装置Ｂに送られていた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような従来の生産ラインシステムには、 各装置間の搬送系が個別に制御されていたため、ラ
イン全体の観点からするとロスが多くなる。

【０００６】 ライン中の一台の製造装置が停止した
場合、それに対応する搬送コンベアも停止する（例えば
図７中、製造装置Ｂが停止してしまうと搬送ベルトＢも
停止してしまう）ため、ライン全体の流れが停止してし
まう。

【０００７】 ある製造装置（例えば製造装置Ｂ）で
一つのマガジンの処理が終了しても、次工程の製造装置
（例えば製造装置Ｃ）において前のマガジンの処理が終
了していない場合には、製造装置Ｂにおいて処理を終了
したマガジンを搬送することができず、その間製造装置
Ｂは新たなマガジンの加工処理を行うことができなくな
るという問題があった。

【０００８】この発明の目的は、ライン配列化された複
数の製造装置からなる生産ラインシステムで、各製造装
置間の生産能力の違いを吸収し、かつ、一部の装置がダ
ウンしても他の装置が生産を継続することができる半導
体製造装置を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】この出願の第１の発明
は、ライン配列化された複数の製造装置と、前記製造装
置のマガジン等を格納するストック手段と、前記製造装
置のそれぞれについて複数の動作状態を示す複数のフラ
グと、前記複数のフラグが示す動作状態に基づいて前記
搬送手段に対し前記複数の製造装置およびストック手段
間の搬送指令を出力する搬送指令手段と、を備え、前記
複数のフラグは、１つの装置に対して少なくともマガジ
ン供給要求フラグ、マガジン排出要求フラグ、搬送コン
ベア動作完了フラグおよび搬送コンベアエラーフラグか
らなることを特徴とする。

【００１０】また、この出願の第２の発明は、前記第１
の発明において、前記ストック手段の格納アドレスごと
にそこに格納されているマガジン等の内容を記憶する格
納物記憶手段を備え、前記搬送指令手段は、前記複数の
フラグが示す動作状態および前記格納物記憶手段の記憶
内容に基づいて、前記搬送手段に対して前記複数の製造
装置およびストック手段間の搬送指令を出力することを
特徴とする。

【００１１】さらに、この出願の第３の発明は、前記第
１，第２の発明において、前記マガジン等を前記複数の
製造装置およびストック手段間で搬送する経路をパター
ン番号で識別される複数のパターンで記憶する手段を前
記搬送手段に設け、前記搬送指令手段を前記搬送手段に
対してパターン番号を出力する手段としたことを特徴と
する。

【００１２】

【作用】この発明の半導体製造装置では、被加工物のマ
ガジン等が搬送手段によりライン配列化された複数の製
造装置間に搬送される。これにより、被加工物が半導体
装置に加工されてゆく。

【００１３】ここで、第１の発明では、製造装置のほか
にストック手段を設け、ある製造装置から搬出されたマ
ガジン等を次の製造装置に搬入するまえにストックでき
るようにし、さらに、製造装置のそれぞれについて複数
の動作状態を示す複数のフラグを設け、この複数のフラ
グによって示される製造装置の動作状態（たとえば、加
工がどの段階まで進んでいるか）に基づいて、各製造装
置とストック手段との間におけるマガジン等の搬送指令
を出力するようにした。これにより、各製造装置間で加
工速度が異なる場合でも、加工済のマガジン等をストッ
ク手段にストックしておくことにより、加工速度の速い
製造装置でも製造を継続することができる。また、一部
の製造装置や搬送手段が故障したときでも、これ以前の
製造装置は、加工済のマガジン等をストック手段に格納
することにより、製造を継続することができる。また、
この場合に、複数のフラグが示す製造装置の動作状態に
基づいて、搬送指令手段が搬送指令を出力する。搬送手
段は、この搬送指令に基づいてストック装置および製造
装置間でマガジン等を搬送する。

【００１４】また、第２の発明では、ストック手段にお
ける格納物を格納物記憶手段に記憶し、搬送指令手段
が、複数のフラグが示す製造装置の動作状態および格納
物記憶手段の記憶内容に基づいて搬送指令を出力するた
め、製造装置のダウンや搬送手段のダウンに対応した搬
送指令を出力することができる。

【００１５】さらに、第３の発明では、マガジン等の搬
送経路を複数のパターンにして記憶したことにより、通
信時間を短縮できる。

【００１６】

【実施例】図面を参照しながら本発明の実施例を説明す
る。図１は、この発明の実施例である半導体生産ライン
のシステムの概要を示した図である。図２は、同生産ラ
インシステムの構成を詳細に示した図である。図３は、
ストック装置内でのアドレスの概念を示す図である。図
４は、上位コンピュータに設定されているストックメモ
リの構成を示す図である。図５は、ストック装置の制御
部に設定されている動作状態フラグの構成を示す図であ
る。また、図６は、この生産ラインにおける搬送経路パ
ターンを示す図である。

【００１７】なお、以下の説明では、搬送単位を部品を
複数収納したマガジン単位で行う場合について説明して
いるが、部品を単体で搬送する場合においても同様に適
用することができる。

【００１８】この半導体部品の生産ラインシステムは、
例えばダイボンド装置，ワイヤボンディング装置，プリ
コート装置等である複数の（第１，第２，第３，・・
の）製造装置３，５，７・・、部品を収納したマガジン
を格納するストック装置２、前記複数の製造装置３，
５，７・・およびストック装置２に部品を搬送する複数
の搬送コンベア４，６，８・・、および、この生産ライ
ンシステムを制御する上位コンピュータ１を備えてい
る。マガジンに収納された部品は第１の製造装置３，第
２の製造装置５，第３の製造装置７，・・の順序で加工
されてゆき、完成された半導体部品となる。

【００１９】前記製造装置３，５，７・・は、各装置の
動作を制御する装置制御部３１，５１，７１，・・、未
加工の部品を収納したマガジンがセットされる未加工部
品収納マガジン部３２，５２，７２，・・、部品の加工
を行う処理ステージ３３，５３，７３，・・、および、
加工済の部品を収納するマガジンがセットされる加工済
部品収納マガジン部３４，５４，７４，・・を備えてい
る。

【００２０】ストック装置２は、部品を収納したマガジ
ンの搬入，搬出を制御する制御部２１を備えている。こ
の制御部２１は、ストック装置２および搬送コンベア
４，６，８，・・の動作を制御する。また、ストック装
置２には複数のマガジン格納部を設けられており、各マ
ガジン格納部には、図３のようにアドレスが割り当てら
れている。図３において（Ａ）は格納部を平面的に形成
した場合のアドレス割当状態を示し、同図（Ｂ）は格納
部を立体的に形成した場合のアドレス割当状態を示して
いる。上位コンピュータ１のメモリには、図４に示す構
成のストックメモリが設定されている。このストックメ
モリは、各マガジン格納部に対応する複数のレジスタエ
リアからなっている。各レジスタエリアは、対応するマ
ガジン格納部のアドレスで識別され、対応するアドレス
のマガジン格納部にマガジンが格納されているか、およ
び、格納されているマガジンの内容（どの段階まで加工
が進んだ部品を収納しているか）を記憶する。

【００２１】搬送コンベア４，６，８，・・は、対応す
る製造装置に未加工部品のマガジンを供給する供給側移
載部４２，６２，８２・・、対応する製造装置から加工
済部品が収納されたマガジンを回収する排出側移載部４
３，６３，８３・・、対応する製造装置にマガジンの搬
入および搬出を行うコンベア部４４，６４，８４，・
・、および、対応する製造装置から処理状態に関する電
文を受信するＩ／Ｏ信号送受信部４１，６１，８１，・
・を備えている。マガジンを搬送するとき、このマガジ
ンをどの移載部，コンベア部を介して搬送するかは、上
位コンピュータ１が決定してストック装置２の制御部２
１に指示する。上位コンピュータ１および制御部２１
は、複数の移載部，コンベア部を介したマガジンの搬送
経路をパターンとして複数記憶しており（図４参照）、
上位コンピュータ１から制御部２１への指示は、パター
ン番号で行われる。

【００２２】ストック装置の制御部２１には、図５に示
すような複数のフラグが設定されている。このフラグは
４ｍ＋２個設定されている。ｍは製造装置の台数であ
る。上位コンピュータは常時通信によりこのフラグ状態
をチェックし、その状態に合致した指示を、制御部２１
に与える。フラグＳ１，Ｓ５，Ｓ９，…，Ｓ((4m-1)+1)
は、第ｎ(n=1〜m)装置マガジン供給要求フラグである。
このフラグは第ｎ製造装置の未加工部品収納マガジン部
にセットされているマガジンに未加工部品が無くなった
ことを示すフラグである。このフラグは第ｎ製造装置の
制御部から出力されるマガジン供給要求信号に基づいて
セットされる。このフラグがセットされたとき、上位コ
ンピュータ１はストック装置２の制御部２１に対して、
第ｎ製造装置に未加工部品を収納したマガジンを供給す
る指示を出力するが、この供給動作が完了したときこの
フラグがリセットされる。

【００２３】フラグＳ２，Ｓ６，Ｓ１０，…，Ｓ((4m-
1)+2)は、第ｎ装置マガジン排出要求フラグである。こ
のフラグは第ｎ製造装置の加工済部品収納マガジン部に
セットされているマガジンが加工済部品で一杯になった
ことを示すフラグである。このフラグは第ｎ製造装置の
制御部から出力されるマガジン排出要求信号に基づいて
セットされる。このフラグがセットされたとき、上位コ
ンピュータ１はストック装置２の制御部２１に対して、
第ｎ製造装置から加工済部品を収納したマガジンを取り
出すように指示するが、この排出動作が完了した旨の電
文を制御部２１から受け取ったときこのフラグがリセッ
トされる。

【００２４】フラグＳ３，Ｓ７，Ｓ１１，…，Ｓ((4m-
1)+3)は、第ｎ製造装置に対応する搬送コンベア動作完
了フラグである。このフラグは対応する搬送コンベアが
搬送指示を待っている状態であることを示している。こ
のフラグは上位コンピュータ１がストック装置２の制御
部２１に対して、この搬送コンベアを用いた搬送指示を
出力したときリセットされ、この搬送動作が完了する
と、再度セットされる。

【００２５】フラグＳ４，Ｓ８，Ｓ１２，…，Ｓ(4m)
は、第ｎ製造装置に対応する搬送コンベアエラーフラグ
である。このフラグは対応する搬送コンベアがエラー状
態で停止しているとき、セットされ、また、エラーから
回復したときリセットされる。

【００２６】フラグＳ(4m+1)は、マガジン識別子読み取
りデータ有りを示すフラグである。

【００２７】このフラグは、前の生産ライン（図１の装
置群２に対する装置群１）から送られてきたマガジンの
内容を読み取ったことを示すフラグである。すなわち、
この生産ライン内で処理されたマガジンは識別子を読み
取らなくてもどの製造装置から搬出されたかによりその
内容が判っているが、前工程から送られてきたマガジン
はその内容が不明であるため識別子（バーコード）を読
み取ることによってその内容を確認する。このフラグが
セットされているとき、上位コンピュータ１はその識別
子のデータを取り込んで、このマガジンの格納先（スト
ック装置２または第１の製造装置３）を決定する。

【００２８】フラグＳ(4m+2)は、次ストック装置動作中
フラグである。このフラグがセットしているときは、次
の生産ライン（図１の装置群１に対する装置群２）のス
トック装置が動作中でマガジンの受入れが可能であるこ
とを示している。したがって、この場合には、この生産
ラインの加工が完了したマガジンは、ストック装置２に
格納することなく次の生産ラインに送ることができる。

【００２９】上記のように構成されている生産ラインシ
ステムによる部品の加工手順を説明する。

【００３０】原則的には、この生産ラインに搬入された
未加工の部品は、第１の製造装置３，第２の製造装置
５，第３の製造装置，・・の順に加工されてゆき、この
生産ラインでの加工を終えて搬出される。しかし、各製
造装置における加工時間が同一でなく、各製造装置間で
同時に部品（マガジン）の搬入／搬出が行えない場合が
多いため、ある製造装置（例えば、第２の製造装置５）
で加工を終了したマガジンは一旦ストック装置２に収納
される。次の製造装置（たとえば、第３の製造装置７）
が部品を要求したとき、ストック装置２からこのマガジ
ンが取り出され、当該製造装置に搬入される。

【００３１】また、製造装置または搬送コンベアの一部
がダウンした場合には、当該ダウンした装置の前後だけ
でも稼働できるようにストック装置２が活用される。す
なわち、搬送コンベアの一部がダウンした場合には、そ
の前段の製造装置までは稼働させ、加工が完了した部品
（マガジン）をストック装置２にストックしておく。

【００３２】また、一部の製造装置がダウンした場合に
は、その前段までの製造装置は上記と同様動作可能であ
るとともに、その後段の製造装置も動作可能であるた
め、ダウンした製造装置において加工済のマガジンがス
トック装置２にある場合は、そのマガジンを後段の製造
装置に搬入して、この製造装置を稼働させることができ
る。

【００３３】すなわち、ストック装置２に収納されてい
るマガジンは、搬送コンベア４４，６４，８４，・・に
よって、ストック装置２から所定の製造装置３，５，
７，・・の供給側移載部４２，６２，８２，・・に搬送
され、対応する未加工部品収納マガジン部３２，５２，
７２，・・にセットされる。製造装置３，５，７，・・
は、このマガジンから部品を取り出し、処理ステージ３
３，５３，７３，・・で所定の加工処理を施す。この加
工処理が終了すると、部品は、製造装置３，５，７，内
の加工済部品収納マガジン部３４，５４，７４，・・に
セットされている加工済部品収納用のマガジンに収納さ
れる。

【００３４】未加工部品収納マガジン部にセットされた
マガジンに未加工部品が無くなったとき、当該製造装置
は、マガジン供給要求信号を送信する。また、加工済部
品収納マガジン部にセットされたマガジンに加工済部品
が一杯になったとき、当該製造装置は、マガジン排出要
求信号を送信する。これらの信号は、Ｉ／Ｏ信号送受信
部を介してストック装置２の制御部２１に送信される。
マガジンに収納できる部品数は同数であるため、マガジ
ン供給要求信号とマガジン排出要求信号は同時に出力さ
れる場合が多い。

【００３５】たとえば、第２の製造装置５において、未
加工部品収納マガジン部５２のマガジンが空になり、加
工済部品収納マガジン部５４のマガジンが一杯になった
場合、制御部５１は、マガジン供給要求信号およびマガ
ジン排出要求信号を、搬送コンベア６のＩ／Ｏ信号送受
信部６１を介してストック装置２の制御部２１に伝達す
る。制御部２１は、この信号に基づいてフラグＳ５（第
２装置マガジン供給要求フラグ）およびフラグＳ６（第
２装置マガジン排出要求フラグ）をセットするととも
に、これらの状態を上位コンピュータ１に対して出力す
る。上位コンピュータ１は、第２の製造装置５の次工程
の処理装置である第３の製造装置７の稼働状態をフラグ
Ｓ９（第３装置マガジン供給要求フラグ）に基づいて判
断する。このフラグがセットしていれば、第３の製造装
置７が次の未加工部品を要求しているため、上位コンピ
ュータ１は、制御部２１に対して、第２の製造装置５の
加工済部品収納マガジン部５４にセットされているマガ
ジンを排出側移載部６３を介して搬送コンベア部６４に
移載したのち、第２の製造装置５から排出されたマガジ
ンを第３の搬送コンベア８の供給側移載部８２を介して
製造装置７（未加工部品収納マガジン部７２）に搬入す
るよう指示する。一方、フラグＳ９がリセットしている
場合には、上記マガジンを直接第３の製造装置７に搬入
できないため、上位コンピュータ１は、接続部２１に対
して、搬送コンベア部６４に移載した上記マガジンを一
旦ストック装置２に格納するよう指示する。

【００３６】この上位コンピュータ１からの搬送指令
は、図６に示すようなパターン番号で行われる。たとえ
ば、第２製造装置５で加工が終了した部品（マガジン）
を第３製造装置７の未加工部品収納マガジン部７２に搬
入する場合には、(14)−(15)−(16)のパターン番号が出
力される。一方、第２製造装置５で加工が終了した部品
のマガジンをストック装置２に搬送する場合には、(14)
−(27)−(28)−(1) のパターン番号が出力される。

【００３７】ここで、マガジンがストック装置２に搬送
されると、ストック装置２の制御部２１は、マガジン格
納部の空きスペースを検索してこのマガジンを格納す
る。こののち、この空きスペースのアドレスを上位コン
ピュータ１に送信する。

【００３８】一方、未加工部品収納マガジン部５２にセ
ットされている、空になったマガジンは、供給側移載部
６２，コンベア部６４，排出側移載部６３を介して加工
済部品収納マガジン部５４にセットされる。

【００３９】その後、上位コンピュータ１は、前工程の
第１の製造装置３の状態をフラグＳ２（第１装置マガジ
ン排出要求フラグ）で判断する。このフラグがセットさ
れている場合には、第１の製造装置３の加工済部品収納
マガジン部３４にセットされているマガジンを第２の製
造装置５に搬送する。一方、フラグＳ２がリセットして
いる（第１の製造装置３が、処理中の）場合、上位コン
ピュータ１は、ストック装置２のストックメモリを検索
して第１の製造装置３で加工済の部品が収納されている
マガジンを検索し、そのアドレスと、搬送経路を指示す
る(2) −(3) −(6) −(9) −(10)を制御部２１に送信す
る。制御部２１は、該アドレスに格納されているマガジ
ンをパターン番号に登録されている搬送経路で搬送す
る。これにより、第２の製造装置５には、新たな未加工
部品が供給され、処理を継続することができる。この制
御動作は、他の製造装置３，７，・・にも同様に適用さ
れる。

【００４０】また、上述したように、製造装置または搬
送コンベアの一部がダウンした場合には、ストック装置
２に格納されているマガジンを用いて、故障した装置の
前段までまたは後段からの製造装置のみを稼働させる。

【００４１】これにより、生産ラインシステムの各製造
装置で加工が終了した場合、この加工の終了した部品を
収納しているマガジンをどこに搬送し、さらに何処から
未加工部品を収納したマガジンを搬送させれば良いかを
フラグを参照することによって上位コンピュータで判定
できる。また、上位コンピュータが制御装置２１に指示
するマガジンの搬送経路はパターン番号で行われるた
め、上位コンピュータ１，ストック装置２間の通信は、
パターン番号のみでよい。これにより、何らかの理由で
上位コンピュータ１が停止した場合、プログラマブルコ
ンピュータ等の簡易コンピュータで代替して生産ライン
システムを停止させずに生産が行える。

【００４２】さらに、ストック装置２内の部品を収納し
たマガジンを格納をする格納部をアドレス化してその内
容を記憶することにより、上位コンピュータ１は、スト
ック装置２内の格納部に格納されているマガジンの内容
と、格納位置を把握できる。

【００４３】これにより、製造装置から部品の収納され
たマガジンの供給要求を受け付けたとき、目的とするマ
ガジンの格納されている位置を指定してストック装置２
から柔軟かつ迅速に取り出して搬出させることができ
る。なお、マガジン（被加工物）の搬送制御のみであれ
ば、フラグＳ１〜Ｓ(4m+2)を参照することなく、ストッ
クメモリのみを参照して動作させることも可能である。

【００４４】

【発明の効果】以上のように、この発明によれば、複数
の製造装置で搬入／搬出されるマガジン等をストック手
段に格納可能にするとともに、製造装置毎の動作状態を
示す複数のフラグを設け、複数のフラグによって示され
る各製造装置の動作状態に基づいて複数の製造装置とス
トック手段との間におけるマガジン等の搬送指令を出力
するようにしたことにより、生産ラインにおいて前工程
装置と次工程装置との間にマガジン等を直接搬送しつ
つ、必要な場合にのみマガジン等をストック手段に格納
することができ、互いに異なる複数の製造装置によって
構成される生産ラインについても全体を最適化すること
ができる。

【００４５】また、ストック手段における格納物を格納
物記憶手段に記憶し、搬送指令手段が、複数のフラグが
示す製造装置の動作状態および格納物記憶手段の記憶内
容に基づいて搬送指令を出力するようにしたことによ
り、製造装置のダウンや搬送手段のダウンに対応した搬
送指令を出力することができる。さらに、マガジン等の
搬送経路を複数のパターンにして記憶・指示するように
したことにより、通信時間を短縮することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施例である半導体生産ラインシス
テムの概要を示す図

【図２】同生産ラインシステムの構成を示す図

【図３】ストック装置での格納位置アドレスの概念を示
す図

【図４】上位コンピュータに設定されているストックメ
モリの構成を示す図

【図５】上位コンピュータに設定されているフラグエリ
アの構成を示す図

【図６】同生産ラインシステムにおける搬送経路パター
ンを示す図

【図７】従来の半導体製造ラインの構成例を示す図

【符号の説明】

１−上位コンピュータ ２−ストック装置 ３−第１の製造装置 ５−第２の製造装置 ７−第３の製造装置 ４−（第１の）搬送コンベア ６−（第２の）搬送コンベア ８−（第３の）搬送コンベア

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 伊藤 嘉之 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シャープ株式会社内 (56)参考文献 特開 平１−273330（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−156383（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B65G 1/137 H05K 13/04

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ライン配列化された複数の製造装置と、 前記製造装置のマガジン等を格納するストック手段と、 前記製造装置のそれぞれについて複数の動作状態を示す
   複数のフラグと、 前記複数のフラグが示す動作状態 に基づいて前記搬送手
   段に対し前記複数の製造装置およびストック手段間の搬
   送指令を出力する搬送指令手段と、を備え、 前記複数のフラグは、１つの装置に対して少なくともマ
   ガジン供給要求フラグ、マガジン排出要求フラグ、搬送
   コンベア動作完了フラグおよび搬送コンベアエラーフラ
   グからなる ことを特徴とする半導体製造装置。
2. 【請求項２】 前記ストック手段の格納アドレスごとに
   そこに格納されているマガジン等の内容を記憶する格納
   物記憶手段を備え、前記搬送指令手段は、前記複数のフ
   ラグが示す動作状態および前記格納物記憶手段の記憶内
   容に基づいて、前記搬送手段に対して前記複数の製造装
   置およびストック手段間の搬送指令を出力する請求項１
   記載の半導体製造装置。
3. 【請求項３】 前記搬送手段は、前記マガジン等を前記
   複数の製造装置およびストック手段間で搬送する経路
   を、パターン番号で識別される複数のパターンで記憶す
   る手段を備え、 前記搬送指令手段は、前記搬送手段に対してパターン番
   号を出力する手段である請求項１または請求項２記載の
   半導体製造装置。